zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf ·...
TRANSCRIPT
![Page 1: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/1.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Zrcadlový jev pri plazmochemické depozicitenkých vrstev
O. Brzobohatý V. Buršíková D. Trunec
Katedra fyzikální elektronikyPrírodovedecká fakultaMasarykova univerzita
Seminár KFE, 2006
![Page 2: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/2.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 3: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/3.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 4: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/4.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Experimentální PECVD reaktor R1
![Page 5: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/5.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Experimentální PECVD reaktor R1 – detail
![Page 6: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/6.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Experimentální PECVD reaktor R1 – depozicnípodmínky
��������������������������������
substrates
siliconwafer
attached
������������������������������������
������������������������������������
����������������������������
����������������������������
����������������������������������������������������
����������������������������������������������������������������������������������������������������������������
������������������������������
������������������������������
������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������
������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������������������
��������������������������������
��������������������������������
������������
������������
����������������
������������
������������
glass
brass
graphite
teflon
steel
��������������������
��������������������
�����
�����
��������
��������
�����
�����
����������
����������
����������
����������
��������
��������
������
exhaust pump working gases
capacitron
toroidalgas inlet
rf power
seals
l = 10 cmd1 = 14.8 cmd2 = 10 cmf = 13.56 MHzUb = −500→−700 V,(P = 50→ 100 W)p ≈ 10 Pa; CH4,QCH4 = 1.4 sccmsubstráty: kremík,sklo, uhlík.
![Page 7: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/7.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 8: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/8.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Zrcadlový obraz
Po depozici vznikly na horní elektrode „zrcadlové obrazy“vzorku umístených na protejší elektrode
![Page 9: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/9.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 10: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/10.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Další experimenty
Depozice
v smesi CH4/H2; QCH4 = 1.4 sccm, QH2 = 0.35 sccmna vrchní elektrodu byla prilepena kremíková deska −→elipsometrické studium zrcadlových obrazu
Odprašovaní v Ar atmosfére (sputtering)
na vrchní elektrodu byla prilepena kremíková deska, nakteré byla „homogenní“ vrstvana spodní elektrode byly umísteny substráty podobne jakopri depozici
![Page 11: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/11.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Další experimenty
Depozice
v smesi CH4/H2; QCH4 = 1.4 sccm, QH2 = 0.35 sccmna vrchní elektrodu byla prilepena kremíková deska −→elipsometrické studium zrcadlových obrazu
Odprašovaní v Ar atmosfére (sputtering)
na vrchní elektrodu byla prilepena kremíková deska, nakteré byla „homogenní“ vrstvana spodní elektrode byly umísteny substráty podobne jakopri depozici
![Page 12: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/12.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Výsledky experimentu
Substráty umístené na spodní elektrode ovlivnují procesyprobíhající na vrchní elektrode!
170
180
190
200
210
220
230
240
250
-3 -2 -1 0 1 2 3
thic
knes
s [n
m]
y [cm]
![Page 13: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/13.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 14: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/14.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Vznik zrcadlového obrazu
Tloušt’ka vrstvy na vrchní elektrode (kremíková deska) zrcadlísubstráty umístené na spodní elektrode.
CP
![Page 15: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/15.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Hypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
CP
Predpoklady
Zrcadlový obraz je dusledek ruzných rychlostídepozice/odprašování vrstvy na vrchníelektrode nad substrátem a jeho okolím.
Rychlost depozice/odprašování závisí nakoncentraci nabitých cástic v plazmatu.Koncentrace výrazne závisí na koeficientusekundární emise.Koeficient sekundární emise substrátu sevýrazne liší od koeficientu s. e. elektrody.Sekundární elektrony vzniklé na spodníelektrode a produkty z ionizacních srážekdopadající na protejší elektrodu jsou máloodchýleny.
![Page 16: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/16.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Hypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
CP
Predpoklady
Zrcadlový obraz je dusledek ruzných rychlostídepozice/odprašování vrstvy na vrchníelektrode nad substrátem a jeho okolím.Rychlost depozice/odprašování závisí nakoncentraci nabitých cástic v plazmatu.
Koncentrace výrazne závisí na koeficientusekundární emise.Koeficient sekundární emise substrátu sevýrazne liší od koeficientu s. e. elektrody.Sekundární elektrony vzniklé na spodníelektrode a produkty z ionizacních srážekdopadající na protejší elektrodu jsou máloodchýleny.
![Page 17: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/17.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Hypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
CP
Predpoklady
Zrcadlový obraz je dusledek ruzných rychlostídepozice/odprašování vrstvy na vrchníelektrode nad substrátem a jeho okolím.Rychlost depozice/odprašování závisí nakoncentraci nabitých cástic v plazmatu.Koncentrace výrazne závisí na koeficientusekundární emise.
Koeficient sekundární emise substrátu sevýrazne liší od koeficientu s. e. elektrody.Sekundární elektrony vzniklé na spodníelektrode a produkty z ionizacních srážekdopadající na protejší elektrodu jsou máloodchýleny.
![Page 18: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/18.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Hypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
CP
Predpoklady
Zrcadlový obraz je dusledek ruzných rychlostídepozice/odprašování vrstvy na vrchníelektrode nad substrátem a jeho okolím.Rychlost depozice/odprašování závisí nakoncentraci nabitých cástic v plazmatu.Koncentrace výrazne závisí na koeficientusekundární emise.Koeficient sekundární emise substrátu sevýrazne liší od koeficientu s. e. elektrody.
Sekundární elektrony vzniklé na spodníelektrode a produkty z ionizacních srážekdopadající na protejší elektrodu jsou máloodchýleny.
![Page 19: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/19.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Hypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
CP
Predpoklady
Zrcadlový obraz je dusledek ruzných rychlostídepozice/odprašování vrstvy na vrchníelektrode nad substrátem a jeho okolím.Rychlost depozice/odprašování závisí nakoncentraci nabitých cástic v plazmatu.Koncentrace výrazne závisí na koeficientusekundární emise.Koeficient sekundární emise substrátu sevýrazne liší od koeficientu s. e. elektrody.Sekundární elektrony vzniklé na spodníelektrode a produkty z ionizacních srážekdopadající na protejší elektrodu jsou máloodchýleny.
![Page 20: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/20.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 21: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/21.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Popis systému
Modelový systéml = 3 cmd = 10 cmf =13.56 MHzU = 150 Vp = 3→20 Pa, argonγ = 0.1, 0.2pro substrátγ = 0 proelektrodu C
P
E x
y
![Page 22: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/22.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Cásticová simulaceParticle In Cell – PIC
Particle In Cell – PICMetoda pro rešení pohybu mnoha nabitých cástic velektromagnetickém poli. Jedná se o rešení pocátecníhoproblému s hranicní podmínkou.
MCC
�
��
��
?
∆t ?����
-
ρj → ~Ej� ~ri → ρj �
Hranicnípodmínky
-~Ej → ~Fi~ai → ~vi → ~ri
![Page 23: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/23.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Cásticová simulaceRešení Poissonovy rovnice
Poissonovu rovnici (1D) rešíme numericky pomocí metodykonecných diferencí.
~∇2φ = − ρ
ε0⇒
φj−1 − 2φj + φj+1
(∆x)2 = −ρj
ε.
Abychom mohli tuto rovnici rešit potrebujeme znát hustotunáboje na uzlech ρj . K tomu slouží práve metoda Particle InCell, která prevádí hustotu bodového náboje na uzly síte.
qj+1
x
-�-�
qj
Xj+1Xj
∆x∆x
-�
ZZ
ZZ
ZZZ�
��
��
��
c ss
![Page 24: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/24.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Cásticová simulaceLeap – Frog metoda
Newtonovy pohybové rovnice rešíme numericky metodouLeap–Frog (explicitní výpocetní schéma).
mi ~ai = qi~E
Diskretizace pohybových rovnic
mivn+1/2
x − vn−1/2x
∆t= qiEn
x ,xn+1 − xn
∆t= vn+1/2
x .
cas
t + ∆tt-
En+1xEn
x
xn+1xn
vn+1/2xvn−1/2
x
poloha
rychlost
-
--
rrrrr
![Page 25: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/25.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Cásticová simulaceMonte Carlo – MC
Monte Carlo – MCMetoda, kterou je možno použít pro simulaci (napodobení)náhodných procesu.
Srážky
Urcování poctu srážejících se srážek Ncoll = P(∆t)Ntotal
Urcování typu srážkyk∑1
νiνt
< r ≤k∑1
νi+1νt
e + Ar: elastické, excitacní, ionizacní srážkyAr+ + Ar: elastické, rezonancní prenos náboje
Generování rozptylových úhlu srážejících se cásticdσ(φ, χ, ε)⇒ φ, χ
Generování pocátecních rychlostí (Maxwell. rozd.)
![Page 26: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/26.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Cásticová simulace
Sekundární emisePredpokládáme konstantní koeficient sekundární emise γ.Pravdepodobnost, že elektron a ion vyrazí nový sekundárníelektron, je zvolena γ = 0.1 nebo 0.2
![Page 27: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/27.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Obsah
1 Motivace–experimentPopis experimentuZrcadlení substrátu
2 Studium Zrcadlového jevuDalší experimentyHypotéza o vzniku zrcadlových obrazu
3 Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulacíPocítacový modelVýsledky simulací
![Page 28: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/28.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Vliv koeficientu sekundární emise
1
1.5
2
2.5
3
3.5
4
4.5
5
5.5
6
2 4 6 8 10 12 14 16 18 20
n [1
015 m
-3]
p [Pa]
SEY = 0.1SEY = 0.2
![Page 29: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/29.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Vliv koeficientu sekundární emise
28
30
32
34
36
38
40
2 4 6 8 10 12 14 16 18 20
(n0.
2/n 0
.1)-
1 [%
]
p [Pa]
![Page 30: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/30.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Role sekundárních elektronuRelativní pocet sekundárních elektronu a elektronu z ionizace
0
10
20
30
40
50
60
70
2 4 6 8 10 12 14 16 18 20
n sec
ele
/n [%
]
p [Pa]
s. el. + el. z ionizace
sekundární elektrony
SEY = 0.1SEY = 0.2
![Page 31: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/31.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Role sekundárních elektronuRelativní pocet iontu z ionizace
40
45
50
55
60
65
2 4 6 8 10 12 14 16 18 20
n sec
ion/
n [%
]
p [Pa]
SEY = 0.1SEY = 0.2
![Page 32: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/32.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Rozdelovací funkce polohy dopadajících cástic
CP
E x
y
![Page 33: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/33.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Rozdelovací funkce polohy dopadajících cástic
4
8
12
16
f(y)
ion
[m-1
] Ions 3 Pa 10 Pa 20 Pa
1
2
3
4
5
-5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5
f(y)
ele
[m-1
]
y [cm]
Electrons
![Page 34: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/34.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Disperze hranic zrcadlových obrazcuExponenciální rozdelení
0
1
2
3
4
5
6
7
2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22
disp
ersi
on [
cm]
p [Pa]
electronsions
![Page 35: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/35.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Rozdelení ionizacních poloh
y [cm]
x [c
m]
3 Pa
5l/20-l/2-5
3
1.5
0
x [c
m]
3 Pa
10 Pa3
1.5
0
x [c
m]
3 Pa
10 Pa
20 Pa3
1.5
0
3 Pa
10 Pa
20 Pa
strední volná délka stlakem klesádifúze ve smeru y je uelektronu mnohem vetšínež u iontudifúze ve smeru x jenaopak u elektronumnohem menší než u iontu
![Page 36: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/36.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Shrnutí
Pri PECVD depozicích nebo odprašování vrstev bylopozorováno zrcadlení substrátu, tzn. tloušt’ka vrstvydeponované/odprašované na jedné elektrode zrcadlísubstrát umístený na protejší elektrode.
Byla vyslovena hypotéza o vzniku tohoto jevu. Zrcadlovýjev je zpusoben rozdílností koeficientu sekundární emisesubstrátu a elektrody, na které je substrát umísten.Hypotéza byla potvrzena pomocí pocítacové simulace.
![Page 37: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/37.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Shrnutí
Pri PECVD depozicích nebo odprašování vrstev bylopozorováno zrcadlení substrátu, tzn. tloušt’ka vrstvydeponované/odprašované na jedné elektrode zrcadlísubstrát umístený na protejší elektrode.Byla vyslovena hypotéza o vzniku tohoto jevu. Zrcadlovýjev je zpusoben rozdílností koeficientu sekundární emisesubstrátu a elektrody, na které je substrát umísten.
Hypotéza byla potvrzena pomocí pocítacové simulace.
![Page 38: Zrcadlový jev pri plazmochemické depozici tenkých vrstevotobrzo/soubor/doc/seminar06.pdf · Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz˚ hypotézy pomocí poˇcíta](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022060822/609ac0b8ec41ee006f154d01/html5/thumbnails/38.jpg)
Motivace–experiment Studium Zrcadlového jevu Dukaz hypotézy pomocí pocítacových simulací Shrnutí
Shrnutí
Pri PECVD depozicích nebo odprašování vrstev bylopozorováno zrcadlení substrátu, tzn. tloušt’ka vrstvydeponované/odprašované na jedné elektrode zrcadlísubstrát umístený na protejší elektrode.Byla vyslovena hypotéza o vzniku tohoto jevu. Zrcadlovýjev je zpusoben rozdílností koeficientu sekundární emisesubstrátu a elektrody, na které je substrát umísten.Hypotéza byla potvrzena pomocí pocítacové simulace.