MMÀÀNGNGĐIĐIỆỆNN
GVHD: PGSGVHD: PGS.TS.Lê.TS.Lê Văn HiVăn Hiếếuu
HVTH: NguyHVTH: Nguyễễn Thanh Lâmn Thanh Lâm
HoHoààng Văn Anhng Văn AnhLê HoLê Hoààng Namng Nam
NguyNguyễễn Quang Khn Quang Khảảii
NNóói chung,i chung, cơ ch cơ chếế ddẫẫn đin điệện cn củủa va vậật lit liệệu khu khốối vi vààmmààng mng mỏỏng cng cóó mmộột st sốố nnéét tương đt tương đồồng.ng.
Phương phPhương phááp chup chuẩẩn bn bịị mmààngng
Tuy nhiên, mTuy nhiên, mààng mng mỏỏng cng cóó mmộột st sốố đi điểểm khm kháác vc vớới vi vậật lit liệệu khu khốối li lààm cho nm cho nóó ccóó nhnhữững tng tíínhnhchchấất đit điệện đn đặặc trưng mc trưng màà vvậật lit liệệu khu khốối không ci không cóó. Nh. Nhữững sng sựự khkháác nhau đc nhau đóó llàà::
HiHiệệuu ứứng đing điệện cn cựựcc
MMứức đc độộ liên tliên tụục cc củủa ma mààngng
SSựự ttồồn tn tạại ci củủa hia hiệện tưn tượợng dng dẫẫn đin điệệnn ởởđiđiệện trưn trườờng caong cao
HoHoạạt tt tíính hnh hóóa ha họọc caoc cao
CCáác loc loạại mi mààng vng vàà ccáácc ứứng dng dụụng cng cóóliên quanliên quan
MMààng dng dẫẫn đin điệệnn
MMààng cng cáách đich điệệnn
Linh kiLinh kiệện bn báán dn dẫẫnn
Linh kiLinh kiệệnn ááp đip điệệnn
MMààng dng dẫẫn đin điệện polime hn polime hữữu cơu cơ
MMààng cng cáách đich điệệnn
Mô phMô phỏỏng hong hoạạt đt độộng cng củủa transistora transistorthưthườờng:ng:
http://learnabouthttp://learnabout--electronics.org/Fig316_bjt_operation.swfelectronics.org/Fig316_bjt_operation.swf
Linh kiLinh kiệện bn báán dn dẫẫnn
Linh kiLinh kiệệnn ááp đip điệệnn
Phương phPhương phááp php phúún xn xạạ magnetronmagnetron
TTàài lii liệệu tham khu tham khảảoo
[1]Gi[1]Giááo tro trìình vnh vậật lý mt lý mààng mng mỏỏng, Nguyng, Nguyễễn Hn HữữuuChChíí, N, NXB đXB đạại hi họọc quc quốốc gia TP HCM.c gia TP HCM.
[2]The materials science of thin films, Milton[2]The materials science of thin films, MiltonOhring, Academic Press, 1992.Ohring, Academic Press, 1992.
[3]V[3]Vậật lt líí vvàà kkĩĩ thuthuậật mt mààng mng mỏỏng, Nguyng, NguyễễnnNăng ĐNăng Địịnh, Nhnh, Nhàà xuxuấất bt bảản đn đạại hi họọc quc quốốc gia Hc gia HààNNộội, 2005.i, 2005.