Опции

Прогрев рабочей камеры. Чиллер автономный Кластерная конфигурация до четырех модулей с загрузкой из кассеты в кассету.

Ручной загрузочный шлюз для кластерного перегрузчика.

Адрес 124460, г.Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1 ООО «ЭСТО-Вакуум»

Телефон тел./факс: +7 (499) 710-6000, +7 (499) 710-6011, +7 (499) 729-7910, +7 (499) 729-8001

E-Mail marketing@esto-vacuum.ru

Конфигурация

Установка плазмохимического травления с загрузочным шлюзом, реактором, системой вакуумной откачки, генератором плазмы, рабочим столом для подложек до 200мм, системой управления. Генератор плазмы высокой плотности с ВЧ генератором мощностью 1000 Вт и автоматическим согласующим устройством. Рабочий стол с механическим (гравитационным) прижимом, водяным охлаждением, подачей гелия под подложку, ВЧ генератором мощностью 1000 Вт и автоматическим согласующим устройством. До 8 линий подачи рабочих газов. Чиллер (вода-вода). Система автоматического управления на основе Windows и SCADA. Автоматическое протоколирование всех данных каждого технологического процесса.

Удаленный доступ для контроля и

управления.

Информация для заказа

Irida PE21 Установка плазмохимического травления с системой шлюзовой загрузки

Irida PE21K Модуль плазмохимического травления для интеграции в кластерную установку

MAXIMA 2600 Четырехпортовая перегрузочная система с двумя кассетными станциями

Габаритные

размеры

установки

Irida PE21

www.esto-vacuum.ru

Irida PE21

Эксплуатационные требования

Потребляемая мощность: 3х380 V ± 5%, 32A/phase, 50 Hz/ 60 Hz, N, G

Сжатый воздух 6 кг/см2

Азот 2 кг/см2 25 литров на процесс

Охлаждающая вода 3-4 кг/см2, 12 л/мин

Выхлоп DN 40 KF (рабочие газы) D 80 мм (газовый шкаф)

Irida

Установка плазмохимического травления Irida PE21

Установка Irida PE21 предназначена для плазмохимического травления подложек диаметром до 200мм. Irida PE21 обеспечивает травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевые подложки, пьезокварц со скоростями до 1 мкм/мин с хорошим качеством поверхности на глубину более 250 мкм. Травление арсенида галлия, нитрида галлия, и других сложных полупроводников. Травление алюминия, меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением Благодаря тонкому разделительному кварцевому стеклу, электромагнитной резонансной системе и системе магнитной изоляции плазмы генератор плазмы спирального типа имеет высокий коэффициент преобразования энергии, что позволяет использовать ВЧ генератор относительно небольшой мощности и обеспечивает горение плазмы как на высоких, так и на низких давлениях. Irida PE21 может использоваться как одиночная установка, оснащенная шлюзовым устройством с поштучной загрузкой подложек, так и в составе кластерного комплекса, содержащего до 4 технологических модулей и систему загрузки из кассеты в кассету. Irida PE21 оснащена встроенными лифтами для верхней и нижней крышек рабочей камеры для удобства обслуживания. Все электрооборудование Irida PE21 размещено на технологическом агрегате, что упрощает монтаж-демонтаж установки, повышает надежность и удобство размещения на предприятии.

Служба сервиса «Эсто-Вакуум» Обеспечивается три уровня поддержки:

постоянно действующая он-лайн техподдержка;

обслуживание установки через удаленный доступ;

выезд сервис-инженера на предприятие заказчика.

Служба сервиса имеет собственный склад запасных частей для быстрой замены в случае необходимости. Гарантийное обслуживание осуществляется в соответствии с договором поставки. Послегарантийное обслуживание осуществляется по дополнительным договорам или по разовым заказам.

Система управления

Установка

плазмохимического

травления Irida PE21

от ЭСТО-Вакуум

Операторский вид

Инженерный вид

Irida PE21 в составе кластерного комплекса

Система управления. Полностью автоматическая. Гибкая система технологического программирования. Четыре уровня распределения прав доступа. Два вида интерфейса: операторский (простой) и инженерный. Режим редактирования параметров во время выполнения программы. Автоматическое архивирование всех параметров каждого технологического процесса в цифровом и графическом виде, в том числе данных журнала операций и предупреждений и самой технологической программы. Развитая система самодиагностики и раннего предупреждения. Модем сотовой связи, укомплектованный корпоративной СИМ-картой ЭСТО-Вакуум для обеспечения удаленного доступа.

Травление монокристалического кремния на глубину 12мкм

Травление пьезокварца

глубина 250 мкм Травление SiC глубина 250 мкм скорость 0,42 мкм/мин

Травление SiC глубина 250 мкм cкорость 0,2 мкм/мин