s-4800 简 易 操 作 规 程
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S-4800 简 易 操 作 规 程. Techcomp Lab 电 镜 维 修 部. 开 机 步 骤. 1. 开墙上主机电源电源的开关;. 2. 将仪器后面板处的主电源开关( Main Power )打开,之后按下 Reset 键;. 3. 启动 Evac Power ,等待 TMP 指示正常后顺序打开 IP1 、 IP2 和 IP3 的电源开关,真空启动程序开机结束;. 4. 开启左侧面板 Stage Power ,启动右侧 Display 开关;. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
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S-4800 简 易 操 作 规 程
Techcomp Lab
电 镜 维 修 部
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开 机 步 骤1. 开墙上主机电源电源的开关;
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2. 将仪器后面板处的主电源开关( Main Power )打开,之后按下 Reset 键;
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3. 启动 Evac Power ,等待 TMP 指示正常后顺序打开 IP1 、 IP2 和 IP3 的电源开关,真空启动程序开机结束;
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4. 开启左侧面板 Stage Power ,启动右侧Display 开关;
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5. PC 机自动启动进入 Windows 操作系统,并自动运行 S-4800 操作程序,此时点击OK (没有密码)后自动进入 S-4800 操作软件。
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更 换 样 品 步 骤
一:安装样品步骤:1. 在实验台上事先粘好样品,并用高度规检
测其高度;
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2. 点击样品交换室的 Air 键,当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;
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3. 将样品杆手柄处于 Unlock 位置,把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock 位置;
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4. 轻轻推注样品交换室,点击 Evac 键,抽好真空后点击 Open 键,样品交换室与样品室间的闸门自动打开;
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5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品至于样品台上,旋转手柄至 Unlock ,拉出样品杆,最后点击 Close 关闭阀门,安装样品结束;
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二:取样品步骤:1. 样品检测结束后,关闭高压,点击 Stage
菜单的 Home 图标使样品归位;
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2. 点击样品交换室处的 Open 键,推进样品杆将香蕉头插入至样品基座,旋转手柄至Lock 位置;
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3. 轻轻的拉出样品杆,点击 Close 键,闸门关闭后点击 Air 键,待样品室放气后轻轻拉开样品交换室,旋转手柄至 Unlock 位置,取下样品基座,结束取样品工作。
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操 作 步 骤1. 打开 Flashing 菜单并执行强度 2 ,直到
Ie=30 ~ 40uA ;
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2. 选择合适的加速电压,并点击 HV ON ,当操作过程中 Ie≤60% 设定值时,点击 Set使其恢复至设定值;
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3. 电气合轴调整: 1 )打开 Alignment 菜单,点击 Beam Align
通过操作面板上的 X 、 Y 旋钮调整光斑到中心;
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2 )暂时选 Off 关闭 Beam Align 对话框,通过 Focus 大致调整图像,再选择 Aperture Align 通过操作面板上的 X 、 Y 旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动;
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3 )再选择 Stigma Align X通过操作面板上的 X 、 Y 旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动,同样方法调整 Stigma Align Y;
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4. 选择L- Mag 模式,配合轨迹球大致找到要观察的样品;
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5. 转换到 H-Mag 模式 , 通过调整 Mag 增大倍数,并同时通过 Focus 调整图像达清晰;
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6. 进一步增大 Mag 至超过自己想要的放大倍数,细聚焦调整并通过 Stiga 消除像散,使图像达至最清晰;
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7. 将 Mag 调到实际放大倍数,点击 M 图标暂存图像,之后关闭高压结束此样品检测。
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关 机 步 骤1. 点击 Stage Home 样品归位后,取出样品;
点软件右上角 X ,退出软件,正常关机显示器出现黑屏后关闭 Display 开关。
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烘 烤 步 骤1. 关掉高压,取下电子枪上的两个固定螺丝;
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2. 轻轻的取下高压电缆,将取下的枪头放于侧面的支架上;
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3. 检查镜筒是否干净,安装内外烘烤的电源线;
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4. 盖好相应的传感器的罩子;
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5. 通过面板处选择 Bake 设定内外烘烤的时间,根据自己的时间情况设定如Ou12 , In8 ; Ou 24 , In12 ;等等(注意 Ou≥In )之后点击 Start 开始烘烤;
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6. 烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却 6小时;
7. 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装入镜筒;
8. 开机执行 Flashing ,先 F1 0 ~10uA 、 F2 30 ~ 40uA、 F3 50 ~60uA 最后再调回到 F2 。
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取 样 品 步 骤1. 关掉高压,并样品台归位;
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2. 关闭 Aperture 从 Heat 到 Off ,等待 30分钟;
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3. 关闭 Display 和 Stage 的开关,按住面板处 Air 键 2 ~ 5秒钟;
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4. 等待破真空后,取下固定样品室的 4 个内六角螺丝;
I型:拆下相连接的信号线,小心的取下样品台;
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II型:接上轨道延长杆将样品台缓缓滑出;
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5. 戴上手套进入样品室取出样品;
6. 将样品台和线等复原,点击 Evac 抽真空,待真空抽好后将 Aperture 再开始加热;
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日 常 维 护 保 养1. 清洗冷却循环水过滤网;
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2. 空压机放水;
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3. 检测 RP泵油液面;