改良型ハルトマンマスク搭載

高空間分解能波面センサ高空間分解能波面センサ

シャックハルトマン型 波 面センサに満足されていないエンジニアの皆さまへ

レーザ光源の波面特性評価に！

SID4シリーズ + SID4ソフトウェア

株式会社 オプトサイエンス　www.optoscience.com2

これまでの波面計測： シャックハルトマン型波面センサ

それまでの煩わしさ、一度に解決 ! !マイクロレンズアレイの代わりに回折マスクを使用。回折と干渉現象から入射ビームの波面を評価。これまでと全く異なる手法で波面評価を行う、全く新しいこれからの波面センサです。

入射ビーム

改良型ハルトマンマスク センサ

４方向にシアリング

SID4 波面センサ 波面マップ

干渉画像

広がりのあるビームもそのまま入射OK!! 高空間分解能でスムースな波面データ

高分解能に位相をマップ表示

Phasics シャックハルトマン

■ 並行光以外のビームも補正せずにそのまま測定

■ レーザの波面特性をZernike 係数を確認しながらリアルタイムに評価

■ ビームプロファイル、ファーフィールド機能も搭載

マイクロレンズアレイ

センサ面領域外で測定不可

センサ上の1集光点の動き理想波面の集光点乱れた波面の集光点

そのコア技術は、マイクロレンズアレイ。それを透過した各ビームの移動方向 /距離から波面を計測します。だから・・・1. 測定光は並行光のみ 並行光以外は、リレーレンズで並行光に補正が必要。2. 低空間分解能 /低ダイナミックレンジ 多くの画素をレンズごとに割り当てる必要あり。

改良型ハルトマンマスク波面センサ： SID4シリーズそこで

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レーザ特性測定ソフトウェア SID4

① Intensity Map ② Phase Map ③ Phase 情報④ 測定ツール ⑤ アライメント、設定機能 ⑥ 解析ツール

Zernike 波面収差マップをクリックすると、即座に残差成分をマップと係数で表示

ビームプロファイル機能 (オプション）M2、ストレール比、ビーム傾斜 など

SID4 UV SID4 SID4 HR SID4

動作波長 (nm) 250 - 400 400 - 1,100 400 - 1,100 400 - 1,100

センササイズ (mm) 7.4 x 7.4 3.6 x 4.8 8.9 x 11.8 4.7 x 3.5

空間分解能 (µm) 29.6 29.6 29.6 29.6

サンプリング 250 x 250 160 x 120 300 x 400 160 x 120

絶対精度 10nm RMS 10nm RMS 15nm RMS 15nm RMS

Phase 分解能 2nm RMS < 2nm RMS < 2nm RMS 2nm RMS

ダイナミックレンジ (PtV) > 100µm > 100µm > 500µm ー

SID4 NIR SID4 SWIR SID4 SWIR-HR SID4 DWIR SID4 LWIR

動作波長 (µm) 1.5 - 1.6 0.9 - 1.7 0.9 - 1.7 3 - 5 & 8 - 14 8 - 14

センササイズ (mm) 3.6 x 4.8 9.6 x 7.6 9.6 x 7.6 10 x 8 16 x 12

空間分解能 (µm) 29.6 120 60 68 100

サンプリング 160 x 120 80 x 64 160 x 120 160 x 120 160 x 120

絶対精度 15nm RMS 15nm RMS 15nm RMS 75nm RMS 25nm RMS

Phase 分解能 < 11nm RMS < 2nm RMS < 2nm RMS 25nm RMS 75nm RMS

ダイナミックレンジ (PtV) > 100µm > 100µm > 300µm > 500µm > 500µm

※ 製品の仕様は、予告なく変更になる場合があります。

+ SID4 ： レーザ光源波面特性ソフトウェア 透過波面、ゼルニケ係数、MTF、PSF測定など

+ KALEO ： 光学部品測定ソフトウェア 透過波面、ゼルニケ係数、ビームプロファイル機能など

+ OASys ： 補償光学用ソフトウェア デフォーマブルミラーとの組み合わせで波面補正を完全に制御

+ DENSITY ： ガス密度観測ソフトウェア プラズマ、ガス密度観測など

ソフトウェア