Évaporateur GLOVEBOXLocal 4196

Usagers :

Pierre-Louis Brunner (plbrunner@solarischem.com)

Responsables:

Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca)Joël Bouchard (joel.bouchard@polymtl.ca).

Description

Évaporateur à 6 sources, 4 pour des organiques et 2 pour des métaux disposées un cercle concentrique de 8 pouces de diamètre. Au niveau de chaque source est installé une microbalance. La figure suivante montre la disposition géométrique des cibles au niveau de chaque source.

Coordonnée : (Rayon, Hauteur), unité : (mm)

Procédure de changement d'échantillon

Remise à l'air du système

La procédure de remise à l'air se fait selon les étapes suivantes:

Fermer l'interrupteur "VALVE DE HAUT VIDE" (5).Attendre 5 secondes.Ouvrir l'interrupteur "VALVE REMISE À L'AIR" (6).Attendre que la pression dans la chambre atteigne 10 3 TorrPresser le bouton vert pour autoriser l'ouverture de la porte de la chambre (9).Coulisser la porte de la chambre pour avoir accès à l'évaporateur.Fermer l'interrupteur "VALVE REMISE À L'AIR" (6).Placez ou enlevez vos échantillons.

Remise sous vide du système

La procédure de remise sous vide du système se fait selon les étapes suivantes

Fermer la porte de l'évaporateur.Presser le bouton vert pour autoriser la fermeture de la porte (9).Vérifier que l'interrupteur "VALVE REMISE À L'AIR" (6) est fermé.POMPAGE PRIMAIRE :

S'assurer que l'interrupteur "POMPE MÉCANIQUE" (3) est ouvert, sinon l'ouvrirOuvrir l'interrupteur "VALVE VIDE PRIMAIRE" (4).Attendre que la pression de la chambre atteigne 5x10 -3 Torr (8).

POMPAGE SECONDAIRE :Fermer l'interrupteur "VALVE VIDE PRIMAIRE" (4).Ouvrir l'interrupteur "VALVE DE HAUT VIDE" (5).Attendre que la pression dans la chambre atteigne 5x10 -6 Torr (8).

Un témoin lumineux s'illumine pour permettre l'évaporation "ÉVAPORATION PERMISE".

Procédure d'évaporation

Procédure de préparation à l'évaporation

À l'aide du câble coaxial (1), choisir la source utilisée.Sur les deux contrôleurs de cristaux (2), sélectionner le « process » désiré :

NEXT MENU / PROCESS MENU /«Sélectionner avec la roulette le process»/ SELECT /TO MAIN.S'assurer que les caches sont tous fermés (12).Faire le branchement des câbles électriques (10) pour les sources organique ousélectionner la source de métaux utilisé (13).Peser sur le bouton gris pour activer les sources (7).

Procédure d'évaporation

Peser « Start » sur le contrôleur « Source » (2).Mettre « ON » le ou les contrôleurs de sources utilisées (11).Augmenter la tension de 1% par minute pour les métaux (11).Lorsqu'il a évaporation, augmenter très tranquillement la tension jusqu'au débit désiré.Faire « Start » sur le contrôleur «Échantillon » (2).Ouvrir la cache (12).S'assurer que le débit reste stable et attendre l'épaisseur désirée.Fermer la cache (12).Attendre 30 minutes avant de faire la procédure de remise à l'air.

Système de pompage

Procédure d'arrêt de la pompe cryogénique

Typically, a cryopump can be left in operation continuously if you are not processing or not using the vacuum chamber, by simply closing the Hi-Vac value to isolate the cryopump from your vacuum chamber. You are now able to load, unload, repair or replace components in the chamber and the cryopump will be available for restarting the process as necessary.

Close the Hi-Vac valve to isolate the cryopump.Shut off the cryopump by removing the input power cable to the cryopump motor.Initiate Nitrogen gas purge.Continue Nitrogen gas purge until ambient temperature is reached.Shut off the Nitrogen gas purge.

Procédure de démarrage de la pompe cryogénique

Close the Hi-Vac valve to isolate the Cryo-Torr Cryopump.Initiate a Nitrogen purge of the Cryo-Torr Cryopump for one hour.Open the roughing valve and rough the Cryo-Torr Cryopump to 50 microns. Close the roughing valve.NOTE: If step 4 cannot be achieved, repeat step 3.Check the rate-of-rise. The rate-of-rise should be 10 microns/minute.NOTE: Cryo-Torr Cryopump power is turned ON/OFF when compressor power is turned ON/OFF.Turn compressor power ON.Wait for the second stage temperature.

Évaporation d'Aluminium:

Creuset: Nitrure de Bore 0.5" OD, 0.5" Hauteur, 0.03" d'épaisseur (Kurt J Lesker VPU051230)

Bateau en Tungstène : EVCH10 (KJL VPU085972)

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