常用流量 s-labo b1シリーズ - 日酸tanaka株式...
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S1ー1VRー□G□GーB1N1B1ー1NRー□G□GーB1N1
P2 MPa P2-Q10.90.80.70.60.50.40.30.20.1
0 300200100 400
GAS:N2P1:10MPaP1:3.0MPaP1:1.5MPa
常用流量
Q L/min(nor) Q L/min(nor)
0.2
0.15
0.1
0.05
0 15010050 200
GAS:N2P1:10MPaP1:3.0MPaP1:1.5MPa
常用流量
P2-QP2 MPa
流量特性
外観図B1 S1
分子量 H NEN VOリング記号ガス 化学式
シリーズ名
亜酸化窒素アセチレンアルゴンアンモニア一酸化炭素一酸化窒素エタンエチレン塩化エチル混合ガス塩化水素塩化ビニル混合ガス塩化メチル混合ガス塩素キセノン空気クリプトン酸化エチレン酸素シクロプロパン混合ガス臭化エチル混合ガス臭化水素混合ガス臭化メチル混合ガス水素窒素二酸化硫黄二酸化炭素二酸化窒素混合ガスネオン1,3-ブタジエンiブタンnブタンブテンプロパジエン混合ガスプロパンプロピレンフロン11フロン12フロン13フロン13B1アセトアルデヒド混合ガスメタンチオール混合ガスジメチルエーテル混合ガスメチルアミン混合ガスフロン14フロン21フロン22フロン23ヘキサン混合ガスヘキセン混合ガスヘリウムペンタン混合ガスメタンメチルアセチレン混合ガス硫化カルボニル混合ガス硫化水素六フッ化硫黄
N2OC2H2
ArNH3
CONOC2H6
C2H4
C2H5ClHClCH2=CHClCH3ClCl2Xe-KrC2H4OO2
C3H6
C2H5BrHBrCH3BrH2
N2
SO2
CO2
N2O4(NO2)NeCH2=CHCH=CH2
CH(CH3)3CH3(CH2)2CH3
CH3CH2CH=CH2
CH2=C=CH2
C3H8
CH2=CHCH3
CCl3FCCl2F2CClF3CBrF3CH3CHOCH3SHCH3OCH3
CH3NH2
CF4CHCl2FCHClF2CHF3C6H14
C6H12
HeCH3(CH2)2CH3
CH4
CH3C=CHCOSH2SSF6
44.0126.0439.9517.0328.0130.0130.0728.0554.5236.4762.5050.4970.91131.2928.9783.8044.0532.0042.08108.9790.9194.942.0228.0164.0644.0146.0120.1854.0958.1258.1256.1140.0744.0142.08137.40120.90104.46148.9144.1048.1046.1031.1088.00102.9286.4870.0186.2084.164.0072.1516.0440.0660.0734.08146.05
●3
●●3
●
●
●
●●1
●3
●1,3
●
●●●
●●
●●
●1
●●●
●●
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●1,3●
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●3
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●●●
●●●2
●2
●●
●1
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●●
●1
●●●●●1
●●
●●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガス に使用する場合はお問い合わせください。
ガス別選定表
。すまいてし味意をブルバルド一二は』VN『、)ンョシプオ(ブルバジーパは』VP『 ●● 流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。● 出口継手がM16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2種類 ) が付属します。● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。 但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、 本体材質に関係無くステンレス製となります。● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。 高圧ガス保安法への対応をお願いします。● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法 で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて 別途設置してください。
ご注意
11 R G
Oリング材質( 右記選定表参照 )
E EPDMH NBR( ハイカ )N CR( ネオプレン )V FKM( バイトン )
入口側圧力計最大目盛
1 25MPa2 15MPa
本体材質B BsS SUS
出口側圧力計最大目盛
5 1.5MPa6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
出口側圧力計
C 連成計付G 圧力計付
入口接続
101112131415161718191A
P1P2P5P6
PV 付W22-14 右メスPV付W22-14 左メスPV付 CGA350 メスPV 付 20.9-14 左メス
B1B2B5B6
W22-14 右メスW22-14 左メスCGA350 メス20.9-14 左メス
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック4mmスウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
その他仕様オプション
01 ステンレス圧力計(Bsのみ。アセチレン用)02 亜酸化窒素ガス用03 硫化水素ガス用(SUSのみ)
00 ヘリウムリークテスト実施(オプション)
出口接続
101112131415161718191A
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック4mmスウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
N0N1N2N3N4N5N6N7N8N9
NV 付 NPT1/4 メスNV付M16×1.5 右オスNV付M16×1.5 左オス
NV付 1/8” スウェージロックNV付 1/4” スウェージロックNV付 4mmスウェージロックNV付 6mmスウェージロック
NV付 1/4”VCR オスNV付 1/4”VCR メス
NV付 Rc1/4(アダプタ)NA NV 付 3/8” スウェージロック
SUSF80F81F82
F83F84F85
F86F87F88
F89F90F91
F92F93F94F95F96F97F98
使用ガスアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアンモニアアンモニアアンモニア酸素酸素水素水素水素水素窒素窒素窒素窒素窒素
二酸化硫黄二酸化硫黄二酸化硫黄ヘリウムヘリウム硫化水素硫化水素
レンジ(L/min(nor))0.05~0.50.1~10.5~51.5~152.5~250.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.1~10.5~51~10
0.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.05~0.50.1~10.5~50.3~31~100.1~10.5~5
Bs
F61F62F63F64
F65F66F67F68F69F70
F71F72F73F74
F76F77
流量計(オプション)
④-⑤ 出口側圧力計 ③ 入口側圧力計
⑦ 出口継手 ⑥ 入口継手
② 排出弁
品名構成
2.5~25
本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L他/C3604・フッ素樹脂
0.5~150.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.61.5MPa計:0.02~1.0
約1.4kg(B1-1NR-1G5G-B1N1)
250P1=10MPa、P2=1MPaの時
0.2L/min(nor)以下の場合は B2-1をご使用ください。
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)使用圧力範囲MPa
● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く)● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。
S1-1VR-1G5G-B1N1
B1-1NR-1G5G-B1N1※ 入口側の最高使用圧力が15MPaを超える場合は、お問い合わせください。
本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L他/SUS316・フッ素樹脂
0.5~150.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.61.5MPa計:0.02~1.0
約1.6kg(S1-1VR-1G5G-B1N1)
250P1=10MPa、P2=1MPaの時
0.2L/min(nor)以下の場合は S2-1をご使用ください。
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)使用圧力範囲MPa
※ 入口側の最高使用圧力が15MPaを超える場合は、お問い合わせください。
B-1
特 長
仕 様
仕 様
高圧用
標準ガス・高純度ガス用圧力調整器
真鍮製
S-LABO B1シリーズ
ステンレス製
S-LABO S1シリーズ
■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
■パージバルブ 毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の 残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO調整器ファミリー
■ BL、SL シリーズ
一次側低圧用に最適化された調整器です。
充填圧や蒸気圧の低いガスのボンベに取り付ける場合や、アウトレットパネルへの組み込みに最適です。
重量わずか 650g 以下の小型、軽量の調整器です。
内容積も小さいので、デッドスペースを極限まで小さく出来ます。
二段減圧構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどありません。
0.2L/min(nor) 以下の小流量供給にも最適です。
本体材質に耐食性の高いモネルを採用し、高腐食性のガスでの仕様に対応した調整器です。
腐食性の高さから SUS でも使用できない場合に最適です。
■ B2、S2 シリーズ
■ 0 シリーズ
■ Mシリーズ
アクセサリ
ラインアップ
産業機材事業部 制御機器営業部http://nissantanaka.com
本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。
ご注意 正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。!
R-148A ‘17.08 pdf①
ガス別選定表
ご注意※1 2.5MPa 以上の圧力計は連成計として製作は出来ません。※2 入口側の圧力計が「未加工」かつ「排出弁付」の場合、④⑤の選定は
。すまりなとaPM5は力圧用使高最の時のこ、おな。すまりなと」X3「 。すまいてし味意をブルバルド一二は』VN『、)ンョシプオ(ブルバジーパは』VP『 3※
流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。 出口継手がM16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2種類 ) が付属します。● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。 但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、 本体材質に関係無くステンレス製となります。● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。 高圧ガス保安法への対応をお願いします。● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法 で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて 別途設置してください。
1L
Oリング材質( 右記選定表参照 )
E EPDMH NBR( ハイカ )N CR( ネオプレン )V FKM( バイトン )X Oリング無し
入口側圧力計最大目盛※1 ※2
3 5.0MPa4 2.5MPa
入口側圧力計
5 1.5MPa6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
C 連成計付G 圧力計付
X 未加工
本体材質B BsS SUS
出口側圧力計最大目盛
6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
出口側圧力計
C 連成計付G 圧力計付
5 1.5MPa
入口接続 ※3P1P2P3B1B2B3B71011121314161718191A
PV 付W22-14 右メスPV付W22-14 左メスPV付W26-14 右メスW22-14 右メスW22-14 左メスW26-14 右メスW22.5-14 左オスNPT1/4 メス
M16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
排出弁
排出弁有未加工
RX
6mmスウェージロックその他仕様オプション
01 ステンレス圧力計(Bsのみ。アセチレン用)02 亜酸化窒素ガス用03 硫化水素ガス用(SUSのみ)
00 ヘリウムリークテスト実施(オプション)
SUSF80F81F82
F83F84F85
F86F87F88
F89F90F91
F92F93F94F95F96F97F98
使用ガスアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアンモニアアンモニアアンモニア酸素酸素水素水素水素水素窒素窒素窒素窒素窒素
二酸化硫黄二酸化硫黄二酸化硫黄ヘリウムヘリウム硫化水素硫化水素
レンジ(L/min(nor))0.05~0.50.1~10.5~51.5~152.5~250.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.1~10.5~51~10
0.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.05~0.50.1~10.5~50.3~31~100.1~10.5~5
Bs
F61F62F63F64
F65F66F67F68F69F70
F71F72F73F74
F76F77
流量計(オプション)
出口接続 ※31011121314161718191AN0N1N2N3N4N6N7N8N9
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロックNV付 NPT1/4 メス
NV付M16×1.5 右オスNV付M16×1.5 左オス
NV付 1/8” スウェージロックNV付 1/4” スウェージロックNV付 6mmスウェージロック
NV付 1/4”VCR オスNV付 1/4”VCR メス
NV付 Rc1/4(アダプタ)NA NV 付 3/8” スウェージロック
分子量 H NEN VOリング記号ガス 化学式
シリーズ名 BL SL
亜酸化窒素アセチレンアルゴンアンモニア一酸化炭素一酸化窒素エタンエチレン塩化エチル混合ガス塩化水素塩化ビニル混合ガス塩化メチル混合ガス塩素キセノン空気クリプトン酸化エチレン酸素シクロプロパン混合ガス臭化エチル混合ガス臭化水素混合ガス臭化メチル混合ガス水素窒素二酸化硫黄二酸化炭素二酸化窒素混合ガスネオン1,3-ブタジエンiブタンnブタンブテンプロパジエン混合ガスプロパンプロピレンフロン11フロン12フロン13フロン13B1アセトアルデヒド混合ガスメタンチオール混合ガスジメチルエーテル混合ガスメチルアミン混合ガスフロン14フロン21フロン22フロン23ヘキサン混合ガスヘキセン混合ガスヘリウムペンタン混合ガスメタンメチルアセチレン混合ガス硫化カルボニル混合ガス硫化水素六フッ化硫黄
N2OC2H2
ArNH3
CONOC2H6
C2H4
C2H5ClHClCH2=CHClCH3ClCl2Xe-KrC2H4OO2
C3H6
C2H5BrHBrCH3BrH2
N2
SO2
CO2
N2O4(NO2)NeCH2=CHCH=CH2
CH(CH3)3CH3(CH2)2CH3
CH3CH2CH=CH2
CH2=C=CH2
C3H8
CH2=CHCH3
CCl3FCCl2F2CClF3CBrF3CH3CHOCH3SHCH3OCH3
CH3NH2
CF4CHCl2FCHClF2CHF3C6H14
C6H12
HeCH3(CH2)2CH3
CH4
CH3C=CHCOSH2SSF6
44.0126.0439.9517.0328.0130.0130.0728.0554.5236.4762.5050.4970.91131.2928.9783.8044.0532.0042.08108.9790.9194.942.0228.0164.0644.0146.0120.1854.0958.1258.1256.1140.0744.0142.08137.40120.90104.46148.9144.1048.1046.1031.1088.00102.9286.4870.0186.2084.164.0072.1516.0440.0660.0734.08146.05
●3
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Mシリーズをご使用ください。
Mシリーズをご使用ください。
Mシリーズをご使用ください。
●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガス に使用する場合はお問い合わせください。
⑥-⑦ 出口側圧力計 ④-⑤ 入口側圧力計
⑨ 出口継手 ⑧ 入口継手
②-③ 排出弁
品名構成
2.5~25
SLー1XXー5X□Gー1414BLー1XXー5X□Gー1414
P2 MPa P2-Q
Q L/min(nor) Q L/min(nor)
P2-QP2 MPa
GAS:N2P1:1.0MPaP1:0.7MPaP1:0.5MPa
GAS:N2P1:1.0MPaP1:0.7MPaP1:0.5MPa
常用流量 常用流量
流量特性
外観図
■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
■ パージバルブ 毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の 残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO調整器ファミリー
■ B1、S1 シリーズ
重量わずか 650g 以下の小型、軽量の調整器です。
内容積も小さいので、デッドスペースを極限まで小さく出来ます。
二段減圧構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどありません。
0.2L/min(nor) 以下の小流量供給にも最適です。
本体材質に耐食性の高いモネルを採用し、高腐食性のガスでの仕様に対応した調整器です。
腐食性の高さから SUS でも使用できない場合に最適です。
■ B2、S2 シリーズ
■ 0 シリーズ
■ Mシリーズ
一次側高圧用の機種であり、S-LABOの中で最もスタンダードな調整器です。
ボンベ直結だけでなく、高純度ガスパネルやマニホールドへの組み込みなどにもご使用いただいております。
アクセサリ
ラインアップ
制御機器事業部 営業部http://nissantanaka.com
本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。
ご注意 正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。!
R-149A ‘17.08 pdf①
● 多種類のガスに対応するため、本体材質に真鍮製とSUS製をラインアップ。 ● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く)● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。
SL-1XX-5X6G-1414
BL-1XX-5X8G-1414
本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L他/C3604・フッ素樹脂
0.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.6
約1.2kg(BL-1XX-5X8G-1414)
260P1=1MPa、P2=0.6MPaの時
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)
使用圧力範囲MPa
※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。
安全弁無安全弁付
0.05~10.05~5
本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L他/SUS316・フッ素樹脂
0.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.6
約1.5kg(SL-1XX-5X6G-1414)
260P1=1MPa、P2=0.6MPaの時
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)
使用圧力範囲MPa
※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。
安全弁無安全弁付
0.05~10.05~5
特 長
B-2
仕 様
仕 様
低圧用
標準ガス・高純度ガス用圧力調整器
真鍮製
S-LABO BLシリーズ
ステンレス製
S-LABO SLシリーズ
S1ー1VRー□G□GーB1N1B1ー1NRー□G□GーB1N1
P2 MPa P2-Q10.90.80.70.60.50.40.30.20.1
0 300200100 400
GAS:N2P1:10MPaP1:3.0MPaP1:1.5MPa
常用流量
Q L/min(nor) Q L/min(nor)
0.2
0.15
0.1
0.05
0 15010050 200
GAS:N2P1:10MPaP1:3.0MPaP1:1.5MPa
常用流量
P2-QP2 MPa
流量特性
外観図B1 S1
分子量 H NEN VOリング記号ガス 化学式
シリーズ名
亜酸化窒素アセチレンアルゴンアンモニア一酸化炭素一酸化窒素エタンエチレン塩化エチル混合ガス塩化水素塩化ビニル混合ガス塩化メチル混合ガス塩素キセノン空気クリプトン酸化エチレン酸素シクロプロパン混合ガス臭化エチル混合ガス臭化水素混合ガス臭化メチル混合ガス水素窒素二酸化硫黄二酸化炭素二酸化窒素混合ガスネオン1,3-ブタジエンiブタンnブタンブテンプロパジエン混合ガスプロパンプロピレンフロン11フロン12フロン13フロン13B1アセトアルデヒド混合ガスメタンチオール混合ガスジメチルエーテル混合ガスメチルアミン混合ガスフロン14フロン21フロン22フロン23ヘキサン混合ガスヘキセン混合ガスヘリウムペンタン混合ガスメタンメチルアセチレン混合ガス硫化カルボニル混合ガス硫化水素六フッ化硫黄
N2OC2H2
ArNH3
CONOC2H6
C2H4
C2H5ClHClCH2=CHClCH3ClCl2Xe-KrC2H4OO2
C3H6
C2H5BrHBrCH3BrH2
N2
SO2
CO2
N2O4(NO2)NeCH2=CHCH=CH2
CH(CH3)3CH3(CH2)2CH3
CH3CH2CH=CH2
CH2=C=CH2
C3H8
CH2=CHCH3
CCl3FCCl2F2CClF3CBrF3CH3CHOCH3SHCH3OCH3
CH3NH2
CF4CHCl2FCHClF2CHF3C6H14
C6H12
HeCH3(CH2)2CH3
CH4
CH3C=CHCOSH2SSF6
44.0126.0439.9517.0328.0130.0130.0728.0554.5236.4762.5050.4970.91131.2928.9783.8044.0532.0042.08108.9790.9194.942.0228.0164.0644.0146.0120.1854.0958.1258.1256.1140.0744.0142.08137.40120.90104.46148.9144.1048.1046.1031.1088.00102.9286.4870.0186.2084.164.0072.1516.0440.0660.0734.08146.05
●3
●●3
●
●
●
●●1
●3
●1,3
●
●●●
●●
●●
●1
●●●
●●
●
●●●
●●●●●●
●
●1,3●
●
●
●
●
●●●●
●
●3
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●
●
●●●●1
●
●●
●●●
●●●2
●2
●●
●1
●●●●●●●●●●
●●
●1
●●●●●1
●●
●●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガス に使用する場合はお問い合わせください。
ガス別選定表
。すまいてし味意をブルバルド一二は』VN『、)ンョシプオ(ブルバジーパは』VP『 ●● 流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。● 出口継手がM16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2種類 ) が付属します。● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。 但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、 本体材質に関係無くステンレス製となります。● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。 高圧ガス保安法への対応をお願いします。● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法 で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて 別途設置してください。
ご注意
11 R G
Oリング材質( 右記選定表参照 )
E EPDMH NBR( ハイカ )N CR( ネオプレン )V FKM( バイトン )
入口側圧力計最大目盛
1 25MPa2 15MPa
本体材質B BsS SUS
出口側圧力計最大目盛
5 1.5MPa6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
出口側圧力計
C 連成計付G 圧力計付
入口接続
101112131415161718191A
P1P2P5P6
PV 付W22-14 右メスPV付W22-14 左メスPV付 CGA350 メスPV 付 20.9-14 左メス
B1B2B5B6
W22-14 右メスW22-14 左メスCGA350 メス20.9-14 左メス
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック4mmスウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
その他仕様オプション
01 ステンレス圧力計(Bsのみ。アセチレン用)02 亜酸化窒素ガス用03 硫化水素ガス用(SUSのみ)
00 ヘリウムリークテスト実施(オプション)
出口接続
101112131415161718191A
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック4mmスウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
N0N1N2N3N4N5N6N7N8N9
NV 付 NPT1/4 メスNV付M16×1.5 右オスNV付M16×1.5 左オス
NV付 1/8” スウェージロックNV付 1/4” スウェージロックNV付 4mmスウェージロックNV付 6mmスウェージロック
NV付 1/4”VCR オスNV付 1/4”VCR メス
NV付 Rc1/4(アダプタ)NA NV 付 3/8” スウェージロック
SUSF80F81F82
F83F84F85
F86F87F88
F89F90F91
F92F93F94F95F96F97F98
使用ガスアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアンモニアアンモニアアンモニア酸素酸素水素水素水素水素窒素窒素窒素窒素窒素
二酸化硫黄二酸化硫黄二酸化硫黄ヘリウムヘリウム硫化水素硫化水素
レンジ(L/min(nor))0.05~0.50.1~10.5~51.5~152.5~250.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.1~10.5~51~10
0.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.05~0.50.1~10.5~50.3~31~100.1~10.5~5
Bs
F61F62F63F64
F65F66F67F68F69F70
F71F72F73F74
F76F77
流量計(オプション)
④-⑤ 出口側圧力計 ③ 入口側圧力計
⑦ 出口継手 ⑥ 入口継手
② 排出弁
品名構成
2.5~25
本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L他/C3604・フッ素樹脂
0.5~150.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.61.5MPa計:0.02~1.0
約1.4kg(B1-1NR-1G5G-B1N1)
250P1=10MPa、P2=1MPaの時
0.2L/min(nor)以下の場合は B2-1をご使用ください。
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)使用圧力範囲MPa
● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く)● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。
S1-1VR-1G5G-B1N1
B1-1NR-1G5G-B1N1※ 入口側の最高使用圧力が15MPaを超える場合は、お問い合わせください。
本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L他/SUS316・フッ素樹脂
0.5~150.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.61.5MPa計:0.02~1.0
約1.6kg(S1-1VR-1G5G-B1N1)
250P1=10MPa、P2=1MPaの時
0.2L/min(nor)以下の場合は S2-1をご使用ください。
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)使用圧力範囲MPa
※ 入口側の最高使用圧力が15MPaを超える場合は、お問い合わせください。
B-1
特 長
仕 様
仕 様
高圧用
標準ガス・高純度ガス用圧力調整器
真鍮製
S-LABO B1シリーズ
ステンレス製
S-LABO S1シリーズ
■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
■パージバルブ 毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の 残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO調整器ファミリー
■ BL、SL シリーズ
一次側低圧用に最適化された調整器です。
充填圧や蒸気圧の低いガスのボンベに取り付ける場合や、アウトレットパネルへの組み込みに最適です。
重量わずか 650g 以下の小型、軽量の調整器です。
内容積も小さいので、デッドスペースを極限まで小さく出来ます。
二段減圧構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどありません。
0.2L/min(nor) 以下の小流量供給にも最適です。
本体材質に耐食性の高いモネルを採用し、高腐食性のガスでの仕様に対応した調整器です。
腐食性の高さから SUS でも使用できない場合に最適です。
■ B2、S2 シリーズ
■ 0 シリーズ
■ Mシリーズ
アクセサリ
ラインアップ
産業機材事業部 制御機器営業部http://nissantanaka.com
本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。
ご注意 正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。!
R-148A ‘17.08 pdf①
ガス別選定表
ご注意※1 2.5MPa 以上の圧力計は連成計として製作は出来ません。※2 入口側の圧力計が「未加工」かつ「排出弁付」の場合、④⑤の選定は
。すまりなとaPM5は力圧用使高最の時のこ、おな。すまりなと」X3「 。すまいてし味意をブルバルド一二は』VN『、)ンョシプオ(ブルバジーパは』VP『 3※
流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。 出口継手がM16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2種類 ) が付属します。● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。 但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、 本体材質に関係無くステンレス製となります。● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。 高圧ガス保安法への対応をお願いします。● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法 で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて 別途設置してください。
1L
Oリング材質( 右記選定表参照 )
E EPDMH NBR( ハイカ )N CR( ネオプレン )V FKM( バイトン )X Oリング無し
入口側圧力計最大目盛※1 ※2
3 5.0MPa4 2.5MPa
入口側圧力計
5 1.5MPa6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
C 連成計付G 圧力計付
X 未加工
本体材質B BsS SUS
出口側圧力計最大目盛
6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
出口側圧力計
C 連成計付G 圧力計付
5 1.5MPa
入口接続 ※3P1P2P3B1B2B3B71011121314161718191A
PV 付W22-14 右メスPV付W22-14 左メスPV付W26-14 右メスW22-14 右メスW22-14 左メスW26-14 右メスW22.5-14 左オスNPT1/4 メス
M16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
排出弁
排出弁有未加工
RX
6mmスウェージロックその他仕様オプション
01 ステンレス圧力計(Bsのみ。アセチレン用)02 亜酸化窒素ガス用03 硫化水素ガス用(SUSのみ)
00 ヘリウムリークテスト実施(オプション)
SUSF80F81F82
F83F84F85
F86F87F88
F89F90F91
F92F93F94F95F96F97F98
使用ガスアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアンモニアアンモニアアンモニア酸素酸素水素水素水素水素窒素窒素窒素窒素窒素
二酸化硫黄二酸化硫黄二酸化硫黄ヘリウムヘリウム硫化水素硫化水素
レンジ(L/min(nor))0.05~0.50.1~10.5~51.5~152.5~250.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.1~10.5~51~10
0.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.05~0.50.1~10.5~50.3~31~100.1~10.5~5
Bs
F61F62F63F64
F65F66F67F68F69F70
F71F72F73F74
F76F77
流量計(オプション)
出口接続 ※31011121314161718191AN0N1N2N3N4N6N7N8N9
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロックNV付 NPT1/4 メス
NV付M16×1.5 右オスNV付M16×1.5 左オス
NV付 1/8” スウェージロックNV付 1/4” スウェージロックNV付 6mmスウェージロック
NV付 1/4”VCR オスNV付 1/4”VCR メス
NV付 Rc1/4(アダプタ)NA NV 付 3/8” スウェージロック
分子量 H NEN VOリング記号ガス 化学式
シリーズ名 BL SL
亜酸化窒素アセチレンアルゴンアンモニア一酸化炭素一酸化窒素エタンエチレン塩化エチル混合ガス塩化水素塩化ビニル混合ガス塩化メチル混合ガス塩素キセノン空気クリプトン酸化エチレン酸素シクロプロパン混合ガス臭化エチル混合ガス臭化水素混合ガス臭化メチル混合ガス水素窒素二酸化硫黄二酸化炭素二酸化窒素混合ガスネオン1,3-ブタジエンiブタンnブタンブテンプロパジエン混合ガスプロパンプロピレンフロン11フロン12フロン13フロン13B1アセトアルデヒド混合ガスメタンチオール混合ガスジメチルエーテル混合ガスメチルアミン混合ガスフロン14フロン21フロン22フロン23ヘキサン混合ガスヘキセン混合ガスヘリウムペンタン混合ガスメタンメチルアセチレン混合ガス硫化カルボニル混合ガス硫化水素六フッ化硫黄
N2OC2H2
ArNH3
CONOC2H6
C2H4
C2H5ClHClCH2=CHClCH3ClCl2Xe-KrC2H4OO2
C3H6
C2H5BrHBrCH3BrH2
N2
SO2
CO2
N2O4(NO2)NeCH2=CHCH=CH2
CH(CH3)3CH3(CH2)2CH3
CH3CH2CH=CH2
CH2=C=CH2
C3H8
CH2=CHCH3
CCl3FCCl2F2CClF3CBrF3CH3CHOCH3SHCH3OCH3
CH3NH2
CF4CHCl2FCHClF2CHF3C6H14
C6H12
HeCH3(CH2)2CH3
CH4
CH3C=CHCOSH2SSF6
44.0126.0439.9517.0328.0130.0130.0728.0554.5236.4762.5050.4970.91131.2928.9783.8044.0532.0042.08108.9790.9194.942.0228.0164.0644.0146.0120.1854.0958.1258.1256.1140.0744.0142.08137.40120.90104.46148.9144.1048.1046.1031.1088.00102.9286.4870.0186.2084.164.0072.1516.0440.0660.0734.08146.05
●3
●●3
●
●
●
●●1
●3
●3
●
●●●
●●
●●
●
●●●
●●
●
●●●
●●●●●●
●3
●3
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●
●3
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●
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●●●●●
●●
●●●
●●●2
●2
●●
●●●●●●●●●●●
●●
●1
●●●●●●●
●3
Mシリーズをご使用ください。
Mシリーズをご使用ください。
Mシリーズをご使用ください。
●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガス に使用する場合はお問い合わせください。
⑥-⑦ 出口側圧力計 ④-⑤ 入口側圧力計
⑨ 出口継手 ⑧ 入口継手
②-③ 排出弁
品名構成
2.5~25
SLー1XXー5X□Gー1414BLー1XXー5X□Gー1414
P2 MPa P2-Q
Q L/min(nor) Q L/min(nor)
P2-QP2 MPa
GAS:N2P1:1.0MPaP1:0.7MPaP1:0.5MPa
GAS:N2P1:1.0MPaP1:0.7MPaP1:0.5MPa
常用流量 常用流量
流量特性
外観図
■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
■ パージバルブ 毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の 残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO調整器ファミリー
■ B1、S1 シリーズ
重量わずか 650g 以下の小型、軽量の調整器です。
内容積も小さいので、デッドスペースを極限まで小さく出来ます。
二段減圧構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどありません。
0.2L/min(nor) 以下の小流量供給にも最適です。
本体材質に耐食性の高いモネルを採用し、高腐食性のガスでの仕様に対応した調整器です。
腐食性の高さから SUS でも使用できない場合に最適です。
■ B2、S2 シリーズ
■ 0 シリーズ
■ Mシリーズ
一次側高圧用の機種であり、S-LABOの中で最もスタンダードな調整器です。
ボンベ直結だけでなく、高純度ガスパネルやマニホールドへの組み込みなどにもご使用いただいております。
アクセサリ
ラインアップ
制御機器事業部 営業部http://nissantanaka.com
本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。
ご注意 正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。!
R-149A ‘17.08 pdf①
● 多種類のガスに対応するため、本体材質に真鍮製とSUS製をラインアップ。 ● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く)● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。
SL-1XX-5X6G-1414
BL-1XX-5X8G-1414
本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L他/C3604・フッ素樹脂
0.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.6
約1.2kg(BL-1XX-5X8G-1414)
260P1=1MPa、P2=0.6MPaの時
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)
使用圧力範囲MPa
※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。
安全弁無安全弁付
0.05~10.05~5
本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L他/SUS316・フッ素樹脂
0.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.6
約1.5kg(SL-1XX-5X6G-1414)
260P1=1MPa、P2=0.6MPaの時
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)
使用圧力範囲MPa
※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。
安全弁無安全弁付
0.05~10.05~5
特 長
B-2
仕 様
仕 様
低圧用
標準ガス・高純度ガス用圧力調整器
真鍮製
S-LABO BLシリーズ
ステンレス製
S-LABO SLシリーズ
S1ー1VRー□G□GーB1N1B1ー1NRー□G□GーB1N1
P2 MPa P2-Q10.90.80.70.60.50.40.30.20.1
0 300200100 400
GAS:N2P1:10MPaP1:3.0MPaP1:1.5MPa
常用流量
Q L/min(nor) Q L/min(nor)
0.2
0.15
0.1
0.05
0 15010050 200
GAS:N2P1:10MPaP1:3.0MPaP1:1.5MPa
常用流量
P2-QP2 MPa
流量特性
外観図B1 S1
分子量 H NEN VOリング記号ガス 化学式
シリーズ名
亜酸化窒素アセチレンアルゴンアンモニア一酸化炭素一酸化窒素エタンエチレン塩化エチル混合ガス塩化水素塩化ビニル混合ガス塩化メチル混合ガス塩素キセノン空気クリプトン酸化エチレン酸素シクロプロパン混合ガス臭化エチル混合ガス臭化水素混合ガス臭化メチル混合ガス水素窒素二酸化硫黄二酸化炭素二酸化窒素混合ガスネオン1,3-ブタジエンiブタンnブタンブテンプロパジエン混合ガスプロパンプロピレンフロン11フロン12フロン13フロン13B1アセトアルデヒド混合ガスメタンチオール混合ガスジメチルエーテル混合ガスメチルアミン混合ガスフロン14フロン21フロン22フロン23ヘキサン混合ガスヘキセン混合ガスヘリウムペンタン混合ガスメタンメチルアセチレン混合ガス硫化カルボニル混合ガス硫化水素六フッ化硫黄
N2OC2H2
ArNH3
CONOC2H6
C2H4
C2H5ClHClCH2=CHClCH3ClCl2Xe-KrC2H4OO2
C3H6
C2H5BrHBrCH3BrH2
N2
SO2
CO2
N2O4(NO2)NeCH2=CHCH=CH2
CH(CH3)3CH3(CH2)2CH3
CH3CH2CH=CH2
CH2=C=CH2
C3H8
CH2=CHCH3
CCl3FCCl2F2CClF3CBrF3CH3CHOCH3SHCH3OCH3
CH3NH2
CF4CHCl2FCHClF2CHF3C6H14
C6H12
HeCH3(CH2)2CH3
CH4
CH3C=CHCOSH2SSF6
44.0126.0439.9517.0328.0130.0130.0728.0554.5236.4762.5050.4970.91131.2928.9783.8044.0532.0042.08108.9790.9194.942.0228.0164.0644.0146.0120.1854.0958.1258.1256.1140.0744.0142.08137.40120.90104.46148.9144.1048.1046.1031.1088.00102.9286.4870.0186.2084.164.0072.1516.0440.0660.0734.08146.05
●3
●●3
●
●
●
●●1
●3
●1,3
●
●●●
●●
●●
●1
●●●
●●
●
●●●
●●●●●●
●
●1,3●
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●3
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●●●
●●●2
●2
●●
●1
●●●●●●●●●●
●●
●1
●●●●●1
●●
●●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガス に使用する場合はお問い合わせください。
ガス別選定表
。すまいてし味意をブルバルド一二は』VN『、)ンョシプオ(ブルバジーパは』VP『 ●● 流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。● 出口継手がM16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2種類 ) が付属します。● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。 但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、 本体材質に関係無くステンレス製となります。● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。 高圧ガス保安法への対応をお願いします。● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法 で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて 別途設置してください。
ご注意
11 R G
Oリング材質( 右記選定表参照 )
E EPDMH NBR( ハイカ )N CR( ネオプレン )V FKM( バイトン )
入口側圧力計最大目盛
1 25MPa2 15MPa
本体材質B BsS SUS
出口側圧力計最大目盛
5 1.5MPa6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
出口側圧力計
C 連成計付G 圧力計付
入口接続
101112131415161718191A
P1P2P5P6
PV 付W22-14 右メスPV付W22-14 左メスPV付 CGA350 メスPV 付 20.9-14 左メス
B1B2B5B6
W22-14 右メスW22-14 左メスCGA350 メス20.9-14 左メス
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック4mmスウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
その他仕様オプション
01 ステンレス圧力計(Bsのみ。アセチレン用)02 亜酸化窒素ガス用03 硫化水素ガス用(SUSのみ)
00 ヘリウムリークテスト実施(オプション)
出口接続
101112131415161718191A
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック4mmスウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
N0N1N2N3N4N5N6N7N8N9
NV 付 NPT1/4 メスNV付M16×1.5 右オスNV付M16×1.5 左オス
NV付 1/8” スウェージロックNV付 1/4” スウェージロックNV付 4mmスウェージロックNV付 6mmスウェージロック
NV付 1/4”VCR オスNV付 1/4”VCR メス
NV付 Rc1/4(アダプタ)NA NV 付 3/8” スウェージロック
SUSF80F81F82
F83F84F85
F86F87F88
F89F90F91
F92F93F94F95F96F97F98
使用ガスアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアンモニアアンモニアアンモニア酸素酸素水素水素水素水素窒素窒素窒素窒素窒素
二酸化硫黄二酸化硫黄二酸化硫黄ヘリウムヘリウム硫化水素硫化水素
レンジ(L/min(nor))0.05~0.50.1~10.5~51.5~152.5~250.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.1~10.5~51~10
0.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.05~0.50.1~10.5~50.3~31~100.1~10.5~5
Bs
F61F62F63F64
F65F66F67F68F69F70
F71F72F73F74
F76F77
流量計(オプション)
④-⑤ 出口側圧力計 ③ 入口側圧力計
⑦ 出口継手 ⑥ 入口継手
② 排出弁
品名構成
2.5~25
ガス別選定表
ご注意※1 2.5MPa 以上の圧力計は連成計として製作は出来ません。※2 入口側の圧力計が「未加工」かつ「排出弁付」の場合、④⑤の選定は
。すまりなとaPM5は力圧用使高最の時のこ、おな。すまりなと」X3「 。すまいてし味意をブルバルド一二は』VN『、)ンョシプオ(ブルバジーパは』VP『 3※
流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。 出口継手がM16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2種類 ) が付属します。● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。 但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、 本体材質に関係無くステンレス製となります。● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。 高圧ガス保安法への対応をお願いします。● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法 で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて 別途設置してください。
1L
Oリング材質( 右記選定表参照 )
E EPDMH NBR( ハイカ )N CR( ネオプレン )V FKM( バイトン )X Oリング無し
入口側圧力計最大目盛※1 ※2
3 5.0MPa4 2.5MPa
入口側圧力計
5 1.5MPa6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
C 連成計付G 圧力計付
X 未加工
本体材質B BsS SUS
出口側圧力計最大目盛
6 1.0MPa7 0.6MPa8 0.3MPa
出口側圧力計
C 連成計付G 圧力計付
5 1.5MPa
入口接続 ※3P1P2P3B1B2B3B71011121314161718191A
PV 付W22-14 右メスPV付W22-14 左メスPV付W26-14 右メスW22-14 右メスW22-14 左メスW26-14 右メスW22.5-14 左オスNPT1/4 メス
M16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロック
排出弁
排出弁有未加工
RX
6mmスウェージロックその他仕様オプション
01 ステンレス圧力計(Bsのみ。アセチレン用)02 亜酸化窒素ガス用03 硫化水素ガス用(SUSのみ)
00 ヘリウムリークテスト実施(オプション)
SUSF80F81F82
F83F84F85
F86F87F88
F89F90F91
F92F93F94F95F96F97F98
使用ガスアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアルゴンアンモニアアンモニアアンモニア酸素酸素水素水素水素水素窒素窒素窒素窒素窒素
二酸化硫黄二酸化硫黄二酸化硫黄ヘリウムヘリウム硫化水素硫化水素
レンジ(L/min(nor))0.05~0.50.1~10.5~51.5~152.5~250.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.1~10.5~51~10
0.05~0.50.1~10.5~51~102.5~250.05~0.50.1~10.5~50.3~31~100.1~10.5~5
Bs
F61F62F63F64
F65F66F67F68F69F70
F71F72F73F74
F76F77
流量計(オプション)
出口接続 ※31011121314161718191AN0N1N2N3N4N6N7N8N9
NPT1/4 メスM16×1.5 右オスM16×1.5 左オス
1/8” スウェージロック1/4” スウェージロック6mmスウェージロック
1/4”VCR オス1/4”VCR メス
Rc1/4(アダプタ)3/8” スウェージロックNV付 NPT1/4 メス
NV付M16×1.5 右オスNV付M16×1.5 左オス
NV付 1/8” スウェージロックNV付 1/4” スウェージロックNV付 6mmスウェージロック
NV付 1/4”VCR オスNV付 1/4”VCR メス
NV付 Rc1/4(アダプタ)NA NV 付 3/8” スウェージロック
分子量 H NEN VOリング記号ガス 化学式
シリーズ名 BL SL
亜酸化窒素アセチレンアルゴンアンモニア一酸化炭素一酸化窒素エタンエチレン塩化エチル混合ガス塩化水素塩化ビニル混合ガス塩化メチル混合ガス塩素キセノン空気クリプトン酸化エチレン酸素シクロプロパン混合ガス臭化エチル混合ガス臭化水素混合ガス臭化メチル混合ガス水素窒素二酸化硫黄二酸化炭素二酸化窒素混合ガスネオン1,3-ブタジエンiブタンnブタンブテンプロパジエン混合ガスプロパンプロピレンフロン11フロン12フロン13フロン13B1アセトアルデヒド混合ガスメタンチオール混合ガスジメチルエーテル混合ガスメチルアミン混合ガスフロン14フロン21フロン22フロン23ヘキサン混合ガスヘキセン混合ガスヘリウムペンタン混合ガスメタンメチルアセチレン混合ガス硫化カルボニル混合ガス硫化水素六フッ化硫黄
N2OC2H2
ArNH3
CONOC2H6
C2H4
C2H5ClHClCH2=CHClCH3ClCl2Xe-KrC2H4OO2
C3H6
C2H5BrHBrCH3BrH2
N2
SO2
CO2
N2O4(NO2)NeCH2=CHCH=CH2
CH(CH3)3CH3(CH2)2CH3
CH3CH2CH=CH2
CH2=C=CH2
C3H8
CH2=CHCH3
CCl3FCCl2F2CClF3CBrF3CH3CHOCH3SHCH3OCH3
CH3NH2
CF4CHCl2FCHClF2CHF3C6H14
C6H12
HeCH3(CH2)2CH3
CH4
CH3C=CHCOSH2SSF6
44.0126.0439.9517.0328.0130.0130.0728.0554.5236.4762.5050.4970.91131.2928.9783.8044.0532.0042.08108.9790.9194.942.0228.0164.0644.0146.0120.1854.0958.1258.1256.1140.0744.0142.08137.40120.90104.46148.9144.1048.1046.1031.1088.00102.9286.4870.0186.2084.164.0072.1516.0440.0660.0734.08146.05
●3
●●3
●
●
●
●●1
●3
●3
●
●●●
●●
●●
●
●●●
●●
●
●●●
●●●●●●
●3
●3
●
●
●
●
●
●●●●
●
●3
●
●
●
●●●●●
●●
●●●
●●●2
●2
●●
●●●●●●●●●●●
●●
●1
●●●●●●●
●3
Mシリーズをご使用ください。
Mシリーズをご使用ください。
Mシリーズをご使用ください。
●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガス に使用する場合はお問い合わせください。
⑥-⑦ 出口側圧力計 ④-⑤ 入口側圧力計
⑨ 出口継手 ⑧ 入口継手
②-③ 排出弁
品名構成
2.5~25
SLー1XXー5X□Gー1414BLー1XXー5X□Gー1414
P2 MPa P2-Q
Q L/min(nor) Q L/min(nor)
P2-QP2 MPa
GAS:N2P1:1.0MPaP1:0.7MPaP1:0.5MPa
GAS:N2P1:1.0MPaP1:0.7MPaP1:0.5MPa
常用流量 常用流量
流量特性
外観図
本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L他/C3604・フッ素樹脂
0.5~150.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.61.5MPa計:0.02~1.0
約1.4kg(B1-1NR-1G5G-B1N1)
250P1=10MPa、P2=1MPaの時
0.2L/min(nor)以下の場合は B2-1をご使用ください。
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)使用圧力範囲MPa
● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く)● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。
S1-1VR-1G5G-B1N1
B1-1NR-1G5G-B1N1※ 入口側の最高使用圧力が15MPaを超える場合は、お問い合わせください。
本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L他/SUS316・フッ素樹脂
0.5~150.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.61.5MPa計:0.02~1.0
約1.6kg(S1-1VR-1G5G-B1N1)
250P1=10MPa、P2=1MPaの時
0.2L/min(nor)以下の場合は S2-1をご使用ください。
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)使用圧力範囲MPa
※ 入口側の最高使用圧力が15MPaを超える場合は、お問い合わせください。
B-1
特 長
仕 様
仕 様
高圧用
標準ガス・高純度ガス用圧力調整器
真鍮製
S-LABO B1シリーズ
ステンレス製
S-LABO S1シリーズ
■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
■パージバルブ 毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の 残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO調整器ファミリー
■ BL、SL シリーズ
一次側低圧用に最適化された調整器です。
充填圧や蒸気圧の低いガスのボンベに取り付ける場合や、アウトレットパネルへの組み込みに最適です。
重量わずか 650g 以下の小型、軽量の調整器です。
内容積も小さいので、デッドスペースを極限まで小さく出来ます。
二段減圧構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどありません。
0.2L/min(nor) 以下の小流量供給にも最適です。
本体材質に耐食性の高いモネルを採用し、高腐食性のガスでの仕様に対応した調整器です。
腐食性の高さから SUS でも使用できない場合に最適です。
■ B2、S2 シリーズ
■ 0 シリーズ
■ Mシリーズ
アクセサリ
ラインアップ
産業機材事業部 制御機器営業部http://nissantanaka.com
本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。
ご注意 正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。!
R-148A ‘17.08 pdf①
■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
■ パージバルブ 毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の 残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。 クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの 純度保持に優れます。 オプションでヘリウムリークテスト対応可能。
分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO調整器ファミリー
■ B1、S1 シリーズ
重量わずか 650g 以下の小型、軽量の調整器です。
内容積も小さいので、デッドスペースを極限まで小さく出来ます。
二段減圧構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどありません。
0.2L/min(nor) 以下の小流量供給にも最適です。
本体材質に耐食性の高いモネルを採用し、高腐食性のガスでの仕様に対応した調整器です。
腐食性の高さから SUS でも使用できない場合に最適です。
■ B2、S2 シリーズ
■ 0 シリーズ
■ Mシリーズ
一次側高圧用の機種であり、S-LABOの中で最もスタンダードな調整器です。
ボンベ直結だけでなく、高純度ガスパネルやマニホールドへの組み込みなどにもご使用いただいております。
アクセサリ
ラインアップ
制御機器事業部 営業部http://nissantanaka.com
本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。
ご注意 正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。!
R-149A ‘17.08 pdf①
● 多種類のガスに対応するため、本体材質に真鍮製とSUS製をラインアップ。 ● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く)● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。
SL-1XX-5X6G-1414
BL-1XX-5X8G-1414
本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L他/C3604・フッ素樹脂
0.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.6
約1.2kg(BL-1XX-5X8G-1414)
260P1=1MPa、P2=0.6MPaの時
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)
使用圧力範囲MPa
※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。
安全弁無安全弁付
0.05~10.05~5
本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L他/SUS316・フッ素樹脂
0.3MPa計:0.02~0.20.6MPa計:0.02~0.41.0MPa計:0.02~0.6
約1.5kg(SL-1XX-5X6G-1414)
260P1=1MPa、P2=0.6MPaの時
接ガス主要部材質
重量
常用流量L/min(nor)N2ガス
入口側(P1)
出口側(P2)
使用圧力範囲MPa
※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。
安全弁無安全弁付
0.05~10.05~5
特 長
B-2
仕 様
仕 様
低圧用
標準ガス・高純度ガス用圧力調整器
真鍮製
S-LABO BLシリーズ
ステンレス製
S-LABO SLシリーズ