CAÙC PHÖÔNG PHAÙP THU ÑIEÄN TÖÛ TRONG SEM

1

AÛNH THAØNH PHAÀN VAØ AÛNH ÑÒA HÌNH

Thöôøng khoù phaân bieät aûnh ñòa hình vaø aûnh thaønh phaàn do caùc tín hieäu xen phuû leân nhau taïo töông phaûn toång hôïp cho hình aûnh. SEM söû duïng phöông phaùp sau ñeå taùch bieät hai daïng aûnh naøy:

Caëp detector raén ñöôïc ñaët ôû 2 phía cuûa maãu ñoái xöùng qua truïc quang hoïc, caùc tín hieäu thu ñöôïc ñöôïc coäng vaø tröø baèng phöông phaùp ñieän

Hình aûnh thaønh phaàn laø A+B (nhìn hình veõ) Hình aûnh ñòa hình laø A-B (nhìn hình veõ)

2