high-reflectivity algan/aln distributed bragg reflector in ultraviolet region

4
High-Reflectivity AlGaN/AlN Distributed Bragg Reflector in Ultraviolet Region This content has been downloaded from IOPscience. Please scroll down to see the full text. Download details: IP Address: 128.112.200.107 This content was downloaded on 24/09/2013 at 06:58 Please note that terms and conditions apply. 2007 Chinese Phys. Lett. 24 1735 (http://iopscience.iop.org/0256-307X/24/6/083) View the table of contents for this issue, or go to the journal homepage for more Home Search Collections Journals About Contact us My IOPscience

Upload: gong

Post on 18-Dec-2016

212 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

High-Reflectivity AlGaN/AlN Distributed Bragg Reflector in Ultraviolet Region

This content has been downloaded from IOPscience. Please scroll down to see the full text.

Download details:

IP Address: 128.112.200.107

This content was downloaded on 24/09/2013 at 06:58

Please note that terms and conditions apply.

2007 Chinese Phys. Lett. 24 1735

(http://iopscience.iop.org/0256-307X/24/6/083)

View the table of contents for this issue, or go to the journal homepage for more

Home Search Collections Journals About Contact us My IOPscience

������������� � �� ��� � � � ������ ����

������������� ����� �� ��������� ����� ������ �� ��������� ������ �

�� ���������������� ��� � ��������������� ��� ����������� ��� ��������

���� ��������� ����� �� ����������� �� ���������� ��� � ����������

��� � �������������� �� � ����������

����������� �� ����� ������� ��������� � ������� �������������� ��������� �� �!���� "#�����# ������ ��# $�������� %��������� ������� ��������� �

������� �������&������� '�������� (�������� �� ����� )������ "��#�� &�������� &������� ����*�

������� !" ����#$�% !&&'

(���� +���� "����,�����-"�� #�����!���# .���� ��/����� ������# �� ��� �� ��� #������# ��# ��0� � ����������!������� ! ����������� �������� ����� #�������1 � ����2� ��� !�����# �� ��� ���� ���� ��� �+����0��� �3���� � �!�� 4�� ������ ��#�� �� ������ ��������1 5������ ����2 ����������� �� ��� �� ��0�! �������� ������� ������� 1 )���� �0+#��������� ��0�� ����� ��# ��� �0 ������ �������� ��� ��0�! ����� ��� ������� 6"7%81 9���+#�:��# ����#���� �� ��0� ! ���� �������� 3+�� #�;������1 <�����/������� ��= �� ��� �� 0��� � !��#0�#�� �� �� �� !�����#1

����� ��� � �� � � ����� �� �����

��(%� ����� �%��� %�)��(�%* �� �+(���, ����(��*��(� +-�(��,��(%���� �����* �* � +%�#�*��� .�/ (��#+%��� (-� ����� +�%0�%#����1 � ��� �2�#�+,� �* %�*����(�����(/���-���� �3� +-�(� �(���(�%*1 4-�/ -��� #��/ � ���(���* *��- �* -��-5���(�# ������/� -��- *+�� � .���,���(- *�,���(���(/� ��%%�.�$�� %�*+��*�� �� �++,���$�,�(/ ��.���,���(- ���*��� #�,(�+,�2 6�� */*(�#*1�����

�%��� %�)��(�%* �� �+(���, ����(��* �%� �,*� �**���(��, ��#+����(* �0 ��%(���, ����(/ *�%0��� �#�((���,�*�%* 738��*� �� ��� $� �*� (� ���%��*� (-�,�#����* ��(��*�(/ �0 ,��-( �#�((��� �� �* ���*16�(- (-� ���,�+#��( �0 �%��+���� ��(%� �* �� (-�9�, �0 *�#���� ��(�% +-�(��,��(%����*� (-� 0�$%����(��� �0 -��-�+�%0�%#���� �*(%�$�(� �%��� %�)���(�%* ���* $�*� �� (-�* #�(�%��, */*(�# -�* $����#� �� �#+�%(��( *�$:��(1 �� ;�,� �� �%�� ;�,� �� ���* �*� �� (-� ��*�$,� �% ���%��,(%����,�( %����� .�%� ��%,/ %�+�%(� 1������ 4-� #��:�% +%�$,�#* (� �$(��� -��-�+�%0�%#���� ������(%� �$�*� ���* �%� (-� ,�%�� ,�((��� #�*#�(�- �� (-�%�#�, #�*#�(�-� .-��- �0(�� ,�� (� *�#+,� �%��<���1=�% (-� �++,���(���* �� �,(%����,�( %������ �� �* %��5��%� (� $� %�+,��� $/ �,�� �% �,�� (� #����#�>� �$*�%+(���� (-�%�0�%� �,������ ;�,������ �% �,������ ;�,������ ���* .�%� *(� �� 1�������

��.���%� -��-�% �, ��#+�*�(��� �� ,�%��% *(%�** � (� (-� ���,(/ �� #�(�%��, �%�.(-1

�� (-�* ��((�%� (-�%(/�+��% �,�������� ;�, ���*.�(- � ���(%�, .���,���(- �0 ?!& �# .�%� �*���� ��� �%�.� �� *�++-�%� *�$*(%�(�* $/ #�(�,�%������-�#���, ��+��% �+�*�(��� ��37�1 4-� *(%���

(�%�, +%�+�%(��* �0 (-� ���* .�%� ����*(���(� �� (-� %�)��(���� *+��(%� .�%� #��*�%� 1

�%��� %�)��(�%* ��##��,/ ���*�*( �0 � 5��%(�%�.��� *(��< �0 �,(�%��(��� -��-��� �2 �� ,�.��� �2,�/�%*1 �� (-�* .�%<� ?&�+��% �,�������� ;�, ���*?&1@ �#;?'1A �# ���(%� �( ?!& �# .�%� �*���� 1�,�������� .�* �*� �* (-� -��-��� �2 �� #�(�%��,��� �, �* (-� ,�.��� �2 �� ���1 4-� (-��<��**�0 5��%(�%�.��� ,�/�% .�* ��,��,�(� $/ ���B�� %�0�%�%��� (� (-� %�0%��(��� �� �2 ����� $/ �%����% �� ��1����

� !��#�(-��< �� ,�/�% .�* �*� �* (-� (�#+,�(�14-� (-��%�(���, %�)��(���� .�* *�#�,�(� �*��� �,�**����, (%��*0�% #�(%�2 #�(-� 4������� .-��- ����* �+��< %�)��(���(/ ���% AAC �� � $�� .� (- 0�,, .� (-�( -�,0 #�2�#�#� =6�� �0 ?! �#1

4-� �,�� ;�, ��� *(%��(�%�* .�%� �%�.��� � !����- &&&D��%���(� *�++-�%� *�$*(%�(� $/��37�1 4-� *�$*(%�(� .�* 9%*( (-�%#�,,/ �,���� �( DD"&Æ3 �� �� �#$���(1 4-�� �� (�#+,�(� .�* �+�*�(� �*��� (-� (.��*(�+ �%�.(- #�(-� 1���� 4-�*�$*(%�(� (�#+�%�(�%� .�* 9%*( �#+� (� "E&Æ3 0�%(-� �+�*�(��� �0 � "&��#�(-��< ,�.�(�#+�%�(�%� �4�� ���,��(��� ,�/�%1 4-�� �( .�* %�#+� �+ (�DD&&Æ3 �,��� .�(- (-� �����,��� +%���**� 0�,,�.� $/ (-� �+�*�(��� �0 � !��#�(-��< -��-�(�#+�%�(�%��4 �� ,�/�%1 8�$*�5���(,/� (-� �,�������� ;�, 5��%(�%�.��� *(��< .�* �+�*�(� �( (-� *�#� (�#+�%��(�%�� .�(- "&�* �%�.(- ��(�%%�+(��� �0(�% ���- ,�/�%14-� �, ��#+�*�(��� &1? .�* ����� $/ ��� ���,/*�*�0 �� �$��( "&&��#�(-��< %�0�%���� �,�� *�#+,��.-��- .�* �%�.� �� �% (-� *�#� ��� �(��� �* (-� �,��� 5��%(�%�.��� ,�/�%*1

� ��������� ����� � ����� ��� � ��� �� �� � ��� ���� ��� ������� �� ���� ����� �� �� �� ��������� ! �� ��� � ���� �� ��� � ������� ����� ���� �� ���� ����� �� �� ��� ���"��#� �� ���"��$"%

�� &� '��( �������������� ������ � ��������) *( ��) ���� �+,��������%��(�����" ������� ����� � ������ �� -.� ��������+ /��

DE?' 0- 1� �2/� �� ��� 3��% ��

4-� *(%��(�%�, +%�+�%(��* �0 (-� ���* .�%� ����*�(���(� $/ �+(���, #��%�*��+/ ��� *������� �,��(%��#��%�*��+/ 8��� �(�#�� 0�%�� #��%�*��+/ �=���� -��- %�*�,�(��� 2�%�/ �F%��(��� �����1 ���)��(���� *+��(%� �0 (-� ���* .�%� #��*�%� �*���� �7�!!&D %���% ��� *+��(%�+-�(�#�(�% .�(- � ��,��$%�(� ��=�����(� �, #�%%�% �� � ��(�%��# ,�#+1

���� �� �*� �����2������� 4��' �� #�2� �� 5����� ����65��7�� �� � ������ ����� ��%

���� �� 5�� �( +� �� �� ����+ � �+� �� ��(���( �� #�2� �� 5����� ����65�� 7�� �� � ������ ����� ��%

4-� .�0�%* �0 (-� �,�� ;�, ��� .�%� �$*�%�� �� �% (-� �+(���, #��%�*��+� �!&&1 �( �* 0%�� �0�%��<* �� (-� #��� �%�� �0 (-� !����- .�0�%*� �2��+(0�% �$��( B## #�%����, %�����1 =���%� D *-�.* �(/+���, 8�� �%�**�*��(��� �#��� �0 (-� ��� *�#+,�*1�( *-�.* %���,�% *(��< �0 �,(�%��(��� ,�/�%* �� ������(�%0���*� (-� ,��-(�% ,�/�%* %�+%�*��(��� �,�� .-�,�(-� �%<�% ���* �, 1 4-� (-��<��** �0 ���- 5��%(�%�.��� +��% .�* #��*�%� (� $� �$��( E& �#1 =����%� ! *-�.* �� �=� �#��� �� � *������� %���� �0!�#�!�#1 �( �2-�$�(* �%�.(- *(�+* �,��%,/� �� ���(���� ��� (.�� �#��*����, !� �%�.(- #� �1 4-�%#* %���-��** �0 (-� *�%0��� �* �* ,�. �* &1!'& �#�(-�* *#��(- ��(�%0���* .�* *+���,�(� 1 8�#� �*,����(��� +�(* .�%� �$*�%�� �� (-� ��*�(/ .�* �*(�#�(�

(� $� @ � D& �#��� .-��- �* ��#+�%�(��� (� ����%�,#���,�/�%��� *�#+,�*1 =���%� ? *-�.* (-� ���*+��(%�# �0 (-� �,�� ;�, ��� �� &&&! �F%���(��� �*��� � � !� *��� #� �1 4-� *(%����*( +��< �(?B1"BÆ ��%%�*+�� * (� (-� �F%��(��� 0%�# �� &&&!(�#+,�(�1 4-� �,��% -��-��% �% *�(�,,�(� +��<* �� ����(� .�,,� �9�� +�%�� ���(/1 ����% ��� (� (-� *+���,���(- �0 (-�*� +��<*� (-� 5��%(�%�.��� +�%�� �* ��,���,�(� (� $� 'A1? �#1 4-� #��*�%� (-��<��** �0 �

5��%(�%�.��� +��% 0%�# 8�� �� ��� �* *�#�.-�(,�%��% (-�� (-� �*���� ��,�� �0 'E1E �#1

���� �� 12� ��8�9 ����� ���+ :����; �� #�2� ��5����� ����65�� 7�� �� � ������ ����� ��%

4-� %�)��(���� *+��(%� �0 (-� �,�� ;�, ���*.�%� #��*�%� � �* *-�.� �� =��1 B1 �( �2-�$�(* �+��< %�)��(���(/ �* -��- �* A?C �( ?D? �#� �� ���%%�. $�� .� (- �0 D? �#1 4-� #��*�%� ���(%�,.���,���(- ?D? �# �* � ,�((,� ����(� 0%�# (-� (�%��(?!& �#� �� ���(��� (-� �+(���, (-��<��** �0 (-� 5��%(�%�.��� +��% �* *,��-(,/ *#�,,�% (-�� �*���� 1 4-� �F*�(�0 (-� ���(%�, .���,���(- ��� $� �,�#���(� $/ 9��(����� �0 (-� ,�/�%* (-��<��**1 4-� *-�%(�.���,���(-� �� �0 (-� ��(�%0�%���� 0%����* !@" �# ��%%�*+�� * (�(-� $�� ��+ �0 �,��������� � �� ���(��� (-� ��(��,�, ��#+�*�(��� �� �,�� ,�/�%* �* ��( ,�** (-�� &1B?1

���� �� �� ����� ��<��� ��� �������( �� #�2� ��5����� ����65�� 7�� �� � ������ ����� ��%

��% � 0- 1� �2/� �� ��� DE?E

�( ��� $� ��0�%%� 0%�# (-� �$��� �*��**��� (-�(�, ��#+�*�(��� �* *,�.���%/��� �( (-� ��(�%0���* �� �(* #���#�# ��,�� �* &1B?� �F�%��( 0%�# (-� (-��<�,�� %�0�%���� *�#+,�1 ���-�% �, ��#+�*�(��� ���,�� ,�/�%* ��%%�*+�� * (� ,�.�% %�0%��(��� �� ���*1�( %�*�,(* �� (-� *#�,,�% �+(���, (-��<��** �0 5��%(�%�.��� +��% �� *+�(� �0 (-� ,�%��% +-/*���, (-��<��**� �� (-�%�0�%� $,�� *-�0( �0 (-� ���(%�, .���,���(-1 8#�,,�%%�0%��(��� �� �2 ���(%�*( �� (� -��-�% �, ��#+�*��(���� �� �%� � %�0%��(��� �� ���* �� (� *,�.���%/�����(�%0���*� ,�.�%� (-� ���(%�, %�)��(���(/ �� �,*� %�� ��� (-� $�� .� (-1

�� *�##�%/� ?&�+��% �,�� ;�, ���* -��� $��� �*���� �� 0�$%���(� $/ ��37� �� *�++-�%� *�$�*(%�(�*1 �( �* 0%�� �0 �%��<* �� (-� #��� �%�� �0 (-�!����- .�0�%* �2��+( 0�% �$��( B## #�%����, %������1 �( *-�.* .�,,� �9�� +�%�� ���(/ $/ ������� ��%/ ,�. *�%0��� %���-��** �0 &1!'& �# $/ �=�1��)��(���� *+��(%�# �0 (-� ��� *�#+,� *-�.* � ����(%�, %�)��(���(/ �0 A?C �( ?D? �# �� � $�� .� (- �0D? �#1 4-� #��*�%� ���(%�, %�)��(���(/ �� $�� �.� (- �%� $�(- *#�,,�% (-�� �*���� � .-��- �* #���,/�((%�$�(� (� (-� -��-�% �, ��#+�*�(��� �� �,�� ,�/��%* �� (-� �%� � %�0%��(��� �� ���* �( ��(�%0���*1

����������

=9> ?������ ? �� � 9 9 ���� �� ����� ��� ���� � ���$

=�> � � @ �� � ���9 ����� ����� ��� � 9��

=#> ?� � � 5 �� � 9 9 ����� ����� ��� �� 9��

=�> �+ A � �� � 9 ����� ����� ��� � 9�#�

=$> / �+�� � �� � 9 ����� ����� ��� � #�9�

=�> �+ A �! ����� B � & 7 �� ��� � � � ���� ����� �����

��� �C9C

="> D ����� ? * �� � ���9 ����� ����� ��� #��$

=C> ����E����F � �� � ���9 ����� ����� ��� � �9#�

= > ����E����F � �� � ���9 ��� ���� � �� �� ����� � 9#

=9�> �����B A � 7 �� � ���9 ����� ���� ������ 5 � C

=99> �����B A � 7 �� � ���� ����� ����� ��� � 9"�

=9�> � � �� � �� � ���# ����� ����� ��� � �

=9#> � ���� 0 � �� � ���$ ����� ���� ������ � ��� �#��

=9�> ��(��� � �� � ���9 ����� ���� ������ 5 �� 9�#

=9$> ?������F� � �� � ���9 ����� ���� ������ 5 � CC9

=9�> ������ � �� � ���� ����� ���� ������ � � �$C

=9"> ?� ����+ ? �� � ���� ����� ���� ������ 5 ��� ��C

=9C> D �+ & �� � ���� ����� ����� ��� � �#

=9 > ������ * �� � ���� ����� ����� ��� �$99�C

=��> ������ ��4 . �� � ���� ����� ����� ��� 9"99�9

=�9> ������� 7 �� � 9 " �� ����� ����� � $� �

=��> 5FF ( � � 5 �� � �� � � � 9 "" ���������� ���

��������� ���� :5(����� () �����2A��� ��;

=�#> 5( �� A �� � 9 C� ����� ����� ��� � #$#