圧力調整器セレクション・チャート Ⅰ (業種・用途・ガス別)glu-10a glu-25...

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調 調 調 設置場所 スタウト アスター・デラックス GLU-30 GLU-60 GLU-120 GLU-180 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ スタウト アスター・デラックス アスター・キング GLU-10A GLU-25 GS-14/GS-20 AC-60/AC-80 MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P RP-70 GLU-10P GLU-25 GS-140L GS-200L MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) FH-1 GLU-10P GLU-25 FH-2 FH-1 GLU-10P GLU-25 FH-2 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ GHN-4/BHN-4シリーズ KR-30H/TKR-30Hシリーズ KR-80H/TKR-80Hシリーズ KR-120H/TKR-120Hシリーズ KR-170H/TKR-170Hシリーズ SKR-200Hシリーズ SKR-400H GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ GS-140H/GS-200Hシリーズ TKR-140/TKR-200シリーズ TKR-140H/TKR-200Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) 酸素 アセチレン プロパン エチレン 天然ガス メタン 窒素 液体窒素 15.0 15.0 0.99 2.5 3.0 4.0 3.0 15.0 3/15/20 2.5 2.5 2.5 0.098 0.13 3.0 2.0 1.0 0.2 1.0 2.0 0.15 0.13 3.0 3.0 1.0 0.2 1.0 8.0 0.15 0.13 8.0 15.0 0.15 0.13 8.0 3.0 15.0 3.0/15.0 15.0 15.0 15.0 15.0/20.0 15.0/20.0 15.0/20.0 15.0/20.0 24.6 24.6 3.0 15.0 15.0 20.0 20.0 3/15/20 0.1~0.99 0.1~0.99 0.2~0.8 0.2~1.5 0.1~0.8 0.1~1.5 0.2~1.0 0.2~1.5 0.2~10.0 0.01~0.098 0.01~0.098 0.01~0.098 0.02~0.1 0.02~0.1 0.04~0.15 0.01~0.1 0.01~0.1 0.003~0.02 0.02~0.2 0.02~0.15 0.02~0.1 0.02~0.1 0.2~1.0 0.2~1.0 0.01~0.1 0.003~0.02 0.02~0.2 0.02~0.1 0.02~0.1 0.02~0.1 0.5~0.99 0.02~0.1 0.02~0.1 0.02~0.1 0.02~0.1 0.2~1.0 0.2~1.5 0.2~1.5 0.1~0.6 0.1~0.6 0.1~0.6 0.5~3.0 1.0~8.0 2.0~12.0 3~15/17 2.0~20.0 5.0~30.0 0.2~1.0 0.2~1.5 1.0~4.0 0.2~1.5 1.0~4.0 0.2~10.0 用 途 ガス名 型 式 1次圧力 MAX MPa 調整圧力 MPa 30(逆防有) 35(逆防無) 25 30 120 180 140/200 140/200 中・大流量 2(逆防有) 7(逆防無) 5 25 10/20 80/100 300 150 750 4 4 25 140 200 300 150 750 1 4 25 5 1 4 25 1 140/200 140/200 大流量 100・/min 100 R /min 100 R /min 50 100 80 80 500 75 140/200 140/200 280/400 140/200 280/400 中・大流量 標準流量 m 3 /h ( R /min) 標準状態 N2 13 圧力調整器セレクション・チャート (業種・用途・ガス別) *本体材質で、C3771BとSUS304もしくは、SUS316の両方にが付いている場合、真鍮製とステンレス製の両モデル からお選びいただけます。 ●ガス溶接・切断 ・加熱・ろう付け用 ●窯業用酸素富化 ●石英ガラス溶融用 ●ガス溶接・切断 ・加熱・ろう付け用 ●鋳型とガラス製品の離型剤 ●ガス溶接・切断・加熱用 ●炉体燃料 ●ガス溶接・切断・加熱用 ●ガス溶接・切断・加熱用 ●炉体燃料 ●耐圧・気密・高圧充填 ●レーザー・アシストガス用 ●ショック・アブソーバー への封入 ●タイヤ充填 ●アルミ押出成形加工 ●無酸化鍛造加熱雰囲気 ●フロート・ガラスの製造 (溶融ガラスの不活性化) ●可燃性ガス配管・貯蔵 タンク・タンカー等修理時 の不活性雰囲気 ●ゴム部品のバリ取り, 金属低温処理用 本体材質 C3771B SUS304 SUS316 アルミニウム *液体のまま使用 掲載ページ 29 30 31 32 34 34 35 35 61 62 63 64 65 93 29 30 31 32 34 35 59 96 97 98 98 33 34 35 61 62 97 98 98 99 102 33 34 35 60 33 34 35 60 61 62 63 64 7374, 7784 99 102 117 118 119, 121 126, 129 49, 53 50, 54 51, 55 52, 56 57 58 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 73 93 99 102 ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力 16.2 MPa 15.0 MPa 21.6 MPa 20.0 MPa 3.0 MPa 3.0MPa 以下

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  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    設置場所

    スタウト アスター・デラックス GLU-30 GLU-60 GLU-120 GLU-180 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ スタウト アスター・デラックス アスター・キング GLU-10A GLU-25 GS-14/GS-20 AC-60/AC-80 MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P RP-70 GLU-10P GLU-25 GS-140L GS-200L MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) FH-1 GLU-10P GLU-25 FH-2 FH-1 GLU-10P GLU-25 FH-2 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ GHN-4/BHN-4シリーズ KR-30H/TKR-30Hシリーズ KR-80H/TKR-80Hシリーズ KR-120H/TKR-120Hシリーズ KR-170H/TKR-170Hシリーズ SKR-200Hシリーズ SKR-400H GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ GS-140H/GS-200Hシリーズ TKR-140/TKR-200シリーズ TKR-140H/TKR-200Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧)

    酸素

    アセチレン

    プロパン

    エチレン

    天然ガス

    メタン

    窒素

    液体窒素

    15.015.00.992.53.04.03.015.03/15/202.52.52.50.0980.133.02.01.00.21.02.00.150.133.03.01.00.21.0

    8.00.150.138.015.00.150.138.03.015.03.0/15.0

    15.015.015.0

    15.0/20.015.0/20.015.0/20.015.0/20.024.624.63.015.015.020.020.03/15/20

    0.1~0.990.1~0.990.2~0.80.2~1.50.1~0.80.1~1.50.2~1.00.2~1.50.2~10.00.01~0.0980.01~0.0980.01~0.0980.02~0.10.02~0.10.04~0.150.01~0.10.01~0.10.003~0.020.02~0.20.02~0.150.02~0.10.02~0.10.2~1.00.2~1.00.01~0.10.003~0.020.02~0.2

    0.02~0.10.02~0.10.02~0.10.5~0.990.02~0.10.02~0.10.02~0.10.02~0.10.2~1.00.2~1.50.2~1.5

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.60.5~3.01.0~8.02.0~12.03~15/172.0~20.05.0~30.00.2~1.00.2~1.51.0~4.00.2~1.51.0~4.00.2~10.0

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    用 途 業種

    ガス名 型 式

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    30(逆防有)35(逆防無)2530120180140/200140/200中・大流量

    2(逆防有)7(逆防無)

    52510/2080/1003001507504425140200300150750

    1425514251

    140/200140/200大流量

    100・/min100R/min100R/min50100808050075

    140/200140/200280/400140/200280/400中・大流量

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    造船・自動車・鉄道車両等輸送機産業/産業機械・金属加工業/溶接加工業/ガラス・窯業

    13

    圧力調整器セレクション・チャート (業種・用途・ガス別) Ⅰ *本体材質で、C3771BとSUS304もしくは、SUS316の両方に●が付いている場合、真鍮製とステンレス製の両モデルからお選びいただけます。

    ●ガス溶接・切断 ・加熱・ろう付け用●窯業用酸素富化●石英ガラス溶融用

    ●ガス溶接・切断 ・加熱・ろう付け用●鋳型とガラス製品の離型剤

    ●ガス溶接・切断・加熱用●炉体燃料

    ●ガス溶接・切断・加熱用

    ●ガス溶接・切断・加熱用●炉体燃料

    ●耐圧・気密・高圧充填●レーザー・アシストガス用●ショック・アブソーバー への封入●タイヤ充填●アルミ押出成形加工●無酸化鍛造加熱雰囲気●フロート・ガラスの製造 (溶融ガラスの不活性化)●可燃性ガス配管・貯蔵 タンク・タンカー等修理時 の不活性雰囲気

    ●ゴム部品のバリ取り, 金属低温処理用

    本体材質

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    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

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    *液体のまま使用

    掲載ページ

    29 ~ 30 31 ~ 32 34 34 35 35 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 29 ~ 30 31 32 34 35 59 96 97 98 98 33 34 35 61 62 97 98 98 99 ~ 102 33 34 35 60 33 34 35 60 61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 99 ~ 102 117 ~ 118 119, 121 126, 129 49, 53 50, 54 51, 55 52, 56 57 58 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 66 67 ~ 68 69 ~ 70 73 ~ 93 99 ~ 102

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    14

    Ⅰ 設置場所

    GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ CHSN-4シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ GS-140L-H/GS-200L-Hシリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) AHSN-1/GHSN-1/BHSN-1 AHSN-3/GHSN-3/BHSN-3シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ KR-30H-H/TKR-30H-Hシリーズ KR-80H-H/TKR-80H-Hシリーズ KR-120H-H/TKR-120H-Hシリーズ KR-170H-H/TKR-170H-Hシリーズ SKR-200H-Hシリーズ SKR-400H-H GS-140L-H/GS-200L-Hシリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ GS-140H-H/GS-200H-Hシリーズ TKR-140-H/TKR-200-Hシリーズ TKR-140H-H/TKR-200H-Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) AHN-1/GHN-1 AHN-2/GHN-2 BHN-1 BHN-2 CHN(U)-1/2 エコノダイヤルB-Ar エコノダイヤルH-Ar(R付) エコノダイヤルH-Ar(Rなし) GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) EH-1N/2N/3N/4N(ヒーター付) EH50-1(ヒーター付) EH50-3/4(ヒーター付) EH100-1(ヒーター付) EH100-3/4(ヒーター付) エコノダイヤルB-Ar/CO2(ヒーター付) エコノダイヤルH-CO2(R付) エコノダイヤルH-CO2(Rなし) 炭酸ガス用フィン式圧力調整器 CHN(U)-1/2 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GS-80 BHSN-3 BHSS-3 EX-20mkⅡ-G3 EX-100mkⅡ-G3

    水素

    ヘリウム

    アルゴン

    MAG/MIG/TIG用 混合ガス

    炭酸ガス

    レーザーガス(3種混合)

    レーザーガス(4種混合)

    15.015.00.9915.03.015.03/15/20

    15.015.015.0

    15.0/20.015.0/20.015.0/20.015.0/20.024.635.03.015.015.020.020.03/15/20

    15.015.015.015.00.9915.0

    0.35~1.00.3固定3.015.03/15/20

    12.012.012.012.012.015.0

    0.35~1.00.3固定12.00.993.015.03.0/15.0

    15.015.015.015.015.0

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.2~1.00.2~1.50.2~10.0

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.60.5~3.01.0~8.02.0~12.03~15/172.0~20.05.0~30.00.2~1.00.2~1.51.0~4.00.2~1.51.0~4.00.2~10.0

    0.1~0.60.15固定0.1~0.60.15固定0.1~0.315/30/50R/min15/30/50R/min15/30/50R/min

    0.2~1.00.2~1.50.2~10.0

    0.1~0.30.15固定0.1~0.30.15固定0.1~0.315/30/50R/min15/30/50R/min15/30/50R/min

    0.1~0.30.1~0.30.2~1.00.2~1.50.2~1.5

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.6

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    用 途 業種

    ガス名 型 式

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    200R/min(H2)200R/min(H2)60R/min(H2)200R/min(H2)280/460(H2)280/400(H2)中・大流量

    200R/min(He)200R/min(He)200R/min(He)100(He)200(He)160(He)160(He)1000(He)150(He)280/460(He)280/400(He)560/800(He)280/400(He)560/800(He)中・大流量

    100R/min60R/min100R/min60R/min30R/min

    140/200140/200中・大流量

    25R/min50R/min50R/min100R/min100R/min

    25R/min30R/min140/200140/200大流量

    30100R/min100R/min20R/min100R/min

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    造船・自動車・鉄道車両等輸送機産業/産業機械・金属加工業/溶接加工業/ガラス・窯業

    *下記以外の用途以外にも様々な用途にご使用いただけます。 *下記以外の器種に関しては、P20~P28の【ガス・グループ・タイプ別 圧力調整器セレクション・チャート】をご覧下さい。

    ●ガス切断・加熱用●ガラス研磨●石英ガラス溶融用●光ファイバー製造用

    ●リークテスト用●溶接用シールドガス (MAG・MIG・TIG)●レーザー用光源ガス●光ファイバー製造用

    ●溶接・切断加工用 シールドガス●プラズマ用●エアーバッグ封入用●金属成形(HIP)時の 酸化・窒化防止●二重ガラス封入用●特殊鋼の溶接

    ●溶接用シールドガス, レーザー用●鋳物用●消火用,パージ・置換用

    ●炭酸レーザー発振器用 (レーザー溶接・切断用)

    本体材質

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    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

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    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    36~38, 117~118 120, 123 125 128, 131 61, 62 63, 64 65 ~ 93 99 ~ 102 117 ~ 118 119~120, 123 128, 131 49, 53 50, 54 51, 55 52, 56 57 58 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 66 67 ~ 68 69 ~ 70 73 ~ 93 99 ~ 102 36, 37 36, 37 38 38

    39 43 ~ 44 43 ~ 44 43 ~ 44 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 99 ~ 102 45 46 46 46 46

    43 ~ 44 43 ~ 44 43 ~ 44 47 38

    61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 99 ~ 102 48 123 123 48 48

    掲載ページ

    ※一部  章より掲載しております。 Ⅱ

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    設置場所

    GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ GS-140H/GS-200Hシリーズ TKR-140/TKR-200シリーズ TKR-140H/TKR-200Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ RsC-3S MGS-200シリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GLU-25 GS-140L/GS-200Lシリーズ その他のGS-Lシリーズ MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GLU-25 FH-2 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GS-140L-H/GS-200L-Hシリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ GS-140H-H/GS-200H-Hシリーズ TKR-140-H/TKR-200-Hシリーズ TKR-140H-H/TKR-200H-Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ MGS-200S 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GS-140LS-F/GS-200LS-F 伊藤工機㈱製 アンモニア用調整器 AM/ACシリーズ GS-140LS-F/GS-200LS-F GS-140S GS-200S GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ GS-140LS-F/GS-200LS-F GS-140LS-F/GS-200LS-F

    酸素

    窒素

    アルゴン

    液体窒素

    炭酸ガス

    プロパン

    天然ガス

    メタン

    水素

    ヘリウム

    アンモニア

    硫化水素

    一酸化炭素

    酸素(オゾン)

    塩素亜硫酸ガス

    3.015.015.020.020.03/15/201.00.21.0

    3.015.03.0/15.016.21.0

    0.1315.03.01.00.21.0

    0.138.03.015.03.0/15.0

    3.015.015.020.020.03/15/201.0

    3.0 3.015.015.03.015.03.0/15.03.03.0

    0.2~1.00.2~1.51.0~4.00.2~1.51.0~4.00.2~10.00.01~0.10.003~0.020.02~0.2

    0.2~1.00.2~1.50.2~1.50.2~1.00.01~0.1

    0.02~0.10.2~1.50.2~1.00.01~0.10.003~0.020.02~0.2

    0.02~0.10.02~0.10.2~1.50.2~1.50.2~1.5

    0.2~1.00.2~1.51.0~4.00.2~1.51.0~4.00.2~10.00.01~0.1

    0.1~0.3

    0.1~0.30.2~1.50.2~1.50.2~1.00.2~1.50.2~1.50.1~0.30.1~0.3

    ●●●●●●●●●●

    ●●●●●●

    ●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    用 途 業種

    ガス名 型 式 掲載ページ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    140/200140/200280/400280/400280/400中・大流量300150750

    140/200140/200大流量3000240

    25140/200大流量300150750

    251

    140/200140/200大流量

    280/460(H2,He)280/400(H2,He)560/800(H2,He)560/800(H2,He)560/800(H2,He)中・大流量600(H2,He)

    55/90

    110/180140200140/200140/200大流量50/8010/15

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    鉄鋼・非鉄金属

    紙・パルプ

    15

    61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 66 67 ~ 68 69 ~ 70 73 ~ 93 97 98 98 99 ~ 102 61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 94 97 99 ~ 102 37 61 ~ 62 77 ~ 80 97 98 98 99 ~ 102 37 60 61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 99 ~ 102 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 66 67 ~ 68 69 ~ 70 73 ~ 93 97 99 ~ 102 104 101 104 63 64 61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 104 104

    圧力調整器セレクション・チャート (業種・用途・ガス別) Ⅰ *本体材質で、C3771BとSUS304もしくは、SUS316の両方に●が付いている場合、真鍮製とステンレス製の両モデルからお選びいただけます。

    ●製鋼・冶金・精錬用助燃剤●スカーフィング●鋳鋼吸込み, キューポラ吸込み●銅・アルミ・鉛の精錬●冶金・金属熱処理・ 精錬用雰囲気ガス●微粉炭の圧送●酸化防止雰囲気ガス●攪拌・脱ガスAOD精錬・ 冶金用●溶解金属の不純物除去, 金属成形(HIP)●熱処理後の銅のサブゼロ処理●製鋼用●パージガス●消火用

    ●表面処理,炉体燃料

    ●炉体燃料

    ●金属の還元・冶金, 特殊金属の精錬用

    ●冶金用

    ●精錬用●高純度ニッケルの製造用

    ●漂白剤

    本体材質

    ●●●●●●●

    ●●●

    ●●●●

    ●●●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●●

    ●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●

    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

    ●●●

    ●●●

    ●●●●●●●

    ●●●

    ●●●●

    ●●●

    ●●●●●●●

    *液体のまま使用

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    16

    *液体のまま使用

    *液体のまま使用

    *液体のまま使用

    設置場所

    AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ CHN(U)-1/2 CHN-4シリーズ GHN-4/BHN-4シリーズ GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ CHSN(U)-1/2 CHSN-4シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ GS-140L-H/GS-200L-Hシリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ CHSN-4シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 EX-500mkⅡ/600mkⅡG2,G3 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ MGS-200 RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 KR-30H(-H)/TKR-30H(-H)シリーズ KR-80H(-H)/TKR-80H(-H)シリーズ KR-120H(-H)/TKR-120H(-H)シリーズ KR-170H(-H)/TKR-170H(-H)シリーズ GS-140/GS-200シリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ GS-140H/GS-200Hシリーズ GS-140H-H/GS-200H-Hシリーズ その他のGS/TKRシリーズ その他のGS-H/TKR-Hシリーズ GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3

    酸素

    窒素

    アルゴン

    水素

    クリプトンキセノン

    ネオン

    液化ヘリウム

    プロパン天然ガス

    炭酸ガス

    窒素

    窒素

    クリプトンキセノン

    液化ヘリウム

    窒素

    ヘリウム

    キセノン

    液化酸素液化水素液化ヘリウム

    15.015.00.990.9915.03.015.03/15/2015.015.00.990.9915.015.015.03/15/2015.015.00.9915.020.020.03.0

    3.015.03/151.00.21.0

    3.015.03/15/2015.015.020.020.0

    15.0/20.015.0/20.015.0/20.015.0/20.015.015.015.015.015/2015/2015.015.020.020.0

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.30.1~0.60.2~1.00.2~1.50.2~10.00.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.30.1~0.60.2~1.00.2~1.50.2~10.00.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.1~1.00.1~0.60.1~1.0

    0.2~1.00.2~1.50.2~1.50.01~0.10.003~0.020.02~0.2

    0.2~1.00.2~1.50.2~10.00.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~0.6

    0.5~3.01.0~8.02.0~12.03~15/170.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~10.00.2~10.00.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~0.6

    ●●

    ●●

    ●●

    ●●

    ●●●●

    ●●●●

    ●●●●

    ●●

    ●●

    ●●●●●

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    ●●

    ●●●●●●●●●●

    ●●

    用 途 業種

    ガス名 型 式

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    100R/min100R/min30R/min30R/min100R/min140/200140/200中・大流量200R/min(H2)200R/min(H2)60R/min60R/min(H2)200R/min(H2)280/460(H2)280/400(H2)中・大流量100R/min100R/min30R/min200R/min(H2)20・100R/min20・100R/min20・100R/min

    140/200140/200大流量240150600

    140/200140/200中・大流量100R/min100R/min20・100R/min20・100R/min

    50(N2)/100(He)100(N2)/200(He)80(N2)/160(He)80(N2)/160(He)140/200280(He)/400(He)280/400560(He)/800(He)中・大流量中・大流量100R/min100R/min20・100R/min20・100R/min

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    家電・電機

    電力・エネルギー

    原子力

    航空・宇宙産業

    *下記以外の用途以外にも様々な用途にご使用いただけます。 *下記以外の器種に関しては、P20~P28の【ガス・グループ・タイプ別 圧力調整器セレクション・チャート】をご覧下さい。

    ●電子工業用

    ●家電組立て駆動用●電子工業用●電球・蛍光灯封入用

    ●電子工業用

    ●電球・蛍光灯封入用●ハロゲン・ランプ

    ●プラズマ・ディスプレイの パネル封入ガス●液晶バックライト●ネオン管●超電導(MRI,リニアモーターカー等),超低温実験用,光ファイバー用●都市ガス,発電燃料●ガス・コージェネレーション

    ●消火用,パージ・置換用●可燃性ガス配管・タンク等 修理時の不活性雰囲気ガス

    ●原子炉のシーリング, 配管内パージ

    ●原子炉安全操業用 の標識ガス

    ●原子炉の冷却用●航空機タイヤ窒素充填

    ●液化水素ガス配管の置換●液化水素ガスの押出し

    ●衛星姿勢制御 エンジン運転用

    ●ロケットの助燃料●ロケット燃料●ロケット用低温タンクの加圧

    本体材質

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●

    ●●●

    ●●●

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    ●●●●●●●●●●

    ●●

    ●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●

    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

    ●●●

    ●●●●●

    ●●●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●●●●●●●

    ●●●

    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    36~38, 117~118 119, 120, 123 39 125 128, 131 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 36 ~ 38 120, 123 38 125 128, 131 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 36~38, 117~118 120, 123 125 128, 131 122, 130 124, 133 127 61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 97 98 98 99 ~ 102 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 36 ~ 38 120, 123 122, 130 124, 133 49, 53 50, 54 51, 55 52, 56 63 ~ 64 63 ~ 64 65 ~ 66 65 ~ 66 67 ~ 93 67 ~ 93 36~38, 117~118 120, 123 122, 130 124, 133

    掲載ページ

    ※一部  章より掲載しております。 Ⅱ

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    設置場所

    AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ CHN-4シリーズ GHN-4/BHN-4シリーズ GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GS-140Lシリーズ GS-200Lシリーズ MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ CHSN-4シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ GS-140L-H/GS-200L-Hシリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ MGS-200S 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧) EX-20mkⅡ-F/EX-100mkⅡ-F GS-140LS-F/GS-200LS-F 伊藤工機㈱製 アンモニア用調整器 AM/ACシリーズ EX-20mkⅡ-F/EX-100mkⅡ-F GS-140LS-F/GS-200LS-F EX-20mkⅡ-F/EX-100mkⅡ-F GS-140/GS-200(メッキなし) GS-140S/GS-200S EX-20mkⅡ-F/EX-100mkⅡ-F GS-140LS-F/GS-200LS-F EX-20mkⅡ-F/EX-100mkⅡ-F GS-140LS-F/GS-200LS-F EX-20mkⅡ-F/EX-100mkⅡ-F GS-140LS-F/GS-200LS-F

    酸素

    窒素

    窒素

    液体窒素

    液化炭酸ガス

    ドライアイス

    プロパン

    LPG亜酸化窒素

    水素

    アンモニア

    塩素

    一酸化炭素

    亜硫酸ガス

    塩化水素

    硫化水素

    15.015.00.9915.03.015.03/15/20

    3.03.01.00.21.0

    15.015.00.9915.015.015.03/15/201.0

    3.03.0

    3.03.09.89.89.83.03.06.06.03.03.0

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.2~1.00.2~1.50.2~10.0

    0.2~1.00.2~1.00.01~0.10.003~0.020.02~0.2

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.2~1.00.2~1.50.2~10.00.01~0.1

    0.1~0.30.1~0.3

    0.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.20.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.3

    ●●

    ●●

    ●●●●●

    ●●●●●●

    ●●●●●●

    ●●

    ●●

    用 途 業種

    ガス名 型 式 掲載ページ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    100R/min100R/min30R/min100R/min140/200140/200中・大流量

    140200300150750

    200R/min(H2)200R/min(H2)60R/min(H2)200R/min(H2)280/460(H2)280/400(H2)中・大流量240

    45・129R/min55/90

    22・55R/min50/80

    20・100R/min57/10257/10223・66R/min10/15

    15・77R/min38/78

    32・91R/min110/180

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    化学・薬品・石油化学

    17

    36~38, 117~118 119, 120, 123 125 128, 131 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 99 ~ 102 61 62 97 98 98 99 ~ 102 36~38, 117~118 120, 123 125 128, 131 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 97 99 ~ 102 103 104 101 102 104 103 63 ~ 64 63 ~ 64 103 104 103 104 103 104

    圧力調整器セレクション・チャート (業種・用途・ガス別) Ⅰ *本体材質で、C3771BとSUS304もしくは、SUS316の両方に●が付いている場合、真鍮製とステンレス製の両モデルからお選びいただけます。

    ●プラスチック製造における助燃剤●原料ガスの製造・酸化用●油脂の硬化並びに脱臭●特殊化学薬品の還元・水添用●化学薬品の製造・酸化防止●アンモニア・石炭窒素の合成●乾燥・加圧・パージ・保安用●可燃性有機溶剤の 安全保持と回収●超低温粉砕(バリ取り), 樹脂吸込成形での冷却●冷媒,超臨界抽出, ドライアイス製造●ブラスト洗浄用ペレット製造●化学材料

    発泡剤,噴射剤,冷媒,溶剤噴射剤●還元剤●燃料やガソリンの脱硫用●ガスの精製用●粗アルゴンの精製

    ●冷媒用●脱硫・脱硝用, 試料変換用,肥料用●化学材料,無機薬品の製造用●染料中間体の製造用●還元ガス用,化学合成用

    ●冷媒

    ●医療品・農薬の原料, 触媒の再生●工業薬品,医薬用

    本体材質

    ●●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●

    ●●

    ●●

    ●●●

    ●●●

    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

    ●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●●

    *液体のまま使用

    *液体のまま使用

    *固体のまま使用

    *液体のまま使用*液体のまま使用

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    18

    *液体のまま使用

    *液体のまま使用*固体のまま使用

    設置場所

    FWR-F/FWR-G/GHF AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ CHN-4 GHN-4/BHN-4 EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 EX-500mkⅡ/600mkⅡG2,G3 EH-1N/2N/3N/4N(ヒーター付) EH50-1(ヒーター付) EH50-3/4(ヒーター付) EH100-1(ヒーター付) EH100-3/4(ヒーター付) GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GSシリーズ FH-1 FH-2 GHSN-1/BHSN-1 GHSN-3/BHSN-3シリーズ CHSN-4シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ GS-140L-H/GS-200L-Hシリーズ GS-140-H/GS-200-Hシリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ RP-70 AHSN-1/GHSN-1/BHSN-1 AHSN-3/GHSN-3/BHSN-3シリーズ スタウト アスター・デラックス スタウト アスター・デラックス アスター・キング RP-70 AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3 EH-1N/2N/3N/4N(ヒーター付) EH50-1(ヒーター付) EH50-3/4(ヒーター付) EH100-1(ヒーター付) EH100-3/4(ヒーター付)

    酸素

    窒素

    アルゴン

    液化窒素

    炭酸ガス

    液化炭酸ガスドライアイス

    エチレン

    水素

    プロパン

    ヘリウム

    酸素

    アセチレン

    プロパン

    窒素

    炭酸ガス

    酸化エチレン

    15.015.015.00.9915.020.020.03.0

    12.012.012.012.012.03.015.03.0/15.0

    8.08.015.015.00.9915.015.015.03/15/202.015.015.015.015.02.52.52.52.015.015.012.012.012.012.012.0

    0.05~0.20.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.1~1.00.1~0.60.1~1.0

    0.1~0.30.15固定0.1~0.30.15固定0.1~0.30.2~1.00.2~1.50.2~1.5

    0.02~0.10.5~0.990.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.2~1.00.2~1.50.2~10.00.02~0.150.1~0.60.1~0.60.1~0.990.1~0.990.01~0.0980.01~0.0980.01~0.0980.02~0.150.1~0.60.1~0.60.1~0.30.15固定0.1~0.30.15固定0.1~0.3

    ●●●

    ●●

    ●●●●●

    ●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●

    用 途 業種

    ガス名 型 式

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    1.5100R/min100R/min30R/min100R/min20・100R/min20・100R/min20・100R/min

    25R/min50R/min50R/min100R/min100R/min140/200140/200大流量

    15

    200R/min(H2)200R/min(H2)60R/min(H2)200R/min(H2)280/460(H2)280/400(H2)中・大流量4

    200R/min(He)200R/min(He)30(逆防有)35(逆防無)

    22(逆防有)7(逆防無)

    4100R/min100R/min25R/min50R/min50R/min100R/min100R/min

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    食品・農林水産業・業務用

    建築・土木現場用

    *下記以外の用途以外にも様々な用途にご使用いただけます。 *下記以外の器種に関しては、P20~P28の【ガス・グループ・タイプ別 圧力調整器セレクション・チャート】をご覧下さい。

    ●魚類養殖・活魚移送●酸素発酵・培養

    ●食品酸化・変質防止●飲料用アルミ缶の補正 (保圧と品質保持)●食品酸化・変質防止

    ●アイスクリームの製造,魚介類、肉類の凍結保存・冷凍食品用

    ●柿脱渋,促成(ハウス)栽培,鶏卵鮮度保持

    ●メロンの熟成●穀物倉庫の雰囲気ガス

    ●ビール・清涼飲料用●その他食品ガス封入

    ●食品冷却・冷凍保存用●食材の保冷材●バナナの熟成

    ●食用油の製造 (油脂の硬化)●人工甘味料の製造

    ●飲食店厨房●アドバルーン,風船

    ●ガス溶接・圧接・切断 解体,アスファルト加熱

    ●コンクリート・クーリング, 土壌凍結,中和用●トンネル内アルカリ性排水 中和処理装置●アーク溶接●建物内の滅菌

    本体材質

    ●●●●●

    ●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

    ●●

    ●●●●●●

    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    108 36~38, 117~118 119~120, 123 125 128, 131 122, 130 124, 133 127 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 61 ~ 62 63 ~ 64 73~74, 77~84 33 60 36~38, 117~118 120, 123 125 128, 131 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 33 36~38, 117~118 120, 123 29 ~ 30 31 ~ 32 29 ~ 30 31 ~ 32 31 ~ 32 33 36~38, 117~118 120, 123 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46

    掲載ページ

    ※一部  章より掲載しております。 Ⅱ

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    設置場所

    MB-10/MB-15 PFR-06(ヨーク弁対応) PFR-08(ヨーク弁対応) PFR-15(ヨーク弁対応) GS-140/GS-200シリーズ その他のGSシリーズ MBO-25 MBN-25 AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ CHN-4シリーズ GHN-4/BHN-4シリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGSシリーズ EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 EX-500mkⅡ/600mkⅡG2,G3 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ その他のGS-L/GS/TKRシリーズ EH-1N/2N/3N/4N(ヒーター付) EH50-1(ヒーター付) EH50-3/4(ヒーター付) EH100-1(ヒーター付) EH100-3/4(ヒーター付) BHN-3 BHN-4 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 GS-80 BHSN-3 BHSN-3(メッキなし) EX-20mkⅡG3 EX-100mkⅡG3 AHSN-1 BHN-1,BHSN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 AHN-1/GHN-1/BHN-1 AHN-3/GHN-3/BHN-3シリーズ CHSN-4シリーズ GHSN-4/BHSN-4シリーズ EX-20mkⅡ/100mkⅡG2,G3 EX-300mkⅡ/400mkⅡG2,G3 EX-500mkⅡ/600mkⅡG2,G3 GS-140L/GS-200Lシリーズ GS-140/GS-200シリーズ MGS-200シリーズ RF-400 RF-400P 伊藤工機㈱製 調整器・ガバナ(極低圧~低圧~中圧)

    酸素

    酸素亜酸化窒素

    窒素

    人工空気

    液化窒素

    液化ヘリウム

    炭酸ガス

    酸化エチレン/炭酸ガス混合ガス液化炭酸ガスレーザーガス(3種混合)

    レーザーガス(4種混合)

    キセノン

    酸素

    プロパン

    天然ガス

    15.015.015.015.015.015.015.015.015.015.00.9915.015.015.020.020.03.03.015.03/15/20

    12.012.012.012.012.015.015.020.0

    15.015.015.015.015.015.015.015.020.020.015.015.00.9915.020.020.03.03.015.01.00.21.0

    0.2固定0.3固定0.3固定0.3固定0.2~1.50.2~1.50.4固定0.4固定0.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.2~1.50.2~10.00.1~1.00.1~0.60.1~1.00.2~1.00.2~1.50.2~10.0

    0.1~0.30.15固定0.1~0.30.15固定0.1~0.30.1~0.60.1~0.60.1~0.6

    0.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.1~1.00.1~0.60.1~1.00.2~1.00.2~1.50.01~0.10.003~0.020.02~0.2

    ●●●●

    ●●●●

    ●●

    ●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●

    ●●

    ●●

    ●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●●●

    用 途 業種

    ガス名 型 式 掲載ページ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    調整圧力

    MPa

    10・15R/min0.25~6R/min0.5~8R/min1.5~15R/min140/200中・大流量25R/min25R/min100R/min100R/min30R/min100R/min140/200中・大流量20・100R/min20・100R/min20・100R/min140/200140/200中・大流量

    25R/min50R/min50R/min100R/min100R/min100R/min100R/min20・100R/min

    30100R/min100R/min20R/min100R/min100R/min100R/min100R/min20・100R/min20・100R/min100R/min100R/min30R/min100R/min20・100R/min20・100R/min20・100R/min140/200140/200300150750

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管末端

    装置・ライン

    医療・発生用

    19

    105 106 106 106 63 ~ 64 73~74, 81~84 107 107 117 ~ 118 119, 120, 123 125 128, 131 63, 64 73~74, 81~84 122, 130 124, 133 127 61 ~ 62 63 ~ 64 65 ~ 93 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 45 ~ 46 123 131 124 48 123 123 48 48 117 118 119, 120, 123 122 124 36~38, 117~118 119, 120, 123 125 128, 131 122, 130 124, 133 127 61 ~ 62 63 ~ 64 97 98 98 99 ~ 102

    圧力調整器セレクション・チャート (業種・用途・ガス別) Ⅰ *本体材質で、C3771BとSUS304もしくは、SUS316の両方に●が付いている場合、真鍮製とステンレス製の両モデルからお選びいただけます。

    ●病院内酸素吸入用

    ●在宅酸素療法

    ●人工空気の酸素成分混合用●高気圧酸素治療●麻酔用ガス

    ●医療用器具の駆動用●細菌培養用

    ●人工空気の窒素成分混合用

    ●病院内人工呼吸器●ICU・CCUでの無菌・ ドライ・クリーンな 空気として利用

    ●冷凍手術●血液・骨髄・精液の 冷凍保存用●低温美容,低温治療●MRI冷却用●気腹手術,炭酸ガス レーザーメス●殺菌・消毒, 呼吸中枢への刺激●インキュベーター用●炭酸水入浴用●滅菌用ガス,書籍用

    ●冷凍手術●レーザー手術機器用

    ●X線CTを用いた局所 脳血流量及び 局所脳血流分布の測定

    ●生物学的排水処理,ゴミ焼却●河川・大気の浄化●焼却炉燃料

    本体材質

    ●●●●●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●●

    ●●●

    ●●

    ●●

    ●●●

    ●●●

    ●●●

    ●●

    ●●●

    ●●●●●●●●

    C3771B

    SUS304

    SUS316

    アルミニウム

    ●●●

    ●●●●●

    ●●

    ●●●

    *液体のまま使用

    *液体のまま使用

    ※一部  章より掲載しております。 Ⅱ

    公害防止・廃棄物処理

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    20

    Ⅰ 設置場所

    スタウト アスターデラックス GLU-30 GLU-60 GLU-120 GLU-180 AHN-1 AHN-2 BHN-1 BHN-2 GHN-1 GHN-2 CHN(U)-1 CHN(U)-2 B-Ar-15L B-Ar-30L B-Ar-50L B-CO2-30L B-CO2-50L H-15L(R付) H-30L(R付) H-50L(R付) H-15L(R無) H-30L(R無) H-50L(R無) EH-1N EH-2N EH-3N EH-4N EH50-1 EH50-3 EH50-4 EH100-1 EH100-3 EH100-4 FC-20 GS-80 BHSN-3(メッキ無) BHSN-3 BHSS-3 EX-20mkⅡG3 EX-20mkⅡG3

    15.015.00.992.53.04.015.015.015.015.015.015.00.990.9915.015.015.015.015.0

    0.35~1.00.35~1.00.35~1.00.3固定0.3固定0.3固定12.012.012.012.012.012.012.012.012.012.012.015.015.015.015.015.015.0

    0.1~0.990.1~0.990.2~0.80.2~1.50.1~0.80.1~1.50.1~0.60.15固定0.1~0.60.15固定0.1~0.60.15固定0.1~0.30.1~0.30.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1固定0.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.30.15固定0.1~0.30.1~0.30.15固定0.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.6

    ●●

    ●●●●●●

    ●●●●●

    ●●●●●

    ●●●●●●●

    ●●●●

    ●●

    ●●●●●●

    ●●●●●

    圧力調整器

    型式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771B

    C3771B

    C3771B

    C3771B

    C3771B

    アルミニウム

    C3771B

    C3771B

    SUS316

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    66663846153230

    100R/min60R/min100R/min60R/min100R/min60R/min30R/min30R/min―――――――――――

    25R/min25R/min25R/min25R/min50R/min50R/min50R/min100R/min100R/min100R/min25R/min75

    100R/min100R/min100R/min50R/min150R/min

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N23030253012018060R/min60R/min60R/min60R/min60R/min60R/min24R/min24R/min15R/min30R/min50R/min30R/min50R/min15R/min30R/min50R/min15R/min30R/min50R/min―――――――――――30

    60R/min60R/min60R/min20R/min100R/min

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    酸   素

    窒   素

    アルゴン

    炭酸ガス

    空   気

    適用ガス

    ●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●

    ●●●●

    ▲▲

    ●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●

    ●●

    ●●●●●●●●

    掲載

    ページ

    29~30 31 34 34 35 35 36~38 36~38 37~38 37~38 36~38 36~38 37~38 37~38 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 43~44 45~46 45~46 45~46 45~46 45~46 45~46 45~46 45~46 45~46 45~46 47 48 123 123 123 48 48

    酸素・窒素・アルゴン・炭酸ガス・空気・レーザーガス

    ▲…2次側圧力、流量、温度等、使用条件をお知らせ下さい。

    3種混合ガス (He/N2/CO2)

    4種混合ガス (He/N2/CO2/CO)

    ①ボンベ用汎用  圧力調整器 ②配管取出口用  GLU-シリーズ

    ⑤炭酸ガス用フィン式圧力調整器

    汎用型

    強力型

    1段式 1段式 2段式 2段式 1段式 1段式 1段式 1段式

    流量計付

    ニードル弁付 ニードル弁付

    流量計付

    ニードル弁付 流量計付 ニードル弁付 ニードル弁付

    ニードル弁付

    ボンベ用

    配管取出口用

    ハイセレクト・シリーズ

    エコノダイヤル・シリーズ

    ①フロート式流量計付

    ③ガス節約器・ダイヤル式流量計付

    ④電熱ヒーター付

    ⑥レーザーガス用

    ガス

    溶断用

    A

    電気溶接シールドガス用・レーザーガス用

    B

    圧力調整器セレクション・チャート (ガス・グループ・タイプ別)

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    21

    Ⅰ 圧力調整器セレクション・チャート (ガス・グループ・タイプ別)

    酸素・窒素・アルゴン・炭酸ガス・空気 設置場所

    KR-30H KR-30HS KR-80H KR-80HS KR-120H KR-120HS KR-170H KR-170HS TKR-30H TKR-30HS TKR-80H TKR-80HS TKR-120H TKR-120HS TKR-170H TKR-170HS SKR-200H SKR-200HS SKR-400H AHN-1 GHN-1 BHN-1 AHN-3 GHN-3 GHSS-3 EX-20mkⅡ EX-100mkⅡ BHN-3 BHSS-3 EX-300mkⅡ EX-400mkⅡ CHN-4(PM) CHSS-4(PM) EX-500mkⅡ EX-600mkⅡ GHN-4(PM) GHSS-4(PM) EX-20mkⅡ EX-100mkⅡ BHN-4(PM) BHSS-4(PM) EX-300mkⅡ EX-400mkⅡ

    15.015.015.015.015.015.015.015.020.020.020.020.020.020.020.020.024.624.635.015.015.015.015.015.015.020.020.015.015.020.020.00.990.993.03.015.015.020.020.015.015.020.020.0

    0.5~3.00.5~3.01.0~8.01.0~8.02.0~12.02.0~12.03.0~15.03.0~15.00.5~3.00.5~3.01.0~8.01.0~8.02.0~12.02.0~12.03.0~17.03.0~17.02.0~20.02.0~20.05.0~30.00.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.30.1~1.00.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.6

    ●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●

    ●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304SUS304

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    110110136136136136138138110110136136136136138138910910125

    100R/min100R/min100R/min100R/min100R/min100R/min50R/min150R/min100R/min100R/min50R/min150R/min30R/min30R/min50R/min150R/min100R/min100R/min50R/min150R/min100R/min100R/min50R/min150R/min

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N250501001008080808050501001008080808050050075

    60R/min60R/min60R/min60R/min60R/min60R/min20R/min100R/min60R/min60R/min20R/min100R/min24R/min24R/min20R/min100R/min60R/min60R/min20R/min100R/min60R/min60R/min20R/min100R/min

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    酸   素

    窒   素

    アルゴン

    炭酸ガス

    空   気

    適用ガス

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●

    ▲▲●●●●●●

    ▲▲●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    掲載

    ページ

    49 49 50 50 51 51 52 52 53 53 54 54 55 55 56 56 57 57 58 117 117 118 119 120 121 122 122 123 123 124 124 125~126 125~126 127 127 128~129 128~129 130 130 131~132 131~132 133 133

    *分析用標準ガス用は、P115~P116,半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用は、P147~P154のセレクション・チャートをご参照下さい。

    耐圧・気密テスト/高圧・超高圧ガスの充填用

    C

    ボンベ用圧力調整器

    理科学機器用

    A

    装置・ライン/

    パネルマウント用

    B

    ①流量計付

    ②流量計付 ③バルブ付

    ①KR-シリーズ

    ②TKR-シリーズ

    ③SKR-シリーズ

    1段式

    2段式

    1段式

    2段式

    ①1段式

    ②2段式

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    22

    Ⅰ 設置場所

    GS-140L GS-140LS GS-140 GS-140S GS-140H GS-140HS TKR-140 TKR-140S TKR-140H TKR-140HS GS-200L GS-200LS GS-200L2 GS-200L2S GS-200 GS-200S GS-200H GS-200HS TKR-200 TKR-200S TKR-200H TKR-200HS GS-500 GS-500S TKR-500 TKR-500S GS-1000 GS-1000S TKR-1000 TKR-1000S GS-500PL GS-500PLS GS-500P GS-500PS TKR-500P TKR-500PS GS-1000PL GS-1000PLS GS-1000P GS-1000PS GS-1000PH GS-1000PHS TKR-1000P TKR-1000PS TKR-1000PH TKR-1000PHS GS-2000PL GS-2000PLS GS-2000P GS-2000PS GS-2000PH GS-2000PHS TKR-2000P TKR-2000PS TKR-2000PH TKR-2000PHS GS-3000PL GS-3000PLS GS-3000P GS-3000PS GS-3000PH GS-3000PHS TKR-3000PH TKR-3000PHS RsC-3 RsC-3D RsC-3S

    3.03.015.015.015.015.020.020.020.020.03.03.03.03.015.015.015.015.020.020.020.020.015.015.020.020.015.015.020.020.03.03.015.015.020.020.03.03.015.015.015.015.020.020.020.020.03.03.015.015.015.015.020.020.020.020.03.03.015.015.015.015.020.020.03.03.015.0

    0.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~10.01.0~10.00.2~1.50.2~1.51.0~10.01.0~10.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~6.01.0~6.00.2~1.50.2~1.51.0~6.01.0~6.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~6.01.0~6.01.0~6.01.0~6.00.2~1.00.2~1.00.2~1.0

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304STS370/S25CSTS370/S25CSUS304

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    280280230230350350230230350350450450510510410410630630410410630630750750750750106010601060106033033075075075075074074015401540210021001540154021002100132013202400240033003300240024003300330020652065346034605500550055005500320032004400

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N21401401401402802801401402802802302302802802002004004002002004004005005005005001000100010001000320320500500500500570570100010001000100010001000100010009009001600160020002000160016002000200012001200230023003500350035003500230023003000

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    酸   素

    窒   素

    アルゴン

    炭酸ガス

    空   気

    適用ガス

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    掲載

    ページ

    61 61 63 63 65 65 67 67 69 69 62 62 62 62 64 64 66 66 68 68 70 70 73 73 75 75 74 74 76 76 77 77 81 81 88 88 78 78 82 82 85 85 89 89 91 91 79 79 83 83 86 86 90 90 92 92 80 80 84 84 87 87 93 93 94 94 94

    酸素・窒素・アルゴン・炭酸ガス・空気

    ②中流量・自力式

    ③大流量・自力式

    ④大流量・パイロット式

    ⑤大流量

    ピストン式

    パイロット式

    調整圧力・低圧〜中圧〜高圧

    GS/TKR/RsC‐シリーズ

    装置・ライン用

    D

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    23

    Ⅰ 圧力調整器セレクション・チャート (ガス・グループ・タイプ別)

    酸素・窒素・アルゴン・炭酸ガス・空気 設置場所

    MGS-200 MGS-200S RF-400 RF-400P C-10A-1 C-20-1 GL-50-1 GL-70-1 G-32A-1 G-36C-1 C-10A-2 C-20-2 GL-50-2 GL-70-2 G-32A-2 G-36C-2 GL-300-2 GL-400-2 GL-500-2 AC-15 AC-15-F AM-150 AM-150F CM-100 CM-100A GMF-70 GMF-100 GMF-200 GMF-300 GMF-400 GMF-500 GM-1000 SGX-10ZA SGX-15NZ SGX-20NZ SGX-25NZ SGX-40Z SGX-50Z SG-24AZ SG-32BZ SG-36AZ SGX-10A SGX-15N SGX-20N SGX-25N SGX-40 SGX-50 SG-24A SG-32B SG-36A

    MAX. 1.0MPaMAX. 1.0MPaMAX. 0.2MPaMAX. 1.0MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.07~0.15MPa0.07~0.15MPa0.1~1.8MPa0.1~1.8MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa5.8~35.0kPa5.8~35.0kPa5.8~35.0kPa0.5~10.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~35.0kPa1.0~35.0kPa1.0~35.0kPa

    0.01~0.1MPa0.01~0.1MPa3~20.0kPa0.02~0.2MPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0±0.05kPa0±0.1kPa0±0.1kPa0±0.1kPa0±0.05kPa0±0.05kPa0±0.20kPa0±0.20kPa0±0.20kPa0.25~3.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MPa・kPa

    C3771BSUS304S25C/STPGS25C/STPGADC12ZDC2ADC12ADC12FCD-SFCD-SADC12ZDC2ADC12ADC12FCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SSCS-13SCS-13SCS-13SCS-13ZDC2FCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SADC12ADC12ADC12ADC12FCD450FCD450AC2A-FAC2A-FAC2A-FADC-12ADC-12ADC-12ADC-12FCD450FCD450FCD450FCD-SFCD400

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa・kPa

    ――――1020507010020015305070100200300400500161623233030701002003004005001000271322601003010015015305471258418166336703

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N23003001505506.61334456613010203445661302002703401111151520204565150200270340670―――――――――1020364717227893170285

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    酸   素

    窒   素

    アルゴン

    炭酸ガス

    空   気

    適用ガス

    ●●●●▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲

    ▲▲▲▲▲▲

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

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    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●

    掲載

    ページ

    97 97 98 98 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 101 101 101 101 100 100 100 100 100 100 100 100 100 101 101 101 101 101 101 101 101 101 102 102 102 102 102 102 102 102 102

    ●……標準品で使用可能。 ▲……禁油処理、ゴム類、要部の材質の変更が必要。 無印…使用不可。 C……Cタイプを使用。

    ①中・大流量  自力式  パイロット式

    小流量/中流量/大流量

    調整圧力・極低圧〜低圧〜中圧

    装置・ライン用

    E

    ②伊藤工機㈱製 圧力調整器

    ③伊藤工機㈱製

     ゼロガバナ(均圧弁)

    ④伊藤工機㈱製

     ガバナ

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    24

    Ⅰ アセチレン

    設置場所

    スタウト アスターデラックス アスター・キング GLU-10A GLU-25 GS-14 GS-20 AC-60 AC-80 MGS-200 MGS-200S RF-400 RF-400P

    ①ボンベ用

    (乾式安全器)  内蔵型 ②配管取出口用  GLU-シリーズ

    汎用型

    汎用型 強力型

    汎用型 汎用型 強力型

    2.52.52.50.130.133.03.0

    2.02.0

    1.0MPa1.0MPa0.2MPa1.0MPa

    0.01~0.0980.01~0.0980.01~0.0980.02~0.10.02~0.10.04~0.150.04~0.15

    0.01~0.10.01~0.10.01~0.1MPa0.01~0.1MPa3~20.0kPa0.02~0.2MPa

    ●●●●●●●

    ●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771B

    C3771B

    C3771B

    S25C

    C3771BSUS304

    S25C/STPG

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    4448253664

    ――3003002881056

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N22225251220

    80100300300150550

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    ①ボンベ用 ②配管取出口用  GLU-シリーズ

    ①小流量

     ・自力式

    ②中流量・自力式

    調整圧力・

    低圧〜中圧

    調整圧力・

    極低圧〜

    低圧〜中圧

    調整圧力・

    低圧〜中圧

    GS/RF/

    MGS‐シリーズ

    GS/RF/

    MGS‐シリーズ

    ①中・大流量

     自力式

     パイロット式

    アセチレン

    適用ガス

    ●●●●●●●

    ●●●●●●

    掲載

    ページ

    29~30 31~32 31~32 34 35 59 59 96 96 97 97 98 98

    LPG・プロパン・プロピレン・ブタン 設置場所

    調整圧力・

    低圧〜中圧〜高圧

    RP-70 GLU-10P GLU-25 GS-140L GS-140LS GS-200L GS-200LS GS-200L2 GS-200L2S

    2.00.150.13

    3.03.03.03.03.03.0

    0.02~0.150.02~0.10.02~0.1

    0.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.0

    ●●●

    ●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771B

    C3771B

    C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    6925

    280280450450510510

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N25425

    140140230230280280

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    汎用型 強力型

    ①ボンベ用・ノンヒーター式 ②配管取出口用  GLU-シリーズ

    プロパン

    L P G

    プロピレン

    ブ タ ン

    適用ガス

    ●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●

    ●●●

    ●●●●●●

    掲載

    ページ

    33 34 35 61 61 62 62 62 62

    エチレン・メタン・天然ガス 設置場所

    FH-1 GLU-10P GLU-25 FH-2(1次側) GS-14(2次側) GS-140 GS-140S GS-200 GS-200S

    15.00.150.13

    15.03.015.015.015.015.0

    0.02~0.10.02~0.10.02~0.1

    0.5~0.990.04~0.150.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.5

    ●●●

    ●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    A2017S

    C3771B

    C3604BC3771BC3771BSUS304C3771BSUS304

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    6.3925

    ―36280280450450

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N21425

    512140140200200

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    ①小流量・  自力式 ②中流量・  自力式

    エチレン

    メ タ ン

    天然ガス

    適用ガス

    ●●●

    ●●

    ●●●

    ●●

    ●●●

    ●●●●

    掲載

    ページ

    33 34 35 60 59 63 63 64 64

    ガス

    溶断用

    A

    ガス

    溶断用 A

    装置・

    ライン用

    D

    ガス

    溶断用

    A

    装置・

    ライン用

    D

    装置・

    ライン用

    D

    E

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    25

    Ⅰ 圧力調整器セレクション・チャート (ガス・グループ・タイプ別)

    LPG・プロパン・プロピレン・エタン・メタン・ブタン・ブチレン・天然ガス 都市ガス(13A)・コークス炉ガス(COG)・水素・ヘリウム・六フッ化硫黄

    MGS-200 MGS-200S RF-400 RF-400P C-10A-1 C-20-1 GL-50-1 GL-70-1 G-32A-1 G-36C-1 C-10A-2 C-20-2 GL-50-2 GL-70-2 G-32A-2 G-36C-2 GL-300-2 GL-400-2 GL-500-2 AC-15 AC-15-F AM-150 AM-150F CM-100 CM-100A GMF-70 GMF-100 GMF-200 GMF-300 GMF-400 GMF-500 GM-1000 SGX-10ZA SGX-15NZ SGX-20NZ SGX-25NZ SGX-40Z SGX-50Z SG-24AZ SG-32BZ SG-36AZ SGX-10A SGX-15N SGX-20N SGX-25N SGX-40 SGX-50 SG-24A SG-32B SG-36A

    MAX. 1.0MPaMAX. 1.0MPaMAX. 0.2MPaMAX. 1.0MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.07~1.56MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.025~0.1MPa0.07~0.15MPa0.07~0.15MPa0.1~1.8MPa0.1~1.8MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa0.1~1.56MPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa1.0~10.0kPa5.8~35.0kPa5.8~35.0kPa5.8~35.0kPa0.5~10.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~30.0kPa1.0~35.0kPa1.0~35.0kPa1.0~35.0kPa

    0.01~0.1MPa0.01~0.1MPa3~20.0kPa0.02~0.2MPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa2.3~3.3kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa0±0.05kPa0±0.1kPa0±0.1kPa0±0.1kPa0±0.05kPa0±0.05kPa0±0.20kPa0±0.20kPa0±0.20kPa0.25~3.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.5~20.0kPa

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●▲▲▲▲●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MPa・kPa

    C3771BSUS304S25C/STPGS25C/STPGADC12ZDC2ADC12ADC12FCD-SFCD-SADC12ZDC2ADC12ADC12FCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SSCS-13SCS-13SCS-13SCS-13ZDC2FCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SFCD-SADC12ADC12ADC12ADC12FCD450FCD450AC2A-FAC2A-FAC2A-FADC-12ADC-12ADC-12ADC-12FCD450FCD450FCD450FCD-SFCD400

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa・kPa

    ――――1020507010020015305070100200300400500161623233030701002003004005001000271322601003010015015305471258418166336703

    最大流量 m3/h

    (標準状態)N2(*水素・)ヘリウムは×2倍

    3003001505506.61334456613010203445661302002703401111151520204565150200270340670―――――――――1020364717227893170285

    標準流量 m3/h

    (標準状態)N2(*水素・)ヘリウムは×2倍

    水素・ヘリウム

    六フッ化硫黄

    プロパン

    プロピレン

    エタン・メタン

    ブタン・ブチレン・

    天然ガス・都市ガス

    コークス炉ガス

    適用ガス

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●▲▲▲▲●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    L P G

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●▲▲▲▲●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲

    ▲▲▲▲▲▲▲▲▲CCCCCC

    CCCCCC

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●▲▲▲▲●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲▲

    ▲▲▲▲▲▲▲▲▲CCCCCC

    CCCCCC

    ●●

    掲載

    ページ

    97 97 98 98 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 99 101 101 101 101 100 100 100 100 100 100 100 100 100 101 101 101 101 101 101 101 101 101 102 102 102 102 102 102 102 102 102

    ●……標準品で使用可能。 ▲……禁油処理、ゴム類、要部の材質の変更が必要。 無印…使用不可。 C……Cタイプを使用。

    ①中・大流量  自力式  パイロット式

    小流量/中流量/大流量

    調整圧力・極低圧〜低圧〜中圧

    装置・ライン用

    E

    ②伊藤工機㈱製 圧力調整器

    ③伊藤工機㈱製

     ゼロガバナ

    ④伊藤工機㈱製

     ガバナ

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    26

    Ⅰ 水素・ヘリウム

    設置場所

    KR-30H-H KR-30HS-H KR-80H-H KR-80HS-H KR-120H-H KR-120HS-H KR-170H-H KR-170HS-H TKR-30H-H TKR-30HS-H TKR-80H-H TKR-80HS-H TKR-120H-H TKR-120HS-H TKR-170H-H TKR-170HS-H SKR-200H-H SKR-200HS-H SKR-400H-H AHSN-1 GHSN-1 BHSN-1 AHSN-3 GHSN-3 GHSS-3 EX-20mkⅡ EX-100mkⅡ BHSN-3 BHSS-3 EX-300mkⅡ EX-400mkⅡ CHSN-4(PM) CHSS-4(PM) EX-500mkⅡ EX-600mkⅡ GHSN-4(PM) GHSS-4(PM) EX-20mkⅡ EX-100mkⅡ BHSN-4(PM) BHSS-4(PM) EX-300mkⅡ EX-400mkⅡ

    15.015.015.015.015.015.015.015.020.020.020.020.020.020.020.020.024.624.635.015.015.015.015.015.015.020.020.015.015.020.020.00.990.9920.020.015.015.020.020.015.015.020.020.0

    0.5~3.00.5~3.01.0~8.01.0~8.02.0~12.02.0~12.03.0~15.03.0~15.00.5~3.00.5~3.01.0~8.01.0~8.02.0~12.02.0~12.03.0~17.03.0~17.02.0~20.02.0~20.05.0~30.00.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.30.1~0.30.1~1.00.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~1.00.1~1.00.1~0.60.1~0.60.1~0.60.1~0.6

    ●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●

    ●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS316C3771BSUS304SUS304

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    C3771B

    SUS316

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    22022027227227227227627622022027227227227227627618201820250

    200R/min200R/min200R/min200R/min200R/min200R/min100R/min300R/min200R/min200R/min100R/min300R/min60R/min60R/min100R/min300R/min200R/min200R/min100R/min300R/min200R/min200R/min100R/min300R/min

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)H210010020020016016016016010010020020016016016016010001000150

    120R/min120R/min120R/min120R/min120R/min120R/min40R/min200R/min120R/min120R/min40R/min200R/min48R/min48R/min40R/min200R/min120R/min120R/min40R/min200R/min120R/min120R/min40R/min200R/min

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)H2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    耐圧・気密テスト/高圧・超高圧ガスの充填用

    水   素

    ヘリウム

    適用ガス

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    掲載

    ページ

    49 49 50 50 51 51 52 52 53 53 54 54 55 55 56 56 57 57 58 117 117 118 119 120 121 122 122 123 123 124 124 125~126 125~126 127 127 128~129 128~129 130 130 131~132 131~132 133 133

    C

    ボンベ用圧力調整器

    A

    装置・ライン/

    パネルマウント用

    B

    *分析用標準ガス用は、P115~P116,半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用は、P147~P154のセレクション・チャートをご参照下さい。

    ①流量計付

    ②流量計付 ③バルブ付

    ①KR-シリーズ

    ②TKR-シリーズ

    ③SKR-シリーズ

    1段式

    2段式

    1段式

    2段式

    ①1段式

    ②2段式

    Ⅱ 理科学機器用

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    27

    Ⅰ 圧力調整器セレクション・チャート (ガス・グループ・タイプ別)

    水素・ヘリウム・六フッ化硫黄・フロンガス 設置場所

    GS-140L/-H GS-140LS/-H GS-140-H GS-140S-H GS-140H-H GS-140HS-H TKR-140-H TKR-140S-H TKR-140H-H TKR-140HS-H GS-200L/-H GS-200LS/-H GS-200L2/-H GS-200L2S/-H GS-200-H GS-200S-H GS-200H-H GS-200HS-H TKR-200-H TKR-200S-H TKR-200H-H TKR-200HS-H GS-500-H GS-500S-H TKR-500-H TKR-500S-H GS-1000-H GS-1000S-H TKR-1000-H TKR-1000S-H GS-500PL-H GS-500PLS-H GS-500P-H GS-500PS-H TKR-500P-H TKR-500PS-H GS-1000PL-H GS-1000PLS-H GS-1000P-H GS-1000PS-H GS-1000PH-H GS-1000PHS-H TKR-1000P-H TKR-1000PS-H TKR-1000PH-H TKR-1000PHS-H GS-2000PL-H GS-2000PLS-H GS-2000P-H GS-2000PS-H GS-2000PH-H GS-2000PHS-H TKR-2000P-H TKR-2000PS-H TKR-2000PH-H TKR-2000PHS-H GS-3000PL-H GS-3000PLS-H GS-3000P-H GS-3000PS-H GS-3000PH-H GS-3000PHS-H TKR-3000PH-H TKR-3000PHS-H

    3.03.015.015.015.015.020.020.020.020.03.03.03.03.015.015.015.015.020.020.020.020.015.015.020.020.015.015.020.020.03.03.015.015.020.020.03.03.015.015.015.015.020.020.020.020.03.03.015.015.015.015.020.020.020.020.03.03.015.015.015.015.020.020.0

    0.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.50.2~1.51.0~4.01.0~4.00.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.50.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~10.01.0~10.00.2~1.50.2~1.51.0~10.01.0~10.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~6.01.0~6.00.2~1.50.2~1.51.0~6.01.0~6.00.2~1.00.2~1.00.2~1.50.2~1.51.0~6.01.0~6.01.0~6.01.0~6.0

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304C3771BSUS304

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    280/560(H2)280/560(H2)460(H2)460(H2)700(H2)700(H2)460(H2)460(H2)700(H2)700(H2)450/900(H2)450/900(H2)510/1020(H2)510/1020(H2)820(H2)820(H2)1260(H2)1260(H2)820(H2)820(H2)1260(H2)1260(H2)1500(H2)1500(H2)1500(H2)1500(H2)2120(H2)2120(H2)2120(H2)2120(H2)660(H2)660(H2)1500(H2)1500(H2)1500(H2)1500(H2)1480(H2)1480(H2)3080(H2)3080(H2)4200(H2)4200(H2)3080(H2)3080(H2)4200(H2)4200(H2)2640(H2)2640(H2)4800(H2)4800(H2)6600(H2)6600(H2)4800(H2)4800(H2)6600(H2)6600(H2)4130(H2)4130(H2)6920(H2)6920(H2)11000(H2)11000(H2)11000(H2)11000(H2)

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2/H2140/280(H2)140/280(H2)280(H2)280(H2)560(H2)560(H2)280(H2)280(H2)560(H2)560(H2)230/460(H2)230/460(H2)280/560(H2)280/560(H2)400(H2)400(H2)800(H2)800(H2)400(H2)400(H2)800(H2)800(H2)1000(H2)1000(H2)1000(H2)1000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)640(H2)640(H2)1000(H2)1000(H2)1000(H2)1000(H2)1140(H2)1140(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)2000(H2)1800(H2)1800(H2)3200(H2)3200(H2)4000(H2)4000(H2)3200(H2)3200(H2)4000(H2)4000(H2)2400(H2)2400(H2)4600(H2)4600(H2)7000(H2)7000(H2)7000(H2)7000(H2)

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)N2/H2

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    水   素

    ヘリウム

    六フッ化硫黄

    フロンガス

    適用ガス

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    ●●

    ●●●●

    ●●

    ●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    掲載

    ページ

    61 61 63 63 65 65 67 67 69 69 62 62 62 62 64 64 66 66 68 68 70 70 73 73 75 75 74 74 76 76 77 77 81 81 88 88 78 78 82 82 85 85 89 89 91 91 79 79 83 83 86 86 90 90 92 92 80 80 84 84 87 87 93 93

    ②中流量・自力式

    ③大流量・自力式

    ④大流量・パイロット式

    調整圧力・中圧〜高圧

    GS/TKR/RsC‐シリーズ

    装置・ライン用

    D

    ※1次圧力の表示 設計 1次圧力 常用 1次圧力

    16.2 MPa15.0 MPa

    21.6 MPa20.0 MPa

    3.0 MPa3.0MPa 以下

    参照 P25  装置・ライン用圧力調整器(調整圧力:極低圧~低圧~中圧) E

  • 一般工業ガス用

    圧力調整器

    分析用標準ガス・

    理科学機器用

    圧力調整器

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス用圧力調整器

    一般工業ガス

    供給設備・機器

    分析用標準ガス

    供給設備・機器

    大臣認定について

    高圧ガスの法律

    参考資料

    半導体用特殊材料ガス

    高純度・超高純度

    キャリアガス供給設備・機器

    28

    Ⅰ アンモニア・塩素・亜硫酸ガス・硫化水素・一酸化炭素

    分析用標準ガス用は、P115~P116,半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用は、P147~P154のセレクション・チャートをご参照下さい。

    設置場所

    EX-20mkⅡ-F EX-100mkⅡ-F

    GS-140LS-F

    GS-140S

    GS-200LS-F

    GS-200S AC-15 AC-15-F AM-150 AM-150F

    3.03.03.03.015.03.03.03.03.015.03.03.03.03.015.03.03.03.03.015.0

    0.07~0.15MPa0.07~0.15MPa0.1~1.8MPa0.1~1.8MPa

    0.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.60.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.30.1~0.60.1~0.30.1~0.30.1~0.20.1~0.30.2~1.50.1~0.30.1~0.30.1~0.20.1~0.30.2~1.50.5~20.0kPa0.5~20.0kPa0.02~0.3MPa0.02~0.3MPa

    ●●●●●●●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●

    型 式 グループ/タイプ

    MRI認定品製作

    1次圧力

    MAX

    MPa

    SUS316

    SUS316

    SUS304

    SUS304

    SUS304

    SUS304SCS-13SCS-13SCS-13SCS-13

    本体

    接ガス部

    材質

    調整圧力

    MPa

    ――――――――――――――

    280(CO)――――

    450(CO)16(N2)16(N2)23(N2)23(N2)

    最大流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)

    45R/min(NH3)22R/min(CL2)23R/min(SO2)32R/min(H2S)20R/min(CO)129R/min(NH3)63R/min(CL2)66R/min(SO2)91R/min(H2S)100R/min(CO)55(NH3)50(CL2)10(SO2)110(H2S)140(CO)90(NH3)80(CL2)15(SO2)180(H2S)200(CO)11(N2)11(N2)15(N2)15(N2)

    標準流量 m3/h(R/min)

    (標準状態)

    ボ ン ベ

    配管取出口

    装置・ライン

    アンモニア

    塩   素

    亜硫酸ガス

    硫化水素

    一酸化炭素

    適用ガス

    ●●●●

    ●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●

    掲載

    ページ

    103 103 103 103 103 103 103 103 103 103 104 104 104 104 63 104 104 104 104 64 101 101 101 101

    医療用ガス…酸素・亜酸化窒素・炭酸ガス・酸化エチレン 設置場所

    MB-10 MB-15 PFR-06 PFR-08 PFR-15 MBO-25 MBN-25 FWR-F FWR-G GHF BHN-4 (PM)

    BHSN-4 (PM)

    EX-300mkⅡ EX-400mkⅡ

    15.015.015.015.015.015.015.015.015.015.015.0

    15.0

    3.03.0

    0.2固定0.2固定0.3固定0.3固定0.3固定0.4固定0.4固定0.05~0.20.05~0.20.05~0.20.1~0.6

    0.1~0.6

    0.1~1.00.1~1.0

    ●●●●●●●●●●