TURBOVAC iX Turbomolekular-Pumpen90 l/s - 450 l/s

17

5.6

2.0

1

Die TURBOVAC iX vereint herausragende Performance mit höchster

Funktionalität. Unsere Turbomolekular-Pumpen mit integrierter

Vakuumsystem-Steuereinheit bieten Ihnen zahlreiche Optionen, die

bisher nur bei teuren externen Steuereinheiten verfügbar waren.

Vorvakuumpumpen, Kühlungen, Ventile und weitere Zubehörteile

können ganz unkompliziert direkt über die Turbopumpe angesteuert

und die über die Vakuummessröhre ausgelesenen Druckdaten zum

Betrieb des Pumpsystems verwendet werden.

Mit dem besten Verhältnis von Leistung

zu Größe im ISO 63-, 100- und 160-

Bereich bietet die TURBOVAC iX ein

innovatives Rotor- und Holweckstufen-

design. Das Resultat: hervorragende

Performance und bislang unerreichtes

Saugver mögen vor allem für leichte

Gase.

Für noch mehr Flexibilität können Sie

zwischen verschiedenen elektronischen

Steuerungsfunktionen, Gehäuse- und

Flanschkonfigurationen sowie einem

breiten Angebot an Zubehör wählen.

Das einzigartige ölfreie Hybridlager-

System mit lebensdauer-geschmiertem

Kugellager steigert Ihre Produktivität

und senkt gleichzeitig die Betriebskosten.

Entdecken Sie neue Vakuum-Dimensionen

02 TURBOVAC iX

Ihre Vorteile auf einen Blick

Price & Performance:

Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis

Flexible & Fast: Höchste Produktflexibilität –

und damit perfekte Anpassung an Ihre Bedürfnisse

Plug & Play: Einfache und schnelle Installation,

Prozessabläufe und Steuerung dank flexiblen Produkt-

designs, integrierter Elektronik und einem breiten

Angebot an Kommunikationsschnittstellen

Fit & Forget: Absolute Zuverlässigkeit durch inno -

vatives Pumpendesign und dem einzigen auf dem Markt

befindlichen ölfreien Hybridlagerkonzept mit lebensdauer-

geschmiertem Kugellager

TURBOVAC iX 03

Analytische Technologien/

Forschung & Entwicklung

Massenspektrometrie

Elektronenmikroskopie

Oberflächenanalyse

Röntgenanalyse

Teilchenbeschleuniger und

Synchrotrone

Labor-Beschichtungssysteme

MBE (Molekularstrahlepitaxie)

UHV-Systeme

Life Sciences

Protonentherapie

Gammasterilisation

Produktion von hochwertigen

Implantaten

Industrielle Anwendungen und

Beschichtungen

PVD (Physikalische

Abscheideverfahren)

- Optische Beschichtungen

- Produktion von CD/DVD/Blu-Ray

- Dünnschichttechnologien,

Photovoltaik

Sputteranlagen, Transferkammern,

Handhabungssysteme

Elektronenstrahlschweißen

Vakuumisolation und Lecksuche

Typische Anwendungen

Maximale Leistung

Dank seines variablen Rotor- und

Holweckstufen-Designs bietet unsere

neue TURBOVAC iX-Produktlinie auch

bei unterschiedlichsten Anforderun-

gen immer maximale Leistung. So

sind TURBOVAC iX Modelle für UHV-

Anwendungen und kompakte Pump-

systemlösungen die perfekte Wahl. Mit

einem Saugvermögen für leichte Gase,

das bis zu 60 % über dem vergleich-

barer Produkte liegt, und einem Kom-

pressionswert, der rund 100 Mal höher

ist als bei Produkten der vorherigen

Generation, sind sie besonders für Pro-

zesse mit kleinen Vorpumpen geeignet.

Ihre Vorteile: ein erheblich kompakte-

res Vakuum-System sowie reduzierte

Anschaffungs- und Betriebskosten.

Wenn es um anspruchsvolle Applika-

tionen mit hohem Gasdurchsatz geht,

überzeugen die T-Varianten der

TURBOVAC iX Reihe durch gesteiger-

ten Gasdurchsatz und kürzere Hoch-

laufzeiten sowie ihre erhöhte Toleranz

gegenüber Staub- und Partikelanfall.

Überdurchschnittliche

Zuverlässigkeit

Die einzigartige ölfreie Hybridlagerung

mit Lebens dauerschmierung zeichnet

sich durch extreme Zuverlässigkeit und

Haltbarkeit aus und macht Regelwar-

tungen aufgrund Ölwechsel überflüssig.

Das spezielle Lagersystem sorgt für

einen vibrations- und geräuscharmen

Betrieb und damit für wenig Beanspru-

chung oder negative Auswirkungen bei

vibrationsempfindlichen Anwendungen.

Das optimierte thermische Design

der TURBOVAC iX-Produktlinie

gewährleistet eine bestmögliche

Kühlung des Lagersystems. Um die

Lager vor kritischen Gasen oder Partikeln

zu schützen, sind alle Pumpen mit

einem Sperrgasanschluss ausgestattet.

Dadurch wird nicht nur die Laufzeit

der Pumpe deutlich erhöht, sondern

auch die Anlagenverfügbarkeit – und

damit Ihre Produktivität. Zusammen mit

den geringen Betriebskosten wird Ihr

Vakuum system so effizienter, zuver-

lässiger und günstiger als jemals zuvor.

04 TURBOVAC iX

TURBOVAC iX 05

Zahlreiche Optionen

Um Installation, Betrieb und Steuerung

so unkompliziert wie möglich zu

gestalten, ist die TURBOVAC iX mit

einer integrierten Antriebselektronik mit

direkter 24/48V DC-Versorgung sowie

einer eingebauten Vakuumsystem-

Steuereinheit für erweiterte Funktionen

und Pumpsystemkontrolle ausgestattet.

Die Steuereinheit bietet USB- und di-

gitale In/Out-Ports sowie einen zusätz-

lichen Anybus-Port, der mit typischen

auf dem Markt erhältlichen Schnitt-

stellen (RS 485, RS 232, Profibus und

vielen anderen) bestückt werden kann.

Die TURBOVAC iX verfügt darüber

hinaus über drei Zubehöranschlüsse,

mit denen sich die Luftkühler, Belüftungs-

und Sperrgasventile sowie die Relais-

Box für den Betrieb einer Vorvakuum-

pumpe, einer Heizmanschette oder

weiteren Zuhörteilen steuern lassen.

Für höchste Flexibilität sorgen bei der

TURBOVAC iX einzigartige Funktionen

wie ein Vakuummess röhrenanschluss

für den Messröhrenbetrieb. Die so

gewonnenen Druck daten können direkt

zur Ansteuerung des angeschlossenen

Zubehörs verwendet werden.

Die TURBOVAC iX ist mit einer dreh-

baren Vorvakuum-Flanschverbindung

ausgestattet und optional mit einem

zusätzlichen Zwischen-Anschluss im

Gehäuse erhältlich, um das Abpumpen

einer weiteren Kammer zu ermögli-

chen.

Die flexiblen Optionen und zahlreichen

Vorteile machen die TURBOVAC iX

so zu einer ausgesprochen kosten-

effizienten Lösung für die Vakuum-

systemsteuerung und zu einer mehr

als wett bewerbsfähigen Alternative zu

kostenintensiven, externen Steuerungs-

einheiten.

Ein variables und umfangreiches

Angebot an Zubehör ergänzt die neue

Produktreihe. Es umfasst unter anderem

kostengünstige Netzteile für 100 bis

240 V Netzspannungsversorgung,

justierbare Luft- oder Wasserkühlungen,

Heizmanschetten, Belüftungs- und

Sperrgaszubehör sowie Installations-

und Befestigungssets, die die Inbetrieb-

nahme vereinfachen. Entdecken Sie

unendliche Möglichkeiten mit der

Flexibilität der TURBOVAC iX!

Leistung Branchenbestes Saugvermögen insbesondere für

leichte Gase (bis zu 60 % höher als vergleichbare Produkte)

Optimierter Rotor-Durchmesser für ISO 63-, 100- und

160-Flansch resultiert in maximaler Pumpleistung

Flexibilität Individualisierbares Design der Vakuumanschlüsse

• Drehbarer Vorvakuumanschluss

• Verschiedene Zwischen-Anschlüsse verfügbar

Variables Rotor- und Holweckstufen-Design zur

Unterstützung der Leistung gemäß Ihrer Vorgaben

Installation, Betrieb und Steuerung Integrierte Antriebselektronik mit 24/48V DC-Versorgung

vermeidet kostenintensive Verkabelung

Integrierte Vakuumsystem-Steuereinheit für Plug and Play-

Pumpsystembetrieb

• Standard USB- und digitale 15-Pin In/Out-Schnittstelle

• Optionale Schnittstellen (RS 485, RS232, Profibus etc.)

• Steuerung von bis zu sechs Zubehörkomponenten

• Vakuummessröhrenanschluss für die Messröhrenversorgung

und Datenerfassung, auch zur druckabhängigen Steuerung

des Zubehörs

• Vorvakuumpumpen-Steuerung

Hocheffizienter Motor

Optimiertes thermisches Design für bestmögliche Kühlung

der Lager und verlängerte Laufzeit der Pumpe

Innovatives Lagersystem zur Reduzierung von Vibrationen

Wartungsfreies oberes Permanentmagnetlager

Ölfreies, lebensdauergeschmiertes unteres mechanisches

Keramikkugellager, vor Ort austauschbar

06 TURBOVAC iX

Mehr für Sie drin ...

TURBOVAC iX 07

... holt mehr für Sie raus

Bestes Preis-Leistungs-Verhältnis Flexible Leistungsanpassung – individuell auf individuell

auf Ihre Anforderungen zugeschnitten

Hervorragende Leistung bei allen Applikationen dank

innovativer Pumpentechnologie

Installation, Betrieb und Steuerung – schnell und einfach

Plug & Play: integrierte Elektronik und Vakuumsystem-

Steuereinheit, verschiedene Kommunikationsschnitt-

stellen und flexibles Zubehör

Installation in jeder Lage möglich

Gesteigerte Produktivität und Systemverfügbarkeit bei niedrigen Kosten

Höchste Zuverlässigkeit dank des innovativen

Pumpen- und Lagerkonzepts

Fit & Forget: erste und einzige mechanische Turbo-

molekularpumpe mit ölfreiem Hybridlagerkonzept und

wartungsfreiem Kugellager – keine Ölwechsel nötig

Erhöhte Anlagenverfügbarkeit und reduzierte

Betriebskosten durch Lagerwechselmöglichkeit vor Ort

TURBOVAC 90 iX TURBOVAC 250 iX

HeliumStickstoff WasserstoffArgon

TURBOVAC 90 iX

TURBOVAC 250 iX

08 TURBOVAC iX

Technische Spezifikationen

100

80

40

60

20

0

10-6 10-110-210-310-410-5

High-vacuum pressure (mbar)

Pum

pin

g s

peed

(l/s)

19

6

36

2075

19

2x M6-10

Purge

G 1/8" Vent

G 1/8"

Ø130

Ø131

57

38

120

19

9

DN 16 KF

23

23

110

476

4

75 93

54 56

92

7520

41

185.75

41

22

39.6

182.5

∅105.5∅95

43.7

120

64.2

47.2

23

22.2

110

54 56

92.4

75 93

h

TURBOVAC 90 iX

DN 63 ISO-K 186

DN 63 CF 203

TURBOVAC 250 iX

DN 100 ISO-K 199

DN 100 CF 208

h

Hochvakuum-Druck (mbar)

Saug

verm

ög

en (l/s)

300

240

120

180

60

0

10-6 10-110-210-310-410-5

TURBOVAC 350 iX TURBOVAC 450 iX

500 500

400 400

200 200

300 300

100 100

0 0

10-6 10-610-1 10-110-2 10-210-3 10-310-4 10-410-5 10-5

Hochvakuum-Druck (mbar) Hochvakuum-Druck (mbar)

Saug

verm

ög

en (l/s)

Saug

verm

ög

en (l/s)

HeliumStickstoff WasserstoffArgon

TURBOVAC (T) 350 iX

TURBOVAC (T) 450 iX

TURBOVAC iX 09

20

25

,5

20

,8

100,7 2x M6 - 10

32

165

180

h

95,4

111,3

110,2

93,2

110,7

VENT

G 1/8"

PURGE

DN 25 KF

3,2

111

106,8

13

9,3

21

6

102

h

320

26

21

62

32

101 138

20487

6

110

103

23

47

64

G 1/8"

PURGE

DN 25 KF

VENT

2x M6 - 10

X

Ø 130

Ø 165

h

TURBOVAC (T) 350 iX

DN 100 ISO-K 235

DN 100 CF 248

h

TURBOVAC (T) 450 iX

DN 160 ISO-K 219

DN 160 CF 225

56,354,4

56

111

94

111

54

32°

32°

Technische Spezifikationen

Technische Daten

10 TURBOVAC iX

TURBOVAC 90 iX 250 iX

Hochvakuum-Anschluss DN 63 ISO-K 100 ISO-K

63 CF 100 CF

Vorvakuum-Anschluss DN 16 KF 16 KF

Saugvermögen für I ∙ s-1

N2 90 225

Ar 83 210

He 90 250

H2 78 210

Gasdurchsatz mbar ∙ I ∙ s-1

N2 10 6

Ar 3 3

He 11 6

H2 11 > 10

Kompressionsverhältnis

N2 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011

Ar 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011

He 1 ∙ 108 1 ∙ 108

H2 5 ∙ 107 2 ∙ 107

Enddruck ISO-K/CF mit mbar ≤ 8 ∙ 10-8 / ≤ 5 ∙ 10-10

zweistufiger ölgedichteter Drehschieberpumpe

Maximaler mbar 14 14

Vorvakuum-Druck für N2

Nenndrehzahl U/min 72 000

Kühlung Standard Konvektion

Kühlung optional Luft- oder Wasserkühlung

Gewicht ISO-K/CF kg 3,6 / 5,3 4,5 / 7,1

Empfohlene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 2,5 E / D 4 B D 2,5 E / D 4 B

SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D / SC 15 D

DIVAC 1,4 HV3 3,8 HV3

Versorgungsspannung 24/48V DC ±10 %

Maximale Stromaufnahme 10A bei 24V DC

Maximale Leistungsaufnahme W 240

Schnittstellen USB, 15-Pin digital I/O, Anybus

(Optional RS485, RS232, Profibus; weitere auf Anfrage)

Technische Daten

TURBOVAC 350 iX 450 iX T 350 iX T 450 iX

Hochvakuumanschluss DN 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K

100 CF 160 CF 100 CF 160 CF

Vorvakuumanschluss DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF

Saugvermögen für I ∙ s-1

N2 290 430 290 430

Ar 260 400 260 400

He 360 440 360 440

H2 350 420 320 400

Gasdurchsatz mbar ∙ I ∙ s-1

N2 4,5 4,5 11,5 11,5

Ar 2,0 2,0 6,0 6,0

He 8,0 8,0 20,0 20,0

H2 8,0 8,0 20,0 20,0

Kompressionsverhältnis

N2 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011 1 ∙ 1010 1 ∙ 1010

Ar 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011 1 ∙ 1011

He 1 ∙ 108 1 ∙ 108 1 ∙ 106 1 ∙ 106

H2 1 ∙ 106 1 ∙ 106 1 ∙ 104 1 ∙ 104

Enddruck ISO-K/CF mit zweistufiger mbar ≤ 8 ∙ 10-8 / ≤ 5 ∙ 10-10

ölgedichteter Drehschieberpumpe

Maximaler mbar 10 10 0,5 0,5

Vorvakuumdruck für N2

Nenndrehzahl U/min 60.000

Kühlung Standard Konvektion

Kühlung optional Luft- oder Wasserkühlung

Gewicht ISO-K/CF kg 8,0/12,0 8,2/13,0 7,5/11,5 7,7/12,5

Empfohlene Vorvakuum-Pumpen TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B

SCROLLVAC SC 5 D SC 5 D SC 15 D SC 15 D

SC 15 D SC 15 D SC 30 D SC 30 D

DIVAC 3,8 HV3 3,8 HV3 – –

Versorgungsspannung 24/48V DC ± 10 %

Maximale Stromaufnahme 10A bei 24V DC

Maximale Leistungsaufnahme W 240

Schnittstellen USB, 15-Pin digital I/O, Anybus

(Optional RS485, RS232, Profibus; weitere auf Anfrage)

TURBOVAC iX 11

Bestellinformationen

Pumpen

Zubehör

Für den Betrieb einer TURBOVAC iX werden eine passende Vorvakuumpumpe sowie ein Netzgerät und

entsprechende Kabel benötigt. Je nach Einsatzgebiet und Anwendung ist weiteres Zubehör notwendig.

Bic

om

_13685.1

3810.0

1

175.6

2.0

1

3.2

.11.1

6

Printe

d in G

erm

any o

n c

hlo

rine-f

ree b

leached

pap

er

Te

chnic

al altera

tions r

eserv

ed

Netzgerät, Kabel und Zubehör

800100V0003 – TURBO.POWER integra inkl. 0,3 m Kabel

800096V0100 – Kabel TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 1 m

800096V0300 – Kabel TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 3 m

800096V0500 – Kabel TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 5 m

800102V0002 – Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, Euro-Stecker

800102V0003 – Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, UK-Stecker

800102V1002 – Netzleitung für Netzgeräte, 3 m, US-Stecker 5-15P, 115V

800110V0016 – Zubehörkabel TURBOVAC i, M8-M8, 2m

800110V0020 – Y-Verteiler TURBOVAC i, M8

800110V0021 – Start-Stopp Schalter für TURBOVAC i

800110V0108 – USB-Kabel 2.0 Typ A/B, 1,8 m

800110V0030 – Relais-Box für Vorpumpe, 1-phasig, 10 A

inkl. 2m M8-M8-Kabel

Kühlung

800136V0007 – Luftkühlung radial TURBOVAC 90 i(X)

800136V0009 – Luftkühlung radial TURBOVAC 250 i(X)

800136V0005 – Luftkühlung radial TURBOVAC 350-450 i(X)

800136V0008 – Luftkühlung axial TURBOVAC 90 i(X) und 250 i(X)

800136V0006 – Luftkühlung axial TURBOVAC 350-450 i(X)

800135V0005 – Wasserkühlung TURBOVAC i(X), G 1/8“

800135V0006 – Wasserkühlung TURBOVAC i(X), G 1/4“

Heizung

800137V0003 – Heizmanschette DN 63 CF, 230 V

800137V0004 – Heizmanschette DN 63 CF, 115 V

800137V0005 – Heizmanschette DN 100 CF, 230V

800137V0006 – Heizmanschette DN 100 CF, 115V

800137V0007 – Heizmanschette DN 160 CF, 230V

800137V0008 – Heizmanschette DN 160 CF, 115V

Belüftung und Sperrgas

800120V0012 – Belüftungsventil TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8“

800120V0013 – Sperrgasventil TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/8“

800120V0014 – Sperrgasdrossel TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/8“

800120V0022 – Stromausfallfl uter TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8“

800110V0022 – Luftfi lter für TMP, G 1/8“

TURBOVAC 90 iX 250 iX 350 iX 450 iX T 350 iX T 450 iX

Hochvakuumfl ansch 63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K

Kat.-Nr. *) 810031V3300 820051V3300 830051V3300 830071V3300 830050V3300 830070V3300

Hochvakuumfl ansch 63 CF 100 CF 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF

Kat.-Nr. *) 810041V3300 820061V3300 830061V3300 830081V3300 830060V3300 830080V3300

* alle angegebenen Katalognummern mit USB+, 15-Pin digital I/O und RS485; weitere Schnittstellen auf Anfrage.

Die LEYASSIST Software für Turbomolekularpumpen ist im Standardlieferumfang der TURBOVAC iX enthalten.

Leybold GmbH

Bonner Str. 498 · D-50968 Köln

T +49 (0) 221-347-0

F +49 (0) 221-347-1250

info@leybold.com

www.leybold.com