MISMISLCD LCD 常用製程生產管理工具常用製程生產管理工具

前言前言

電子產業多數因為 :

1. 機台成本偏高

2. 產品價值昂貴

故須相當重視品質及生產效率

TFT-LCD 多年經驗下 . 多數發展以下自動化系統

MOMO1.2007/1/4首片檢及週期檢未落實導致印刷刮刀 MURA，造成品質異常，大量報廢，損失達一百三十餘萬

2.2007/1/7因開線未仔細確認 PI液條件，造成品質異常，大量報廢，損失達四百六十餘萬

3.2007/5/27人員未確實執行 6Pcs/Hr週期檢導致連續 3小時未做 週期檢漏檢 Unknow Mura，共 200多組產品，大量報廢，損失達四百八十餘萬

4.2008年 2 月 AAPK操作不當造成 HARD CASE掉落 , 破片184大模 , 損失二百五十四萬

5.2008年 4 月 D306掛錯版 540大模 , 損失四百五十萬

名詞解釋Tools Name

英文全文 中文翻譯 用途 User

OPIOperator Information(Operation Interface)

生產操作介面 生產線生產作業資訊流應用工具 MFG

DIV Defect Image Viewer 缺陷影像系統 利用高倍數 CCD 判斷不良影像已利分析解決不良 ENG

Report Report System 生產性報表 觀察控制生產情況 MFG

ADS Analysis Database System 資料分析系統 Defect 集中性及情況分析 ENG

Map View Map View System Panel 不良區域分析 分析不良特性 ENG

EDC ??? Data Control Panel 生產序列資訊 分析生產時間序列及機台所屬 ENG

CFM Configuration Client 機台介面連結系統 反應生產機台現況 MFG/ENG

Big tree Big tree System 大樹系統 自動分析品質系統 ENG

SPC Spec. Chart 規格界線系統 品質界限管制 ENG

Main purposeMain items Sub items 作業項目 Function response

產品安排下線量 MES

下線產品狀況 MES

產品rework率 REPORT

機台稼動率分析 REPORT

tact time機台 計算 REPORT

-Materials control 生產性耗材管控 PROD

作業者動態分析 MES/PROD

人力調度調整 MES/PROD

機台狀態監控 CIMEDC data監控 CIM

data機台點檢 監控 CIM-Materials control 設備消耗性備品管控 PROD

保養計劃 CIM設備異常管理 CIM

-Real time spc control 線上產品量測資料統計 REPORT

環境及機台潔淨度監控 CIM

環境溫溼度監控 CIM

in line defect monitoring CIM/ENG/PROD

off line defect monitoring CIM/ENG/PROD

Remote control PIIN/CTST

AOI產品判斷 CIM/ENG/PROD

AOI產品分析 CIM/ENG/PROD

拆片解析結果分析 CIM/INT

repair產品分析 CIM/TEST

light on defect 分析及回溯 CIM/TEST

-Remote monitor

-loss cause judgement

4. Review &Judgment

-Defect image analysis

-particle monitor3. Quality control

1. Productioncontrol

2. Engineeringcontrol

-Maintenance control

-Equipment status monitor

-Product running

-Operator control

OPI

DIV

Report system

ADS

Map view

EDC

CFM

Big tree

SPC

PM Manager

PM manager-1

Network flow rate of image file :

TFT : In-line AOI * 16 , Off-line AOI * 6 , ADSI * 8 平均每日產生量 Image 20G byte , D/M 30G byte 瞬間每分鐘最大量 30M byteLCD : In-line AOI * 8 , Off-line AOI * 2 , 平均每日產生量 Image 8 G byte , D/M 15 G byte 瞬間每分鐘最大量 18M byte BURR = 9*100M = 900 M 　　 CTST = 16*12M = 192 M　　 OWLI = 16*16M = 256 MCF : In-line AOI * 20 ,Repair *32 , Ink repair *4 平均每日產生量 Image 17 G byte , D/M 72 G byte 瞬間每分鐘最大量 66M bytePS : CIM 目前規劃為主網路下分割許多子網路 , 每個子網路 瞬間承受最大量為 12M byte / sec .

PIIN (4) + SEIN (4) + Off Line AOI 平均每日產生量

Image File 8G byte + D/M File 15G byte (Review) + 文字檔32MB

PIIN+SEIN=(4+4)x4k=32k ，文字檔為 32MB

BURR (22) 平均每日產生量

Image File 38.4G byte + 文字檔 64MB byte

(以 15 吋基板為例： FAB 3 每天最大產生 4K 大片 Substrate ，可產生 4Kx16=64K的 15 吋基板，所以有 Burr 的文字檔 (1k)有64MB

Image： 64K/Day x 0.05( 不良率 ) x 8(1個 NG片 Capture點 ) x

1500k byte (1個 Image File 大小 ) = 38.4 G byte )

LCD File Server Capacity I

LCD File Server Capacity II

CTCS (22) LOI 1 平均每日最大量

Total 量為 =300MB

參考 -FAB 3 Testing Defect

每天 LCD Server 要存放的量

(15G + 8G +0.0032G)+(38.4G+0.064G)+(0.3G)=61.7672G/day

又 LCD on line server file 要保留 10 天，所以 LCD Server 總共需要

61.7672 G x 10=617.672G/10 day (modify 620G/day)

LCD OFF Line File Server Capture

OFF Line File Server 是以檔案存放 60 天為最長 (10 day 容量 x6) ，若此檔案存放時間要縮短為 20 天時，則該容量為 (10 day 容量x2)

BURR File 只存 20天 (Image File&TXT File)

所以其容量為 384.64G x 2 = 769.28 G

AOI存 60天 (Image File&TXT File)

其容量為 (15G + 8G +0.0032G) x10 x 6=1381.92G

LOI 1存 60天 (TXT File)

其容量為 0.3Gx10x6 =18G

所以 OFF Line File Server Total Capture為 2169.2G

CIMDefectImageViewer

Software

On Line Server6 個月內之 Defect File

10 天內之 Image File

Off Line Server超過 6 個月但 1 年內之 Defect File

超過 10 天但 2 個月內之 Image File

磁帶超過一年但 2 年內之 Defect File

超過 2 個月但 2 年內之 Image File

LCD Inspection data server rule

感 謝 聆 聽