international students summer school nanotechnologies in materials engineering warsaw - koszalin...
TRANSCRIPT
1International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
International Student’s
Summer School „Nanotechnologies in materials engineering”
Warszawa-Koszalin 2006
Fundamentals of vacuum plasma technology
for thin films deposition
(some aspects)
2International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
HV (50)=2600
How the unvisible becomes visibleMONO-LAYER MULTILAYER
HV (50)=4800HV (50) = 2800
3International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
DETAILS OF MULTILAYER STRUCTURE
4International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
5International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
6International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
FilmSubstrateSteel ball
Substrate
Film
R
xyS
2
7International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
CALOTEST
8International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
9International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
10International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
11International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
12International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
13International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
GAZ
Warstwa TiC
Sta l C
W lot gazów
C iśnienie całkow ite - atmosfer yczne
Temperatura gazu i podłoża:1050 C
D yfuzyjne połączen ie war stw y i podłoża
W ylotH C l, H (gaz)2
K omor a r eakcyjna
R eak cja w fazie gazowejT iC l + C H + H T iC + 4H C l + H(zar odk owanie homogeniczne)
4 4 2 2R eak cja na podłożuT iC l + C H + H T iC + 4H C l + H(C z podłoża - zar odkow anie heter ogeniczne)
4 4 2 2
T iC l 4
C H 4
H 2
IDEA OF CVD PROCESS
14International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
Zbiorn ik próżn iowy
mier nik pr óżni
Temperatura podłoża - pokojow a lub w yższa
par y A l
A lA l
D o uk ładu pomp pr óżniow ych
I
Zasi l acz pr ądu
W ypar nik wolframowytemperatur a C
p < 10 mbar-4
P odłożeWarstw a A l
IDEA OF PVD PROCESS
15International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
Zasilaczwysokiego napięcia
Plazma
Pompa
Zasilaczłuku
Zasilaczpolaryzacji
podłoży
Podłoże
Powłoka
PompaZasilaczelektrodywnękowej
Zasilaczpolaryzacji
podłoży
Podłoże
Powłoka
Pompa
Plazma
Zasilaczpolaryzacji
podłoży
Podłoże
Powłoka
Pompa
Plazma
Zasilaczwysoko-prądowy
Zasilaczpolaryzacji
podłoży
Podłoże
Powłoka
a) b)
c) d)
Plazma
DIFFERENT PVD METHODS
16International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
Próżnia
Źródło jonów
Podłoże
-500 - 1500 V
a)
d)
b)
e)
c)
f)
PróżniaPodłoże
-500 - 1500 V
+50 V
PróżniaPodłoże
-100 - 1000 V
PróżniaPodłoże
-100 - 1000 V + 50 V
ARC - 30 V
PróżniaPodłoże
ARCMagnetron
-100 - 1000 V
-300 - 600 V
- 30 V
PróżniaPodłoże
+1500 - 30 - 300 V
Sposoby trawienia jonowego: a) katodowe, b) z pomocniczą anodą, c) w plazmie metalicznej wyładowania magnetronowego lub łukowego, d) trawienie wspomagane wyładowaniem łukowym, e) z emiterem plazmowym, f) wiązką jonów.
ION CLEANING
17International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
18International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
19International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
20International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
ARC GUN WITH MECHANICAL IGNITION
21International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
22International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
23International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
24International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
25International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
26International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]
27International Student’s Summer School „Nanotechnologies in Materials Engineering”
Warsaw - Koszalin 2006
Jan Staśkiewicz [email protected]