xtc/3 - 超高真空技術の真空機器メーカー|キヤノン …...

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183 XTC/3 ■概 要 シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラー に必要なすべての機能を1台の装置で実現しました。XTC/3 は ModeLock 技術を使用し、モードホイッピング防ぎ、高い 蒸着精度を保証します。また、実質的にレイヤー数に制限の 無い多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能 となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの 装置は生産性向上に大きく寄与します。 ■特 長 ・シングルレイヤ対応モデルとマルチレイア対応モデルをお 選びできます。 ・特許を取得したModeLock技術がホイッピングに起 因する膜厚誤差を防ぎます。 ・INFIC�N の Crystal12T�、CrystalSixR およびデュア ルセンサーにも対応し最高の生産性を実現します。 ・マルチレーヤモデルである XT�/3� は 99 までのプロ セス、999 までのレイア数、32 枚までのフィルム、さら にに 2 個のセンターと2 種類の蒸着源をサポートします。 ・シングルレイアモデルである XTC/3S は 9 枚までのフィ ルムと 2 個のセンサ、2 種類の蒸着源をサポートします。 ・見易い TFTLC� グラフィックディスプレイ ・フィルムとプロセスごとに他と混同せずに内容がすぐに 分かる名前を付け、その名前で簡単に呼び出すことが できます。 ・Ethernet接続可� ・スタンドアロン動作(コンピュータ不要)とPCコントロー ルの両方に対応(オプションとして Windows ソフトウェ アを提供) ・INFICONXTC /2 コントローラにプラグ&プレイ方 式で置き換え可�(XTC /2 の�とコマンドセットに 限定されてます) キヤノンアネルバ株式会社 1

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  • 183 Vol.8.9

    XTC/3

    XTC/3ModeLock

    INFICNCrystal12TCrystalSixR

    XT/3 9999932 22

    XTC/3S 922

    TFTLC

    Windows

    /2/2

    1

  • Vol.8.9184

    IC6 XTC/3M XTC/3S

    6.0 4.5 6.0 5.0 6.0 5.0 ( 1)(6MHz 0.0035Hz 0.0043 0.028Hz 0.03 0.028Hz0.03(Hz) 10 4 4 (s) 0.1,0.4,4.0 ,10.0,20.0,30.0

    LCD 3.8 LCD 3.8 LCD () 1 1 1 ( /s) 0.01 (0 99.9 /s 0.1 (0.0 99.9 /s 0.1 (0.0 99.9 /s

    0.1 (100 999 /s 1(100 999 /s) 1(100 999 /s)

    Z 6 Z 64 8 8

    200 999 1 32 32 9 50 99 1 USB)

    8 2 2 2 4 1 1 8 2 2 2 8 2 2 2

    6 2 2 0 10V0 5V ,0 2.5V 0 10V0 5V 0 10V0 5V

    0 +10V 0 +10V 0 +10VI/O

    TTL,14 14 8 8 8 16 12 12

    DC30V,2.5A) DC30V,2.5A) DC30V,2.5A) TTL 14

    RS232C Ethernet

    100/120/220/240VAC 100 230VAC 100 230VACHxWxD 133x447.7x330 89x203x305 10.5Kg 2.7KgWindows XTC/3M or S Editor Software

    = 1.0Z =1.0 100 ms

    2

  • 185 Vol.8.9

    25703 IC6-110100 IC6 100V50/60Hz

    25560 781-611-G15 IC6,XTC/3 15 IC6,XTC/3

    25561 781-611-G30 IC6,XTC/3 30 IC6,XTC/3

    25563 781-611-G50 IC6,XTC/3 50 IC6,XTC/3

    25562 781-611-G100 IC6,XTC/3 100 IC6,XTC/3

    25521 XTC3M-1000 XTC/3M (100V) 100V50/60Hz

    25524 XTC3S-1000 XTC/3S (100V) 100V50/60Hz

    IC6

    780-032-G1 / CD-ROM,XTC/3M XTC/3S

    25510 755-262-G1 IC6,XTC/3,IC/5

    XIU+XIU-6BNC

    3

  • http://www.canon-anelva.co.jp/

    215-8550 2-5-1

    TEL 044-980-5155 FAX 044-986-4236 TEL 044-980-5132 FAX 044-986-4236 TEL 044-980-5131 FAX 044-986-4236 TEL 044-980-3503 FAX 044-986-4236

    564-0044 1-4-33

    TEL 06-6821-9701 FAX 06-6821-9702 TEL 06-6821-9708 FAX 06-6821-9702

    862-0924 3-3-10 MJ TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061

    20119Vacuum Components Vol.8.920119

    20119