no slide titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/engi109/01....
TRANSCRIPT
![Page 1: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/1.jpg)
Μικροηλεκτρονική - VLSI
Ενότητα 1: Εισαγωγή στη Σχεδίαση Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων
Κυριάκης - Μπιτζάρος Ευστάθιος Τμήμα Ηλεκτρονικών Μηχανικών Τ.Ε.
ΕΛΛΗΝΙΚΗ ΔΗΜΟΚΡΑΤΙΑ Ανώτατο Εκπαιδευτικό Ίδρυμα Πειραιά Τεχνολογικού Τομέα
![Page 2: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/2.jpg)
Άδειες Χρήσης
• Το παρόν εκπαιδευτικό υλικό υπόκειται σε άδειες χρήσης Creative Commons.
• Για εκπαιδευτικό υλικό, όπως εικόνες, που υπόκειται σε άλλου τύπου άδειας χρήσης, η άδεια χρήσης αναφέρεται ρητώς.
![Page 3: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/3.jpg)
Χρηματοδότηση • Το παρόν εκπαιδευτικό υλικό έχει αναπτυχθεί στα πλαίσια
του εκπαιδευτικού έργου του διδάσκοντα.
• Το έργο «Ανοικτά Ακαδημαϊκά Μαθήματα στο Ανώτατο Εκπαιδευτικό Ίδρυμα Πειραιά Τεχνολογικού Τομέα» έχει χρηματοδοτήσει μόνο τη αναδιαμόρφωση του εκπαιδευτικού υλικού.
• Το έργο υλοποιείται στο πλαίσιο του Επιχειρησιακού Προγράμματος «Εκπαίδευση και Δια Βίου Μάθηση» και συγχρηματοδοτείται από την Ευρωπαϊκή Ένωση (Ευρωπαϊκό Κοινωνικό Ταμείο) και από εθνικούς πόρους.
![Page 4: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/4.jpg)
Σκοπός Ενότητας
Εισαγωγή και ιστορική αναδρομή στο σχεδιασμό και την υλοποίηση ολοκληρωμένων κυκλωμάτων
![Page 5: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/5.jpg)
Περιεχόμενα Ενότητας 1. Εισαγωγή 2. Το MOS τρανζίστορ ως διακόπτης 3. Κατασκευή ολοκληρωµένων κυκλωµάτων
- Φυσικός σχεδιασµός (layout) - Κανόνες σχεδιασµού
4. Ο αντιστροφέας CMOS 5. Βασικές λογικές πύλες 6. Σύνθετες πύλες CMOS
- ∆ιάφοροι τύποι σχεδιασµού (logic styles) - Λογικές οικογένειες µε σήµατα χρονισµού
7. Ακολουθιακά κυκλώµατα - Στατικά flip-flops και latches - ∆υναµικά flip-flops 8. Μεθοδολογίες σχεδιασµού-Τύποι ολοκληρωµένων κυκλωµάτων
![Page 6: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/6.jpg)
Εισαγωγή • ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ: Διεπιστηµονικός τοµέας
− Ηλεκτρονική − Φυσική Στερεάς Κατάστασης - Επιστήµη Υλικών − Χηµεία − Επιστήµη των Υπολογιστών − Mαθηµατικά − Βιολογία κ.α.
• Χαρακτηριστικά Ολοκληρωµένων Κυκλωµάτων − Μεγάλη ταχύτητα − Mεγάλη πολυπλοκότητα − Μικρός όγκος − Μεγάλη αξιοπιστία − Μικρή κατανάλωση − Ευφυία
![Page 7: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/7.jpg)
Ιστορική Αναδρομή 1910: Εφεύρεση του πρώτου ηλεκτρονικού ενεργού στοιχείου (Ηλεκτρονική λυχνία κενού) 1920-1940: Ανάπτυξη της βασικής θεωρίας κυκλωµάτων − Ανόρθωση − Εξοµάλυνση − Ενίσχυση − ∆ιαµόρφωση − Ευστάθεια 1946: Κατασκευή του πρώτου ηλεκτρονικού στοιχείου στερεάς κατάστασης (δίοδος) και αµέσως µετά του διπολικού transistor από τον Schokley 1957: Κατασκευή του πρώτου Metal Oxide Semiconductor transistor στη Γαλλία βασισµένο σε ιδέα του Lindfield από το 1927 1985-σήµερα: − Ανάπτυξη των ψηφιακών O.K. − Επανάκαµψη του αναλογικού σχεδιασµού − Ο.Κ. αναλογικών-ψηφιακών σηµάτων − Ολοκληρωµένα συστήµατα σε ένα chip (System on Chip, SoC)
![Page 8: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/8.jpg)
Ο Μηχανισμός των Αντικυθύρων
![Page 9: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/9.jpg)
The First Computer
The BabbageDifference Engine(1832)25,000 partscost: £17,470
![Page 10: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/10.jpg)
ENIAC - Ο πρώτος Η/Υ (1946) 18000 λυχνίες
1500 διακόπτες
200 KW
160 m2
Υπολογισμός τροχιάς βλήματος σε 30’’ αντί 20 ώρες
Σχεδίαση ατομικής βόμβας
ENIAC (Electronic Numerical Integrator And Computer)
![Page 11: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/11.jpg)
ENIAC - Ο πρώτος Η/Υ (1946)
10-bit accumulator!!
Προγραμματίζοντας τον ENIAC
![Page 12: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/12.jpg)
Μερικοί από τους πρώτους Η/Υ
ENIAC EDVAC 1946 1948 ORDVAC BRLESC I&II 1952 1962
![Page 13: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/13.jpg)
Σμίκρυνση των κυκλωμάτων...
![Page 14: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/14.jpg)
The First Transistor
Bipolar point-contact
Bell Labs 1947
![Page 15: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/15.jpg)
Τα πρώτα Ολοκληρωμένα Κύκλωματα
Planar transistor 1958 TI 1961 First flip-flop, Fairchild
& 1959 Fairchild 4 Trans, 5 Res, 0.06 in
http://smithsonianchips.si.edu/augarten/index.htm
![Page 16: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/16.jpg)
MOS IC (RCA, 1962) Op amp (Fairchild, 1965)
http://smithsonianchips.si.edu/augarten/index.htm
Τα πρώτα Ολοκληρωμένα Κύκλωματα
![Page 17: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/17.jpg)
The MOS Transistor Μήκος καναλιού (L) Χαρακτηριστικό Τεχνολογίας
Gate Oxide
Field Oxide
Field Oxide
Source/Drain Regions P-type
N+ N+ GATE
![Page 18: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/18.jpg)
Intel 4004 Micro-Processor
![Page 19: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/19.jpg)
Intel Pentium (II) microprocessor
![Page 20: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/20.jpg)
Intel Pentium (IV) microprocessor
![Page 21: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/21.jpg)
System on Chip (SoC)
![Page 22: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/22.jpg)
O νόμος του Moore -1
1965, G. Moore, Ο αριθμός των τρανζίστορ στα Ο.Κ. διπλασιάζεται κάθε 18 μήνες http://www.intel.com/technology/mooreslaw/
![Page 23: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/23.jpg)
O νόμος του Moore -2
![Page 24: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/24.jpg)
Παραγωγή ανά έτος & τεχνολογία
![Page 25: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/25.jpg)
Ολοκληρωμένα Κυκλώματα • Τα O.K. χαρακτηρίζονται από:
− Υψηλή απόδοση σε συγκεκριµένη εφαρµογή ή πεδίο εφαρµογών − Συγκεκριµένη λειτουργικότητα (functionality) • ΠΑΡΑ∆ΕΙΓΜΑΤΑ: − MPEG Coder − FIR filter processor − Μετρητής Απόστασης µε LASER − Ελεγχος Φόρτισης Μπαταριών από Ηλιακά Κύτταρα − Ο.Κ. σε κάρτες προσωπικών υπολογιστών (κάρτα δικτύου, γραφικών, motherboard, κλπ)
![Page 26: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/26.jpg)
Πλεονεκτήματα χρήσης Ο.Κ. • Αντικατάσταση µεγάλου αριθµoύ διακριτών στοιχείων µε αποτέλεσµα:
− ελαχιστοποίηση του µεγέθους του συστήµατος − αύξηση της ταχύτητας − µείωση της κατανάλωσης ισχύος − ελαχιστοποίηση των διατάξεων ψύξης − αύξηση της αξιοπιστίας − µείωση του κόστους του συστήµατος
• ∆υνατότητα ενσωµάτωσης ιδιαίτερων λειτουργιών
• Εξασφάλιση από πιθανή αντιγραφή
• Μείωση του χρόνου ανάπτυξης του συστήµατος και επιτάχυνση της διάθεσής του στην αγορά
![Page 27: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/27.jpg)
Μειονεκτήματα χρήσης Ο.Κ. • Στατιστικά το 50% των ASIC αποτυγχάνουν να λειτουργήσουν σωστά την
πρώτη φορά
• Πιθανή ανατροπή του χρονοδιαγράµµατος λόγω ανάγκης επανάληψης της διαδικασίας σχεδιασµού /κατασκευής
• Δυσκολία στον έλεγχο και στην εξεύρεση λαθών
• Υψηλό κόστος πρωτοτυποποίησης
• Ο όγκος παραγωγής µπορεί να µην ξεπεράσει την κρίσιμη ποσότητα
![Page 28: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/28.jpg)
![Page 29: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/29.jpg)
Μεθοδολογία Σχεδιασμού Ο.Κ.
![Page 30: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/30.jpg)
Μεθοδολογία Σχεδιασμού Ο.Κ.
HDL
Logic Synthesis
Floorplanning
Placement
Routing
Tape-out
Circuit Extraction
Pre-Layout Simulation
Post-Layout Simulation
Structural
Physical
Behavioral Design Capture
![Page 31: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/31.jpg)
ΕΞΕΛΙΞΗ ΜΕΘΟΔΟΛΟΓΙΑΣ ΣΧΕΔΙΑΣΜΟΥ
![Page 32: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/32.jpg)
ΠΟΛΥΠΛΟΚΟΤΗΤΑ/ΠΑΡΑΓΩΓΙΚΟΤΗΤΑ
1
10
100
1,000
10,000
100,000
1,000,000
10,000,000
10
100
1,000
10,000
100,000
1,000,000
10,000,000
100,000,000
Logic Tr./Chip Tr./Staff Month.
x x x
x x x
x 21%/Yr. compound
Productivity growth rate
x
58%/Yr. compounded Complexity growth rate
10,000
1,000
100
10
1
0.1
0.01
0.001 0.01
0.1
1
10
100
1,000
10,000
100,000
![Page 33: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/33.jpg)
Στοιχεία Ολοκληρωμένων Κυκλώματων
Transistors • Απαιτούν υπόβαθρο πυριτίου και πηγάδια • Διαχύσεις (n και p τύπου) (difusion) • Πολυκρυσταλλικό πυρίτιο (polysilicon)
Ηλεκτρικές διασυνδέσεις
• Πολλά επίπεδα μετάλλου (αλουμίνιο, χαλκός) • Διηλεκτρικό μεταξύ των μετάλλων (SiO2, low-k) • Επαφές μεταξύ διαφορετικών επιπέδων (Τρύπες στο
διηλεκτρικό)
![Page 34: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/34.jpg)
Διαδικασία Κατασκευής Ο.Κ.
![Page 35: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/35.jpg)
Φωτολιθογραφική Διαδικασία
oxidation
optical mask
process step
photoresist coating photoresist removal (ashing)
spin, rinse, dry acid etch
photoresist
stepper exposure
development
Typical operations in a single photolithographic cycle (from [Fullman]).
![Page 36: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/36.jpg)
Processed wafer
Single die
Wafer
![Page 37: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/37.jpg)
Processed wafer
Intel® Pentium® 4 Intel® Itanium®
![Page 38: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/38.jpg)
A/D Process cross-section
p- epi
p+ substrate
p- substrate
Field oxide pwell nwell
![Page 39: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/39.jpg)
Advanced Metalization
![Page 40: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/40.jpg)
IC Packages
Single chip packages Multi-chip module (MCM)
![Page 41: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/41.jpg)
3-D Integration
http://lsm.epfl.ch/page-52814-en.html
![Page 42: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/42.jpg)
MOEMS
![Page 43: No Slide Titleeclass.teipir.gr/openeclass/modules/document/file.php/ENGI109/01. Εισαγωγή...Το mos τρανζίστορ ως διακόπτης ... Ακολουθιακά](https://reader035.vdocuments.site/reader035/viewer/2022071503/61234f305dcace7b561f2144/html5/thumbnails/43.jpg)
Τέλος Ενότητας