半導体工学Ⅰ - ehime universityakitsu.ee.ehime-u.ac.jp/lect/semi1_01.pdf ·...
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半導体工学Ⅰ
白方 祥
シリコン単結晶の結晶成長（引き上げ法）
シリコン単結晶の結晶成長（引き上げ法）
CＺ法によるシリコン単結晶
クリーンルーム
クリーンルーム内部
イオン注入機
電子線描画装置
ステッパーシリコンウエハーにパターンを描画
太陽光発電所
ＧａＡｓを用いた半導体レーザ赤外光で発振
ＩｎＧａＡｌＰを用いた赤色半導体レーザ
ＩｎＧａＮ半導体レーザ最近ではブルーレイ
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