fundamentos de fabricação de circuitos integradosacacio/fpci07_transistoresmos_fabricacao.pdf ·...
TRANSCRIPT
![Page 1: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/1.jpg)
1UniSant'Anna - fevereiro de 2009 - Página
Fundamentos de Fabricação de
Circuitos Integrados
Prof. Acácio Luiz Siarkowski
- Fabricação de Transistores
MOS integrados
![Page 2: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/2.jpg)
Tecnologias em CIs
- As principais tecnologias de construção de circuitos
integrados:
![Page 3: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/3.jpg)
Níveis de desenvolvimento
![Page 4: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/4.jpg)
Etapas de um projeto de um CI
![Page 5: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/5.jpg)
Estrutura Básica MOS
- Transistor NMOS (metal, óxido e semicondutor):
Controle da passagem de corrente entre Source (Fonte) e
Drain (Dreno) por meio da tensão aplicada no Gate (Porta).
![Page 6: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/6.jpg)
Estrutura Básica MOS
- Transistor NMOS x CMOS (NMOS + PMOS):
![Page 7: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/7.jpg)
Fabricação NMOS
- Etapas de Processo:
![Page 8: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/8.jpg)
Fabricação NMOS
- Etapas de Processo:
![Page 9: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/9.jpg)
Fabricação NMOS
- Etapas de Processo:
![Page 10: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/10.jpg)
Fabricação NMOS
- Etapas de Processo:
![Page 11: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/11.jpg)
Fabricação CMOS
- Etapas de Processo:
O processo CMOS inicia com uma substrato tipo P e, então é crescido o “óxido de campo” (0,5um).
A 1a máscara de litografia define a região tipo N, onde átomos de fósforo são implantados através desta janela no óxido.
Depois uma fina camada de óxido é crescida nas regiões ativas dos transistores.
Este será o óxido de porta (Gate) com 2,5nm de espessura
![Page 12: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/12.jpg)
Fabricação CMOS
- Etapas de Processo:
Uma cama de silício policristalino (300 nm) é depositada por CVD e o padrão é corroído por Plasma, criando as linhas de que funcionarão como eletrodos de porta nos transistores nMOS e pMOS e como interconexão entre eles.
Esta estrutura também funciona como uma máscara auto-alinhada para a definição das regiões de fonte e dreno de cada transistor.
Polysilicon Gate Connections
![Page 13: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/13.jpg)
Fabricação CMOS
- Etapas de Processo:
Usando duas máscaras, as regiões de fonte e dreno de cada transistor são implantadas com dopantes tipo N e tipo P.
Uma dopagem adicional pode ser feita no pMOS(n_well Region) para melhorar características elétricas deste transistor.
Dopagemadicional
![Page 14: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/14.jpg)
Fabricação CMOS
- Etapas de Processo:
Uma camada isolante (óxido de silício com 500nm) é depositada por CVD
As regiões de contatos são corroídas, de forma a abrir janelas no óxido, expondo o silício dopado (regiões de fonte e dreno de cada transistor).
Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão dos circuitos usando uma camada metálica (alumínio).
![Page 15: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/15.jpg)
Fabricação CMOS
- Etapas de Processo:
Uma camada de metal (alumínio, >500nm) é depositada por evaporação e as linhas de interconexão são definidas por litografia e corrosão.
Estas conexões são conhecidas como interconexões locais e as demais interconexões são feitas por mais de deposições de novas camadas isolantes e metálicas.
![Page 16: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/16.jpg)
Fabricação CMOS
- Etapas de Processo:
O layout resultante é mostrado na figura ao lado.
A etapa final seria a deposição de uma camada de passivação (óxido de silício, >500nm) sobre toda a área do chip, exceto as áreas de contato para o Wiring-bond (contatos externos).
![Page 17: Fundamentos de Fabricação de Circuitos Integradosacacio/fpci07_TransistoresMOS_Fabricacao.pdf · cada transistor). Estas janelas de contato são necessárias para a inteconexão](https://reader033.vdocuments.site/reader033/viewer/2022052716/5c117f6109d3f2602c8c0f2b/html5/thumbnails/17.jpg)
Definição linhas de interconexão
- Resistência de folha:
(sheet resistance)
Definição da espessura
e resitividade do material
depositado.
eW
L
A
LR
...
eR
WLR
quadrado
quadrado