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ファイブラボ株式会社
PEAPEA空間電荷測定装置空間電荷測定装置
PEANUTS(Pulsed Electro Acoustic Non-destructive Test System)
ファイブラボ株式会社
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ファイブラボ株式会社
PEAPEA空間電荷測定装置空間電荷測定装置
絶縁材料内部の空間電荷分布を
パルス静電応力法(PEA法)
により非破壊で測定する装置。
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ファイブラボ株式会社
PEAPEA空間電荷測定装置空間電荷測定装置
絶縁材料内部の空間電荷分布を
パルス静電応力法(PEA法)
により非破壊で測定する装置。
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ファイブラボ株式会社
空間電荷測定の重要性
絶縁体内に空間電荷がたまると
均一であるべき電界が歪む
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ファイブラボ株式会社
空間電荷測定の重要性
絶縁体内に空間電荷がたまると
均一であるべき電界が歪む
誘導電界が発生し、デバイスの
電気的特性を乱す可能性がある
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主なアプリケーション
●銅電極からのプリント基板深さ方向への イオンマイグレーション検査
●半導体デバイスの封止用樹脂の信頼性評 価
●帯電防止樹脂の空間電荷挙動
●コピー機の有機感光体での電荷挙動
●放射線を照射した試料の測定
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ファイブラボ株式会社
PEAPEA空間電荷測定装置空間電荷測定装置
絶縁材料内部の空間電荷分布を
パルス静電応力法(PEA法)
により非破壊で測定する装置。
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パルス静電応力法(PEA法)原理Pulsed Electro-Acoustic Method
出力信号
弾性波
正の内部電荷
正の誘導電荷
負の内部電荷
負の誘導電荷
圧電素子
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PEANUTSPEANUTS 標準測定部
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PEANUTSPEANUTS 特徴
測定が簡単。
非破壊測定。
高い再現性。
空間電荷分布を直接観測。
リアルタイムによる測定。
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測 定 画 面
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測 定 デ ー タ 例
PMMA基板(バイアス無し)
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ファイブラボ株式会社
測 定 デ ー タ 例
PMMA基板(バイアス有り)
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測 定 デ ー タ 例
塩ビ基板(表)
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測 定 デ ー タ 例
塩ビ基板測定(裏)
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測 定 デ ー タ 例
電荷注入後のアクリル基板貼り合せ
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ファイブラボ株式会社
PEANUTSPEANUTS オプション
光照射用電極ユニット
温度制御用電極ユニット
液浸用電極ユニット
定電荷印加装置
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ファイブラボ株式会社
PEANUTSPEANUTS オプション
光照射用電極ユニット
温度制御用電極ユニット
液浸用電極ユニット
定電荷印加装置
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ファイブラボ株式会社
温度制御用電極ユニット温度制御用電極ユニット
●空間電荷分布の温度特性評価用
上部電極用ヒータ
下部電極用ヒータ
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ファイブラボ株式会社
PEANUTSPEANUTS オプション
光照射用電極ユニット
温度制御用電極ユニット
液浸用電極ユニット
定電荷印加装置
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ファイブラボ株式会社
光照射用電極ユニット光照射用電極ユニット
●感光特性及び時間変化の評価用
バイアス用高電圧電源
光ファイバー
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ファイブラボ株式会社
PEANUTSPEANUTS オプション
光照射用電極ユニット
温度制御用電極ユニット
液浸用電極ユニット
定電荷印加装置
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ファイブラボ株式会社
液浸用電極ユニット液浸用電極ユニット
●液体中の電荷分布特性評価用
真空吸引口
液体注入口 バイアス用高電圧電源
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ファイブラボ株式会社
PEANUTSPEANUTS オプション
光照射用電極ユニット
温度制御用電極ユニット
液浸用電極ユニット
定電荷印加装置
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定電荷印加装置
表面の電荷減衰状況に加えて、
表面帯電によるサンプル内部の空間電荷分布の変化
をリアルタイムで観察できます
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観測データ例
Cha
rge
dens
ityq(
Arb
.uni
t)C
harg
e de
nsity
q(A
rb.u
nit)
Cha
rge
dens
ityq(
Arb
.uni
t)
Cha
rge
dens
ityq(
Arb
.uni
t)C
harg
e de
nsity
q(A
rb.u
nit)
Cha
rge
dens
ityq(
Arb
.uni
t)
Cha
rge
dens
ityq(
Arb
.uni
t)C
harg
e de
nsity
q(A
rb.u
nit)
Cha
rge
dens
ityq(
Arb
.uni
t)
t = 0
t=1sec
短絡
導電性の高い試料(カーボン充填ポリマー等)
イオン導電性の試料(高分子電解質等)
絶縁性の試料(一般のプラスチック等)
サンプル
上部電極
下部電極
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その他のPEA装置
3次元PEA装置
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その他のPEA装置
小型PEA装置
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PEANUTSPEANUTSファイブラボ株式会社