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XGT/XGD SeriesP-13-4A
バリエーション
スリットバルブ/ドアバルブ
450mmウエハ対応
NewNewボディ厚み
(mm)
200mmウエハ対応タイプ
300mmウエハ対応タイプ
450mmウエハ対応タイプ
¡46×236mm¡32×222mm
※開口寸法70×500mm、100×750mm対応可 ※その他開口寸法につきましては、当社営業へお問合せください。
70
200 300 450 開口幅(mm)
60
50
トップアクセス可能高いメンテナンス性を実現
ベローズ交換可能高いメンテナンス性を実現
2段動作構造採用エンドロック機構付空気源が切れてもゲート位置を保持
P.1
P.1
P.1
¡56×496mm
カセットなし カセット式 ドアバルブ
スリットバルブ
スリットバルブ ドアバルブ
スリットバルブ ドアバルブ
スリットバルブ
スリットバルブ
200mm、300mmの詳細はWEBカタログまたはBest Pneumatics No.⑧ P.1211
¡50×336mm
ゲートバルブドアバルブ
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qボディ取外し
チャンバー
小ねじ
チャンバー
ゲート ゲート
側板
w固定ボルト外し
w側板取外し
eゲートを本体取外し
eベローズ取外し
トップアクセス スリットバルブ
ベローズ交換 スリットバルブ
qトッププレート外し
ゲート上昇・下降の直線動作とゲート開閉のクランプ動作の2段動作構造
2段動作構造採用 スリットバルブ ドアバルブ
w上昇 eクランプ、ゲート閉qゲート開
ゲート
止めねじ
1
XGT/XGD Series
上昇
クランプ
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仕様
ドアバルブ
仕様開口寸法(高さ×幅) 56mm×496mm使用環境圧力 大気圧~1×10-6Pa(abs)操作圧力 0.4~0.6MPaリーク 6.5×10-10Pa・m3/s※1
使用温度 5~60℃使用流体 不活性ガス取付方向 垂直(シリンダー下側)エンドロック機構 閉位置ロック機構付※2
質量 12kgオートスイッチ なし、D-A93選択可コネクタ マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可
※1 常温時値OリングFKMの場合(ガス透過を除きます)※2 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、閉位置を維持
する操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロックの解除を行ってください。
ドアバルブ
カセットなし カセット式
仕様開口寸法(高さ×幅) 56mm×496mm使用環境圧力 大気圧~1×10-6Pa(abs)操作圧力 0.45~0.6MPa内部リーク量 6.5×10-10Pa・m3/s※1
逆圧時内部リーク量 6.5×10-8Pa・m3/s※1、※2
外部リーク量 6.5×10-11Pa・m3/s※1
使用温度ゲート部:5~150℃
アクチュエータ部:5~80℃継手、オートスイッチ部:5~60℃
使用流体 不活性ガス取付方向 垂直エンドロック機構 開閉位置ロック機構付※3
質量 カセットなし:17kgカセット式:25kg
オートスイッチ なし、D-A93選択可コネクタ マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可
※1 常温時値OリングFKMの場合(ガス透過を除きます)※2 逆圧力:0.1MPa(abs)以下。※3 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、現状を維持す
る操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロックの解除を行ってください。
スリットバルブ
2
450mm ゲートバルブ XGT/XGD Series
![Page 4: ゲートバルブ - SMC Corporationca01.smcworld.com/catalog/New-products/pdf/p-13-4a-xgt.pdf仕様 ドアバルブ 仕様 開口寸法(高さ×幅) 56mm×496mm 使用環境圧力](https://reader036.vdocuments.site/reader036/viewer/2022062610/611656b43004106479578a43/html5/thumbnails/4.jpg)
56
49670
69
485
63
123.5
496
622
56
142.5 144
75
514
37
107.5
485
142.5 144 69
67(ストローク)
56(開口寸法)
56(開口寸法)
80(ストローク)74
514
37
315
56
154
148
110
2×ø44
496(開口寸法)
496(開口寸法)
64
外形寸法図スリットバルブ/XGT
カセットあり
カセットなし
ドアバルブ/XGD
XGT/XGD Series