l型真空吸込フィルタ...2013/08/12 · 724 740 740 229 229 229 229 279 279 305 305 356 356...
TRANSCRIPT
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ ¡ ¡599% ¡299% ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
Kg
A B C D E I I I I S I S I S I I I I
CSL-825-039HCB CSL-825-050HCB CSL-843-050HCB CSL-825-075HCB CSL-843-075HCB CSL-843-101HCB CSL-849-101HCB CSL-843-126HCB CSL-849-126HCB CSL-849-151HCB CSL-851-201HCB CSL-851-251HCB CSL-239-301HCB
CSL-824-039HCB CSL-824-050HCB CSL-842-050HCB CSL-824-075HCB CSL-842-075HCB CSL-842-101HCB CSL-848-101HCB CSL-842-126HCB CSL-848-126HCB CSL-848-151HCB CSL-850-201HCB CSL-850-251HCB CSL-238-301HCB
3/8" 1/2" 1/2" 3/4" 3/4" 1" 1"
1-1/4" 1-1/4" 1-1/2" 2"
2-1/2" 3"
92 92 111 95 111 111 171 111 171 171 260 267 400
57 57 76 57 76 83 105 83 105 105 116 130 226
95 95 149 95 149 149 186 149 186 186 222 222 337
48 48 64 48 64 67 114 67 114 114 127 140 222
76 76 83 76 83 83 133 83 133 133 235 235 279
31 31 34 41 43 60 68 94 102 136 298 357 510
43 43 94 43 94 94 196 94 196 196 493 493 969
0.40 0.40 1.4 0.40 1.4 1.4 2.3 1.4 2.3 2.3 6.8 6.8 15
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ 1/4” ¡ ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
Kg
A B C D E I S I S I S I S
CSL-235P-301 CSL-335P-301 CSL-235P-401 CSL-335P-401 CSL-245P-501 CSL-345P-501 CSL-275P-601 CSL-375P-601
CSL-234P-301 CSL-334P-301 CSL-234P-401 CSL-334P-401 CSL-244P-501 CSL-344P-501 CSL-274P-601 CSL-374P-601
3" 3" 4" 4" 5" 5" 6" 6"
689 689 689 689 714 714 740 740
229 229 229 229 279 279 305 305
356 356 356 356 470 470 470 470
470 470 470 470 495 495 521 521
305 432 305 432 305 432 305 432
510 510 885 885 1360 1360 1870 1870
970 1360 970 1360 1500 1870 1870 2550
21 23 23 25 37 40 43 44
m3/h
A
B
C
D
E
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ 1/4” ¡ ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡JIS
¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
D E I S I S I S I S
CSL-235P-DN80 CSL-335P-DN80 CSL-235P-DN100 CSL-335P-DN100 CSL-245P-DN125 CSL-345P-DN125 CSL-275P-DN150 CSL-375P-DN150
CSL-234P-DN80 CSL-334P-DN80 CSL-234P-DN100 CSL-334P-DN100 CSL-244P-DN125 CSL-344P-DN125 CSL-274P-DN150 CSL-374P-DN150
DN80 DN80 DN100 DN100 DN125 DN125 DN150 DN150
200 220 250 285
DN80 DN100 DN125 DN150
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ 1/4” ¡ ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡JIS
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡
PN10
mm
S S S
CSL-377P-DN200 CSL-385P-DN250 CSL-485P-DN300
CSL-376P-DN200 CSL-384P-DN250 CSL-484P-DN300
DN200 DN250 DN300
DN250 DN300 DN300
340 395 445
DN200 DN250 DN300
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡T ¡
¡ ¡ ¡1/4” ¡
¡ ¡Drop-Down ¡ ¡ ¡26104 ¡255380mm H2O ¡5”6”
¡ ¡
¡ ¡
¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡
1" 1-1/4" 1-1/2" 2"
CT-897-101C CT-897-126C CT-897-151C CT-851-201C CT-851-251C CT-235P-301C CT-235P-401C CT-275P-501C CT-275P-601C
CT-896-101C CT-896-126C CT-896-151C CT-850-201C CT-850-251C CT-234P-301C CT-234P-401C CT-274P-501C CT-274P-601C
1" 1-1/4" 1-1/2" 2"
340 340 340 330 330 473 473 483 483
300 300 300 276 276 410 410 368 368
178 178 178 229 229 343 343 483 483
264 264 264 229 229 330 330 251 251
228 228 228 228 228 228 228 254 254
196 196 196 495 495 969 969 1870 1870
5.4 5.2 5.1 7.2 6.8 14.0 12.0 23.0 20.0
BSPP
mm
68 102 136 298 357 510 884 1360 1870
KgA B C D E
m3/h
m3/h
¡ ¡ ¡
¡99
¡ • •
¡SpinMeistersTM ¡ ¡
E E E E E E E E
ST-851/1-201C ST-851/1-251C ST-235P-301C ST-235P-301C ST-235P-401C ST-235P-401C CT-275P-501C CT-275P-601C
SpinMeister
ST-850/1-201C ST-850/1-251C ST-234P-301C ST-234P-301C ST-234P-401C ST-234P-401C CT-274P-501C CT-274P-601C
2" 2-1/2" 3" 3" 4" 4" 5" 6"
413 413 502 502 502 502 483 483
362 362 432 432 432 432 368 368
229 229 343 343 343 343 483 483
318 318 356 356 356 356 251 251
228 228 228 228 228 228 254 254
68-187 68-188 170-340 340-765 170-340 340-765 765-1360 765-1530
w/ 298 357 510 510 884 884 1360 1870
495 495 970 970 970 970 1870 1870
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡ ¡
¡1/4” ¡599 ¡ 299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡VS ¡ ¡
¡ ¡ ¡
DN80DN150 PN10
¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
Kg
A B C D E E E S I E E S I
VL-275P-301 VL-275P-401 VL-275P-501 VL-275P-601 VL-275P-DN80 VL-275P-DN100 VL-275P-DN125 VL-275P-DN150
VL-274P-301 VL-274P-401 VL-274P-501 VL-274P-601 VL-274P-DN80 VL-274P-DN100 VL-274P-DN125 VL-274P-DN150
3" 4" 5" 6" DN80 DN100 DN125 DN150
m3/h
DN80 DN100 DN125 DN150
20 20 22 22
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡ ¡
¡ 1/4” ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡VL ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡JIS
¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
DN80DN150 PN10
Kg
A B C D E E E S I E E S I
VS-275P-301 VS-275P-401 VS-275P-501 VS-275P-601 VS-275P-DN80 VS-275P-DN100 VS-275P-DN125 VS-275P-DN150
VS-274P-301 VS-274P-401 VS-274P-501 VS-274P-601 VL-274P-DN80 VL-274P-DN100 VS-274P-DN125 VS-274P-DN150
3" 4" 5" 6" DN80 DN100 DN125 DN150
m3/h
DN80 DN100 DN125 DN150
20 20 22 22
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡
¡
NW16 NW25 NW25 NW40 NW40 K63
99 99 111 111 183 292
67 67 86 86 117 155
95 95 146 146 187 195
58 58 70 70 127 165
42 42 93 93 195 493
0.4 0.4 1.0 1.0 2.0 7.0
CSL-825-NW16EN CSL-825-NW25EN CSL-843-NW25EN CSL-843-NW40EN CSL-849-NW40EN CSL-851-K63EN CSL-239-K100
CSL-824-NW16EN CSL-824-NW25EN CSL-842-NW25EN CSL-842-NW40EN CSL-848-NW40EN CSL-850-K63EN CSL-238-K100
NW16 NW25 NW25 NW40 NW40 K63 K100
99 99 111 111 183 292 386
67 67 86 86 117 155 211
95 95 146 146 187 195 337
58 58 70 70 127 165 206
42 42 93 93 195 493 970
0.4 0.4 1.0 1.0 2.0 7.0 15.0
mm
39 42 59 93 136 357 510
KgA B C D
m3/h
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡T ¡O-
¡ ¡
¡ ¡26104
¡ ¡ ¡
¡
………………………… ……………………………… …………………………… …………………………………
………… A.C. Granulate ……………………… ………………
±mm2
CSL-274P-K160 CSL-374P-K160 CSL-376P-K200 CSL-384P-K250 CSL-484P-K320 CSL-384(2)-K320
K160 K160 K200 K250 K320 K320
734 734 1017 1214
305 305 356 410
470 470 572 686
521 521 648 864
1870 1870 3060 4930 7930 8415
1870 2550 3105 5610 8000 11220
50 51 83 115 125 171
m3/h
¡
¡1.3×103mbar1×103mmHg ¡ISO
¡ ¡
¡ ¡
¡ ¡
±mm
Kg
A B C CSL-X824-NW25 CSL-X848-NW40 CSL-X850-NW50
NW25 NW40 NW50
102 171 279
56 114 149
95 186 222
31 136 298
45 200 495
0.40 2 7
¡ ¡
¡ ¡ ¡26104 ¡698mmHg931mbar ¡255mm-380mm H2O
¡ ¡
¡ ¡
¡
Kg
A B C D I I S I I S I I I
CSS-05-025 CSS-05-038 CSS-07-038 CSS-05-050 CSS-07-050 CSS-11-050 CSS-07-075 CSS-11-075 CSS-11-100
CSS-04-025 CSS-04-038 CSS-06-038 CSS-04-050 CSS-06-050 CSS-10-050 CSS-06-075 CSS-10-075 CSS-10-100
1/4" 3/8" 3/8" 1/2" 1/2" 1/2" 3/4" 3/4" 1"
86 86 107 98 110 127 138 146 146
16 16 16 22 22 22 32 32 32
64 64 83 64 83 105 83 105 105
16 16 16 22 22 22 32 32 32
7 10 14 10 17 20 20 34 42
14 14 20 14 20 60 20 60 60
0.2 0.2 0.5 0.2 0.5 0.7 0.5 0.7 0.7
m3/h
RX
Thin Film CVD, PVD, Sputtering, Etching Foreline Traps, Filters & Exhaust Filtration
Oven Lamination Severe Duty Inlet Vacuum Filtration
Material Processing & Handling Ablation, Edge Depletion, Scribing, Vacuum Lifting Inlet Vacuum Filtration
Crystal Growing Mono/Single Crystalline Self Cleaning Inlet Vacuum Filtration
Polycrystalline Ingot Production High Efficiency Particulate Vacuum Filters
RX PTFETwill
¡
¡PTFE : 0.399.97% : 135 ¡Dutch Twill : 10 205 ¡
¡
¡/ ¡ ¡ ¡SiOx
¡ ¡ ¡
¡ ¡PTFE ¡ ¡ ¡ASMEPEDATEX
¡
4" FLG 4" FLG ISO K100 ISO K100 ISO K160 ISO K160
1098 1098 1184 1184 1184 1184
B 657 657 625 625 625 625
C 857 857 943 943 943 943
D 305 305 406 406 406 406
E 514 514 584 584 587 587
¡3/4”
¡
¡ ¡ 1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
m3/h
¡ULPA •99.99% 0.12 • •
¡ ¡
HV HV
5
2
3
4
1
¡ ¡ ¡599% ¡299% ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
Kg
A B C D E I I I I S I S I S I I I I
CSL-825-039HCB CSL-825-050HCB CSL-843-050HCB CSL-825-075HCB CSL-843-075HCB CSL-843-101HCB CSL-849-101HCB CSL-843-126HCB CSL-849-126HCB CSL-849-151HCB CSL-851-201HCB CSL-851-251HCB CSL-239-301HCB
CSL-824-039HCB CSL-824-050HCB CSL-842-050HCB CSL-824-075HCB CSL-842-075HCB CSL-842-101HCB CSL-848-101HCB CSL-842-126HCB CSL-848-126HCB CSL-848-151HCB CSL-850-201HCB CSL-850-251HCB CSL-238-301HCB
3/8" 1/2" 1/2" 3/4" 3/4" 1" 1"
1-1/4" 1-1/4" 1-1/2" 2"
2-1/2" 3"
92 92 111 95 111 111 171 111 171 171 260 267 400
57 57 76 57 76 83 105 83 105 105 116 130 226
95 95 149 95 149 149 186 149 186 186 222 222 337
48 48 64 48 64 67 114 67 114 114 127 140 222
76 76 83 76 83 83 133 83 133 133 235 235 279
31 31 34 41 43 60 68 94 102 136 298 357 510
43 43 94 43 94 94 196 94 196 196 493 493 969
0.40 0.40 1.4 0.40 1.4 1.4 2.3 1.4 2.3 2.3 6.8 6.8 15
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ 1/4” ¡ ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
Kg
A B C D E I S I S I S I S
CSL-235P-301 CSL-335P-301 CSL-235P-401 CSL-335P-401 CSL-245P-501 CSL-345P-501 CSL-275P-601 CSL-375P-601
CSL-234P-301 CSL-334P-301 CSL-234P-401 CSL-334P-401 CSL-244P-501 CSL-344P-501 CSL-274P-601 CSL-374P-601
3" 3" 4" 4" 5" 5" 6" 6"
689 689 689 689 714 714 740 740
229 229 229 229 279 279 305 305
356 356 356 356 470 470 470 470
470 470 470 470 495 495 521 521
305 432 305 432 305 432 305 432
510 510 885 885 1360 1360 1870 1870
970 1360 970 1360 1500 1870 1870 2550
21 23 23 25 37 40 43 44
m3/h
A
B
C
D
E
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ 1/4” ¡ ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡JIS
¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
D E I S I S I S I S
CSL-235P-DN80 CSL-335P-DN80 CSL-235P-DN100 CSL-335P-DN100 CSL-245P-DN125 CSL-345P-DN125 CSL-275P-DN150 CSL-375P-DN150
CSL-234P-DN80 CSL-334P-DN80 CSL-234P-DN100 CSL-334P-DN100 CSL-244P-DN125 CSL-344P-DN125 CSL-274P-DN150 CSL-374P-DN150
DN80 DN80 DN100 DN100 DN125 DN125 DN150 DN150
200 220 250 285
DN80 DN100 DN125 DN150
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡
¡ 1/4” ¡ ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡JIS
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡
PN10
mm
S S S
CSL-377P-DN200 CSL-385P-DN250 CSL-485P-DN300
CSL-376P-DN200 CSL-384P-DN250 CSL-484P-DN300
DN200 DN250 DN300
DN250 DN300 DN300
340 395 445
DN200 DN250 DN300
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡T ¡
¡ ¡ ¡1/4” ¡
¡ ¡Drop-Down ¡ ¡ ¡26104 ¡255380mm H2O ¡5”6”
¡ ¡
¡ ¡
¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡
1" 1-1/4" 1-1/2" 2"
CT-897-101C CT-897-126C CT-897-151C CT-851-201C CT-851-251C CT-235P-301C CT-235P-401C CT-275P-501C CT-275P-601C
CT-896-101C CT-896-126C CT-896-151C CT-850-201C CT-850-251C CT-234P-301C CT-234P-401C CT-274P-501C CT-274P-601C
1" 1-1/4" 1-1/2" 2"
340 340 340 330 330 473 473 483 483
300 300 300 276 276 410 410 368 368
178 178 178 229 229 343 343 483 483
264 264 264 229 229 330 330 251 251
228 228 228 228 228 228 228 254 254
196 196 196 495 495 969 969 1870 1870
5.4 5.2 5.1 7.2 6.8 14.0 12.0 23.0 20.0
BSPP
mm
68 102 136 298 357 510 884 1360 1870
KgA B C D E
m3/h
m3/h
¡ ¡ ¡
¡99
¡ • •
¡SpinMeistersTM ¡ ¡
E E E E E E E E
ST-851/1-201C ST-851/1-251C ST-235P-301C ST-235P-301C ST-235P-401C ST-235P-401C CT-275P-501C CT-275P-601C
SpinMeister
ST-850/1-201C ST-850/1-251C ST-234P-301C ST-234P-301C ST-234P-401C ST-234P-401C CT-274P-501C CT-274P-601C
2" 2-1/2" 3" 3" 4" 4" 5" 6"
413 413 502 502 502 502 483 483
362 362 432 432 432 432 368 368
229 229 343 343 343 343 483 483
318 318 356 356 356 356 251 251
228 228 228 228 228 228 254 254
68-187 68-188 170-340 340-765 170-340 340-765 765-1360 765-1530
w/ 298 357 510 510 884 884 1360 1870
495 495 970 970 970 970 1870 1870
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡ ¡
¡1/4” ¡599 ¡ 299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡VS ¡ ¡
¡ ¡ ¡
DN80DN150 PN10
¡
¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
Kg
A B C D E E E S I E E S I
VL-275P-301 VL-275P-401 VL-275P-501 VL-275P-601 VL-275P-DN80 VL-275P-DN100 VL-275P-DN125 VL-275P-DN150
VL-274P-301 VL-274P-401 VL-274P-501 VL-274P-601 VL-274P-DN80 VL-274P-DN100 VL-274P-DN125 VL-274P-DN150
3" 4" 5" 6" DN80 DN100 DN125 DN150
m3/h
DN80 DN100 DN125 DN150
20 20 22 22
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡O ¡ ¡
¡ 1/4” ¡599 ¡299 ¡26104 ¡255380mm H2O ¡
¡VL ¡ ¡
¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡JIS
¡ ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
DN80DN150 PN10
Kg
A B C D E E E S I E E S I
VS-275P-301 VS-275P-401 VS-275P-501 VS-275P-601 VS-275P-DN80 VS-275P-DN100 VS-275P-DN125 VS-275P-DN150
VS-274P-301 VS-274P-401 VS-274P-501 VS-274P-601 VL-274P-DN80 VL-274P-DN100 VS-274P-DN125 VS-274P-DN150
3" 4" 5" 6" DN80 DN100 DN125 DN150
m3/h
DN80 DN100 DN125 DN150
20 20 22 22
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡
¡
NW16 NW25 NW25 NW40 NW40 K63
99 99 111 111 183 292
67 67 86 86 117 155
95 95 146 146 187 195
58 58 70 70 127 165
42 42 93 93 195 493
0.4 0.4 1.0 1.0 2.0 7.0
CSL-825-NW16EN CSL-825-NW25EN CSL-843-NW25EN CSL-843-NW40EN CSL-849-NW40EN CSL-851-K63EN CSL-239-K100
CSL-824-NW16EN CSL-824-NW25EN CSL-842-NW25EN CSL-842-NW40EN CSL-848-NW40EN CSL-850-K63EN CSL-238-K100
NW16 NW25 NW25 NW40 NW40 K63 K100
99 99 111 111 183 292 386
67 67 86 86 117 155 211
95 95 146 146 187 195 337
58 58 70 70 127 165 206
42 42 93 93 195 493 970
0.4 0.4 1.0 1.0 2.0 7.0 15.0
mm
39 42 59 93 136 357 510
KgA B C D
m3/h
m3/h
¡1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡T ¡O-
¡ ¡
¡ ¡26104
¡ ¡ ¡
¡
………………………… ……………………………… …………………………… …………………………………
………… A.C. Granulate ……………………… ………………
±mm2
CSL-274P-K160 CSL-374P-K160 CSL-376P-K200 CSL-384P-K250 CSL-484P-K320 CSL-384(2)-K320
K160 K160 K200 K250 K320 K320
734 734 1017 1214
305 305 356 410
470 470 572 686
521 521 648 864
1870 1870 3060 4930 7930 8415
1870 2550 3105 5610 8000 11220
50 51 83 115 125 171
m3/h
¡
¡1.3×103mbar1×103mmHg ¡ISO
¡ ¡
¡ ¡
¡ ¡
±mm
Kg
A B C CSL-X824-NW25 CSL-X848-NW40 CSL-X850-NW50
NW25 NW40 NW50
102 171 279
56 114 149
95 186 222
31 136 298
45 200 495
0.40 2 7
¡ ¡
¡ ¡ ¡26104 ¡698mmHg931mbar ¡255mm-380mm H2O
¡ ¡
¡ ¡
¡
Kg
A B C D I I S I I S I I I
CSS-05-025 CSS-05-038 CSS-07-038 CSS-05-050 CSS-07-050 CSS-11-050 CSS-07-075 CSS-11-075 CSS-11-100
CSS-04-025 CSS-04-038 CSS-06-038 CSS-04-050 CSS-06-050 CSS-10-050 CSS-06-075 CSS-10-075 CSS-10-100
1/4" 3/8" 3/8" 1/2" 1/2" 1/2" 3/4" 3/4" 1"
86 86 107 98 110 127 138 146 146
16 16 16 22 22 22 32 32 32
64 64 83 64 83 105 83 105 105
16 16 16 22 22 22 32 32 32
7 10 14 10 17 20 20 34 42
14 14 20 14 20 60 20 60 60
0.2 0.2 0.5 0.2 0.5 0.7 0.5 0.7 0.7
m3/h
RX
Thin Film CVD, PVD, Sputtering, Etching Foreline Traps, Filters & Exhaust Filtration
Oven Lamination Severe Duty Inlet Vacuum Filtration
Material Processing & Handling Ablation, Edge Depletion, Scribing, Vacuum Lifting Inlet Vacuum Filtration
Crystal Growing Mono/Single Crystalline Self Cleaning Inlet Vacuum Filtration
Polycrystalline Ingot Production High Efficiency Particulate Vacuum Filters
RX PTFETwill
¡
¡PTFE : 0.399.97% : 135 ¡Dutch Twill : 10 205 ¡
¡
¡/ ¡ ¡ ¡SiOx
¡ ¡ ¡
¡ ¡PTFE ¡ ¡ ¡ASMEPEDATEX
¡
4" FLG 4" FLG ISO K100 ISO K100 ISO K160 ISO K160
1098 1098 1184 1184 1184 1184
B 657 657 625 625 625 625
C 857 857 943 943 943 943
D 305 305 406 406 406 406
E 514 514 584 584 587 587
¡3/4”
¡
¡ ¡ 1×103mmHg1.3×103mbar ¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡
¡ ¡ ¡ ¡
¡ ¡ ¡
m3/h
¡ULPA •99.99% 0.12 • •
¡ ¡
HV HV
5
2
3
4
1