Download - LCD 培訓教材 ( 一 )
LCD LCD 培訓教材培訓教材 (( 一一 ))
LCDLCD 基本構造基本構造 (( 其斷面如下其斷面如下圖圖 ))
塗佈光阻劑Photoresist Coa
ting顯 影
Developing蝕 刻
Etching剝 膜Stripe
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
塗 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
清 洗Clean清 洗
Clean
貼 片
Polarizer Assembly
LCD製程流程圖塗佈光阻劑
Photoresist Coating
顯 影Developing
蝕 刻Etching
剝 膜Stripe
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
撒 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
清 洗Clean
貼 片
Polarizer Assembly
清 洗Clean
顯 影Developing
蝕 刻Etching
剝 膜Stripe
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
撒 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
塗佈光阻劑Photoresist Coa
ting
塗佈光阻劑Photoresist Co
ating
貼 片
Polarizer Assembly
清 洗Clean
塗佈光阻劑Photoresist Coa
ting顯 影
Developing蝕 刻
Etching剝 膜Stripe
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
撒 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
曝 光Exposure
清 洗Clean
塗佈光阻劑Photoresist Coa
ting
蝕 刻Etching
剝 膜Stripe
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
撒 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
顯 影Developing
顯 影Developing
貼 片
Polarizer Assembly
清 洗Clean
塗佈光阻劑Photoresist Coa
ting顯 影
Developing剝 膜Stripe
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
撒 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
蝕 刻Etching
蝕 刻Etching
貼 片
Polarizer Assembly
清 洗Clean
塗佈光阻劑Photoresist Coa
ting顯 影
Developing蝕 刻
Etching
配向膜塗佈Polyimide Coati
ng灌 液
LC Injection
定 向Rubbing
印 框Screen Printi
ng
印 點Cross-over Pr
inting
預 烤Pre-Curing
撒 佈Spacer Spr
ay
組 合Glass Assem
bly
曝 光Exposure
剝 膜Stripe
剝 膜Stripe
貼 片
Polarizer Assembly
• 導電玻璃材料• 就是在普通玻璃 ( 不導電 ) 的一個膠面層鍍上透
明導電膜的玻璃 . 目前常用的導電玻璃是氧化銦 ,氧化錫玻璃 , 通常簡稱 ITO 玻璃 , 在生產過程中 ,每片玻璃都必經過万用電表檢 測 , 導電面為 ITO正面 , 不導電面無 ITO 面為背面 . 一、 ITO 玻璃的結构 , 如圖 1
• °
二、二、 LCDLCD 制造用的制造用的 ITOITO 導電玻璃規格導電玻璃規格
• 玻璃厚度 : 0.5mm 0.7mm 1.1mm• 玻璃面積 : 14" * 16" ( 或 355.6mm * 406.4mm)\
300*350• SiO2 阻擋層 : 200 ~ 500A° (1 A°= 10 –10 米 )• ITO 層厚 : 250 ~ 2000 A°• SiO2 絕緣層厚 : 500 ~ 1000 A° • ITO 導電玻璃的主要技術• 透光率 8%• 方塊電阻 R R 10Ω 、 15Ω 、 30 Ω 、 80 Ω 相對 R
越小越好• 若 R 10Ω/ 膜厚 1000 ~ 2000 A° R 100---300Ω/ 膜
厚 200---300 A
ITOITO 玻璃的技術要求玻璃的技術要求•平整度好 , 一般要求平整度 <0.5u
m/20mm•机械強度与化學抗蝕性能 ,ITO 層
對玻璃 (SiO2) 表面的粘附力要強 ,不易脫落 , 抗划傷強 .ITO 膜能抗強鹼 , 但易被酸腐蝕 .
•光刻膠性能的主要指標 .• 感光度 . 光刻膠對光敏感的性能 . • 所以說 , 對于固定光強的曝光机 , 光刻膠
的感光度越高 , 則曝光時間越短 , 反之 ,則差 .
• 分辯率 . 光刻精度的標志 . 它不僅与光刻膠本身有關 . 還与光刻工藝條件和操作技術等因素有關 .
• 抗蝕性 只是在針孔密度小 , 粘附性能良好的情況下 , 才能有較強的抗酸 . 鹼能力 .
接上接上
•粘附力 光刻膠与 ITO 面之間沾附的牢固程度也直接影響光刻后的精度 ,光刻膠的沾附力与光膠本身性質有關 . 而且与玻璃面有密切關系 . 平整 .清洁 . 干燥 . 無油質污染的表面有利于光刻膠的粘附 . 此外 . 光刻膠的配比 , 前烘條件 , 顯影液配方因素有關 .
• 穩定性 – 光刻膠在常溫和暗房內 ( 黃色光 ).光刻膠不發生暗反應 .
• 針 孔 – 視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低 , 它將直接影響光膠質量 .
• 粘度和含固率 – 光刻膠越濃 , 粘度就越大 ,涂膜就越厚 , 反之 . 就越薄 , 因此 . 我們常采用改變光膠濃度調節粘度 , 控制膜厚度 .例中 : 光刻細小圖表時 , 為了提高分辯率 ,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠 .
• 溫度高 . 固含率低 . 粘度變小 , 膜薄 , 反之則厚 .•
光刻膠的分類光刻膠的分類•負性膠 – 在襯底表面將得到与
光刻掩蓋版遮光圖形完全相反的圖形 ( 不适用 LCD 制造業 ).
•正性膠 – 這种膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的 , 而曝光后就變成可溶性 , 能与掩模遮光圖形相同的圖案 .
接上接上
•此膠分辨率高 ,邊緣整齊 ,邊緣陡度好 , 以及反刻時易對准等优點 ,較易顯影 , 常被 LCD 制造業采用 .
•正性膠經強紫外線照射后 , 發生光合反應 ,經光照后的生成物能溶解于弱鹼性水溶液中 , 而顯示出正圖形 .
主要不良影響:主要不良影響:工位 缺陷 不良原因 后制程產生不良
PR涂布
PR 臟點
1. 玻璃表面臟物2. 涂膠輪本身臟3. 環境太差(粒子濃度偏高)4.PR 被污染
針孔、開路
PR 空洞1. 玻璃表面有水汽和油污2. 涂膠輪上有臟物和凸點 針孔、開路
亮線1. 涂膠輪浸潤不夠2. 玻璃清洗不干凈3. 水汽未干
針孔、開路
PR 不均 ( 厚薄不均 )
1. 涂膠輪與勻均膠輪間的間隙不一致2. 玻璃表面局部有水汽、油污)3. 膠的粘度大小直接與 PR 膜的厚薄有關
開路與短路,對下一工序造成顯影、蝕刻工位的不足、過度
膠泡
1.PR 中本身有汽泡2. 攪拌中產生汽泡3. 涂膠輪上有亮線 短路、針孔
主要不良影響:主要不良影響:工位 缺陷 不良原因 后制程產生不良
顯影 工 位
顯影不足
A.噴淋支數少B.蝕刻液溫度低於工藝要求C.濃度低於工藝要求D.傳送速度太快
短路、字體變形
顯影過度A、噴淋太支數太多B、蝕度溫度、濃度高出工藝要求C、傳送太慢
開路、針孔
多餘物A、模板本身多餘物B、模板上有臟物C、環境太差(粒子濃度偏高)
字體變形、多點
針孔 A.模板上本身有針孔、臟物B.涂膠線臟點、空洞、連線
針孔
缺口A.模板上本身有缺口、臟物B.涂膠臟點空洞、連線 字體變形、缺口
短路
A.模板刮花、連線、臟物B.曝光機內環境太臟C.顯影、曝光不足D.顯影水洗衝洗不干凈
刮花 A 、模板刮花; B 、機臺運行不正常、刮花 開路
斷線 A 、模板本身臟物; B、機臺刮花、顯影、曝光過度 開路
玻璃寸法 A 、真空不穩定; B、調試不當 直接影響 PI、絲印定位不準
主要不良影響:主要不良影響:工位 缺陷 不良原因 后制程產生不良
蝕刻
針孔、缺口、斷線、短路、
多餘物同顯影 同顯影
蝕刻不足1 、噴淋支數太少2 、蝕刻溫度、濃度太低3 、傳送速度太快
短路、多餘物
蝕刻過度1 、噴淋支數太多2 、蝕刻溫度、濃度太高3 、傳送速度太快
開路
主要不良影響:主要不良影響:工位 缺陷 不良原因 后制程產生不良
剝膜
殘留 PR1 .剝膜濃太低2 .傳送太快3 .堅膜溫度過高
PI 臟點
臟物1 . DI 水太臟2 .濾芯效果太差3 .機臺內未定期清洗
PI 臟點
水未干1 .吹干將置風量太小2 .烘干溫度太低
PI 空洞、 PI 涂覆不干
共同共同進步進步