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基本特性
粒度分布(一般特性)
概要サンゴバンのNanoSoft Alumina Slurryは、遷移アルミナ粒子を配合した水系スラリーです。ソフトアルミナ粒子は、厳密に工程管理された条件下で製造したδアルミナとθアルミナからなります。このアルミナ粒子の硬度は、αアルミナよりもわずかに低く、欠陥あるいはスクラッチを最小限に抑えることができます。特にCu CMP用途において、欠陥が少なく、優れた研磨レートと選択性を発揮します。この水系スラリーは、アルミナ粒子の分散安定のためpHを調整しております。50nmのアルミナスラリーは、コロイダルシリカのスラリーと比較すると、より透明性の阻害が少ない商品となります。50nm粒径の標準品のほか、顧客に要望に応じて粒子形状、サイズおよび硬度のカスタム対応が可能です。
用途γアルミナのようにこのナノソフトアルミナは、透明性を阻害しにくい球状粒子となっております。代表的な用途例として、電子材料分野、CMP(半導体向け)、研磨材、クリアーコーティングあるいは塗料向けのフィラーが挙げられます。
pH
固形分 %
アルミナ含有量
外観/色目
~ 4
20%
99+%
無色
D50
55nm
D0.1
N/A
D90
N/A
有用性● 研磨およびCMP用途に最適● 標準品の粒径は50nm● カスタム対応については別途相談● 標準荷姿:5ガロン、50ガロン
特徴● 高純度遷移ソフトアルミナ● 完全分散体スラリー● 透明(ほとんど無色)● コロイダルシリカスラリーと比較し低濁度● 高MRRと表面仕上げを実現● 再撹拌することでシェルフライフの延長が可能● 狭い範囲で調整された粒度分布● ISO9001:2000認証取得● 用途に応じたカスタマイズ対応可能
NanoSoft Alumina SlurryProduct Code:9297
Cu Ta Oxide
Cu, Ta, Oxide ウェハのAFM結果
※NanoSoft Aluminaはシェルフライフを延長するために、脱イオン水での希釈が可能です。
Ra=3.5ARa=4.8A
Ra=0.4ARa=0.3A
Ra=0.7ARa=0.6A
00.001 0.01 0.1 1 um
0.2
0.40.6
0.81
1.21.4
D50=50nm
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NanoSoft Alumina SlurryProduct Code:9297