gan サファイア基板の研究・技術動向 - astf2012/11/12 · sapphire single crystal...
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第14回窒化物半導体応用研究会 名古屋市工業研究所
平成24年11月12日
GaN系LEDと光デバイスの研究開発動向について
サファイア基板の研究・技術動向
東北大学 名誉教授 ㈱福田結晶技術研究所
福田 承生
GaN LED 及び パワーデバイス結晶基板
1.サファイア単結晶 2.Si単結晶 3.GaN単結晶 4.低格子不整単結晶
GaAs、SiC、ZnO、SCAM、etc…
Market share of Sapphire substrate in Y2007 Volume and Revenue Forecast For Finished Wafers
2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020
2"
3"
4"
6"
8"
Finished Sapphire ASP per Unit surface
US$
per
Sq
uar
e cm
0
200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
2000
2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020
Sapphire LED (US$m) US $ m
サファイア基板市場動向
サファイア単結晶市場動向と結晶方位 ・GaN LED用基板 ・GaNパワーデバイス用基板 ・SOSデバイス用基板 ・窓材(スマートフォン、時計、指紋認証用等)
・・・C面(m面) ・・・(m面、a面、C面)? ・・・R面 ・・・a面
0123456789
1011121314151617
2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016 2017
窓材
LED
パワーデバイス SOS
KY method
6“φ
115≒100 wafers 1枚/1mm
4“φ=102
8“φ=204 200wafers
1.52=2.25 times
C板ウエハーは横にくりぬき
サンテック
a軸成長
6
Vertical Horizontal Gradient
19
アークエナジー法結晶成長炉
結晶製造方法
EFG Ky VHGH HEM アークエナジー CZ CZ
成長方位 a a a a C C C
(C面) a a
m,R m,R
現状重量 ・・ 30kg 8~10kg 製造 60kg 100kg 37kg 30kg 10kg
開 発 100kg~200kg 50kg 50kg
ウェハーサイズ 2”ー4” 2”ー4” 2”ー4” 2”ー4” 2”ー4” 2”ー4” 2”ー4” 6”Φ 6”Φ 8”Φ 8”Φ 8”Φ 8”Φ
ルツボ Mo,W Mo,W Mo,W Mo,W Mo,W Ir Mo,W
=On axis growth
~ ~
(RF) (R)
サイクル M M S S M M M
㈱福田結晶技術研究所 CZ法サファイア結晶技術開発
CZ 高周波加熱
2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015
CZ 抵抗加熱
1”Φ,2”Φ
4”Φ
6”Φ
8”Φ
10”Φ
1”Φ,2”Φ
3”Φ
4”Φ
6”Φ
8”Φ
4”Φ×600L
6”Φ×400L
8”Φ×300L
4”Φ×300L
6”Φ×400L
結晶成長実験
結晶成長実験
8”Φ×300L
2016
12”Φ×300L
サファイア単結晶の欠陥
1.形状(曲がり、表面荒れ・・・)
2.クラック
3.気泡
4.サブグレイン
5.熱歪
6.転位
7.光散乱
8.着色
9.不純物
Cybestar炉
SS炉
STK炉
CZ-7 NSG
CZ-2
KDN CZ-12
KDN
CZ-4
NSG
高周波加熱炉 2~4”φ用
KSS
高周波加熱炉 6”φ用
NSG
CZ-9
KDN
CZ-10
NSG
CZ-18
(CZ-13,CZ-15,CZ-17)
KDN
CZ-14
高周波加熱炉 8”φ~10”φ用
KDN
CZ-11
R-3 SFT
抵抗加熱炉 2”φ~4”φ用
R-4 KDN
R-5 KDN
R-2
R-1
SFT R-7
KDN R-6
抵抗加熱炉
6”φ用 6”φ~8”φ用
4“φ sapphire crystals
1.Normal hot zone 2.Low thermal
gradient
3. Lower thermal
gradient
200L
2mm/h~8mm/h
130L
2mm/h
50KW
Less thermal gradient
100L
2mm/h
4. Lower thermal
gradient
30KW
Cross- Nicole observation • CZ wafer • VHGF wafer • KY wafer
17
Growth rate
2~5mm/h
(4”φ)
6“φ
115≒100 wafers 1枚/1mm
4“φ=102
8“φ=204 200wafers
1.52=2.25 times
引上げのメリット
CZ法作製サファイア単結晶
8”φ
6”φ
4”φ
c軸引上げ
CZ method(RF)
引上げのメリット
CZ method(RF) CZ法作製サファイア単結晶
φ6”×300L
c軸
Φ4”×450Lmm
Φ4”×500Lmm
抵抗加熱CZ法作製サファイア単結晶
3”φ~4”φ c軸引上げ
低温度勾配、カーボンヒーター、 Moルツボ
c
半極性
Requirement for bulk GaN
c面
Polar
High dislocationDifficult to grow on nonpolar, semipolar substrate
Polar axis
Nonpolar
Nonpolar Semipolar
High reliability and high performanceof GaN device
The high-quality bulk crystal processing technology is indispensable to assume GaN to be the second Si.
Low dislocation・Nonpolar・semipolarGaN substrate (a, m, (1013))
GaN/Sapphire substrateby hetero-epitaxial method
GaN thin film multilayer structure for laser application on c face substrate
by UCSB Prof. Nakamura
dislocation density~109 cm-2
Bulk GaN crystal by Solvothermal method
Low dislocationLow price
? ?
HVPE
6”φSapphire
substrate
a-plane
m-plane
r-plane
~
Sapphire substrate for LED
Polar c-plane
None Polar, Semi Polar m-plane, a-plane, r-plane, ?-plane
50mm
0º 15º 20º 8º TILTED ANGLE from M-PLANE
15
4 °
20 °
×25
×25 0 °
8 °
PL
INT
EN
SIT
Y (
a.u
.)
WAVELENGTH (nm)
1500
1000
500
0 300 450 600
×125
°
MISMATCH = GaN - SUBSTRATE
GaN
CRYSTALLOGRAPHIC RELATIONSHIP between EPITAXIAL FILM and SAPPHIRE SUBSTRATE
(0110); M-PLANE, (0001); C-PLANE, (2110); A-PLANE, (0112); R-PLANE
( 0 0 0 1 ) / ( 0 0 0 1 )
( 0 0 0 1 ) / ( 2 1 1 0 )
( 0 1 1 3 ) / ( 0 1 1 0 )
( % ) G a N / A l 2 O 3 G a N / / A l 2 O 3
- 2 . 6
1 . 9
1 3 . 8
1 3 . 8
1 . 9
- 0 . 4
( 2 1 1 0 ) / ( 0 1 1 2 )
[ 0 3 3 2 ] / / [ 2 1 1 0 ]
[ 2 1 1 0 ] / / [ 0 0 0 1 ]
[ 2 1 1 0 ] / / [ 0 1 1 0 ]
[ 0 1 1 0 ] / / [ 2 1 1 0 ]
[ 0 1 1 0 ] / / [ 0 1 1 0 ]
[ 2 1 1 0 ] / / [ 0 0 0 1 ]
[ 0 0 0 1 ] / / [ 0 1 1 1 ]
[ 0 1 1 0 ] / / [ 2 1 1 0 ] 1 3 . 8
1 . 1
INTERFACE PLANE IN-PLANE LATTICE-MISMATCH SYMMETRY
COINCIDENCE
COINCIDENCE
COINCIDENCE
NONCOINCIDENCE
T. Matsuoka, "Lattice-Matching Growth of
InGaAlN Systems", in Proc. Fall Meeting of
Material Research Symp., 395, pp. 39-50 (1996).
テール側
中央部
端面から約20mm範囲の外周部(進行性はなし)
トップ側
CZ18-030 r軸
CZ18-030 r軸 6”φ ウェハー
a面 c面
6”φ Sapphire Single Crystals for none-polar & semi-polar substrates
a axis growth
m axis growth
r axis growth
a軸 8”Φ×200mm
Sapphire single crystal growth method >6”φ
EFG KY CZ
Inductive heating
CZ Resistance
heating VHGF
Growth axis a a c, a r, m
c, a r, m
a
Productivity for 6”φ wafer
△ △ ◎ ◎ ○
Thermal gradient
high low High~low low low
Rotation none none none
Quality △ ◎ ○ ◎ ◎?
Crucible Mo Mo、W Ir Mo Mo,W
Difficulty for large
diameter
Available to purchase apparatus
and technology
Under development
Under development
Under development
: (growth speed)×(second power of radius )×(crystal length) Productivity
(per one furnace)
For LED C Plane
Sapphire single crystal growth method >6”φ
EFG KY CZ
Inductive heating
CZ Resistance
heating VHGF
Growth axis a a a,m a,m a
Productivity for 6”φ wafer
△ △
1mm/h ◎
~6mm/h ◎
2mm/h △
1mm/h
Thermal gradient
high low High~low low Low
Rotation none none none
Quality △ ◎ ◎ ◎ ◎?
Crucible Mo Mo、W Ir Mo Mo,W
Difficulty for large
diameter
Available to purchase apparatus
and technology
Under development
6”φx500L
Under development
6”φx300L
Under development
: (growth speed)×(second power of radius )×(crystal length) Productivity
(per one furnace)
For LED m Plane
なぜ今 8”ΦAℓ2O3単結晶成長技術開発なのか?
1.現状のKy法、HEM法、アークエナジー法等 いずれも成長速度が遅いので8”Φ以上の大型結晶から 2”Φ、4”Φ結晶をくりぬき出している。
2.効率が悪いが6”Φ結晶も可で、より大型化で8”Φも可能 Ky法 100kgチャージから500kgチャージ?へ
3.GaNパワーデバイス用基板候補に8”ΦSi(111)ウェハー
4.GaN LED用基板候補に Si(111)ウェハー 大口径 低コスト基板に有利で GaN m面(非極性)
単結晶実用化と結晶品質
結 晶 品 質
完全結晶 (低欠陥)
デバイスグレード
Si 半導体応用 ソーラー
(Solar grade)
GaAs レーザー ソーラー 携帯電話
LT,
LN
光応用 (Optical grade)
携帯電話 (Saw grade)
Aℓ2O3
LED パワーデバイス ヘテロエピタキシャル基板: LED grade
パワーデバイス grade
窓材、軸受け
CZ法大型サファイア結晶製造装置 同一装置―異種炉内構造 4インチ用、6インチ用、8インチ用
- On axis growth - c軸、a軸、m軸、r軸 引上げで多用途化対応
第19号炉 チャンバー直径1000φ、 発振機120KW
★引上げ方位を変える時は引上げ軸に対応した耐火物に変える
4”φx600L
ワークコイルC ルツボC 耐火物C
8”φx300L
6”φx400L
ワークコイルB ルツボB 耐火物B
ワークコイルA ルツボA 耐火物A
抵抗加熱炉 大型サファイア結晶製造装置
8インチ用 on axis growth C軸、m軸
開発
同一チャンバー 抵抗加熱式、高周波加熱式 選択、互換性
加熱方式 抵抗加熱式
ルツボサイズ 16”
原料チャージ量 100kg
インゴット径 Φ300mm
チャンバー高さ 1400mm
チャンバー内径 Φ950mm
装置寸法 W1100×D2100×H3800
各種単結晶基板価格と成長速度
0.001
0.01
0.1
1
10
100
¥1 ¥10 ¥100 ¥1000 ¥10000 ¥100000
成長レート
(
mm
/ h
)
単位面積あたりのコスト (日本円 / cm2)
溶融法
気相成長
SiO2 (Quartz)
Si
GaAs
InP
SiC
HVPE-GaN
70mm/h
1~10mm/h
Al2O3
液相成長