MMÀÀNGNGĐIĐIỆỆNN

GVHD: PGSGVHD: PGS.TS.Lê.TS.Lê Văn HiVăn Hiếếuu

HVTH: NguyHVTH: Nguyễễn Thanh Lâmn Thanh Lâm

HoHoààng Văn Anhng Văn AnhLê HoLê Hoààng Namng Nam

NguyNguyễễn Quang Khn Quang Khảảii

NNóói chung,i chung, cơ ch cơ chếế ddẫẫn đin điệện cn củủa va vậật lit liệệu khu khốối vi vààmmààng mng mỏỏng cng cóó mmộột st sốố nnéét tương đt tương đồồng.ng.

Phương phPhương phááp chup chuẩẩn bn bịị mmààngng

Tuy nhiên, mTuy nhiên, mààng mng mỏỏng cng cóó mmộột st sốố đi điểểm khm kháác vc vớới vi vậật lit liệệu khu khốối li lààm cho nm cho nóó ccóó nhnhữững tng tíínhnhchchấất đit điệện đn đặặc trưng mc trưng màà vvậật lit liệệu khu khốối không ci không cóó. Nh. Nhữững sng sựự khkháác nhau đc nhau đóó llàà::

HiHiệệuu ứứng đing điệện cn cựựcc

MMứức đc độộ liên tliên tụục cc củủa ma mààngng

SSựự ttồồn tn tạại ci củủa hia hiệện tưn tượợng dng dẫẫn đin điệệnn ởởđiđiệện trưn trườờng caong cao

HoHoạạt tt tíính hnh hóóa ha họọc caoc cao

CCáác loc loạại mi mààng vng vàà ccáácc ứứng dng dụụng cng cóóliên quanliên quan

MMààng dng dẫẫn đin điệệnn

MMààng cng cáách đich điệệnn

Linh kiLinh kiệện bn báán dn dẫẫnn

Linh kiLinh kiệệnn ááp đip điệệnn

MMààng dng dẫẫn đin điệện polime hn polime hữữu cơu cơ

MMààng cng cáách đich điệệnn

Mô phMô phỏỏng hong hoạạt đt độộng cng củủa transistora transistorthưthườờng:ng:

http://learnabouthttp://learnabout--electronics.org/Fig316_bjt_operation.swfelectronics.org/Fig316_bjt_operation.swf

Linh kiLinh kiệện bn báán dn dẫẫnn

Linh kiLinh kiệệnn ááp đip điệệnn

Phương phPhương phááp php phúún xn xạạ magnetronmagnetron

TTàài lii liệệu tham khu tham khảảoo

[1]Gi[1]Giááo tro trìình vnh vậật lý mt lý mààng mng mỏỏng, Nguyng, Nguyễễn Hn HữữuuChChíí, N, NXB đXB đạại hi họọc quc quốốc gia TP HCM.c gia TP HCM.

[2]The materials science of thin films, Milton[2]The materials science of thin films, MiltonOhring, Academic Press, 1992.Ohring, Academic Press, 1992.

[3]V[3]Vậật lt líí vvàà kkĩĩ thuthuậật mt mààng mng mỏỏng, Nguyng, NguyễễnnNăng ĐNăng Địịnh, Nhnh, Nhàà xuxuấất bt bảản đn đạại hi họọc quc quốốc gia Hc gia HààNNộội, 2005.i, 2005.