受控系統數學模型之求取 指導老師 : 劉雲輝 報告人 :...
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受控系統數學模型之求取 指導老師 : 劉雲輝 報告人 : 趙銘靖 日期 :99.04.15. 以右圖雙軸定位平台,來 模擬 TFT-LCD 面板檢測機 台上之鏡頭。 紅色圈內為 模擬機台上之鏡頭,當因 外部環境產生振動時,鏡 頭也會隨之晃動希望能以 PID 控制器產生的操作量 能有效抑此振動, 使機台 上鏡頭與花崗岩之相對位 移量最佳為抑制到 1um 。. 目的. 平板式雙軸平台(大尺寸 30cm×30cm×12cm )測試數據. 受控系統數學模型之求取. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
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受控系統數學模型之求取 指導老師 : 劉雲輝 報告人 : 趙銘靖 日期 :99.04.15
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目的以右圖雙軸定位平台,來模擬 TFT-LCD面板檢測機台上之鏡頭。紅色圈內為模擬機台上之鏡頭,當因外部環境產生振動時,鏡頭也會隨之晃動希望能以PID控制器產生的操作量能有效抑此振動,使機台上鏡頭與花崗岩之相對位移量最佳為抑制到 1um。
平板式雙軸平台(大尺寸 30cm×30cm×12cm )測試數據PZT致動器置於 X軸方向激振
PZT激振頻率 5Hz 10Hz 15Hz 20Hz 25Hz 30Hz 35Hz 40Hz
耦合比例(%) 104.9 3.29 6.06 4.71 4.51 2.42 2.75 1.45
倍頻比例(%) 9.62 5.49 2.31 10.15 3.04 2.33 4.54 2.37
PZT致動器置於 Y軸方向激振耦合比例(%) 63.57 13.82 13.28 1.37 13.66 13.77 12.46 12.21
倍頻比例(%) 1.74 14.57 11.85 18.84 12.52 21.12 22.59 9.85
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受控系統數學模型之求取
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步階響應測試
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步階響應測試
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6
步階響應測試
0123456789
10
2.9 2.9 2.9 2.9 2.9 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 3.1 3.1 3.1 3.1 3.1 3.1
電壓
( V )
時間 ( S )
步階響應圖DATA 1-( 1 )
0.1 秒內有 17 個週期(170HZ)
17
取樣頻率 :10000HZ,取樣點數 :100000點。sf
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振盪系統步階響應單自由度系統運動方程 :
利用 L-T將微分方程轉換為 s 代數方程,得模型二階與一階具時間延遲的轉換函數 :
這個模型可更精確的描述控制對象的動態特性,靜態增益 、自然頻率 、阻尼比 與延遲時間 L 、時間常數 T 。
22
2
2 2)(
nn
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m
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平台自然頻率分析
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平台自然頻率分析鋼 :楊氏系數 :2e11Pa普松比 :0.3密度 :7850kg/m^3
單位系統 : SI制
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平台自然頻率分析
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模擬結果 ( 約 180HZ) 敲擊測試 (186HZ)
1
2
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平台靜態增益分析 (Ks)
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靜態增益分析 (Ks)
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平台靜態增益分析 (Ks)單位系統 :SI 制
※
(Ks)靜態增益
0.00E+00
2.00E-05
4.00E-05
6.00E-05
8.00E-05
1.00E-04
1.20E-04
1.40E-04
1.60E-04
1.80E-04
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300 1400 1500 1600 1700 1800(N)力
(m)
位移
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平台靜態增益分析 (Ks)
靜態增益 (Ks) ,當 s=0時,
所以
22
2
2 2)(
nn
sLns
m sSeK
sG
sm KG 2
Sm KsusyG )()(
2
NumK s /0.088900N79um
輸入力位移
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Time constant
15
sTsGm
1
1)(1
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時間常數
-40-35-30-25-20-15-10-50
1 10 100
(f)頻率
(dB)
幅值
秒05.0T
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Time constant
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阻尼比 (damping ratio)
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阻尼比 (damping ratio)
step1.step2.
step3.
步階響應
0123456789
10
5.05.05.05.05.05.0 5.05.05.05.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.15.2 5.25.25.25.25.25.25.2
(t)時間
(V)
電壓
將 Max (peak) - 基準值 = 所要的值
所得的值當基準2
(peak)]min (peak)[max
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阻尼比 (damping ratio)
14
3
3
2
2
1 ....
n
n
VV
VV
VV
VV
211
n
n
VV
1
2
3 48275.0083159.0040145.0
2
1 VV
0824.02
148275.0)(
阻尼比20
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系統模型 (plant)
SK
n T 180HZ =1130.4 rad/s 0.025 秒
描述平台動態特性
0.088um/N 0.0824
)05.0(11
)4.1130()4.11300824.02()4.1130()6^10*088.0()( 22
2
2,1
sss
sGm
sTsG
sseKsG m
nn
sLns
m
11)(
2)( 12
2
2
21