high-reflectivity algan/aln distributed bragg reflector in ultraviolet region
Post on 18-Dec-2016
212 Views
Preview:
TRANSCRIPT
High-Reflectivity AlGaN/AlN Distributed Bragg Reflector in Ultraviolet Region
This content has been downloaded from IOPscience. Please scroll down to see the full text.
Download details:
IP Address: 128.112.200.107
This content was downloaded on 24/09/2013 at 06:58
Please note that terms and conditions apply.
2007 Chinese Phys. Lett. 24 1735
(http://iopscience.iop.org/0256-307X/24/6/083)
View the table of contents for this issue, or go to the journal homepage for more
Home Search Collections Journals About Contact us My IOPscience
������������� � �� ��� � � � ������ ����
������������� ����� �� ��������� ����� ������ �� ��������� ������ �
�� ���������������� ��� � ��������������� ��� ����������� ��� ��������
���� ��������� ����� �� ����������� �� ���������� ��� � ����������
��� � �������������� �� � ����������
����������� �� ����� ������� ��������� � ������� �������������� ��������� �� �!���� "#�����# ������ ��# $�������� %��������� ������� ��������� �
������� �������&������� '�������� (�������� �� ����� )������ "��#�� &�������� &������� ����*�
������� !" ����#$�% !&&'
(���� +���� "����,�����-"�� #�����!���# .���� ��/����� ������# �� ��� �� ��� #������# ��# ��0� � ����������!������� ! ����������� �������� ����� #�������1 � ����2� ��� !�����# �� ��� ���� ���� ��� �+����0��� �3���� � �!�� 4�� ������ ��#�� �� ������ ��������1 5������ ����2 ����������� �� ��� �� ��0�! �������� ������� ������� 1 )���� �0+#��������� ��0�� ����� ��# ��� �0 ������ �������� ��� ��0�! ����� ��� ������� 6"7%81 9���+#�:��# ����#���� �� ��0� ! ���� �������� 3+�� #�;������1 <�����/������� ��= �� ��� �� 0��� � !��#0�#�� �� �� �� !�����#1
����� ��� � �� � � ����� �� �����
��(%� ����� �%��� %�)��(�%* �� �+(���, ����(��*��(� +-�(��,��(%���� �����* �* � +%�#�*��� .�/ (��#+%��� (-� ����� +�%0�%#����1 � ��� �2�#�+,� �* %�*����(�����(/���-���� �3� +-�(� �(���(�%*1 4-�/ -��� #��/ � ���(���* *��- �* -��-5���(�# ������/� -��- *+�� � .���,���(- *�,���(���(/� ��%%�.�$�� %�*+��*�� �� �++,���$�,�(/ ��.���,���(- ���*��� #�,(�+,�2 6�� */*(�#*1�����
�%��� %�)��(�%* �� �+(���, ����(��* �%� �,*� �**���(��, ��#+����(* �0 ��%(���, ����(/ *�%0��� �#�((���,�*�%* 738��*� �� ��� $� �*� (� ���%��*� (-�,�#����* ��(��*�(/ �0 ,��-( �#�((��� �� �* ���*16�(- (-� ���,�+#��( �0 �%��+���� ��(%� �* �� (-�9�, �0 *�#���� ��(�% +-�(��,��(%����*� (-� 0�$%����(��� �0 -��-�+�%0�%#���� �*(%�$�(� �%��� %�)���(�%* ���* $�*� �� (-�* #�(�%��, */*(�# -�* $����#� �� �#+�%(��( *�$:��(1 �� ;�,� �� �%�� ;�,� �� ���* �*� �� (-� ��*�$,� �% ���%��,(%����,�( %����� .�%� ��%,/ %�+�%(� 1������ 4-� #��:�% +%�$,�#* (� �$(��� -��-�+�%0�%#���� ������(%� �$�*� ���* �%� (-� ,�%�� ,�((��� #�*#�(�- �� (-�%�#�, #�*#�(�-� .-��- �0(�� ,�� (� *�#+,� �%��<���1=�% (-� �++,���(���* �� �,(%����,�( %������ �� �* %��5��%� (� $� %�+,��� $/ �,�� �% �,�� (� #����#�>� �$*�%+(���� (-�%�0�%� �,������ ;�,������ �% �,������ ;�,������ ���* .�%� *(� �� 1�������
��.���%� -��-�% �, ��#+�*�(��� �� ,�%��% *(%�** � (� (-� ���,(/ �� #�(�%��, �%�.(-1
�� (-�* ��((�%� (-�%(/�+��% �,�������� ;�, ���*.�(- � ���(%�, .���,���(- �0 ?!& �# .�%� �*���� ��� �%�.� �� *�++-�%� *�$*(%�(�* $/ #�(�,�%������-�#���, ��+��% �+�*�(��� ��37�1 4-� *(%���
(�%�, +%�+�%(��* �0 (-� ���* .�%� ����*(���(� �� (-� %�)��(���� *+��(%� .�%� #��*�%� 1
�%��� %�)��(�%* ��##��,/ ���*�*( �0 � 5��%(�%�.��� *(��< �0 �,(�%��(��� -��-��� �2 �� ,�.��� �2,�/�%*1 �� (-�* .�%<� ?&�+��% �,�������� ;�, ���*?&1@ �#;?'1A �# ���(%� �( ?!& �# .�%� �*���� 1�,�������� .�* �*� �* (-� -��-��� �2 �� #�(�%��,��� �, �* (-� ,�.��� �2 �� ���1 4-� (-��<��**�0 5��%(�%�.��� ,�/�% .�* ��,��,�(� $/ ���B�� %�0�%�%��� (� (-� %�0%��(��� �� �2 ����� $/ �%����% �� ��1����
� !��#�(-��< �� ,�/�% .�* �*� �* (-� (�#+,�(�14-� (-��%�(���, %�)��(���� .�* *�#�,�(� �*��� �,�**����, (%��*0�% #�(%�2 #�(-� 4������� .-��- ����* �+��< %�)��(���(/ ���% AAC �� � $�� .� (- 0�,, .� (-�( -�,0 #�2�#�#� =6�� �0 ?! �#1
4-� �,�� ;�, ��� *(%��(�%�* .�%� �%�.��� � !����- &&&D��%���(� *�++-�%� *�$*(%�(� $/��37�1 4-� *�$*(%�(� .�* 9%*( (-�%#�,,/ �,���� �( DD"&Æ3 �� �� �#$���(1 4-�� �� (�#+,�(� .�* �+�*�(� �*��� (-� (.��*(�+ �%�.(- #�(-� 1���� 4-�*�$*(%�(� (�#+�%�(�%� .�* 9%*( �#+� (� "E&Æ3 0�%(-� �+�*�(��� �0 � "&��#�(-��< ,�.�(�#+�%�(�%� �4�� ���,��(��� ,�/�%1 4-�� �( .�* %�#+� �+ (�DD&&Æ3 �,��� .�(- (-� �����,��� +%���**� 0�,,�.� $/ (-� �+�*�(��� �0 � !��#�(-��< -��-�(�#+�%�(�%��4 �� ,�/�%1 8�$*�5���(,/� (-� �,�������� ;�, 5��%(�%�.��� *(��< .�* �+�*�(� �( (-� *�#� (�#+�%��(�%�� .�(- "&�* �%�.(- ��(�%%�+(��� �0(�% ���- ,�/�%14-� �, ��#+�*�(��� &1? .�* ����� $/ ��� ���,/*�*�0 �� �$��( "&&��#�(-��< %�0�%���� �,�� *�#+,��.-��- .�* �%�.� �� �% (-� *�#� ��� �(��� �* (-� �,��� 5��%(�%�.��� ,�/�%*1
� ��������� ����� � ����� ��� � ��� �� �� � ��� ���� ��� ������� �� ���� ����� �� �� �� ��������� ! �� ��� � ���� �� ��� � ������� ����� ���� �� ���� ����� �� �� ��� ���"��#� �� ���"��$"%
�� &� '��( �������������� ������ � ��������) *( ��) ���� �+,��������%��(�����" ������� ����� � ������ �� -.� ��������+ /��
DE?' 0- 1� �2/� �� ��� 3��% ��
4-� *(%��(�%�, +%�+�%(��* �0 (-� ���* .�%� ����*�(���(� $/ �+(���, #��%�*��+/ ��� *������� �,��(%��#��%�*��+/ 8��� �(�#�� 0�%�� #��%�*��+/ �=���� -��- %�*�,�(��� 2�%�/ �F%��(��� �����1 ���)��(���� *+��(%� �0 (-� ���* .�%� #��*�%� �*���� �7�!!&D %���% ��� *+��(%�+-�(�#�(�% .�(- � ��,��$%�(� ��=�����(� �, #�%%�% �� � ��(�%��# ,�#+1
���� �� �*� �����2������� 4��' �� #�2� �� 5����� ����65��7�� �� � ������ ����� ��%
���� �� 5�� �( +� �� �� ����+ � �+� �� ��(���( �� #�2� �� 5����� ����65�� 7�� �� � ������ ����� ��%
4-� .�0�%* �0 (-� �,�� ;�, ��� .�%� �$*�%�� �� �% (-� �+(���, #��%�*��+� �!&&1 �( �* 0%�� �0�%��<* �� (-� #��� �%�� �0 (-� !����- .�0�%*� �2��+(0�% �$��( B## #�%����, %�����1 =���%� D *-�.* �(/+���, 8�� �%�**�*��(��� �#��� �0 (-� ��� *�#+,�*1�( *-�.* %���,�% *(��< �0 �,(�%��(��� ,�/�%* �� ������(�%0���*� (-� ,��-(�% ,�/�%* %�+%�*��(��� �,�� .-�,�(-� �%<�% ���* �, 1 4-� (-��<��** �0 ���- 5��%(�%�.��� +��% .�* #��*�%� (� $� �$��( E& �#1 =����%� ! *-�.* �� �=� �#��� �� � *������� %���� �0!�#�!�#1 �( �2-�$�(* �%�.(- *(�+* �,��%,/� �� ���(���� ��� (.�� �#��*����, !� �%�.(- #� �1 4-�%#* %���-��** �0 (-� *�%0��� �* �* ,�. �* &1!'& �#�(-�* *#��(- ��(�%0���* .�* *+���,�(� 1 8�#� �*,����(��� +�(* .�%� �$*�%�� �� (-� ��*�(/ .�* �*(�#�(�
(� $� @ � D& �#��� .-��- �* ��#+�%�(��� (� ����%�,#���,�/�%��� *�#+,�*1 =���%� ? *-�.* (-� ���*+��(%�# �0 (-� �,�� ;�, ��� �� &&&! �F%���(��� �*��� � � !� *��� #� �1 4-� *(%����*( +��< �(?B1"BÆ ��%%�*+�� * (� (-� �F%��(��� 0%�# �� &&&!(�#+,�(�1 4-� �,��% -��-��% �% *�(�,,�(� +��<* �� ����(� .�,,� �9�� +�%�� ���(/1 ����% ��� (� (-� *+���,���(- �0 (-�*� +��<*� (-� 5��%(�%�.��� +�%�� �* ��,���,�(� (� $� 'A1? �#1 4-� #��*�%� (-��<��** �0 �
5��%(�%�.��� +��% 0%�# 8�� �� ��� �* *�#�.-�(,�%��% (-�� (-� �*���� ��,�� �0 'E1E �#1
���� �� 12� ��8�9 ����� ���+ :����; �� #�2� ��5����� ����65�� 7�� �� � ������ ����� ��%
4-� %�)��(���� *+��(%� �0 (-� �,�� ;�, ���*.�%� #��*�%� � �* *-�.� �� =��1 B1 �( �2-�$�(* �+��< %�)��(���(/ �* -��- �* A?C �( ?D? �#� �� ���%%�. $�� .� (- �0 D? �#1 4-� #��*�%� ���(%�,.���,���(- ?D? �# �* � ,�((,� ����(� 0%�# (-� (�%��(?!& �#� �� ���(��� (-� �+(���, (-��<��** �0 (-� 5��%(�%�.��� +��% �* *,��-(,/ *#�,,�% (-�� �*���� 1 4-� �F*�(�0 (-� ���(%�, .���,���(- ��� $� �,�#���(� $/ 9��(����� �0 (-� ,�/�%* (-��<��**1 4-� *-�%(�.���,���(-� �� �0 (-� ��(�%0�%���� 0%����* !@" �# ��%%�*+�� * (�(-� $�� ��+ �0 �,��������� � �� ���(��� (-� ��(��,�, ��#+�*�(��� �� �,�� ,�/�%* �* ��( ,�** (-�� &1B?1
���� �� �� ����� ��<��� ��� �������( �� #�2� ��5����� ����65�� 7�� �� � ������ ����� ��%
��% � 0- 1� �2/� �� ��� DE?E
�( ��� $� ��0�%%� 0%�# (-� �$��� �*��**��� (-�(�, ��#+�*�(��� �* *,�.���%/��� �( (-� ��(�%0���* �� �(* #���#�# ��,�� �* &1B?� �F�%��( 0%�# (-� (-��<�,�� %�0�%���� *�#+,�1 ���-�% �, ��#+�*�(��� ���,�� ,�/�%* ��%%�*+�� * (� ,�.�% %�0%��(��� �� ���*1�( %�*�,(* �� (-� *#�,,�% �+(���, (-��<��** �0 5��%(�%�.��� +��% �� *+�(� �0 (-� ,�%��% +-/*���, (-��<��**� �� (-�%�0�%� $,�� *-�0( �0 (-� ���(%�, .���,���(-1 8#�,,�%%�0%��(��� �� �2 ���(%�*( �� (� -��-�% �, ��#+�*��(���� �� �%� � %�0%��(��� �� ���* �� (� *,�.���%/�����(�%0���*� ,�.�%� (-� ���(%�, %�)��(���(/ �� �,*� %�� ��� (-� $�� .� (-1
�� *�##�%/� ?&�+��% �,�� ;�, ���* -��� $��� �*���� �� 0�$%���(� $/ ��37� �� *�++-�%� *�$�*(%�(�*1 �( �* 0%�� �0 �%��<* �� (-� #��� �%�� �0 (-�!����- .�0�%* �2��+( 0�% �$��( B## #�%����, %������1 �( *-�.* .�,,� �9�� +�%�� ���(/ $/ ������� ��%/ ,�. *�%0��� %���-��** �0 &1!'& �# $/ �=�1��)��(���� *+��(%�# �0 (-� ��� *�#+,� *-�.* � ����(%�, %�)��(���(/ �0 A?C �( ?D? �# �� � $�� .� (- �0D? �#1 4-� #��*�%� ���(%�, %�)��(���(/ �� $�� �.� (- �%� $�(- *#�,,�% (-�� �*���� � .-��- �* #���,/�((%�$�(� (� (-� -��-�% �, ��#+�*�(��� �� �,�� ,�/��%* �� (-� �%� � %�0%��(��� �� ���* �( ��(�%0���*1
����������
=9> ?������ ? �� � 9 9 ���� �� ����� ��� ���� � ���$
=�> � � @ �� � ���9 ����� ����� ��� � 9��
=#> ?� � � 5 �� � 9 9 ����� ����� ��� �� 9��
=�> �+ A � �� � 9 ����� ����� ��� � 9�#�
=$> / �+�� � �� � 9 ����� ����� ��� � #�9�
=�> �+ A �! ����� B � & 7 �� ��� � � � ���� ����� �����
��� �C9C
="> D ����� ? * �� � ���9 ����� ����� ��� #��$
=C> ����E����F � �� � ���9 ����� ����� ��� � �9#�
= > ����E����F � �� � ���9 ��� ���� � �� �� ����� � 9#
=9�> �����B A � 7 �� � ���9 ����� ���� ������ 5 � C
=99> �����B A � 7 �� � ���� ����� ����� ��� � 9"�
=9�> � � �� � �� � ���# ����� ����� ��� � �
=9#> � ���� 0 � �� � ���$ ����� ���� ������ � ��� �#��
=9�> ��(��� � �� � ���9 ����� ���� ������ 5 �� 9�#
=9$> ?������F� � �� � ���9 ����� ���� ������ 5 � CC9
=9�> ������ � �� � ���� ����� ���� ������ � � �$C
=9"> ?� ����+ ? �� � ���� ����� ���� ������ 5 ��� ��C
=9C> D �+ & �� � ���� ����� ����� ��� � �#
=9 > ������ * �� � ���� ����� ����� ��� �$99�C
=��> ������ ��4 . �� � ���� ����� ����� ��� 9"99�9
=�9> ������� 7 �� � 9 " �� ����� ����� � $� �
=��> 5FF ( � � 5 �� � �� � � � 9 "" ���������� ���
��������� ���� :5(����� () �����2A��� ��;
=�#> 5( �� A �� � 9 C� ����� ����� ��� � #$#
top related