high-precision constant dispensing pump seriesnewtecfa.com/down/koganei_02.pdf · 2012. 12. 18. ·...

No.BK-KRF0002

注：ｂタイプの使用サイズは左右 50mm～120mm未満　　このデータからの縮率は 50%～120%未満

고정도 정량토출 펌프 시리즈High-Precision Constant Dispensing Pump Series

Electric CT Pump

Electric RT Pump

Electric HT Pump

Electric Bellows Pump

전동 벨로즈 펌프

전동 CT 펌프

전동 RT 펌프

전동 HT 펌프

http://www.koganei.co.jp

고정도 정량토출펌프 시리즈High-Precision Constant Dispensing Pump Series

■코가네이 펌프 시리즈의 특징

접액부가 불소 수지로 구성되어 있어, 다양한 약액에 대응이 가능합니다.

접액부는 접동부(摺動部)가 없는 구조로, 발진의 발생이 거의 없습니다.

일상적인 메인터넌스가 불필요하며, 높은 반복정도를 유지한 정량토출이 가능합니다.

■용도(예)

Application Examples

높은 반복정도나 직선성이 요구되는 용도 -> 정량 성능중시타입Applications demanding advanced repeatability of dispensing volume and linearity ⇒ Constant dispensing performance enhanced type

도포작업을 시작하여 끝날때까지 막의 균일성이 요구되는 용도 -> 정유량성능중시타입Applications demanding film uniformity from coating beginning to end ⇒ Constant flow rate performance enhanced type

Features of Koganei Pump Series

The liquid contact area is composed of fluorine resin, and is resistant to various liquid chemicals.

The liquid contact area is structured without a slide portion, to virtually avoid generation of particles.

Daily maintenance is unnecessary, enabling constant dispensing maintained at highrepeatability of dispensing volume.

예: 웨이퍼로의 도포Example: Coating a wafer

예: 슬릿도포Example: Slit coating

예: 약액의 충진, 계량, 혼합Example: Filling, weighing

and mixing liquid chemicals

예: 디스크 도포Example: Coating a disk

●❶

●❷

■펌프 베리에이션코가네이 펌프는 반도체제조공정을 비롯하여, FPD, 전지, 약품등에 넓게 사용되고 있습니다.

구동방식이나 펌프 타입등으로부터 고객의 용도나 사용 워크에 맞는 펌프를 선택하실 수 있습니다.

Pump Product RangeKoganei pumps are widely used in semiconductor manufacturing processes, as well as for flat panel displays (FPDs), batteries, and reagents, etc.Select pumps from operating type or pump type that suit the applications or workpieces used by customers.

공기압구동

(에어실린더 구동)

Pneumatic

(Air cylinder)

"정량 성능중시

타입"

Constant dispensing

performance enhanced

type

"정량성능 +

정유량 성능중시

타입"

Constant dispensing

performance and

constant flow rate

performance enhanced

type

8,15,40,60,80

10

8,15,40,80

6,10,20,60

5,10,50

30,60,100,200,300

200,300

200,300

5

❸

❼〜❽

❹

❺〜❻

❼〜❽

❾〜�

❾〜�

❾〜�

�

구동방식Operating type

시리즈명(기본형식)Series name (Basic model)

최대토출량 ㎖Maximum dispensing volume ㎖

페이지Page

펌프타입Pump type

스테핑모터 구동

Stepping motor

AC 서보모터 구동

AC servo motor

스테핑모터 구동

Stepping motor

벨로즈 펌프Bellows Pump(F-APB)

PT 펌프PT Pump(F-APP）

벨로즈 펌프Bellows Pump(F-EPB)

PT 펌프CT Pump(F-EPT）

PT 펌프PT Pump(F-EPP）

CT 펌프CT Pump(F-EPT）

CT 펌프CT Pump(F-EPT）

HT 펌프HT Pump(F-EPH）

ＲＴ펌프RT Pump(F-EPR）

F-APB Series● 접액부(接液部)는 테프론 각종 약액에 대응 가능합니다.● 벨로즈 방식 접동부(摺動部)가 없기 때문에 기본적으로 발진은 없습니다.● 조정너트에 의해 간단한 토출량 제어가 가능 에어 실린더 구동에 의한 저가격을 실현했습니다.

●Liquid contact area is Teflon　Capable of handling various liquid chemicals.

●Bellows method　There is no sliding portion; so generation of particles is almost non-existent.●Simple dispensing volume setting through using adjustment nut　　　　 Achieves low cost through operating an air cylinder.

F-APB08-6W

8 ㎖

1.3 kg

F-APB15-8W

15 ㎖

1.4 kg

F-APB40-7W

40 ㎖

2.8 kg

F-APB60-1W

60 ㎖

3.2 kg

포토레지스트(Photoresist) · 순수 · 약액 Photoresist solution, pure water, chemical solution

0.05 MPa

±1％ F.S.

0.15 MPa

사용유체 Media

최대토출량 Maximum dispensing volume

최대토출압력 Maximum dispensing pressure

토출량 반복정도 Repeatability of dispensing volume

내압 Proof Pressure

중량 Mass

※注 : 상세 형식이나 사양에 대해서는 가까운 당사의 대리점 또는 영업소로 문의하여 주십시오.※For details about other models and specifications, inquire at the nearest Koganei sales office or the Koganei overseas department.

■구조도 ■치수도（mm）F-APB08-6W

형식Models항목 Items

Dimensions (mm)Inner Construction

Pneumatic Bellows Pump

■사양 Specifications

●❸

고압 벨로즈 펌프

■구조도 ■구조도（mm）

F-EPB08-4W

8 ㎖

3.1 kg

F-EPB15-3W

15 ㎖

3.1 kg

F-EPB40-1W

40 ㎖

0.1~10 ㎖/s

0.1~10 ㎖/ s 100 cP

100 cP

3.6 kg

0.2 MPa

±1％ F.S.

0.3 MPa

0.1~4 ㎖/ s

0.1~4 ㎖/ s

200 cP

사용유체 Media



토출유량 Dispensing flow rate

흡입유량 Suction flow rate

최대유체점도 Maximum viscosity of media



중량 Mass

형식 Models항목 Items


F-EPB Series●접액부(接液部)는 테프론　각종 약액에 대응 가능합니다.●벨로즈 방식　접동부(摺動部)가 없기 때문에 기본적으로 발진은 없습니다.

●토출량·토출속도의 제어가 간단　스테핑모터 구동에 따른 디지털 토출제어가 가능합니다.

●Liquid contact area is Teflon　Capable of handling various liquid chemicals.

●Bellows method　There is no sliding portion; so generation of particles is almost non-existent.

●Simple control of dispensing volume and dispensing speed　Achieves digital dispensing volume control through operating a stepping motor.

F-EPB08-4W

Dimensions (mm)Inner Construction

Electric Bellows Pump


포토레지스트(Photoresist) · 순수 · 약액(가연성물질 불가) Photoresist solution, pure water, chemical solution (flammable substances not allowed)

●❹

전동 벨로즈 펌프

다이어프램, 벨로우즈 대신 완전히 새로운 구조의 포토 레지스트 정량 토출 펌프입니다!

The CT pump, a precision dispensing unit for photoresist solutions, is completely new in construction and replaces current diaphragm or bellows construction units.

CT 펌프 구조CT pump construction

【[CT (Coaxial Tubephragm) 펌프]】【[CT (Coaxial Tubephragm) 펌프]】

低 발진 구조펌프실의 튜브는 면조도 R t:0.3㎛이하의 극히 우수한 NEW PFA재질을 사용하였으며, 작은 접액부 표면적(벨로즈 펌프의 약 1/5)에 의하여 저발진을 실현하였습니다.

Low particle structureBy using a smooth surface finish of Rt: 0.3 μm or less, the new PFA tubes used in the pump chamber result in almost non-particle generation due to “smaller wet surfaces” about 1/5 of current bellows type pumps.

고신뢰성의 심플한 구조동축 형상의 벨로즈와 튜브 사이에 간접액(間接液)을 봉입(封入)한 심플한 구조로서 간접액의 외부누설 및 침입을 방지하기 위해서 접합부를 용접하여 고정도를 유지하였으며, 씰을 많이 사용한 종전의 펌프와 비교하여 신뢰성이 높은 제품입니다.

Highly reliable simple constructionSimple construction containing liquid between coaxial bellows and tube welded joint section maintains high precision due to preventing loss of leaking liquid or air penetration. This arrangement is more reliable than current pumps using many seals.

注: 모터의 온도이상검출용 센서를 내장하였으며 질소가스 퍼지용 포트가 설치되어 있습니다. 단, 이 펌프는 방폭사양이 아니기 때문에 사용 시에는 충분한 방폭 대책이 필요합니다.

Note: A sensor is built-in for detecting abnormal motor temperature rise and a port for supplying nitrogen purge gas is available.This pump is not an explosion prevention type.Consequently, explosion preventive measures will be required for customer site equipment where called for.

액체의 치환(置換)특성이 양호펌프내부가 얇은 튜브형상으로 되어 있어, 액체의 체류부(滯留部)가 거의 없는 이상적인 유로형상으로 인하여 언제나 깨끗한 레지스트 (Resist) 토출이 가능합니다.

Good replacing solution characteristicThe pump chamber is a thin tube shape. Its ideal flow path shape, with almost no solution residue, enables dispensing of fresh resist solution.

기포제거가 우수약액의 유로가 항상 밑에서 위로 향하고 있기 때문에, 기포가 유입 되어도 기포는 흐름에 따라 토출포트로 유출되어, 거품에 의한 악영향을 받는 일이 없어 고정도의 토출이 가능합니다.또한, 장치 기동시 액체를 도입할 경우에도 공기제거가 용이하여 기포가 발생하기 쉬운 액체에도 최적입니다.

Good removal of bubblesThe resist solution’s flow path travels from downwards to upwards. Consequently even if bubbles enter the solution, they will be conveyed to the discharging port and they will not affect the pump’s performance enabling it to dispense with high precision. Upon start-up of equipment and pouring solution, it is easy to remove the air bubbles from the solution and it is ideal for solutions apt to generate bubbles.

컴팩트 & 고정도 작동독자적인 CT 펌프 구조에 의한 컴팩트한 외형으로 복수로 사용될 경우에도 최적입니다. 또한, 구동원은 5상 스태핑 모터 및 정밀나사를 채용하여 높은 분해능력과 반복정도를 실현하였으며 불의의 사고로 인한 탈조(脫調)는 엔코더(Encoder)로 검출할 수 있습니다.

Compact and high-precision operationThe ingenious CT pump construction offers a compact appearance ideally suited for use in side-by-side installations. A five-phase stepping motor and a precision feed screw are used for a drive achieving high resolution and repeatability, and an encoder will detect any potential faults, e.g. accidental “out of step”.

F-EPT SeriesElectric CT Pump

■특징 Features

●❺

전동 CT 펌프

■치수도（mm） Dimensions (mm)F-EPT10A1-T1/4

F-EPT06A1

0.5~6 ㎖

3.1 kg

F-EPT10A1

0.5~10 ㎖

3.6 kg

0.15 MPa

0.1~4 ㎖/ s

0.1~4 ㎖/ s

200 cP

±0.1％ F.S.

0.2 MPa



CT 펌프의 작동원리도CT Pump Operation Principle

포토레지스트(Photoresist) · 순수 · 약액(가연성물질 불가) Photoresist solution, pure water, chemical solution (flammable substances not

형식 Models항목 Items

●❻

사용유체 Media

토출량 dispensing volume







중량 Mass

Suction

●전동 PT 펌프 토출량의 미세조정이나 유량설정을 디지털로 제어 가능합니다.

●에어구동 PT 펌프 튜브프램 펌프의 에어실린더 구동 타입 등장!

●Electric PT PumpEnables digital control of dispensing volume fine adjustment

and flow settings.

●Air Operated PT PumpAir cylinder operated type of Tubephragm pump is now available.

■특징당사의 독자적인 8자형상 튜브와 벨로즈를 조합한 PT(Parallel Tubephragm)펌프 구조를 채용.

· 접동부(摺動部)가 없기 때문에 기본적으로 발진은 없습니다. · 실린더 펌프의 패킹 교환같은 정기적인 메인터넌스가 불필요합니다. · 약액의 체류가 적은 구조로, 포토레지스트(Photoresist)의 겔화(Gelling)를 방지합니다. · 외부기체의 침입이 없고, 전해액의 결정화가 생기기 어려운 구조입니다.

용도 (예)

· 반도체 포토리소그래피(Photolithography)공정의 포토레지스트(Photoresist)액 도포 · 리튬이온 전지등의 각종전지제조 공정의 전해액 주액 · 그 외, 약액의 정량토출용도 등

■구조도(작동설명도)　Inner Construction (Operation Explanation)

①The vo lume ins ide the housing is reduced by the bellows’volume change.

②T h e t u b e p h r a g m i s compressed as much as a dif ference of the volume through the liquid.

③The raised pressure inside the Tubephragm opens the OUT check valve, leading t o d i s p en se o f re s i s t solution to the OUT port.

①The vo lume ins ide the housing is increased by the bellows’ volume change.

②T h e t u b e p h r a g m i s expanded as much as a dif ference of the volume through the liquid.

③The lowered p ressu re ins ide the tubephragm o p e n s t h e I N c h e c k , leading to suction of the resist solution from the IN port.

FeaturesEmploys a PT (Parallel Tubephragm) pump configuration that combines Koganei’s unique 8-shaped cross sectioned tube with bellows.·There is no sliding portion, so generation of particles due to pump operation is almost non-existent.·Sach as replacement of syringe pump seal and other periodic maintenance is unnecessary.·Structure allows very little liquid chemical residues, preventing gelling of photoresist material.·Structured for no ingress of outside air, crystallization of electrolytes rarely occurs.Application Examples·Photoresist liquid coating during semiconductor photolithography process·Filling main electrolyte fluid in lithium ion batteries or other types of batteries on manufacturing processes ·Constant delivery for liquid chemicals, etc.

Constant Dispensing PT Pump Series

F-EPP, F-APP Series

정량토출 PT 펌프 시리즈

토출공정　Dispensing process 흡입공정　Suction process

●❼

전동 PT 펌프Electric PT Pump

에어구동 PT 펌프Air Operated PT Pump

① 벨로즈에 의해 체적변화를 일으켜 하우징 내부의 용적이 감소한다.

② 용적의 변동분만 간접액을 개입시켜 튜브 프램이 수축된다.

③ 튜브프램 내부가 양압이 되어 OUT 체크밸브(도면 내)가 열려 약액이 OUT 포트측으로 토출된다.

① 벨로즈에 의해 체적변화를 일으켜 하우징 내부의 용적이 확대된다.

② 용적의 변동분만 간접액을 개입시켜 튜브 프램이 확대된다.

③ 튜브프램 내부가 양압이 되어 OUT 체크밸브(도면 내)가 열려 약액이 OUT 포트측으로 흡입된다.

F-EPP05-7W

0.1~5.0 ㎖

2.5 kg

F-APP10-5W

포토레지스트(Photoresist) · 순수 · 약액 Photoresist solution, pure water, chemical solution

10 ㎖

0.15 MPa

-0.02 MPa

0.3 MPa

1.9 kg

F-EPP10-2W

0.1~10.0 ㎖

-0.02 MPa

200 cP

2.7 kg


F-EPP50-3W

2~50 ㎖

0.3 MPa

0.1~10.0 ㎖/ s

0.1~10.0 ㎖/ s

±0.5％（F.S.）

0.4 MPa

6.4 kg

0.2 MPa

0.1~4.0 ㎖/ s

0.1~4.0 ㎖/ s

±0.1％（F.S.）

0.3 MPa

사용유체 Media

토출량 Dispensing volume


허용최대부압 Allowable maximum vacuum pressure






중량 Mass

사용유체 Media



허용최대압력 Allowable maximum vacuum pressure


중량 Mass



●전동 PT 펌프

●에어구동 PT 펌프

Electric PT Pump

Air Operated PT Pump

■치수도 (mm) Dimensions (mm)

F-EPP05-7W


형식 Models

형식 Models

항목 Items

항목 Items

●❽

Electric CT/PT/HT Pump for FPD ProcessesAC Servo motor SpecificationF-EPT, F-EPP, F-EPH Series

고정도 정량토출 성능에 정유량 성능을 추가 하였습니다.

맥동이 적은 레지스트(Resist)도포가 가능합니다.

슬릿 도포에 최적인 성능을 실현 하였습니다.

Constant flow rate performance has been added to the high-precision constant dispensing performance.Resist coating with minimal pulsing is enabled.Achieves optimum performance for slit coating.

■특징●실적있는 튜브프램 구조와 고신뢰성

당사의 독자적인 8자구조, 삼엽(三葉)구조의 튜브 프램을 채용하고 있습니다.

약액토출부에 접동부분(摺動部分)이 없어, 실린더 방식 펌프와 비교하여 더욱 저발진입니다.

●AC서보모터의 탑재에 따른 유량의 제어성 향상 종래의 높은 반복토출정도에 추가로 맥동이 없는 약액토출을 실현하였습니다.

AC서보모터에 의해 펌프의 토출속도를 임의로 조절하는 것으로, 기판의 움직임과 동기시키는 등, 제어성의 폭을 넓혔습니다.

●소형기판용부터 대형기판용까지 사이즈에 대응하는 펌프 용량을 라인 업 최대토출량 30/60/100/200/300ml와 각 기판 사이즈마다 선택 가능합니다.

■내부구조와 부품재질

Features●Tubephragm structure with proven performance and high reliability

Employs Koganei’s unique 8-shaped cross sectioned structure and trefoil structure tubephragm.There is no sliding portion in the liquid chemical dispensing area; it achieves lower particle generation than syringe type pumps.

●Mounting of AC servo motor improves flow rate control performanceIn addition to the established high repeatability of dispensing volume, it now offers liquid chemical dispensing without pulsation.The AC servo motor allows control of the pump dispensing speed, enabling synchronization with movement of substrate, which widens the scope for controllability.

●Pump capacity lineup can handle all sizes from small to large substratesSelectable from a lineup of maximum dispensing volumes 30/60/100/200/300 ml according to substrate size.

Inner Construction and Major Parts

FPD 프로세스용전동 CT / PT / HT 펌프AC 서보모터 사양

CT펌프CT Pump(F-EPT)

토출측Dispensing side

흡입측Suction side

PT펌프PT Pump(F-EPP)

HT펌프HT Pump(F-EPH)

●❾

전동 CT 펌프Electric CT Pump

전동 PT 펌프Electric PT Pump

전동 HT 펌프Electric HT Pump

고압 벨로즈 펌프

■토출유량 특성 데이터 (예) Example of Dispensing Flow Rate Characteristics Data

F-EPT30

3~30 ㎖

0.05~10 ㎖/ s

0.05~10 ㎖/ s

9.5 kg

F-EPP200

20~200 ㎖

0.05 MPa

0.5~20 ㎖/ s

0.5~20 ㎖/ s

0.1 MPa

27.4 kg

F-EPT60

6~60 ㎖

0.05~15 ㎖/ s

0.05~15 ㎖/ s

14.2 kg

F-EPP300

30~300 ㎖

0.07 MPa

0.5~30 ㎖/ s

0.5~30 ㎖/ s

0.1 MPa

29.3 kg

F-EPT100

10~100 ㎖

0.05 MPa

-0.02 MPa

0.05~25 ㎖/ s

0.05~25 ㎖/ s

14.2 kg

F-EPH200

20~200 ㎖

0.1 MPa

0.5~20 ㎖/ s

0.5~20 ㎖/ s

0.15 MPa

27.5 kg



F-EPT200

20~200 ㎖

0.1~25 ㎖/ s

0.1~25 ㎖/ s

28.6 kg

F-EPH300

30~300 ㎖

0.1 MPa

0.05~20 ㎖/ s

0.05~20 ㎖/ s

0.15 MPa

32 kg

F-EPT300

30~300 ㎖

0.1~60 ㎖/ s

0.1~60 ㎖/ s

0.15 MPa

32 kg

0.1 MPa

-0.02 MPa

사용유체 Media







중량 Mass

사용유체 Media


최대토출압력pressure





중량 Mass



※일반 오리피스로 부터 발생하는 압력으로 유량을 파악한 그래프입니다. 이 그래프는 대표적인 특성을 표시하는

것으로, 이 특성을 보증하는 것은 아닙니다. ※The above graph shows generated pressure, an

alternative measure of flow rate, at a constant orifice. This is for a representative characteristic of the pump, and not guaranteed performance.


■치수도 (mm) Dimensions

F-EPT100-6W

형식 Models

형식 Models

항목 Items

항목 Items

●�

신구조 RT(Rigid Tubephragm) 펌프튜프 프램 펌프이면서

플런저(Plunger) 펌프나 실린지 펌프와 동일한 사양의

특성을 얻을 수 있습니다.

New structure: RT (Rigid Tubephragm) pump.This is a tubephragm pump with similar characteristics to the plunger pump or syringe pump.

■특징튜브 프램 펌프의 특징인 저발진, 액체의 우수한 치환특성과 우수한 기포 제거성에 추가로이제까지의 수지제 펌프로는 얻을 수 없었던 응답성과 유량안정성을 실현.미소량 토출에서의 정량토출과 정유량토출이 가능합니다!

FeaturesIn addition to low particle generatoin, good replacing solution characteristics, and good removal of bubbles of tubephragnm pump feature higher response and flow rate stability than have ever been achieved in plastic pumps.Enables constant dispensing and constant flow rate even in microscopic discharges.

■내부구조와 부품재질 ■토출 유량 특성 데이터 (예)　Inner Construction and Major Parts 　Example of Dispensing Flow Rate Characteristics Data

Electric RT PumpF-EPR Series

전동 RT 펌프

F-EPR05-1W

0.1~5 ㎖

0.1 MPa

-0.02 MPa

4 ㎖/ s

4 ㎖/ s

0.5 MPa



허용최대부하 Allowable maximum vacuum pressure

최대토출유량 Maximum dispensing flow rate

최대흡입유량 Maximum suction flow rate


※注 : 상세 형식이나 사양에 대해서는 가까운 당사의 대리점 또는 영업소로 문의하여 주십시오.

※For details about other models and specifications, inquire at the nearest Koganei sales office or the Koganei overseas department.

RT펌프RT Pump

※일반 오리피스로 부터 발생하는 압력으로 유량을 파악한 그래프입니다.이 그래프는 대표적인 특성을 표시하는 것으로, 이특성을 보증하는 것은 아닙니다. ※The above graph shows generated pressure, an alternative measure

of flow rate, at a constant orifice. This is for a representative characteristic of the pump, and not a guaranteed performance.

이러한 용도에 최적!

Application Examples

· 슬릿도포 시, 장비 시동을 개선하고 싶을 때

· 플런저 펌프나 실린지 펌프를 사용으로 인한 발진 때문에 곤란할 때

· 유량이 안정되지 않고, 도포 시 얼룩이 생길 때

·Wants to improve slit coating startup.

·Emitting particles caused by use of plunger pumps or syringe pumps.

·Flow rate will not stabilize, causing coating uniformity failures.

■사양 Specifications형식 Models

항목 Items

�

㎖㎖

폴리이미드등의 고점도 약액토출에 최적입니다.기포가 발생하여 곤란한 경우!약액의 사용량을 줄이고 싶은 경우!

　　　심플 구조의 CT 펌프라면…가압에 의한 기포의 용해가 없어집니다.

메인터넌스시의 사용약액량을 대폭으로 줄일 수 있습니다.

펌프나 필터, 밸브등의 배관자재, 제어기기를 유닛화.양산공정은 물론, 시험제작품등의 소량생산용의 추가 디스펜스 라인으로서도 편리!Combines the pump, filter, valve, and other piping materials and control equipment into a single unit.Convenient for mass production processes, and also for installing dispense process lines for prototypes and other small-lot production.

1대의 콘트롤러로 복수의 펌프를 제어가능.터치판넬에서 간단조작! 패스워드화로 조작제어도 가능!

One controller can control several pumps simultaneously.Touch panel offers simple operation. Password protection enables operator restraint.

Optimum for polyimide or other high viscosity liquid chemicals dispensing.Bubbles keep forming.Wants to reduce the amount of liquid chemicals used.

　　　With a CT Pump of simple structure…Can eliminate bubbles blending caused by pressurization.Can greatly reduce the volume of liquid chemicals used during maintenance.

Pump for High-Viscosity Liquid Chemicals Dispensing

Pump Unit

고점도 약액 토출용 펌프

펌프 유닛

F-EPT10-16W F-EPT10-18W

0.5~10 ㎖

0.3 MPa

0.1~2 ㎖/ s

0.1~2 ㎖/ s

10000 cP

±0.5％（F.S.）

0.4 MPa

3.6 kg








중량 Mass


디스펜스 유닛Dispensing Unit

펌프 컨트롤러Pump Controller

■사양 Specifications형식 Models

항목 Items

●�

■시템(예) System Examples

에어구동 펌프의 경우

스테핑 모터 구동 펌프의 경우

AC 서보 모터 구동 펌프의 경우

For air operated pump

For stepping motor pump

For AC servo motor pump

�

에어 오퍼레이트 밸브 2포트 밸브, 3포트 밸브Air Operated Type 2-port Valves, 3-port Valves

솔레노이드 밸브 F 시리즈Solenoid Valve F Series

수동 밸브Manual Valves

H 시리즈 피팅H Series Fittings

불소 수지 튜브Fluororesin Tube Series

다양한 배관사양과 밸브기능에 추가로 유량 조절등 옵션도 풍부.다운 사이징으로 省 스페이스化를 실현.In addition to diverse piping specifications and valve functions, flow rate adjustment and a rich array of other options are also available.Achieves downsizing and other space-saving measures.

●밸브 폭 10mm, 표준 0.5W, 저전류 타입 0.25W의 저소비전력을 실현.●1개의 밸브에 2개의 3포트밸브를 장비한 탠덤 3포트 밸브도 선택가능.●시리얼 전송이나 각종 省배선에 대응.●파일럿 조작 밸브나 Ø40까지의 실린더 구동제어등에 최적입니다. Achieves low electric power consumption (standard type: 0.5 W,

low current type: 0.25 W) with the valve width 10 mm. ●Tandem 3-port valve is available with two 3-port valve functions in

one valve body.●Serial transmission and various wire saving types available.●Optimum for pilot-operated valves or for operating up to φ40 mm

bore size cylinders.

배관사양이 풍부한 소형의 수동밸브.벤트 라인등의 밸브로서 최적.Compact manual valve available in a rich variety of piping specifications.Optimum valves for vent lines etc.

전용공구 없이 튜브를 간단접속Simple tube connection without need for dedicated tools.

耐약품성이 우수하여 다양한 약액에 사용가능Offers superior chemical resistance, enab l i ng use w i t h va r i ous l i qu i d chemicals.

석백(Suck-Back) 부착 에어 오퍼레이트 밸브Air Operated Valves with Suck Back

솔레노이드 밸브 JA 시리즈Solenoid Valve JA Series

액체 흐름 방지용 석백 밸브와 2포트 밸브를 일체화.석백 밸브 동작시의 발포(發泡)를 억제하는 고점도사양을 추가.Combined a suck back valve, used for prevention of dripping chemicals, and a 2-port valve, into a single unit.High viscosity specification added to suppress bubble formation during suck back operation.

●2포지션 밸브는 수동조작버튼을 절환하는 것에 의해서 싱글 밸브와 더블 밸브의 기능을 선택할 수 있습니다. ●다른 사이즈의 튜브가 배관 가능한 이경 사이즈 양용피팅을 채용.●Single solenoid valve or double solenoid valve function is selectable

just by switching the manual override at the 2-position valve. ●Employs dual-use different-size fittings in which tubes of two

different sizes can be connected.

■관련상품소개 Introduction of Related Products

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high-precision constant dispensing pump seriesnewtecfa.com/down/koganei_02.pdf · 2012. 12. 18. ·...

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