film’»‚¢„ü‡¯-pdfca01.smcworld.com/catalog/smc-hp/pdf/p-06-11a-film.pdf前工程 1...

前工程

前工程

後工程

後工程

前工程

後工程

テーマ静電気オゾン対策耐食防爆テンションコントロール（低摩擦制御）

クリーン（ブロー）温調省配線高真空

溶解 1

流涎

延伸

巻取り

巻出し

塗布

乾燥

2

3

4

5

6

7

裁断巻取り 8

P-06-11A

原料溶液（ドープ）

ホッパー

定量ポンプ

ダイ

ドラムキャスト

キャスティング

熱処理

巻取り

横延伸

縦延伸

フィルタ

前工程

フィルム素材は液晶・PDPの光学フィルムを始めとして食品・医薬品等の幅広い用途があります。製造工程においては「原料の溶解」、「フィルムベース製造」、「各種溶剤塗布」、「巻取り、巻出し」等様々な工程があり、防爆仕様、静電気除去や温度コントロール等のニーズがあります。工程別に基づき製品テーマと製品シリーズを紹介いたします。（以下工程は一般例であり、またテーマ、製品を限定するものではありません。機器選定の際の目安としてご利用ください。）

原材料溶解 1

・防爆用機器・工業用フィルタ・耐食性向上・ダクト開度コントロール・バルブ開度コントロール・計装システム

前付3

流延 2

・耐食性向上・温度コントロール

前付4

延伸 3

・温度コントロール

前付5

巻取り 4

・低摩擦制御関連機器・静電気対策、クリーンブロー

前付6

PETフィルム製造工程例

各工程において防爆エリアでご使用の場合は防爆用機器をご選定ください。

前付1

後工程

裁断　巻取り 8

・低摩擦制御関連機器・静電気対策、クリーンブロー・エア浮上ユニット・非接触パット・クリーンルーム用機器

前付12

巻出し 5

・低摩擦制御関連機器・静電気対策、クリーンブロー・クリーンルーム用機器

前付7

乾燥・UV照射 7 前付11

・クリーンルーム用機器・静電気対策、クリーンブロー・温度コントロール

塗布乾燥 UV照射

ロール巻出しロール巻取り

裁断

塗布

乾燥

UV照射

裁断

巻取り

塗布 6

・防爆用機器ダイヤフラム式ポンプ・静電気対策、クリーンブロー・省配線システム・クリーンルーム用機器・耐食性向上・温度コントロール・コロナ放電等による対策・高真空バルブ

前付9

各工程において防爆エリアでご使用の場合は防爆用機器をご選定ください。またクリーン環境でご使用の場合はクリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。

前付2

前工程原材料溶解 1

乾燥したPET原料チップをホッパーに投入、押出機に供給し完全溶解させる。

空調ダクト制御原材料の定量制御

ダクト開度コントロールバルブ開度コントロール計装システム

電－空ポジショナ／IP8000/8100 P.4

精密レギュレータ／IR1000/2000/3000 P.10

溶剤系雰囲気

耐食性向上

ステンレスシリンダ／CJ5・S/CG5・S P.7

フローティングジョイント（ステンレス）／JSP.7

SUS316ワンタッチ管継手／KQG P.10

SUS316インサート管継手／KFG P.10

ステンレススピードコントローラ／ASG P.7

FEPチューブ／TH/TIH P.11

フッ素樹脂製チューブ／TL/TIL P.11

クリーンレギュレータ／SRH P.10

原料の調合

防爆用機器

工業用フィルタ

本質安全防爆形5ポートソレノイドバルブ／51-SYP.2

防爆形ソレノイドバルブ／50-VFE/VPEP.2

※5ポートソレノイドバルブ／SY P.2※5ポートソレノイドバルブ／VQC P.2

工業用フィルタ／FG P.21

※防爆仕様ではありません。非防爆エリアにて使用してください。

・防爆エリアでご使用の場合は防爆用機器をご選定ください。・電磁弁を長時間通電状態で使用される場合は低消費電力タイプの電磁弁をご使用ください。詳細はP.26をご参照ください。・溶剤系雰囲気で使用される場合は、製品品質に影響を及ぼす可能性がありますので、機器仕様、材質にご注意ください。・高温、溶剤雰囲気等で使用される場合、製品仕様（使用温度、材質等）をご確認のうえ選定ください。

選定のポイントと注意

原料溶液（ドープ）

ホッパー

定量ポンプ

フィルタ

前付3

前工程流延 2

ダイによって軸方向に流延した後、冷却ドラムに密着させて急冷固化させてPETシートが製造される。

ドラム冷却

温度コントロール

サーモクーラ恒温水循環装置／HRG P.18

サーモチラー恒温液循環装置（高機能タイプ）／HRZP.18

溶剤系雰囲気

耐食性向上

オールステンレスシリンダ／CJ5・S/CG5・SP.7







・クリーン環境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。・溶剤系雰囲気で使用される場合は、製品品質に影響を及ぼす可能性がありますので、機器仕様、材質にご注意ください。・高温、溶剤雰囲気等で使用される場合、製品仕様（使用温度、材質等）をご確認のうえ選定ください。


ダイ

ドラムキャスト

前付4

前工程延伸 3

ロールの送り速度を変えて縦方向に延伸、高温の乾燥炉の中で横方向に延伸させる。

ロール温度調整




縦延伸横延伸

・熱源周辺で機器を使用される場合、機器の仕様（使用温度範囲）をご確認ください。


ロール

遅い早い

前付5

前工程巻取り 4

いくつかのロールを介し、寸法を安定させ巻き取る。

低摩擦制御関連機器

低摩擦シリンダ（メタルシールタイプ）／MQQ/MQMP.6

スムースシリンダ／CQSY/CQ2Y/CM2Y/CG1Y/CA2Y P.5

薄形電空レギュレータ／ITV0000 P.8

電空レギュレータ／ITV1000/2000/3000P.9

精密レギュレータ／IR1000/2000/3000P.10

テンションコントロール

・テンションコントロールを行うには摺動抵抗の低いシリンダと高精度な圧力制御が必要です。低摩擦タイプのシリンダと精密減圧弁や電空レギュレータの組合せでご使用ください。


異物付着防止

静電気対策

イオナイザ／IZS31 P.12

クリーンブロー

クリーンエアモジュール（オーダーメイド）／LLB2P.15

・ロールの巻き取り時は静電気により異物付着・貼り付き等の現象が発生します。静電気除去のためイオナイザをご使用ください。


巻取り

前付6

後工程巻出し 5

一定のテンションコントロールを行いながら巻出しする。

クリーンルーム用空気圧機器

クリーンシリーズ P.22

クリーンルーム仕様

異物付着防止品質向上


静電気対策


クリーンエアモジュール（オーダーメイド）／LLBP.15

直動形2ポートソレノイドバルブ／VX2 P.17

空気用直動形2ポートソレノイドバルブ／VCAP.17

クリーンワンタッチ管継手ブロー用／KP□ P.10

ポリオレフィンチューブ／TPH P.11







精密レギュレータ／IR1000/2000/3000P.10

・テンションコントロールを行うには摺動抵抗の低いシリンダと高精度な圧力制御が必要です。低摩擦タイプのシリンダと精密減圧弁や電空レギュレータの組合せでご使用ください。・クリーン環境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。


巻出し

前付7

〈巻取り、巻出し時のテンションコントロール（例）〉

qダンサーロール制御

wエアブレーキ制御

巻径が大きくなるに従ってダンサーロールのテンションを減少させる。（フィルムのたるみや歪みを矯正し張力を保つ。）CYLはメカロスの少ない低摩擦CYL等を使用する。

巻径検出し、変位を電空変換器に伝え、エアブレーキをかける。

EP

低摩擦シリンダ

電空レギュレータ

EP

エアブレーキ

巻径検出

前付8

後工程塗布 6

用途に応じ各種溶剤を塗布。

防爆用機器


耐圧防爆形ソレノイドバルブ／50-VFE/VPEP.2

※5ポートソレノイドバルブ／SY P.2※5ポートソレノイドバルブ／VQC P.2

溶剤の移送

ダイヤフラム式ポンプ

プロセスポンプ／フッ素樹脂タイプ／PA/PAPP.18

プロセスポンプ／PAF P.18

※非防爆エリアにて使用

耐食性向上

酸、アルカリ各種薬液雰囲気

薬液用エアオペレートバルブ／LV P.17

フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング／LQ1P.17

フッ素樹脂製管継手フレアタイプ／LQ3 P.17

ステンレスシリンダ／CJ5・S／CG5・S P.7







省配線システム

シリアル伝送システム／EX120 P.4

シリアル伝送システム／EX510 P.4

SUPストップ弁付マニホールド／SS5Y□-X460

P.3

調送液制御

防爆用機器


耐圧防爆形ソレノイドバルブ／50-VFE/VPEP.2

・電磁弁を長時間通電状態で使用される場合は低消費電力タイプの電磁弁をご使用ください。詳細はP.26をご参照ください。・溶剤系雰囲気で使用される場合は、製品品質に影響を及ぼす可能性がありますので、機器仕様、材質にご注意ください。・高温、溶剤雰囲気等で使用される場合、製品仕様（使用温度、材質等）をご確認のうえ選定ください。・SUPストップ弁付マニホールド（P.3参照）の使用により、ライン全体を停止をさせることなく部分的な機器の交換が可能であり、再稼動のスピード化が図ることができます。・防爆エリアでご使用の場合は防爆用機器をご選定ください。・クリーン環境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。


塗工ヘッド

タンク

前付9

高真空バルブ

ステンレス製高真空L型バルブ／XM P.19

ステンレス製高真空ストレート型バルブ／XY

P.19・20

高真空ストレート電磁弁／XSA P.20

脱気処理

耐オゾン性向上

オゾン対策機器 P.27

オゾン対策







フロースイッチ／PFM/PF2A/PF2W P.16

薬液の温度・流量管理

・ロール・溶剤を一定温度にコントロールすることで安定した均一な塗布を可能にします。チラーにより高精度な温調が可能です。


静電気対策、クリーンブロー


異物付着防止



・ロールの巻き取りや巻き出しの剥離時には静電気により異物付着・貼り付き等の現象が発生します。静電気除去のためイオナイザをご使用ください。・クリーン環境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。


前付10

後工程乾燥・UV照射 7

乾燥させて塗工成分をフイルムに固着させ、UV照射にて表面を硬化させる。




UV熱源の温調




静電気対策、クリーンブロー


異物付着防止



・高温により帯電し静電気が発生します。異物付着・貼り付き・静電気防止にイオナイザをご使用ください。・クリーン環境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。


前付11

後工程裁断　巻取り 8

エア浮上ユニット非接触パッド

品質向上



巻出しを行いながら縦方向に裁断（スリット）してフィルムを一定のテンションで巻取る。







精密レギュレータ／IR1000/2000/3000P.10

異物付着防止品質向上

静電気対策




直動形2ポートソレノイドバルブ／VX2 P.17

空気用直動形2ポートソレノイドバルブ／VCAP.17

クリーンワンタッチ管継手ブロー用／KP P.10

ポリオレフィンチューブ／TPH P.11

ソフトポリオレフィンチューブ／TPS P.11

・テンションコントロールを行うには摺動抵抗の低いシリンダと高精度な圧力制御が必要です。低摩擦タイプのシリンダと精密減圧弁や電空レギュレータの組合せでご使用ください。・裁断用シリンダには高剛性、高精度に優れたガイド付シリンダをご使用ください。・製品品質向上のため、空気の質を高める清浄化機器をご使用ください。・クリーン環境でご使用の場合は、クリーンルームクラス清浄度に応じてご選定ください。



裁断

巻出し

前付12

フィルム製造工程向機器

C O N T E N T S

本質安全防爆システム対応5ポートソレノイドバルブ／51-SY

防爆形ソレノイドバルブ／50-VFE/VPE

5ポートソレノイドバルブ／SY

5ポートソレノイドバルブ／VQC

SUPストップ弁付マニホールド／SS5Y□-X460

P.2

P.2

P.2

P.2

P.3

方向制御機器

直動形2ポートソレノイドバルブ／VX2

空気用直動形2ポートソレノイドバルブ／VCA

薬液用エアオペレートバルブ／LVA/LVC

P.17

P.17

P.17

流体制御用バルブ

フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング／LQ1

フッ素樹脂製管継手フレアタイプ／LQ3

P.17

P.17

フッ素樹脂製管継手

プロセスポンプ／フッ素樹脂タイプ／PA/PAX/PB

プロセスポンプ／フッ素樹脂タイプ／PA/PAP

プロセスポンプ／PAF

P.18

P.18

P.18

プロセスポンプ

サーモクーラ恒温水循環装置／HRG

サーモチラー恒温液循環装置（高機能タイプ）／HRZ

P.18

P.18

温調機器

シリアル伝送システム／EX12□/140

シリアル伝送システム／EX500/510

P.4

P.4

シリアル伝送システム

電－空ポジショナ／IP8000/8100 P.4

計装機器

スムースシリンダ／CQSY/CQ2Y/CM2Y/CG1Y/CA2Y

低摩擦シリンダ（メタルシールタイプ）/MQQ/MQM

ステンレスシリンダ／CJ5・S/CG5・S

P.5

P.6

P.7

駆動機器

ステンレススピードコントローラ／ASG

フローティングジョイント（ステンレス）／JS

P.7

P.7

駆動制御機器／付属関連機器

薄形電空レギュレータ／ITV0000

電空レギュレータ／ITV1000/2000/3000

精密レギュレータ／IR1000/2000/3000

クリーンレギュレータ／SRH

P.8

P.9

P.10

P.10

圧力制御機器

SUS316ワンタッチ管継手／KQG

SUS316インサート管継手／KFG

クリーンワンタッチ管継手ブロー用／KP

ポリオレフィンチューブ／TPH

ソフトポリオレフィンチューブ／TPS

フッ素樹脂製チューブ／TL/TIL

FEPチューブ／TH/TIH

P.10

P.10

P.10

P.11

P.11

P.11

P.11

管継手／チューブ

イオナイザ／IZS31

表面電位センサ／モニタ／IZD10/IZE11

P.12

P.14

除電機器

クリーンエアモジュール（オーダーメイド）／LLB2

クリーンエアフィルタ／SFD

P.15

P.15

フィルタ

ステンレス製高真空L型バルブ／XM

ステンレス製高真空ストレート型バルブ／XY

高真空ストレート電磁弁／XSA

P.19

P.19・20

P.20

高真空機器

工業用フィルタ／FG P.21


汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ／ISE50

空気用デジタルフロースイッチ／PF2A

水用デジタルフロースイッチ／PF2W

2色表示式デジタルフロースイッチ／PFM

P.16

P.16

P.16

P.16

圧力スイッチ／流量センサ

クリーンルーム用空気圧機器 P.22


エア浮上レール P.24

エア浮上レール

非接触チャック P.25

非接触チャック

バルブの長期通電について

オゾン対策機器

P.26

P.27

技術資料

1

5ポートソレノイドバルブ

音速コンダクタンス：C型式

VQC1000

VQC2000

VQC4000

シリンダ駆動サイズ消費電力（W）

1.0

ø40

ø63

ø100

1.0dm3/（s.bar）

3.2dm3/（s.bar）

7.3dm3/（s.bar）

VQCメタルシール弾性体シール

5ポートソレノイドバルブ

音速コンダクタンス：C型式

SY3000

SY5000

SY7000

SY9000

シリンダ駆動サイズ消費電力（W）

0.35（標準）0.1（節電回路付）

ø40

ø63

ø80

ø100

1.1dm3/（s.bar）

2.8dm3/（s.bar）

4.5dm3/（s.bar）

10 dm3/（s.bar）

SY弾性体シール

防爆防爆形ソレノイドバルブ 50-VFE/VPE弾性体シール

種類型式

50-VFE3000

50-VFE5000

50-VPE500

50-VPE700

Cv値消費電力（W）

3.5

1.0

2.5

2.3

4.0

5ポート

3ポート

防爆構造 d2G4、Exd2BT4備考50-VFE

50-VPE

本質安全防爆システム対応5ポートソレノイドバルブ 51-SY防爆

Cv値型式

51-SY5000

51-SY7000

51-SY9000

シリンダ駆動サイズリード線取出し

・プラグコネクタ・カバー付プラグコネクタ・端子台形（IP65）

ø63

ø80

ø100

0.90

1.4

2.5

本製品（システム）は、国際規格（IEC規格79）に基づいて新たに制定された「新技術的基準」に適するExiallBT4について、パイロット弁（電磁弁用電磁石）と弊社指定のバリヤ（安全保持器）を組合せたシステムとして型式検定に合格しています。

備考

方向制御器機

2

空気圧回路（SY3000シリーズの場合）

（SY3320）（SY3220）（SY3120）

EAPEB

EAPEB

AB A

BAB

AB

AB

SUPストップ弁付マニホールド（オーダーメイド）

注）10連以上（SS5Y7は5連以上）の場合は、両側のPポートに加圧し両側のEA、EBポートより排気してください。

※詳細はP.G Information（PG97-1）をご参照ください。

5ポート弁

適用バルブ

マニホールド形式

P（SUP）・R（EXH）方式

バルブ連数

A・Bポート配管場所

型式

配管接続口径

Cv値（バルブ有効断面積 mm2）

P, EA, EBポート

A, Bポート

SS5Y3-X460

SY3□20

M5×0.8C4（ø4ワンタッチ管継手）

C6（ø6ワンタッチ管継手）

Rc1/8

P→A/B0.17（3）A/B→EA/EB0.19（3.5）

C6：

P→A/B0.43（7.8）A/B→EA/EB0.46（8.4）

C8：

P→A/B0.74（13.4）A/B→EA/EB0.7（12.7）

C10：

Rc1/8C4（ø4ワンタッチ管継手）



Rc1/4C8（ø8ワンタッチ管継手）


Rc1/4 Rc1/4

SS5Y5-X460

SY5□20

単一ベース形ベースマウント

共通SUP・共通EXH

2～20連注）

バルブ

SS5Y7-X460

SY7□20

SS5Y□-X460

供給圧力を個別に停止可能。非常時に元圧の遮断なくソレノイドバルブ交換が可能。

方向制御機器

サプライストップ弁は一時的な供給圧力の停止を目的としています。常時閉での使用はしないでください。（常時閉を必要とする場合はブランキングプレ－トを使用してください。）

qメンテナンス性向上／全体停止せず個々のアクチュエータ、バルブの交換が可能

wフットプリントの向上／設置面積の省スペース化

e長期通電対応0.1Wソレノイドバルブ搭載可能

r本質安全防爆ソレノイドバルブ搭載可能51-SYシリーズ

t個別配線対応ベース SS5Y7-49-□□-X167

yVQ4000・5000、VFR、VFSの各シリーズにも用意

・禁シリコングリス仕様ソレノイドバルブ

・各種省配線システム対応／CC-Link、NKE（株）等

特注対応

3

EX120

EX122

EX140

EX121

EX124

シリアル伝送システム一体型出力対応

保護構造シリーズ

EX120

EX121

EX122

EX124

EX140

通信プロトコル適用バルブ

SV1000,2000,3000,4000VQ1000,2000

SX3000,5000SY3000,5000VQ1000

SX3000,5000

VQ2000,4000,5000

SZ3000SQ1000,2000

DeviceNetPROFIBUS-DPCC-LinkJEMAネット（OPCN-1）INTERBUSActuator Sensor interface（AS-I,ASI）CAN OpenLon WorksSmart Distributed System（SDS）三菱電機オムロンシャープ富士電機松下電工ロックウェルオートメーションサンクスNKE

IP20

IP20

IP20

IP65

IP20

EX省配線

シリアル伝送システム

保護構造シリーズ

EX500

EX510

通信プロトコル適用バルブ

SV1000,2000,3000,4000VQC1000,2000,4000,5000

SY3000,5000,7000,9000SYJ3000,5000,7000VQZ1000,2000,3000

DeviceNet

PROFIBUS-DP

CC-Link

ロックウェルオートメーション

IP65

IP20

EX分散型

省配線

電－空ポジショナ

IP65薄形 13%低減

特長

管接続口径シリーズ

IP8000・8100

供給空気圧力（MPa）入力電流

4～20mADC0.14～0.7Rc1/4

IP

シリアル伝送システム／計装機器

4

最低作動圧力 0.01～0.03MPa最低作動圧力 0.01～0.03MPa0.04

0.03

0.02

0.01

00 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100

12 16

20 25 32 40

50 63 80 100

チューブ内径 mm

最低作動圧力MPa

（測定方法:JIS B8377準拠）

5mm/sでも安定した低速作動を実現（JIS B8377準拠）

使用例

スティックスリップが少なく、滑らかな作動

摺動抵抗両方向低摩擦駆動が可能加圧方向を気にすることなく押圧コントロールを実現

スムースシリンダは精密減圧弁（IRシリーズ等）と組合せて使用

0.0200.0180.0160.0140.0120.0100.0080.0060.0040.0020.000

0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7圧力MPa

摺動抵抗相当圧力MPa

CA2YD50-200

CA2D50-200N

CQSYB12-30DCM測定条件水平横向無負荷

測定圧力0.1MPa

CG1YB20-200測定条件水平横向無負荷

測定圧力0.1MPa

平均速度

2.60mm/s

作動方向 OUT

5秒

作動方向 IN

平均速度2.52mm/s

速度mm/s

変位mm

変位mm

3.0

0

-3.0

速度mm/s 3.0

0

-3.0

30

15

0

速度波形

変位波形

平均速度

2.36mm/s

作動方向 OUT 作動方向 IN

平均速度2.12mm/s

20秒

200

100

0

速度波形

変位波形

使用例A

駆動ローラ巻取ローラ

精密減圧弁精密減圧弁

（移動物体）

f

使用例B

スムースシリンダ

作動方式シリーズ

CQSY

CQ2Y

CM2Y

CG1Y

CA2Y

チューブ内径（mm）最低使用圧力（MPa）

0.03

0.02

0.02

0.01

0.02

0.02

0.01

0.02

0.01

12,16

20,25

32,40

50,63,80,100

20,25,32,40

20,25,32,40

50,63,80,100

40

50,63,80,100

複動

CQSY/CQ2Y/CM2Y/CG1Y/CA2Yテンションコントロール

駆動機器

5

摺動抵抗の小さいメタルシール構造採用により一般シリンダでは使用できない駆動速度域・出力コントロールをカバーします。

摺動抵抗が小さく、0.005MPaでの低圧駆動が可能。※真空でご使用される場合は、別途ご確認ください。

10,000kmまたは1億回往復のロングライフ。低摩擦

耐横荷重

低圧駆動

長寿命

低速・等速駆動駆動速度範囲0.3mm/sからの低速域で滑かな駆動および等速駆動が可能。

摺動抵抗が低く安定しているため、0.05N単位の出力コントロールが可能。（シリンダの受圧面積×圧力精度による）長期停止後の摺動抵抗の変化がない。

軸受部にボールブッシュを内蔵で耐横荷重性を向上。（MQQL・MQML）

ロッド：炭素鋼材（クロームメッキ処理）（メタルシール）

スリーブ：特殊ステンレス鋼（メタルシール）

ピストン：特殊ステンレス鋼（メタルシール）

ボールブッシュ内蔵により耐横荷重向上※MQQTタイプはフッ素樹脂となります。

フローティング機構（PAT.）により、軸ズレによるカジリがなく摺動抵抗が安定している。

高速駆動・高頻度Hタイプ（固定絞りなし）を使用することにより、・3,000mm/sの高速駆動が可能。・短ストロークの場合50往復/sの連続駆動が可能。（MQML□□H）

推奨回路例例1）等速・低速駆動（シリンダ出力のコントロールはできません。）

例3）高速・高頻度駆動

例2）低速および出力コントロール

※電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプ（VQ・VQZ・SQシリーズ等）をご使用ください。

※電磁弁を使用される場合は、メタルシールタイプ（VQ・VQZ・SQシリーズ等）をご使用ください。

精密絞り弁

電磁弁

ミストセパレータ（0.3μm以下）

エアフィルタ（5μm以下）


IR（精密減圧弁）

W

電磁弁ミストセパレータ（0.01μm以下）（0.3μm以下）

ITV（電空レギュレータ）



W

※シリンダの出力コントロールを行う場合はスピードコントローラ等による絞り回路は設けないでください。シリンダ内部圧力が低下しコントロールできなくなります。必ず圧力制御によるコントロール駆動を行ってください。なお、押圧・テンションコントロール（外力駆動）として、使用した場合、シリンダ内のエアは減圧弁リリーフポートより排出します。変位（ストローク）や駆動速度等によりシリンダ内圧力が上昇する場合は、シリンダ間にエアタンクを設けてください。

低摩擦仕様としてご使用される場合

1）偏荷重によって、摺動抵抗は変化します。ロッド軸芯と負荷・移動方向は必ず一致させるように連結してください。偏荷重が予測される場合はフローティングジョイント等を設置してください。

2）クリーンエア（大気圧露点温度は－10℃以下）を使用しミストセパレータAMシリーズ（ろ過度0.3μm以下）または、AM＋AMDシリーズ（ろ過度0.01μm以下）の設置を推奨します。

低摩擦シリンダ（メタルシールタイプ）

種類シリーズ

MQQ

MQM

チューブ内径（mm）最低使用圧力（MPa）

0.005

ø6：0.02,ø10～25：0.005（MQML□□H：0.01）

10,16,20,25,30,40

6,10,20,25

薄形

耐横荷重形

MQQ/MQMテンションコントロール

駆動機器

6

フローティングジョイント（ステンレス）

シリーズ型式

標準形

適用シリンダチューブ内径（mm）

10,15,16,20,25,32,40,50,63JS

JS耐食

耐食ステンレススピードコントローラ

適用チューブ外径（mm）シリーズ

特長材質・金属部：SUS316 シール部：特殊FKM周囲および使用流体温度：－5～60℃

ASG

接続ねじ

M5,1/8,1/4,3/8,1/24,6,8,10,12

ASG

ステンレスシリンダ

作動方式シリーズ

CJ5・S

CG5・S

チューブ内径（mm）

10,16

20,25,32,40,50,63,80,100

複動

CJ5・S/CG5・S耐食

駆動機器／駆動制御機器／付属関連機器

7

薄形電空レギ

ュレータ

薄形電空レギ

ュレータ

ITV0000 Series薄形電空レギ

ュレータ

ITV0000 Series

■ケーブルコネクタストレート型、ライトアングル型の2種類を用意。

■ワンタッチ管継手内蔵■エラー表示LED付■ブラケットフラットブラケット、L型ブラケットの2種類を用意。

●IP65相当●リニアリティ±1％以内（フルスパン）ヒステリシス0.5％（フルスパン）繰返し性±0.5％（フルスパン）●高速応答0.1sec（無負荷時）

●高安定性メタルシリンダ使用時でも、安定した圧力コントロールが可能。

ミストセパレータ（0.01μm以下）（0.3μm以下）

ITV（電空レギュレータ）



W

原寸大

型式

ITV001□

ITV003□

ITV005□

ITV009□

圧力レンジ

0.1MPa

0.5MPa

0.9MPa

－100kPa

電源電圧

DC24V

DC12V

出力信号

アナログ出力

1～5V

オプション

・ケーブルコネクタストレート型ライトアングル型

・ブラケットフラットブラケットL型ブラケット

入力信号

4～20mA

0～20mA

DC0～5V

DC0～10V

フラットブラケット L型ブラケット

軽量100g

薄形15mm無駄のない高密度基板設計により徹底した薄形化を図りました。

DINレール方式のため、連数の増減が容易にできます。

マニホールド時の省スペース・軽量化を実現。ストレート型ライトアングル型

薄形電空レギュレータ

特長電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御


ITV0000

設定圧力（MPa）

0.001～0.10.001～0.50.001～0.9－1～－100kPa

ワンタッチ管継手内蔵ø4、ø5/32

ITV0000テンションコントロール

圧力制御機器

8

ストレート型ライトアングル型

用途例多段制御をアナログ制御

減圧弁

電磁弁

SUP.

OUT.

OUT.

SUP.

制御器

制御器

電ー空レギュレータ

アナログ制御

ミストセパレータ

ミストセパレータ

ITV2000：350g 質量△12%減（当社比）ITV3000：645g 質量△ 8%減（当社比）

空気消費量≒0l/min（ANR）（バランス時）

従来品（ITシリーズ）と同一の取付寸法（ブラケット共通）

2種類のモニタ出力方式アナログ出力、スイッチ出力の選択が可能

明るく見易いLED表示

2方向のケーブル取出しが可能

クリーンルーム対応可能（オプション）

軽量設計

無加圧状態でゼロ・スパン調整可能

IP65相当対応


特長電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御


ITV1000

ITV2000

ITV3000


0.005～0.10.005～0.50.005～0.9

1/8,1/4

1/4,3/8

1/4,3/8,1/2

ITV1000/2000/3000テンションコントロール

圧力制御機器

9

クリーンレギュレータ

特長コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ

リリーフ機構シリーズ

SRH

管接続口径設定圧力（MPa）

低圧タイプ：0.01～0.2高圧タイプ：0.05～0.7

Rc1/8,1/4,3/8,1/29/16-18UNF,7/8-14UNF

Rc1/8,1/4,3/8,1/2

ノンリリーフ

リリーフ

SRH耐食

精密レギュレータ


特長

IR1000

IR2000

IR3000


0.005～0.20.005～0.40.005～0.8

0.01～0.20.01～0.40.01～0.8

1/8

1/4

1/4,3/8,1/2

IR1000/2000/3000テンションコントロール

テンションコントロール、接圧コントロール設定感度：0.2%F.S.以内繰返性±：0.5%F.S.以内

耐食 SUS316インサート管継手

材質：SUS316使用流体温度：－5～150℃ノングリス蒸気使用可


特長

KFG

接続ねじ

1/8,1/4,3/8,1/24,6,8,10,12

KFG

SUS316ワンタッチ管継手

材質・金属部：SUS316 シール部：特殊FKM使用流体温度：－5～－150℃ノングリス

特長


KQG

接続ねじ

M5,1/8,1/4,3/8,1/24,6,8,10,12

KQG耐食

クリーンワンタッチ管継手ブロー用

クリーンルーム内のブローシステムに適したワンタッチ管継手特長


KP

接続ねじ

1/8,1/4,3/8,1/24,6,8,10,12

KPクリーン（ブロー）

圧力制御機器／管継手／チューブ

10

ソフトポリオレフィンチューブ


TPS

色

黒、白、赤、青、黄、緑4,6,8,10,12

TPSクリーン（ブロー）

耐食 FEPチューブ

材質：FEP（フッ素樹脂）最高使用温度：200℃（使用圧力により異なります）食品衛生法適合

チューブ外径シリーズ

特長

TH/TIH

インチサイズミリサイズ色

半透明、黒、赤、青1/8,3/16,1/43/8,1/2,3/44,6,8,10,12

TH/TIH

ポリオレフィンチューブ


TPH

色

黒、白、赤、青、黄、緑4,6,8,10,12

TPHクリーン（ブロー）

フッ素樹脂製チューブ

最高使用温度：260℃（条件により異なります）

チューブ外径シリーズ

特長

TL/TIL

インチサイズミリサイズ色

半透明1/8,3/16,1/4,3/81/2,3/4,14,6,8,10,12,19

TL/TIL耐食

管継手／チューブ

11

信号入力により自動イオンバランス

50

25

0

－25

－50

イオンバランス値（V）

時間

ワーク近傍のイオンバランスを調整

ワーク

イオナイザ

パルスＤＣモード使用時、オートバランスセンサを使用する事によりイオンバランスを自動調整可能。

オートバランスセンサ近傍のイオンバランスを調整するため、イオナイザの設置高さや外乱の影響を受けません。

■オートバランスセンサによりイオンバランスを自動調整、調整工数を削減

●イオンバランス調整時のみ接続する事も可能

オートバランスセンサイオンバランスの状態を測定。

■フィードバックセンサによる高速除電 ●ワークの帯電電位をフィードバックセンサで読取り逆極性のイオンを連続放出する事により、除電速度を高速化

●除電後（イオンバランス:±30V以内）の運転モードを選択可能省エネ運転モード：除電後、イオン発生を停止、消費電力を削減。除電完了信号で空気圧バルブを制御する事により空気消費量の

削減も可能。注）空気圧バルブは別途必要になります。

連続除電運転モード：除電後、パルスDC動作に変化。30Ｖ以下でも0Vに近づくよう除電を継続。

除電時間sec

20

15

10

5

0 500 1000 1500 2000設置距離（L）mm

センサあり

センサなし

供給圧力：0.1MPa[1ノズルあたり7l/min（ANR）]センサ設置高さ：10mm

イオナイザ

ワーク

L

3

2

1

0

－1

－2

－3

41 2 3時間 sec

帯電量kV

センサあり

センサなし

センサあり

センサなし

－＋

－＋

－＋

運転停止

除電完了

イオン放出波形モード

センシングDC省エネ運転

センシングDC連続除電運転

パルスDC

＋帯電イメージ時間

帯電量

±30V以上では片極性のイオンを発生

±30V以下でパルスDC動作

フィードバックセンサ除電対象物の極性と帯電量を測定。

イオナイザ

フィードバックセンサによる高速除電（0.3秒）オートバランスセンサによりイオンバランスを自動調整電極針：タングステン、シリコン、ステンレス電極カートリッジ落下防止、電極針汚れ検知機能付

特長

イオン発生方式シリーズ

IZS31

電圧印加方式イオンバランス

±30VセンシングDCパルスDCDC

放電出力

±7000Vコロナ放電式

IZS31静電気

除電機器

12

フィルムの除電・埃の付着防止・皺等による巻取不良の防止フィルム成型品の除電・コンベアへの貼付防止・完成品の散らばり防止用途例

切換え周波数：Max60Hz●高速移動するワークに対し高密度でイオンを放出。

●近距離設置時の除電後表面電位変動幅が小さくなります。注）表面電位変動幅は材質等により変化します。

帯電電位をアナログ出力（センシングDCモード時）フィードバックセンサ使用時、計測したデータを１V～５Vで出力。PLC等に出力する事により静電気の管理ができます。

移動方向

周波数：高

＋電位

0

－電位

周波数：高

周波数：低

移動方向

周波数：低

PLC＋200V

帯電物

イオナイザ

フィードバックセンサ

ワーク帯電極性ワーク帯電電位LED＋ OK －

＋400V以上

＋100V～＋400V

＋30V～＋100V

±30V以内

－30V～－100V

－100V～－400V

－400V以上

■点灯

■4Hzで点滅

■消灯

■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■

プラス

除電完了

マイナス

表示機能を充実 1．帯電状態を“見える化”（センシングDCモード時） 2．イオンバランスの状態を見える化（パルスDC/オートバランスセンサ使用時）

任意の極性のイオンを連続放出可能（DCモード時）高速、高帯電電位ワークの除電や、帯電作業などに使用できます。

メンテナンス表示LED点灯

本体取付時

300、380、620、780、1100、1260、1500、1900、2300

460、540、700、860、940、1020、1180、1340、1420、1580、1660、1740、1820、1980、2060、2140、2220

標準

-X10

40mm

電極カートリッジ落下防止機能

電極針の汚れ検知機能信号入力により電極針の汚れを検知してメンテナンス出力信号を出力。作業工数を削減します。

3種類の電極針材質

オーダーメイド仕様

●ダブルアクションロック

●落下防止カバー電極カートリッジのより確実な落下防止が可能

●タングステン（イオンバランス:±30V） ●単結晶シリコン（イオンバランス:±30V 金属汚染を嫌う環境に対応）

●ステンレス（イオンバランス:±100V）

●標準外バー長さに対応：IZS31-��-X10

●電極カートリッジ40mmピッチ：-X15（対応長さ1260mm以下）注）エアパージは80mmピッチになります。

除電機器

13

設置距離と検出範囲 IZD10-110注1）測定電位±0.4kV時

設置距離（mm）

10

20

25注1）

30

40

50

検出範囲（mm）

45

85

100

120

150

180

IZD10-510 注2）測定電位±20kV時

設置距離（mm）

25

30

40

50注2）

60

70

75

検出範囲（mm）

100

120

150

180

205

225

235

M3ねじ（お客様にてご用意ください）

13 11

87.5

9

16.6

検出孔

外形寸法

センサヘッド

検出範囲

設置距離

検出孔

小型、取付け易い形状

設置距離

25～75mmIZD10-510（±20kV）

10～50mmIZD10-110（±0.4kV）

表面電位センサ／IZD10 Series

・検出距離補正・ピーク値、ボトム値表示・キーロック・ゼロアジャスト

SET

kVESD MONITOR

SET

kVESD MONITOR

SET

kVESD MONITOR

OUT1 OUT2OUT1 OUT2OUT1 OUT2

□30mm

（製品寸法）

パターンq

w

e

r

ON 赤緑赤緑

OFF 緑赤赤緑

縦横密着取付可能パネルカット工数の削減が可能

2色表示（赤／緑） 4パターンの表示色の設定が可能　

コネクタ接続

電源・出力接続用コネクタ

e-con コネクタセンサ接続用コネクタ

・エラー表示・SW出力チャタリング防止・接続センサ選択

機能

表面電位センサモニタ／IZE11 Series

IZE11

IZD10

表面電位センサ／モニタ

種類シリーズ

IZD10

IZE11

出力測定、設定電位

測定電位：±0.4kV（検出距離25mm時）±20 kV（検出距離50mm時）

設定最小単位：0.001kV

アナログ出力1～5V

スイッチ出力×2アナログ出力1～5V4～20mA

センサ

モニタ

IZD10/IZE11静電気

除電機器

14

クリーンエアモジュール（オーダーメイド）

減圧弁、ON/OFF弁、絞り弁、フロースイッチ、フィルタをユニット化。接流体部ノングリース。クリーンルーム組み付け、2重梱包。

特長

ろ過度（μm）シリーズ

LLB2

測定流量（l/min）管接続口径

ø10クリーンワンタッチ管継手

5～5010～100


0.05～0.40.01

LLB2クリーン（ブロー）

クリーンエアフィルタ

中空糸エレメント内蔵ろ過度 0.01μm（捕集効率99.99％）圧力降下 0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時）最高使用圧力 2.0MPa（20℃時）

特長

流量（l/min）シリーズ

SFD100

SFD200

SFD101

SFD102

ケース材質種類

ディスポーザブル型（エレメント交換不可）

カートリッジ型（エレメント交換可）

樹脂

樹脂

アルミ

ステンレス

100

500

100

100

SFDクリーン（ブロー）

フィルタ

15

汎用流体用高精度デジタル圧力スイッチ ISE50

設定圧力シリーズ

ISE50

特長

－0.1～1MPa

幅広い流体の圧力検出可能

空気用デジタルフロースイッチ PF2A

流量範囲（l/min）シリーズ

PF2A

特長

1～12000

明るく見易いLED表示・デジタル設定

水用デジタルフロースイッチ PF2W


PF2W

特長

0.5～100

明るく見易いLED表示・デジタル設定

2色表示式デジタルフロースイッチ

小型、軽量。ノングリース。流量調整弁一体化（省配管、省スペース）設定最小単位 0.01l/min

特長


PFM

繰り返し精度使用流体

0.2～100 空気、N2、Ar、CO2 ±1％F.S.以下

PFM

圧力スイッチ／流量センサ

16

流体制御用バルブ／フッ素樹脂製管継手

水・油・蒸気・空気用

直動形2ポートソレノイドバルブ

弁形式シリーズ

VX21/22/23

管接続口径オリフィス径 mmø

2～101/8,1/4,1/2,3/8N.C.／N.O.

VX

空気用直動形2ポートソレノイドバルブ


VCA20/30/40

管接続口径オリフィス径 mmø

3～10Rc1/4～3/4N.C.

VCA

プロセス制御最先端ニーズに応える PAT.

薬液用エアオペレートバルブ LV耐食


LVAねじ込み型

管接続口径注）オリフィス径 mmø

2～221/8～1N.C.／N.O.／C.O.

LVC継手一体型 4～22ミリ：ø4～ø25インチ：1/8～1N.C.／N.O.／C.O.

注）LVCは適用チューブ外径

フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング LQ1耐食

最高使用圧力（MPa）シリーズ

LQ1

使用温度（℃）

0～1500.7

フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティングフレアタイプ LQ3耐食

最高使用圧力（MPa）シリーズ

LQ3


0～150（ナット材質PVDF）0～200（ナット材質PFA）1.0

17

プロセスポンプ／温調機器

幅広い流体の移送･回収に適した小形ポンプ


型式シリーズ

PA3000PA5000

PAX1000

PB1000

作動方式吐出流量

l/min

1～20

5～45

0.1～12

1～24

0.5～10

0.008～2

0.008～0.5

自動運転型

エアオペレート型

脈動減衰器内蔵自動運転型

電磁弁内蔵型

エアオペレート型

PA3□□0

PA5□□0

PA3□13

PA5□13

PAX1□12

PB1011

PB1013

PA/PAX/PB防爆耐食

プロセスポンプ／フッ素樹脂タイプ

適用流体シリーズ

PA3000

PAP3000

使用温度（℃）管接続口径（Rc・G・NPT・NPTF）

PA：3/8めねじPAP：3/8めねじ、3/8",1/2"チューブ出し

0～100IPA、純水、

メチルエチルケトン次亜塩素酸ソーダ

ボディ材質

New PFA通常環境

クリーンルーム環境

PA/PAP防爆耐食


金属部品不使用（ノンメタル）、オールフッ素樹脂ポンプ（PA5000）特長

種類シリーズ

PAF3410

PAF5410

PAF3413

PAF5413

ボディ材質管接続種類

めねじチューブ出しナット付

NewPFA

吐出量（l/min）

1～20

5～45

1～15

5～38

自動運転

エアオペレート

PAF防爆耐食

サーモクーラ恒温水循環装置

半導体・工作機械・分析装置・食品・印刷・写真・成型機など幅広い業種に対応特長

温度安定性シリーズ

HRG

冷却能力冷媒

HFC407

設定温度

5～35℃1.1kW,2.3kW,4.8kW±1.0℃、±0.5℃

HRG温調

サーモチラー恒温液循環装置（高機能タイプ）

循環液種類：フッ素化液、エチレングリコール水溶液特長

温度安定性シリーズ

HRZ

冷却能力冷媒

HFC404A

設定温度

－20～40℃20～90℃1kW～8kW±0.3℃

HRZ温調

18

ステンレス製高真空L型バルブ

操作方式シリーズ

XMA

軸シール方式フランジサイズ

16,25,4050,63,80ベローズシール

弁形式

単動（N.C.）

材質

ボディ：SCS13（SUS304相当）

ベローズ：SUS316Lエアオペレート

XMA/XMC高真空

XMC 16,25,4050,63,80ベローズシール複動





XMD


25,4050,63,80

ベローズ・Oリングシール

弁形式

単動（N.C.）

材質



XMD高真空



XMH


16,25,40,50ベローズシール

弁形式

手動

材質


ベローズ：SUS316L手動

XMH高真空

ステンレス製高真空ストレート型バルブ


XYA


25,4050,63,80ベローズシール

弁形式

単動（N.C.）

材質



XYA高真空

高真空機器

19



XYC


25,4050,63,80ベローズシール

弁形式

複動

材質



XYC高真空



XYD


25,4050,63,80

ベローズ・Oリングシール

弁形式

単動（N.C.）

材質



XYD高真空



XYH


25,40,50ベローズシール

弁形式

手動

材質


ベローズ：SUS316L手動

XYH高真空

高真空ストレート電磁弁


XSA

使用流体配管サイズ

1/4B,3/8B

配管接続方式

VCR®用／スウェイジロック®用

ステンレス（SUS405相当）を腐食させないガス

常時閉型直動式2ポート電磁弁

XSA高真空

高真空機器

20

一般用工業フィルタ（ベッセルタイプ）

大流量エレメント縦形特長

接続口径シリーズ

FGA


MAX.80フランジJIS 10K 1B～6B

FGA


高圧小流量形特長


FGC


MAX.80フランジJISおよびANSI 1/2B～1B

FGC


小流量のろ過特長


FGD


MAX.80Rc3/8,1/2,3/4

FGD


中流量のろ過特長


FGE


MAX.80R1,2

FGE


21

Class M2.5（ISOクラス4） Class M3.5（ISOクラス5） Class M4.5（ISOクラス6） Class M5.5（ISOクラス7）

上表はイメージ図です。各機器の発塵グレードについてはSMCクリーンルーム用空気圧機器（CAT.02-23）をご参照ください。

クリーンシリーズクリーン環境に対応。クリーンルーム内への発塵を防止。

銅系、フッ素系、シリコン系材質の規制のある環境に対応。構造はクリーンシリーズと同等（グリース、包装形態はクリーンシリーズと異なります。）

銅・フッ素・シリコン系不可＋低発塵

特殊クリーンシリーズクリーンシリーズよりもクリーン度向上を追求。クリーン環境での使用を前提に構造、材質、組み付け環境等を考慮のうえ開発した製品シリーズです。

適用機種

グレード1

グレード2

グレード3

グレード4

適用機種

適用機種

SMCクリーンルーム用空気圧機器は発塵測定試験により、発塵レベルをグレード1～4に分類し、クリーンルームクラス清浄度で使い分けが可能です。

アクチュエータ（シリンダ、ロータリアクチュエータ、エアチャック）、方向制御機器、駆動制御機器、フィルタ・圧力制御機器、管継手・チューブ、圧縮空気清浄化機器、圧力スイッチ、クリーンガスフィルタ注）11-/12-/13-はアクチュエータにのみ適用。

アクチュエータ（シリンダ、ロータリアクチュエータ、エアチャック）、方向制御機器、駆動制御機器、圧力制御機器、管継手注）22-はアクチュエータにのみ適用。

クリーンロッドレスシリンダ、クリーンレギュレータ、クリーンワンタッチ管継手、クリーンチューブ、クリーンガスフィルタ

10-/11-/12-/13-- - - -シリーズシリーズ

21-/22-- -シリーズシリーズ

10-/11-/12-/13-シリーズ

21-/22-シリーズ

SMCクリ－ンル－ム用空気圧機器

クリ－ンル－ム用空気圧機器

22

グレード分類はSMC独自の表現方法でグレードNo.が小さい程、発塵量が少ないことを示します。（）内は、Fed.Std.209E-1992に基づく清浄度クラスの上限濃度を表わします。

注）ワンタッチ管継手10-KQ（ワンタッチ管継手内蔵電磁弁マニホールド、ワンタッチ管継手付スピードコントローラを含む）に関しては、内圧の変化によりコレットチャックがごくわずかに摺動します。これが発塵になる恐れがありますのでグレード1、グレード2領域での使用は避けてください。インサート管継手（KF）、ミニチュア管継手（M、MS）、クリーンワンタッチ管継手（KP、KPQ、KPG）、クリーンワンタッチ管継手付スピードコントローラ（AS-FPQ/FPG）は、その心配がありません。

SMCFed.Std.209ESI単位

グレード1 M1.5M2.5M3.5M4.5M5.5M6.5

グレード2グレード3グレード4

ISO 14644-1

ISOクラス3ISOクラス4ISOクラス5ISOクラス6ISOクラス7ISOクラス8

粒子濃度（個/m

3）

粒径（μm）

105

104

103

102

10

10.1 10.5

グレード4（Class M4.5相当）

グレード2（Class M2.5相当）グレード1（Class M1.5相当）

グレード3（Class M3.5相当）

発塵量のグレード分類

清浄度クラス

塵埃をクリーンルームへ持ち込みません。

•検査後クリーン環境内で高清浄度エアを使用してブロー（クリーンベンチ/Class M3.5）を行います。

•包装は帯電防止袋を使用し、二重包装にて出荷します。

10-/11-/12-/13-（クリーンシリーズ）クリーンルーム内組付品（特殊クリーンシリーズ）

クリーンブースClass M3.5

クリーンルームClass M5.5内でクリーンベンチClass M3.5

出荷

クリーンルームClass M6.5表面をアルコール掃き（油分除去）

クリーンルームClass100.000クリーンブースClass M3.5

表面をクリーンエアでブロー後内装（静電気対策）

クリーンルームClass M6.5外装（二重包装）

出荷

一般作業場組立・検査

二重包装

部品洗浄

組立・検査

21-/22-シリーズは通常包装（一般作業場組立・検査→梱包→出荷）となります。クリーン包装が必要な場合は別途ご連絡ください。

クリ－ンル－ム用空気圧機器

詳細はSMCクリーンルーム用空気圧機器（CAT.02-23）「発塵測定方法」前付23、「清浄度に関する規格の比較」前付24をご参照ください。

23

■非接触技術（空気層）により、ワークへの傷、汚れ防止(従来比較図)

■基板サイズに合せた自由なレール配置

■多孔質エレメント（SUS316L）をレール状にユニット化■クリーン環境への対応（クラス100）■レール表面に特種コーティングを施すことで、エアダウン時のワークへの傷、汚れの付着を低減（オプション）

従来SMC

接触箇所

移動用ローラ移動用ローラ

接触箇所

■浮上精度：±0.05mm■全高40%ダウン（従来比）

• 裏面凸部（エアタンク）を一体化

G4 G6 G8

非接触によりワークの「たわみ」「振動」を防止

4列

8列

11列

11

11

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

1 1

エレメント1列タイプ

エレメント2列タイプ

従来品内蔵型

37 22



浮上原理空気層

ワーク

オーダーメイド

24

オーダーメイド

■サイクロン方式により高吊上力：20N（供給圧力0.4MPa）■吸着面とワーク間距離：0.1mm以上

【動作原理】供給ポートから導入されたクリーンエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。（サイクロン効果）供給エアは吸着面とワークとの間から、大気に放出され、このエアとサイクロン効果によって生じる負圧が、ワーク重量とバランスし、そこに生じるエア層により非接触にてワークを吊上げます。

供給エア

エア層

ワーク

0

10

20

30

0 20 40 60 80 100 120 140消費流量 l/min（ANR）

ø60時

最大吊上力

N

P1=0.1MPa

P1=0.2MPa

P1=0.3MPa

P1=0.4MPa

P1=0.1MPa

P1=0.2MPa

P1=0.3MPa

P1=0.4MPa

孔有平板ø1(孔開率1％)

平板



非接触によりワークをチャッキング

25

バルブの長期連続通電について

SY3000/5000/7000/9000 SYJ3000/5000/7000

VQC1000/2000/4000VQ0000/1000/2000/4000 SQ1000/2000

VQZ1000/2000/3000

・消費電力 0.35W：DC24V，12V，6V，5V，3V0.1W（節電回路付）：DC24V，12V

・消費電力 0.5W（低ワットタイプ）：DC24V，12V0.3W（節電回路付）：DC24V，12V（SQに対応）

電磁弁の選定に際しては、消費電力以外の仕様についてもご確認ください。節電回路付および低ワットタイプは最高使用圧力、応答時間等が標準と異なります。詳細は各シリーズのカタログをご覧ください。

VQZ1000/2000/3000は0.1W（節電回路付）は設定ありません。

バルブを長期間連続的に通電すると、コイルの発熱による温度上昇で電磁弁の性能低下および寿命低下や近接する周辺機器に悪影響を与える場合があります。このため長期間連続的に通電する場合、または1日当りの延べ通電時間が非通電時間より長くなる場合には下記注意点および対策を施してください。（バルブの通電台数と温度上昇値については当社にお問合せください。）

■注意点

qバルブを制御盤内に取りつけた場合などは、バルブ仕様の温度範囲内（－10～50℃）になるように放熱の対策を行ってください。

w特にマニホールドで隣り合う3連以上を同時に長期連続通電する場合やデュアル3ポート弁においてA側とB側を同時に長期連続通電する場合は、温度上昇が大きくなりますのでご注意ください。

eラッチングタイプでは連続通電しないでください。ラッチングタイプはダブルソレノイドと同様に瞬時通電（20ms以上）で切換位置を保持するため連続通電は不要です。（ラッチングタイプで長期連続通電が必要な場合は当社にお問合せください。）

■対策

q消費電力の小さな電磁弁をお使いください。推奨機種を以下に示します。

w非通電時にエアがでるようなN.O.（ノーマルオープン）のエア回路への変更をご検討願います。

VQ/SQ/VQCシリーズ

SY/VQZシリーズ

技術資料

26

空気圧機器に用いられているゴム材（一般にNBRが多い）はオゾン濃度により亀裂が発生し、漏れや、作動不良などの不具合現象を引き起こす可能性があります。

●オゾンでどんな故障が起こるか？

写真1 ダイヤフラムの亀裂

写真2 チェックパッキンの亀裂写真3 主弁パッキンの亀裂

機器別故障内容

機種故障の部品、部位現象

・ブリード穴からの常時漏れ・調圧不能

・ブリード穴からの常時漏れ・調圧不能

・調整不能

・漏れ、作動不良

・漏れ、作動不良

ダイヤフラム

主弁シート部

チェック弁の弁シートゴムチェックパッキン

主弁パッキン

ガスケット

減圧弁

速度制御弁

電磁弁

シリンダ（アクチュエータ）

写真1

写真2

写真3

パッキン類には潤滑用グリースが塗布されているのでオゾン劣化は見られない。給油タイプでは油膜により同様の効果がある。無給油であってもグリース充填してあるので保護され劣化はない。


ゴム材質の変更等により、耐オゾン性を向上させた機器バリエーション

27

標準対応標準でオゾン対策済みです。低濃度オゾン（0.03ppm以下）のオゾン環境に対応可能です。

80-シリーズ（オーダーメイド）製品品番の先頭に80-を記入することでオゾン対策品として対応いたします。例）80-VK3140-5G-01

特注対応特注品として対応いたします。当社にご連絡ください。

1

2

3

●オゾン対策については以下の3種類の方法で対応しています。


技術資料

28

電磁弁

標準対応 80-シリーズ

特注対応

シリーズ名称SJ2000,3000SV1000,2000,3000,4000SZ3000SY3000,5000,7000,9000SYJ3000,5000,7000SX3000,5000,7000VQC1000,2000,4000SQ1000,2000VQ0000,1000,2000VQ4000VQ5000VQZ1000,2000,3000VQD1000V100SY100SY300,500SYJ300,500,700VQ100VQZ100,200,300VP4□50,4□70VP3145,3165,3185VPA3145,3165,3185SYA3000,5000,7000SYJA3000,5000,7000VPA4□50,4□70SYJA300,500,700VHVHS20～50ANAMC

4・5ポート電磁弁

3ポート電磁弁

大型5ポート電磁弁大型3ポート電磁弁

エアオペレートバルブ

ハンドバルブ残圧抜き3ポート

サイレンサ

※機種によっては特注対応になります。

※特定品番のみ、80-の品番で対応が可能

名称シリーズVK3000VZ1000,3000,5000VF1000,3000,5000VQ7-6,7-8VP7-6,7-8VPN-6,-8VFR2000～6000VK300VKF300VZ100,300,500VT307,317VT301,315,325VP300,500,700VG342VS3115,3110,3135,3145VFA3000,4000,5000VFRA3000,5000VTA301,315VPA300,500,700VM,VZM,VFMVR2110VR1210,1220VR3200,3201VR3100,3110VHS40□VHS50□VHS2000～4000VHS2500～4500VEX1VEX3


3ポート電磁弁


メカニカルバルブ

中継機器

残圧抜き3ポート

複合多機能バルブ

名称シリーズ


3ポート電磁弁


大型3ポート電磁弁フィンガバルブ複合多機能バルブ3ポート電磁弁

VFR2000・6000※

VFS1000・6000※

VS4□10VZ200,400VZA2000,4000VSA4□20,4□30,4□40VZA200,400VGA342VHKVEX5※

VKF300

1 2

3

29

真空／駆動制御機器

80-シリーズ名称シリーズ

真空エジェクタ

サクションフィルタ

スピードコントローラ

エキゾーストコントローラ排気絞り弁クイックエキゾーストバルブエアセービングバルブ

真空用ドレンセパレータ

ZXZUZQZMAZMZHZFCZFBZFAAMJASD□□□-F-TASD□□□-F-DASDAS□2□0-TAS□2□0-DAS□□□F（ワンタッチ）AS□□□1F-TAS□□□1F-DAS□□□1F-3AS□□□□MAS□□□□FMAS□□□□FGAS□□□□FEAS□□□□EAS□2□1FPQAS□2□1FPGAS（金属エルボタイプ）AS UniタイプASPASVASN2AQ□□□FASR,ASQ

名称シリーズ真空エジェクタ

チェックバルブ

スピードコントローラ

クイックエキゾーストバルブZRAQAKHAKBAKAS（大容量金属インライン型）AS（金属インライン型）

特注対応名称シリーズ

真空エジェクタ飛び出し防止システム真空エジェクタ真空パッド※

真空用シリンダ※

ZLASS（SSC）ZYY,ZYXZP,ZPT,ZPTXZCUK

※パッド材質により異なりますので、当社にご確認ください。

標準対応1 2

3

技術資料

30

補器／配管材

80-シリーズ

特注対応

シリーズ名称AF□□AFM□□AFD□□SFAR□□AR□□KARG□□ARG□□KAL□□AW□□AW□□KAWG□□AWG□□KAWM□□AWD□□AF800,900ARJAR□25,□35ARMARM5ARM10/11ACG□□ARP3000SRP1000ARBYJ5000,7000ARBQ4000,5000AMRAV5000VMGVEAG□G46EG49G46-□-□-SRA,BGP46GS40PPAAL800,900ALFALTALDALBKJKQ2,KQ2 UniKS,KXKMKFMH,D,L,LLKCKKKK13KKAKKHDMKDMKBKRKRM

フィルタ

クリーンガスフィルタ

レギュレータ

ルブリケータ

フィルタレギュレータ

フィルタ

レギュレータ

精密レギュレータエアコンビネーション

クリーンレギュレータ

スペーサ形減圧弁

MRユニット

ブローガン電空比例弁用アンプ

圧力計

ルブリケータ

潤滑機器

管継手

ソフトスタートアップバルブ

マニホールドレギュレータ

名称シリーズIR1000,2000,3000VEX1□30,1□33ITV0000ITV0000ITV2000,3000ITV209□VBAAV2000,3000,4000IRV1000,2000,3000

精密レギュレータ


増圧弁ソフトスタートアップバルブ真空レギュレータ

AUARX20VEF,VEPVER2000,4000VY1

ルブユニットレギュレータ

電空比例弁

電空ハイレグ弁

名称シリーズ

KGKAMST□TKS,TM,TMA,TK,TGVBAT05A,10A,20A,38AVBAT05S,10S,20S,38S

管継手

名称シリーズ

標準対応1

2

3

チューブ

増圧弁用エアタンク

31

検出機器／清浄化機器流体制御用機器

名称シリーズ

圧力スイッチ

エアキャッチセンサ

圧力スイッチ

フロースイッチ

アフタークーラ

エアタンク

ドライヤ

ドレンキャッチ

フィルタ

オートドレン

差圧計

ZSE30,ISE30ZSE40,ISE40PSE510PSE530PSE540PSE550PSE560ZSE4□D,ISE4□DZSE5B,ISE5BZSE6B,ISE6BZSE3,ISE3PS1000ZSE1,ISE1ZSE2,ISE2ZSP1IS1000IS3000ISE70,ISE75（H）ISE35ISAISA2IS2761ISGZSM1PF2AIFW5IF3PFM7HAAHAWATIDU,IDFIDIDGAMGAFFAMAMDAMHAMEAMFAD402,600ADM200ADH4000GD40-2-01

オプション対応※

名称シリーズ


プロセスバルブ

VDW10,20,30VDW200,300VX2VXD2VXP2VX3VXAVXZVXHVXFVNAVNBVNCVNHSGC

特注対応名称シリーズ

プロセスポンプPAPAXPB

※オプションでシール材質：フッ素ゴムを選定してください。

名称シリーズ


フッ素樹脂機器


VCAVCBVCLVCSVCWVQ20,30VXR2VNDLVLQTL,TILPA（P）33PAF

標準対応標準対応1 1

3

技術資料

32

初版LT 印刷LT 15800K

本社／〒101-0021東京都千代田区外神田4-14-1 秋葉原UDX15F東京営業所TEL.03-5207-8260 名古屋営業所TEL.052-461-3400 大阪営業所TEL.06-6459-5160

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このカタログは地球環境保護のため再生紙を使用しています。

代理店

○注このカタログの内容は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

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