Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

11

Ezüst szemcsék Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-melvizsgálata TEM-mel

Készítő: Hoksza Zsolt Készítő: Hoksza Zsolt Fazekas Mihály Főv. Gyak. Ált. Isk. és Gimn.Fazekas Mihály Főv. Gyak. Ált. Isk. és Gimn.

Tanára: Dvorák CecíliaTanára: Dvorák CecíliaMentora: dr. Radnóczi György ZoltánMentora: dr. Radnóczi György Zoltán

Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

22

FeladatFeladat Transzmissziós elektronmikroszkóp működésének Transzmissziós elektronmikroszkóp működésének

alapjaialapjai Saját képek elkészítése a mintáról (Ag szemcsék Saját képek elkészítése a mintáról (Ag szemcsék

Si hordozón)Si hordozón)

Meglévő és saját készítésű képek alapján:Meglévő és saját készítésű képek alapján:– Kamerahossz kalibrációja Si egykristályonKamerahossz kalibrációja Si egykristályon– Ezüst szemcsék minősítéseEzüst szemcsék minősítése– Ezüst-szilícium határfelület minősítéseEzüst-szilícium határfelület minősítése

Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

33

A TEM felépítéseA TEM felépítése 200 kV gyorsítófeszültség200 kV gyorsítófeszültség 0,0025 nm hullámhossz0,0025 nm hullámhossz 0,3 nm felbontás 0,3 nm felbontás

(lencsehibák miatt)(lencsehibák miatt) 1000x - 600 000x 1000x - 600 000x

nagyításnagyítás

Rezgésmentes szerkezetRezgésmentes szerkezet Vákuum rendszerVákuum rendszer

Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

44

Leképezési módokLeképezési módok KépekKépek

– Világos látótérVilágos látótér– Sötét látótérSötét látótér– Nagyfelbontású képekNagyfelbontású képek

ElektrondiffrakcióElektrondiffrakció

Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

55

Kamerahossz kalibrációjaKamerahossz kalibrációja

Bragg-egyenlet: 2d sin Bragg-egyenlet: 2d sin θθ = n = nλλ 2 sin 2 sin θθ ≈ R/L ≈ R/L

Névleges kamerahossz: L0 = 2 mR111 = 1,5*10-2 m, λλ = 0,0025 nm = 0,0025 nm dd111111 = 0,31355 nm = 0,31355 nm

L = R*d / λλ = 1,5*10-2 m * 0,31355 nm / 0,0025 nm = = 1,5*10-2 m * 0,31355 nm / 0,0025 nm = 1,88 1,88 mm

Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

66

Ezüst szemcsék minősítéseEzüst szemcsék minősítése Hordozó felülete:Hordozó felülete:

– Konkáv oldalú csúcsok, Konkáv oldalú csúcsok, átlagos magasság: 30 nmátlagos magasság: 30 nm

Ag szemcsék:Ag szemcsék:– Átlagos szélesség: 230 nmÁtlagos szélesség: 230 nm– Átlagos magasság: 150 nmÁtlagos magasság: 150 nm

Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell

77

Köszönet…Köszönet… Az MFA vezetésénekAz MFA vezetésének

Dr. Daróczi CsabaDr. Daróczi Csaba Dvorák CecíliaDvorák Cecília

Czigány Zsolt, Misják Fanni, Czigány Zsolt, Misják Fanni, Fogarassy Zsolt, Szerencsi Marianna, Fogarassy Zsolt, Szerencsi Marianna,

Glázer FerencnéGlázer Ferencné Radnóczi György ZoltánRadnóczi György Zoltán