Download - Vi he thong ngay01 - nh nam
![Page 1: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/1.jpg)
Vi hệ thốngVi hệ thống
1
GV: Nguy ễn Hoàng Nam(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)
18/08/2010
![Page 2: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/2.jpg)
Vi hệ thống
Nội dung môn học
1. Khái ni ệm chung về vi hệ thống1. Cấu chúc chung hệ thống ño lường2. Khái ni ệm vi hệ thống –ño lường3. Phân loại
2. Cáccôngnghệ cơ bản của vi hệ thống
Nguyễn Hoàng Nam2
2. Cáccôngnghệ cơ bản của vi hệ thống1. Công nghệ vi ñiện tử2. LIGA3. Vi cơ ñiện tử - MEMS4. Quangñiện tử - Optoelectronic5. Màng sinh học, thẩm thấu
Vi hệ thống
![Page 3: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/3.jpg)
Vi hệ thống
Nội dung môn học
3. Các vi hệ thống cụ thể1. Vi hệ thống biến ñổi năng lượng2. Vi hệ thống truyền tin3. Camera & máy ảnh số4. Vi cảm biến
Nguyễn Hoàng Nam3
4. Vi cảm biến5. Cảm biến y sinh – Biosensor6. Bộ chấp hành vi cơ7. Vi hệ thống khả lập – PSoC
Tài li ệu tham khảo1. Bài giảng vi hệ thống – Nguyễn Tr ọng Quế
2. Intelligent Sensor System – John Brignell
Vi hệ thống
![Page 4: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/4.jpg)
Vi hệ thống
§ Cái nhìn bao quát về vi hệ thống
Chức năng
-Biến đổi.
-Xử lý tín hiệu.
-Xử lý số liệu
Nguyễn Hoàng Nam4Vi hệ thống
Kết cấu
Công nghệ
-Kết cấu điện cơ
-Kết cấu quang điện
-Kết cấu hoá điện
-Kết cấu sinh học điện
-Công nghệ vi điện tử.
-Công nghệ vi gia công.
-Công nghệ nano.
-Công nghệ gia công hoá lý
-Xử lý số liệu
-Điều khiển
-Truyền tin.
![Page 5: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/5.jpg)
Vi hệ thống
Hệ thống cơ ñiện/ñiện tử vĩ mô Hệ thống vi cơ ñiện tử - MEMS
§ Ví dụ về vi hệ thống
Nguyễn Hoàng Nam5Vi hệ thống
Ô tô DENSO (TOYOTA) dài 4,8 mm (1/1000 kích thước thật), trang bị ñộngcơ mô-tơ kích thước 0,67 mm, quấn dây ñồng ñường kính 18 µm, hoạt ñộngtheo nguyên lý ñiện từ, có thể ñạt tốc ñộ 600 vòng/phút (∼ 5÷6 mm/s).
![Page 6: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/6.jpg)
Vi hệ thốngthướ
c10
0µm
)§ Ví dụ về vi hệ thống (tiếp)
Nguyễn Hoàng Nam6Vi hệ thống
Kíc
hthướ
(0.1
µm
–10
0µm
![Page 7: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/7.jpg)
Vi hệ thống
§ Ví dụ về vi hệ thống (tiếp)
Nguyễn Hoàng Nam7Vi hệ thống
Microswitch Micro-SAWSurface Acoustic Wave
Resonator
![Page 8: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/8.jpg)
Vi hệ thống
Nguyễn Hoàng Nam8Vi hệ thống
Bio-MEMS Micro-components Vi gương (projector…)
![Page 9: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/9.jpg)
Vi hệ thống
§ Ví dụ về vi hệ thống (tiếp)
Nguyễn Hoàng Nam9Vi hệ thống
![Page 10: Vi he thong ngay01 - nh nam](https://reader034.vdocuments.site/reader034/viewer/2022052600/5587e353d8b42a65068b4698/html5/thumbnails/10.jpg)
Vi hệ thống
Nguyễn Hoàng Nam10Vi hệ thống