中华人民共和国国家标准 -...
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×ICS23.160 J78
中华人民共和国国家标准
GB ××××—××××
真空泵 安全要求
Vacuum pumps-Safety requirements
（报批稿）
××××-××-××发布 ××××-××-××实施
国家质量监督检验检疫总局 发布
1
GB ××××—××××
I
前 言
本标准的第5章5.1.1中a)b)c)f)g)、5.1.2、5.1.5、5.2.1、5.2.2、5.3.1、5.3.2中a)b)、5.4、
5.6.1、5.6.2、5.7、5.8、5.9、第6章、第7章、第8章中、8.3 为强制性，其余为推荐性。
本标准修改采用 EN 1012-2:1996 《压缩机和真空泵 安全要求 第2部分: 真空泵》（英文版）。
本标准与EN 1012-2:1996的章节、条款一致，技术内容一致。
本标准根据EN 1012-2:1996重新起草，与EN 1012-2:1996的差异为：
——为了与现有的真空技术标准配套使用，将EN 1012-2:1996 《压缩机和真空泵 安全要求 第2
部分: 真空泵》的名称该为我国的《真空泵 安全要求》。
——对于EN 1012-2:1996 引用的国际标准和欧洲标准中有被修改采用的我国标准，本标准引用我
国的这些国家标准代替对应的国际标准或欧洲标准；对于EN 1012-2:1996 引用的国际标准和欧洲标准
中有被非等效采用的我国标准，本标准引用我国的这些国家标准中对应的条款代替对应的国际标准或欧
洲标准；其余未被等同或修改采用为我国标准的国际标准和欧洲标准，在本标准中均被直接引用（见本
标准附录B）。
——由于EN 1012-2:1996中引用文件EN 292-1、EN 292-2并没有在标准中引用，按GB/T1.1的规定
将其删除。
——由于EN 1012-2:1996中引用文件EN12076 《压缩机和真空泵的噪声发射的测量（工程法）》已
作废，本标准删除了该引用标准，用GB/T ××××× 《真空技术 真空泵噪声测量》代替。
——增加引用标准GB 2894 安全标志。
——将EN 1012-2:1996中的bar、mbar改成本标准中的Pa、kPa。
为了便于使用，本标准还做了下列编辑性修改：
a)“本欧洲标准”一词改为：“本标准”；
b) 删除了EN 1012-2:1996的前言；
c) 删除了EN1012-2：1996的引言。
本标准附录A为规范性附录。
本标准增加了资料性附录B“EN1012-1：1996与中国标准、国际标准对应的标准编号和名称”。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口。
本标准负责起草单位及起草人：
上海凯尼真空设备有限公司：姜燮昌、孟凡林；
浙江真空设备集团有限公司：张宝夫；
成都南光机器有限公司：李剑辉；
国家真空设备质量监督检验中心：李春影；
沈阳真空技术研究所：王学智、王玲玲。
本标准首次发布。
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真空泵 安全要求
1 范围
本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的
处置过程中，与其相关的重要的危害性，详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程
中的安全要求。
本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75kPa（750mbar）的泵，例如真空
吸尘器、换气扇。
一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的
修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的 新版本。凡是不注日期的引用文件，其 新版本适用于本标准。
GB/T 12265.1 机械安全 防止上肢触及危险区的安全距离(GB/T 12265.1-1997,EN 294:1992, EQV)
GB 16754 机械安全 急停 设计原则(GB 16754-1997, ISO/IEC 13850:1995,EQV)
GB/T 18153 机械安全 可接触表面温度 确定热表面温度限值的工效学数据 第1部分：热表面(GB/T
18153-2000, EN 563:1994, EQV)
GB/T 8196 机械安全 防护装置 固定和移动防护装置设计与制造的一般要求(GB/T 8196-2003,ISO
14120:2002,MOD)
EN 1127-1 爆炸性环境 爆炸防止和防护 第1部分:基本概念和方法
GB/T ××××× 真空技术 真空泵噪声测量(GB/T ×××××-2008,ISO 2151:2004,MOD)
EN 60079-0 爆炸性气体环境用电器设备 第0部分：一般要求
EN 61000-6-4 电磁兼容性（EMC）第6-4部分：通用标准 工业环境 发射频率
EN 61000-6-2 电磁兼容性 （EMC）第6-2部分：通用标准 工业环境 抗扰度
GB 18209.1机械安全 指示、 标志和操作 第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求（GB
18209.1-2000,IDT IEC 61310-1:1995）
GB 5226.1-2002 机械安全 机械的电气设备 第1部分:一般要求（GB 5226.1-2002,IDT IEC 60204-1：
2000）
EN 60529 隔离罩（IP规范）提出的保护等级规范
ENV 1070 机械安全 术语
GB/T 825 吊环螺栓(GB/T 825-1988,ISO 3266:1984,NEQ)
ISO 3529 真空技术 词汇(GB/T ×××××-2008,ISO 3529:1981,MON)
GB/T 12241 安全阀 一般要求(GB/T 12241-2005,ISO 4126-1:1991,MOD)
GB/T 14574 声学 机器和设备噪声发射值的标示和验证（GB/T 14574-2000，ISO4871：1996，EQV）
GB/T 16273.1 设备用图形符号 通用符号(GB/T 16273.1-1996,ISO 7000:1989,NEQ)
ISO/TR 11688-1 声学 低噪声机器和设备设计实例的推荐用规程 第1部分：计划
GB/T 5465.2 设备上使用的图解符号(GB/T 5465.2:1996,IDT IEC 417：1994)
GB 4793.1-2007/IEC 61010-1:2001 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求 第1部分：通用要
求(GB 4793.1-2007,IDT IEC 61010-1:2001)
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GB 2894 安全标志(GB 2894-1996,ISO 3864:1984,NEQ)
3 术语和定义
ENV 1070和GB/T ×××××-2008确立的以下术语和定义适用于本部分。
3.1 真空 vacuum 在指定空间内，低于环境大气压力的气体状态。
注：真空一般是测量残余气体的压力，单位为Pascals(Pa)或millibar(mbar)。1 mbar = 100 Pa。
3.2 真空泵 vacuum pump 产生、改善和（或）维持真空的装置。
注：在本标准中，术语“真空泵”和“泵”具有相同的含义。
3.3 泵入口 pump inlet 被抽气体进入真空泵的入口。
3.4 泵出口 pump outlet 真空泵的出气口或排气口。
3.5 最高起动压力 maximum starting pressure 泵可以启动的 高入口压力。
3.6 最高出口压力 maximum outlet pressure 制造商规定的真空泵出口的 高压力。
3.7 真空泵的抽气量 throughput of a vacuum pump 流经泵入口的气体流量，通常表示为每单位时间内产生的气体压力与其体积的乘积。
3.8 被抽媒介 pumped media 被真空泵抽除的物质，如气体、水蒸汽、雾状液体和夹带的固体微粒。
3.9 真空泵液 pump fluid 真空泵运转使用的液体。
3.10 初级真空泵 primary pump 高出口压力等于或高于环境压力的泵。
3.11 次级泵 secondary pump 高起动压力或 高出口压力低于大气压力或在较低压力的情况下运行的真空泵，它通常与初级泵
相联，产生压强要低于单台初级泵产生的压强。
3.12 抽气系统 pumping system 用来产生真空的配有附件的真空泵或真空泵机组。附件包括管路、阀门、过滤器、冷却器、控制装
置和能够满足性能要求的其他装置。
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3.13 容积真空泵 positive displacement pump 容积真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置，气体在排除前被压缩。
3.14 蒸汽流泵 vapour pump 采用高速定向蒸汽流携带和相互碰撞的气体分子把气体送至泵出口进行排气的真空泵。即：扩散泵
和扩散喷射泵。
3.15 低温捕集泵 cryogenic entrapment pump 被抽介质或是在温度非常低的表面上（低于120K）捕集，或使用大的有效面积的多孔媒介物在低温
条件下来吸附被抽介质的真空泵。例如：低温泵和吸附泵。本文中使用的术语“低温”，其温度要低于
120K。
3.16 吸气剂泵 getter pump 主要通过与吸气剂产生化学反应来吸气的真空泵。吸气剂通常为金属或合金，其形状可为块状（容
积吸气泵）或采用升华作用（升华泵），以及用阴极溅射来蒸散吸气剂（溅射离子泵）。
3.17 分子泵 molecular pump 高速旋转的转子将动量传给气体分子，使其传输到泵的出口的真空泵。例如：牵引分子泵和涡轮分
子泵。
3.18 最高允许工作压力 maximum allowable working pressure 由制造商规定的 高工作压力。
3.19 最低允许工作压力 minimum allowable working pressure 由制造商规定的 低工作压力。
3.20 烘烤 baking 加热真空系统的工艺，降低系统内表面气体解析速率从而获得更低的压力。
3.21 甲烷排除泵 methane drain pump 一种容积式真空泵，用来抽除垃圾站、矿石中和视甲烷为有害气体的环境下的甲烷气体。
4 真空泵危害一览表
4.1 机械危害 参照安全技术要求。
4.1.1 主要危害 a）因运动部件接触而产生的切割。例如：驱动带、冷却风扇、联轴器、传动轴和转子。
5.5.1
b）由锋利的边缘产生的切割。例如：金属板材，有起皱褶的管件和涡轮叶片。5.1.1，5.1.4
c）真空系统的拉拽。 5.1.1
d）由于真空泵或真空泵系统的部件破损导致零件射出。 5.1.1
e）因压力过高造成真空系统的爆裂，引起零件射出。形成压力过高的原因有：5.1.1，7.3.1
—— 真空泵旋转方向不正确；
—— 排气受阻或受到限制；
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—— 错误操作使得气体进入真空系统；
—— 机械部件断裂；
—— 真空状态下断电引起真空泵反向运转。
f) 增加或拆移配件时稳定性的降低。 5.1.1
g) 运输过程中机械稳定性受损。 5.1.1
h) 因缺少起吊设备在起吊过程损害了机械稳定性。 5.1.1
i) 真空泵油泄露造成打滑、跌倒和坠落。 5.1.1
4.1.2 针对蒸汽流泵的危害 蒸汽流泵在无冷却，入口、出口阀关闭，并在大气压下运行导致压力升高，引起零件射出。
5.1.2
4.1.3 针对低温捕集泵的危害 由于低温捕集泵发生爆裂而引起零件射出，其发生原因有： 5.1.3
—— 捕集的被抽介质释放进入密封系统；
—— 在密闭系统中用来制冷的冷高压致冷剂受热而产生过高压力；
—— 制冷剂容器遇火而产生的过高压力；
—— 所用的结构材料低温失效。
4.1.4 针对吸气剂泵的危害 用手触及强磁时产生危害。 7.3.1
4.1.5 针对分子泵的危害 a) 涡轮分子泵内旋转转子的弹射； 5.1.5
b) 涡轮分子泵转子高速运转时破裂，碎片射出；
c) 涡轮分子泵转子在动平衡失调或突然减速，引起泵的不稳定性。
4.2 电气危害 4.2.1 主要危害
—— 直接或间接的接触电； 5.2.1
—— 静电现象；
—— 对电器装置的外部影响。
4.2.2 针对蒸气流泵的危害 由隔离加热元件的绝缘物吸收了潮气造成漏电。 5.2.2
4.2.3 针对吸气剂泵的危害 由于以下原因造成泵与外高压发生接触： 5.2.3
—— 没有切断电源就将泵断电，高压释放电阻失效；
—— 过高的烘拷温度或机械损坏破坏了绝缘体。
4.3 热危害 a）与高温表面接触造成的烧伤。 5.3.1，5.3.2
b）与深冷表面，过冷的气体或制冷剂接触造成的冻伤。
c）接触炙热泵油或润滑剂造成的烫伤。
4.4 噪声造成的危害 高噪声造成听力损伤。 5.4.1
4.5 辐射造成的危害 接触吸气泵产生的电离辐射。 5.5.1
4.6 真空泵在使用和排气过程中，由材料和物质产生的危害 4.6.1 主要危害
a）运行过程中，有毒气体或蒸气的排放而造成的危害。 5.6.1
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b）油封泵油雾的排放，这种排放物吸入造成的危害。 5.6.1
c）维修过程中，接触润滑剂、泵液或被抽介质、有毒的裂解物/反应物引起的危害。 7.6.2
d）处理或排除易燃气体或蒸气时造成的爆炸、起火。 5.6.1
e）处理或排除氧化剂时造成的的爆炸、起火。 5.6.1
f）处理易燃气体时造成的爆炸、起火。 5.6.1
g）高温下润滑油的裂解造成的起火。 5.6.1
h）由于被抽气体发生分解，引起压力剧烈上升引起的危害。 5.6.1
4.6.2 针对蒸汽流泵的危害
接触或吸入过高温有毒的泵液，产生化学分解物造成的危害。 5.6.2
4.6.3 针对低温捕集泵的危害 当泵升温或维护时，接触到或吸入泵释放出有毒的物质所产生的危害。 5.6.3
4.7 在设计中忽略了人类工程学与机械工程原理而造成的危害。 a) 忽略使用保护装置。 5.7
b) 控制仪器和设备的放置错误导致的人为错误。 5.7
c) 泵在真空系统的错误连接造成的危害。 6.3，7.3.1
4.8 电源故障、部件损坏或其他功能失调造成的危害。 a) 供电出现故障。 5.8.1
b) 中央控制系统出现故障或程序混乱（突然自起动）。
c) 装配错误。
4.9 由未察觉的或不正确的安全措施和方式引起的危害。 a) 泵在出现故障时被关闭又自动重启动引起的危害。 5.9，5.10
b) 连续工艺程序的错误引起的危害。
c) 程序设计错误造成的危害。
d) 计算机部件故障造成的危害。
5 安全要求和措施
5.1 机械安全要求 5.1.1 基本要求
a) 依据GB/T 8196，裸露的运动部件需配置保护装置进行预防保护。若保护装置能阻止EN 60529
规定的试验机械手与运动部件接触，则可认为该保护装置的保护效果足够充分（见GB/T 12265.1）。
b) 所有可接触的边、角都应划为避免受伤的区域。
c) 如果只有在完整地安装真空系统后才实现防护，那么应当在泵的安装过程中提供临时的防护措
施。（例如，如果在泵的入口能触及泵的机械零件，那么应当封盖泵的入口。）
d) 设备使用过程中，真空部件要有足够的强度承受挤压。在无法消除此类隐患的地方，需要设置
防压装置来控制弹射物。
e) 设计时应当考虑到被抽气体携带的碎屑积累对泵产生危害。排气过滤器应用足够大的容量以保
证真空泵在 大抽气量的条件安全运行。提供措施确保过滤器在饱和或阻塞情况下不会导致泵入口压力
超过其 高允许工作压力。在泵的排气口处或真空系统内积类的碎片无法避免时，应配排气压力监控装
置或压力调节阀。
f) 真空系统设计应当稳定。条款8.3描述了稳定性的测试方法。应考虑设备的用户可能增加的其
它附件。在无法实现测试时，一定要提供可靠的安全保护措施。
g) 应当提供或规定真空泵和真空系统的安全管理措施。使用的工具可能包括手柄、吊环螺栓、轮
盘、接线板、支架。其中吊环螺栓应符合GB/T 825的规定。
5.1.2 蒸汽流泵的安全要求（附加）
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系统的设计应确保，如果泵关闭进出口在大气压下运行，不会发生危险。
5.1.3 低温捕集泵的安全要求（附加） a) 为防止被抽气体解析引起的密封真空系统或泵体爆炸，需要在真空泵体内配置减压装置。减压
装置除满足GB/T 12241 的要求，还应适于在低温条件下工作。
b) 为避免低温下热循环或脆化产生的应力导致材料失效，用于构造泵的材料应具有适合其预期功
能的机械性能。
c) 加压气体的容器和罐体应当按照实际公认的标准来设计和加工生产。
d) 如果出现误操作（动作）的情况，引起部件承受压力高于泵 高允许工作压力，那么就需要安
装一个适当的减压装置。
e) 如果低温泵断开与制冷压缩机的连接，会产生压力危险，需要提供一个装置降低压力系统至安
全压力级别，并提供安全使用说明。
5.1.4 吸气剂泵安全要求（附加） 要适当保护那些因翘曲易脱落连接的部件，对锋利的边缘要有醒目的警告。
5.1.5 分子泵的安全要求（附加）
a) 转子的安装应坚固，以防止转子旋转被甩出泵外。
b) 泵体的外壳应保证足够强度，以防止破裂的转子碎片甩出。
c) 提供一定的措施确保真空系统中的泵的安全性，使其能承受转子的突发事件。
5.2 电器的安全要求 5.2.1 基本要求
a) 电器安装 真空泵的电器安装应符合GB 4793.1:2007和GB 5226.1:2002的要求。保护装置和转换装置要按照“失
效保护”中安全要求来设计和连接。
要在真空泵外部安装电路过载保护装置，在真空泵的使用说明书中指出操作者应安装电流过载保护
装置。
没有配置断电装置的真空泵，其操作手册应要求使用者自己提供这种装置。
配线要求要：
—— 足够安全和保护；
—— 不与热表面接触；
—— 绝缘可靠。
真空泵安装在具有潜在爆炸性的气氛中，其电器装置应符合EN 60079-0的安全要求。
b) 静电现象 对人有危害或可能发展成为引火源，需将所有导电性的零部件接地来避免静电电荷的积蓄。 c) 电器装置受到的外在影响 设计的安全装置和设备即使在受到干扰的情况下，性能应不受影响。例如： —— 短路；
—— 外部冲击；
—— 电压的变化；
—— 电磁场（见 EN 61000-6-4， EN 61000-6-2）；
—— 接地错误。
5.2.2 蒸汽流泵的安全要求（附加） 设计加热器的保护部分时，要确保加热器元件和泵体之间有良好的热接触，防止温度过高元件降低
绝缘性。
5.2.3 吸气剂泵的安全要求（附加）
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a) 为防止接触高电压，每台泵易导电的零件都要有可靠的接地保护。如果用高压电缆的地屏蔽来
实现接地，那么必须规定 大故障电流，连接必须这样进行：接线前，装置接地，带电导体断开。
b) 连接电源和泵的线路要经过设计计算，并规定泵的 高断路电压。
c) 超过 1000V 操作电压的线路要有国际性的警告标志。
d) 要规定真空泵以及暴露在外的相关高压与线路和导线的 高温度。
5.3 热的安全要求 5.3.1 基本要求
加工介质（润滑油和冷却剂等）过高或过低的温度对操作人员产生危害时，应对介质温度实施监控，
当介质温度超过极限值时要将其恢复到安全状态。
当部件外表面温度高于70°C或低于-10°C，在真空泵正常运行时，操作人员有可能接触到该外表面，
在这种情况下应对其进行保护、绝缘处理或是有明显的标志以示警告（见GB/T 18153）。其他高温管道
要按照附录A的要求标有明显的警告信息。
任何管路应随变化的温度自由移动，同时热管路不应与木料或易燃物接触。
真空泵安装在具有潜在爆炸危险的地方，需要限制其表面温度，同时要消除其他引火源，见EN
60079-0和EN 1127-1。
5.3.2 蒸气流泵的安全要求（附加） a) 安装适当的安全排放装置以防操作人员接触到灼热的泵液。随泵附带的说明书应当规定泵液在
排出泵前的 少冷却时间。
b) 当泵液不足，冷循环出故障或是电气故障时，会导致泵体达到危险的温度，为此要设计适当的
热负载自动跳闸装置，在达到不安全的温度前断开真空泵上的电源。
c 当过高的温度导致扩散泵油发生危险的裂解时，需要配备一个适当的温度自动跳闸装置。
5.4 噪声 按照ISO/TR 11688-1标准规定，设计时要考虑减少噪声，有保护措施设计的真空泵应能在 高指定
环境温度下连续满载运行。
5.5 辐射 吸气剂泵外表面散发的辐射线和杂散射线（波长为50mm的相同射线剂量）不能超过5 μSv/h。
5.6 真空泵使用和排放的材料和物质 在真空泵或真空系统使用过程中，被抽介质和泵液会产生危害时，要采用特别的方式来消除这种危
害的风险。
5.6.1 基本要求 a) 设计中要注意防止气体漏进系统或有毒气体泄露到大气中。应根据 8.4 测试真空系统的密封性。 b) 安装适当的阱或分离器，以防止有害的液体或固体微粒进入真空泵。 c) 处理易燃物会引起火灾，应通过以下措施来消除： —— 设计并选择适当的材料，将引火源的风险降至 小；
—— 选择合适的材料和适当的接地来防止静电电荷的积累；
—— 防止外来微粒的进入，其接触到真空泵内的旋转轴会发生引燃。
如果用水作密封物质，应当安装流量表，当水流降至危险值时会自动切断发动机。
要避免易燃性气体的飘逸，应按照条款8.4中的要求检测真空系统的密封性。
如果条件允许，可采用惰性气体稀释可燃性物质的浓度。 d) 处理氧化剂时，避免引起火灾及爆炸的主要措施有：
—— 在装配前清洗真空泵和系统的所有部件，清除所有有机物质；
—— 慎重选择真空系统的使用材料；
—— 慎重选择用来润滑、密封和抽气的泵液；
—— 如果条件允许，可用可监控惰性气体来稀释被抽气体。
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e) 避免处理自燃气体引起火灾或爆炸的主要措施有：
—— 使用可监控的惰性气体来稀释被抽气体；
—— 通过设计预防空气进入系统中，根据条款 8.4 检测系统的密封性；
—— 通过设计预防自燃气体泄露入空气中，按照条款 8.4 进行检测系统的密封性。
f) 如果存在气体分解或爆炸的危险，设计的泵应能承受随之产生的 高压力。这应根据条款8.2
按静态超压来检验真空泵。
5.6.2 蒸气流泵的要求（附加） a) 如果使用有害的真空泵液（例如水银），应当采取防范措施，使用适当的阱防止真空泵液进入真
空泵的排气系统或真空系统的其他部件内。应规定在维护期间采取的防范措施。 b) 采取预防措施防止温度过高，避免在高温真空泵液或密封材料产生有害的化学分解，见5.3.2c。
c) 采取措施防止真空泵入口和出口压力过高使真空泵液发生氧化。
d) 要根据工作温度和压力来选择合适的真空泵液。
5.6.3 低温捕集泵的要求（附加） a) 避免被抽易燃气体积累，产生引燃的可能性，除非系统真空度低于10
-1mbar，否则不要接通灼热
的灯丝和放电装置。
b) 真空泵附带的说明书应当提供警告，要求安装排放废气的安全管路。
c) 真空泵在设计和使用过程中要考虑有害气体积累的可能性，例如：氢气。
5.7 机械设计中的人类工程学原则 按照GB 16754和GB/T 5465.2的要求，系统启动和停止装置要操作简易、标志清晰，见附录A。
手动控制和其他频繁的使用的装置应当被设置成容易触及和控制，并且不烦琐。
有关控制仪表应放置在操作者易于看见的地方，并操作与工具相关的控制部件。
只要有可能，控制部件和操作工具都应该设计成有助于操作者理解它们的功能，并避免操作者犯错
误。
在真空泵的结构设计中，对泵液处理应有充填、排放、清洗、回收等功能。
5.8 供电故障、部件损害和其他功能失调 5.8.1 基本要求
a) 在主电源和辅助电源电力下降的情况下，应该将真空泵或真空系统转入安全的状态。 b) 设计真空泵或系统时，要求当电源出现故障或电源恢复时，这种电源故障不会引起危害。 以上适用于整个系统，包括加润滑剂、供水、阀门的位置或是控制电路中的任一部分，它们都有可
能产生危害。
5.8.2 机械部件故障 真空泵或抽气机组的材料要保证足够的预期使用，尤其关于耐久性、疲劳现象、老化（包括脆化），
腐蚀、磨损、化学反应、受热和静电影响。
使用的材料不可有害人体健康和安全。
使用的材料要与生产商规定的润滑油或是其他泵油和加工的材料一致。
润滑油、油脂和真空泵液应当能够承受遇到的极高的压力和温度。 密封圈和垫圈应当用能承受遇到的高压、高温的材料制成。
5.9 有关安全的措施和方式 a) 用安全装置停止设备运行后，设备仅能通过手动控制的的操作来重新起动。 b) 当人与设备之间的接触是依靠键盘时，不应该有可能出现错误的命令导致危险的发生。 c) 不能仅依靠软件的正确使用来确保操作的安全进行。软件出现故障时，在硬件方面，应当提供
一定装置确保操作安全，如以互锁或其它安全形式。同样，系统的安全性也不仅取决于硬件的正确运行。
5.10 应急停止设备 应当安装应急停止设备装置，以防出现危险状态发生且需要手动控制时。
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应急停止设备装置应符合GB 16754和GB 18209.1的规定。见附录A。
分析表明，正常的停止装置在功能上符合应急停止设备装置的要求，则视为该装置满足要求，同时
要有相应的标志。
6 标志、符号和警示
6.1 普遍使用的标志 标志、符号和警示应永久存在并清晰可见。
6.2 标牌 泵的标牌应当具有以下内容，要清楚规范且不易抹去： —— 生产商的名称和地址；
—— 制造日期；
—— 系列或型号；
—— 序号或批号；
—— 旋转轴的转速。
6.3 附加要求 应标注下列信息：
a) 由转动轴驱动的泵
—— 旋转方向；
—— 如果泵的入口和出口易混淆的话，则对其有清晰的标志；
—— 如果泵液的液位会影响其安全时，要注明 高和 低液位；
—— 如果可以的话，标冷却水的入口和出口；
—— 如果其他真空泵液会导致泵损坏的话，要注明该泵使用的真空泵液。
b) 蒸气流泵
—— 需要的真空泵液的数量；
—— 空冷泵气流方向或风扇的转向；
—— 灼热表面的警告标志。
c) 低温捕集泵
—— 在减压阀附近有警告标记以免阀被堵塞。如果有危害物质被吸入泵时，就要实施该安全排
气管的预防措施；
—— 压力系统应当在断开冷却泵或是拆卸系统之前释放压力，应有警告标志；
—— 应有操作者阅读使用手册的标志。
d) 吸气剂泵
—— 高额定电压（铭牌上）；
—— 高压警告符号；
—— 磁区警告符号。
6.4 真空系统上应标注的其他附加信息 —— 生产商的名称和地址；
—— 系列或型式名称；
—— 系列号；
—— 额定电压、频率和电流。
7 使用信息
7.1 概要
GB ××××—××××
10
每个真空泵，真空机组和真空系统都应提供说明书。说明书要提供使用者所需的泵的预计使用期限
内的安全、正确的安装、保管、使用 、维护和设备的相关信息。
7.2 运输和储存 使用说明书上应当清楚注明设备的安全挪动、运输和保管方面的所需信息，包括：
—— 重量；
—— 起重的规定；
—— 运送装置；
—— 储存的限制；
—— 储存条件。
7.3 安装 7.3.1 使用说明书要清楚地指明设备安装所需的信息，包括：
—— 固定泵在适当的操作位置的说明；
—— 泵的入口和出口的说明；
—— 冷却要求的说明；
—— 在安装中或维修后检查泵的转子的正确转动的警告，同时说明如何安全检查转动；
—— 泵的 高安全出口压力的说明，不得在泵出口被堵塞或是受到限制的条件下运行泵的警告；
—— 泵的 大抽气量的说明，需要确保排气系统和减压阀在不超过泵的 高出口压力的情况下
能承受该 大抽气量的警告；
—— 安全连接和切断气体入口的 高气体压力的说明；
—— 如有油雾或危害物质，泵应有能够安全的排出的提示警告；
—— 泵使用工作泵液的说明；
—— 有不允许将扩散泵液用在其他真空泵上导致不匹配或产生不安全的警告，例如：水银；
—— 不要限制在气冷泵中的气流的警告，清楚空气入口的周围或 低气流量的详细说明；
—— 在制冷剂正确充气压力下，有安装低温泵的说明。用于充气的装置应当指定 大极限值，不
能超过正确充气压力的警告。应当提供所有必要的安全充气说明；
—— 给出安装吸气剂泵时的 高额定电压、 大工作电流和 高烘烤温度的说明；
—— 吸气剂泵上的磁铁安全操作的安装说明；
—— 如果有可能的话，需要保护所有的电路避免冷表面凝结水的警告。
7.3.2 如果设备是设计用来处理有害的气体或蒸气，一定要在安全操作所需的额外防范措施上给予警
告，同时还有对气体供货商的安全性建议的重要性的警告。
7.4 产品详细说明 —— 使用说明书应对设备进行详细的说明，需要说明的内容有：
—— 生产商的名称和地址；
—— 设备的重要特征，例如：漏气率、铭牌上的信息；
—— 保护装置；
—— 使用设备所需的环境；
—— 预期的使用；
—— 总重量；
—— 噪声等级。
7.5 使用 7.5.1 使用说明书应清楚的说明安全操作设备的所有信息，包括：
—— 控制功能介绍；
—— 如果合适的话，写明应急停止步骤；
—— 怎样操作设备。
GB ××××—××××
11
7.5.2 使用说明书要对各种设备操作过程中可能出现的危害提出警告：
a) 对于各种设备：
—— 有关排放气体或蒸汽的警告；
—— 禁止人体任何部位暴露在真空下的警告。
b) 对于蒸气流泵
—— 如果入口压力和前级压力超出规定的 高值，泵液会流入真空系统的其他部分的警告。 应提
供安装适当的初抽阀门说明；
—— 真空泵上所带的低温冷却挡板，对它要有安全操作警告。
c) 对于低温捕集泵（附加）
—— 警告在从压缩机上切断冷却泵或拆分捕集泵之前，应使制冷系统排放到安全压力，同时说明
怎样使系统安全排放；
—— 如果泵吸入了有害物质，要提出不要限制真空泵压力缓解阀的警告和真空阀流量的安全排气
的详细说明；
—— 声明当泵温度上升时不得配备任何可以使被抽的易燃气体引燃的装置；
—— 声明避免与泵的低温表面相接触和具有这种危险的环境；
—— 声明有害气体积累会出现意外的危险。
d) 吸气剂泵（附加）
—— 需要确保泵体接地保护的警告；
—— 泵安全烘烤的说明，包括对灼热表面作标记和屏蔽；
—— 泵装配中的所有零件的 高烘烤温度的规定，例如，不必烘烤的零件；
—— 如果 高操作温度和 高烘烤不同，也应当对此有所规定。
7.6 维修 7.6.1 为了设备的长期寿命，使用说明书应清楚地表述维护设备安全所必需的行为，包括：
—— 易损件/备件清单；
—— 怎样安装易损件/备件；
—— 建议维修时间间隔；
—— 对于那些需要确保其运行可靠性的安全设备的检测和维护说明；
—— 如果可能的话，需要写明如何检查泵的气密性。
7.6.2 使用说明书应当警告在维修中可能遇到的任何危险，包括：
a) 对于各种设备
—— 附带的说明书应当警告可能储存于泵中的有害物质；
—— 警告由于润滑剂或泵油分裂产生的有害物质；
—— 为了安全操作，应给出处理失效的润滑剂和其他废物的说明；
—— 有关安全操作，使用和处理泵液的所有必要的数据；
—— 就所有过滤器的安全维护给予说明。当更换和配置过滤器元件时，有必要对被抽气体采取适
当的防范措施的警告。必须说明过滤器合适的预期用途。
b) 对于蒸气流泵（附加）
—— 清洗泵的详细说明和使用的溶剂。如果有可能的话，还有避免使用溶剂种类的说明；
—— 有关检验泵液位的说明；
—— 指明安全排放泵液前 短冷却时间的警告。
8 检验
8.1 噪声测量 噪声辐射值检验应按GB/T 14574进行。
GB ××××—××××
12
测得的噪声辐射值应按GB/T ×××××来确定。
8.2 压力试验 用于遏制由被抽介质的分解引起的可能的爆炸或是急速压升的真空泵或抽气系统的一部分，应在设
计中得以验证能够承受1.1MPa(11bar)的绝对压力。
压力的持续时间应至少1min。可能会发生泵外壳的扭曲变形或泄漏，但是不准出现任何形式的断裂
或破坏。
8.3 机械稳定性试验 如果任意方向上倾斜10°，真空泵或真空抽气系统不倒，则说明其具有稳定性。
8.4 密封性试验 要求的密封程度应与真空系统、加工过程和被抽气体的要求一致。
使用的检测方法应该能够检测出要求的漏率，并按照国家标准来校验。使用的方法可能包括：
—— 在关闭泵后，测量压升。
—— 用惰性气体对泵或真空系统加压至绝对压力 1×105Pa～2×10
5Pa(1.0 bar～2.0bar)之间。
—— 用适当的探测气体，如氦气，包封真空泵或真空系统，使用质谱仪测量漏进系统的气体量。
8.5 检验的项目组成
安全要求 目测检验 功能检验 测量 参考该标准或
其他标准的条款
5.1
警报装置 X X
EN 60529
GB/T 18153
5.1 部件弹射 X X 8.2
5.1 稳定性 X X 8.3
5.2
电气安全性 X X
EN 60079-0
EN 61000-6-4
EN 51000-6-2
GB 5226.1:2002
GB 4793.1:2007
5.3
热安全性 X X
GB/T18153
EN 1127-1
EN 60079-0
5.4 噪声 X GB/T ×××××
5.5 吸气剂泵辐射 X
5.6 泄漏 X 8.4
5.7 火灾和爆炸 X 8.2 8.4
5.7 人与机械工程学 X X GB 18209.1:2000
5.8.1电源 X X
5.8.2故障 X X
5 装配错误 X X
5.1.3压力缓解装置 X X X GB/T 12241
5.10 应急制止装置 X X
GB 16754
GB 18209.1-2000
GB ××××—××××
13
附 录 A
（规范性附录）
标签、符号及附加语
符号 图示 涵义 颜色 对应标准及注
册号
A.1
命令：
阅读说明书
背景：蓝色
符号：白色
A.2
命令动作：
应当带有听力保护
装置
背景：蓝色
符号：白色
GB 2894-1996
3-4
GB
18209.1:2000
A.3
禁止：
不能起动
背景：白色
圆形镶边：红色
符号：黑色
A.4
警告：
辐射危险
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB ××××—××××
14
GB
18209.1-2000
A.5
警告：
危险电磁区
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB
18209.1:2000
A.6
警告：
该部分为远程控
制，
可以无警报起动。
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB/T 16273.1
A.7
警告：
高温危险
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB/T
5465.2:1996-504
1
A.8 警告：
正在进行维护工作
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB ××××—××××
15
A.9
警告：
在正常工作区排放
热蒸汽或有害气体
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
A.10
警告：
低温危险
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB18209.1:2000
A.11 警告：
电击危险
背景：黄色
三角镶边：黑色
符号：黑色
GB18209.1:2000
GB 2894 2-7
GB ××××—××××
16
A.12
起动装置 GB/T5465.2:199
6-5007
A.13
停止装置
GB/T5465.2:199
6-5008
A.14
起动和停止装置
GB/T5465.2:199
6-5010
A.15
应急制止装置
红色（在黄色的背
景上安装红色的蘑
菇形按钮）
GB/T18153
GB ××××—××××
17
A.16
停止和功应急停止
组合装置
红色
符号：白色（在黄
色的背景上安装红
色的蘑菇形按钮）
GB/T 18153
GB/T5465.2:199
6-5008
A.17
旋转方向
符号：黑色 GB/T 16273.1
A.18
燃料已满
符号：黑色 GB/T 16273.1
A.19
油已满
符号：黑色 GB/T 16273.1
GB ××××—××××
18
A.20
冷却剂已满
符号：黑色 GB/T 16273.1
起重点
符号：黑色 GB/T 16273.1 A.21
GB ××××—××××
19
附录 B (资料性附录)
EN1012-1：1996 与中国标准、国际标准对应的标准编号和名称
EN 1012-1:1996 国际标准 标准中英文名称 中国标准
或欧洲标准 引用标准
EN 292-1 GB/T 15706.1 ISO 12100-1 机械安全 基本概念与设计通则 第 1 部分：基本术语和方法
EN 292-2 GB/T 15706.2 ISO 12100-2 机械安全 基本概念与设计通则 第 2 部分：技术原则
EN 294 GB 12265.1 ISO13852 机械安全 防止上肢触及危险区的安全距离
EN 418 GB 16754 ISO/IEC13850 机械安全 急停 设计原则
EN 563 GB/T 18153 EN 563 机械安全 可接触表面温度 确定热表面温度限值的工效学
数据
EN 953 GB/T 8196 ISO 14120 机械安全 防护装置 固定和移动防护装置设计与制造的一
般要求
EN 1127-1 — EN 1127-1 爆炸性环境 爆炸防止和防护 第 1 部分：.基本概念和方法
EN 12076 — EN 12076 压缩机和真空泵的噪声发射的测量（工程法）
EN 50014 — EN 60079 潜在爆炸环境用防爆电气 一般要求
EN 50081-2 — EN 61000-6-4 电磁兼容性 放射物类 第 2 部分：工业环境
EN 50082-2 — EN 61000-6-2 电磁兼容性 抗扰类 第 2 部分：工业环境
EN 61360-1 GB 18209.1 IEC 61310-1 机械安全 指示、标志和操作 第 1 部分：关于视觉、听觉和
触觉信号的要求
EN 60204-1 GB 5226.1 IEC 60204-1 机械安全 机械电气设备 第 1 部分：通用技术条件
EN 60529 — — 隔离罩（IP 规范）提出的保护等级规范
ENV 1070 — EN 1070 机械安全 术语
ISO 3266 GB/T 825 ISO 3266 吊环螺钉
ISO 3529 GB/T 3163 ISO 3529 真空技术 术语
ISO 4126-1 GB/T 12241 ISO 4126-1 安全阀 一般要求
ISO 4871 GB/T 14574 ISO 4871 声学 机器和设备噪声发射值的标示和验证
ISO 7000 GB/T 16273.1 ISO 7000 设备用图形符号 通用符号
ISO/TR 11688 —
ISO/TR11688-1 声学 低噪声机器和设备设计的推荐实用规程 第 1 部分：
计划
IEC 417 GB/T 5465.2 IEC 417 电气设备用图形符号
IEC 1010-7 GB 4793.1 IEC 61010-1 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求