�� �� !"
�� !" �� !"
GC�� !
�� !"#
�� !"# �� !"#$%&'()*'+,-./
�� !"#$%�� !"#$%&'
�� �� !" 99.99%�
�� !"# 99.999%��
�� !"#$%&'()
�� !"#$%
� �� !"#$%&'�� !"#$%&'"#()*'+,-��.&/'*01
���� !"#$%&'()*+�� !"#$%&'
� �� ECD�� !"#$%&'()*+#,-�� !"#$%&'�� ��
�� !"#$%&!'�� !"#$%&'()*+,-.
� �� !"#$% !&'()*+,-.�� !"#$%&'�� �� !"#
�� !"#$%&'()*+!,-�� !"#
� � FTD ���� !"#$%&"'
� �� �� !" �� !"�#��� !"#$%&'(
��� !"#$ 100�� �� !"#
��� !"�� !"#$%&
��� !"#
� �� ���
(�� !"#$%&'()*+,)
��� !"
(�� !"#$%&'()*+)
�� !"#$%&'�� !"#$%&'()�
�� !"#��
��
��
�� !"#$%& 50�� !"�� !"#$%
��
�� !"#$%&'()*�� !"
�� !"#$%&
� �� !"#$%&
�� !"#$%&'(�� !"#$%&'()*+,
�� !"#$%&
�� !"#$%�� !"#$%&'�� !"#$%&
�� �� !"#$%&'�� !"#$%&'(��
���� !"�� !"#$%&'
(1) �� !"#$%&�� 10�15��
�� !"#$%�� 2���� !"#$"%&'
(2) �� !"#$%&'()*+,
�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%
��
(3) �� !"#$%&'(�)*
(4) �� !� 130�150�� !"#$% 2��
��
��
�� NM�NR ��
� �� �� !" �� !"�#�� !"#$%&'()*
� �� !"#$%&
� �� !"�� !"#$%&
� �� !"#
� �� ��� !"#$
(�� !"#�� !"#$%&')
��� !"#$
(�� !"#$%&'()*)
��� !"#$%&
(�� !"#$%&'()*+,-./)
��� !"#$%&'�� !"#$
(�� !"#$%&'()�� !"#$%&)
��
��
�� !"#$%&50�� !"�� !"#$%&
��
�� !"#$%&'()*�� !"
�� !"#$%&'�� !"#$%&'()�
�� !"#��
�� !"#$%&'
�� !"#$%
�
�� �� !
�� !"#$%
�� !"#$ �� !
3. �� !"#$%&'(
�� !"#$%&'()*+,�� !"�� !"#$
�� �� !"#$%&'()*
� �� !"#$%&
�� �� !"#$%&'()*+,-./�� !"#$%
�� �� !"#$%&
1. �� !"#$%&'()*
�� !"#$%&'
�� !"#$%
2. �� !"#$%&'()*+,
�� !"#$�� !�� !"�� !"#$%&
��
�� !
��
�� !"
�� !"
�� !"#
�� !"
DMCS(�� !"#$)��
�� : �� !"#$"%&'()*�� !
�� �� �� !
�� : �� !"#$%&'()*+,-.
�� !"��
DMCS(�� !"#$)��
(1) �� !"�� !"#$%&'()*+�� !5%DMCS/n�
�� !"#$%&'(
(2) �� !"#$%&'()�� !�� !"#$ 2�3����
�� !"#$%&'()
(3) �� !"#$�� !�� !"#$%&'()*+,
�� !
�� !"�GC17AAFW+FPD17 �� �He 175kPa 2.2ml/min
�� �CBP5-M25-025 H2 �150kPa
INJ.Temp �280� �� �110kPa
DET.Temp �280� �� �He 120kPa 50ml/min
COL.Temp�10�(1min)-20�/min � 180�-3�/min � 195�-10�/min � 260�
�� ��� (1min)
- 0.0
- 2.0
- 4.0
- 6.0
- 8.0
- 10.0
- 12.0
- 14.0
- 16.0
- 18.0
- 0.0
- 2.0
- 4.0
- 6.0
- 8.0
- 10.0
- 12.0
- 14.0
- 16.0
- 18.0
Fig 1�� !"
DDVP 1.0ppm
�� 0.5ppm
IBP 0.8ppm
MEP 0.3ppm
� �� 0.8ppm
EPN 0.6ppm
�� !
Fig 2DMCS�� !
DDVP
�� IBP
MEP
� ��
EPN
DDVP
�� IBP
EPN
MEP
� ��
� �� !"#$%&
� �� �� !" �� !"�#�� !"#$%&
�� !
� �� !"#$%&
� �� !"#$%&'(
��� !"#$%&'(
��
��
�� !(�� !�� !"#�� )�� !"#
50� �� !�� !"��
�� !"#$ %&'(�� !"
�� !"#$%&'�� !"#$%!&'��
�� !��
�� !
(FID ��) �� !
�� !"#
�� !
�� !
(�� !)
�� !"#$%&'
2. �� !"#$% �� !"#$� 400�� 2�3��
� �� � ��
�� !"#�� �!"#$%&'()
� �� !"#
�� !"#$%&'()*+,-./�� !"#
�� ��� !"�� !"#$%&'()*+
�� !"#$%&'(FID�� !"#�� !"#
��
� �� !"#$
�� !"#$%&'()*+�� !"#$%�� !
��
�� !"#$%�� !"#$%&'(�� !��
�� �� !"#$%&'
1. �� !"#$%& �� !"#$%&'()*�� ! 1�2��
�� �� !"#$%�� !"#$
�� !
`çäìã
åW`_mNJj
ORJMOR
`~êêáÉêW=NRMâé~
péäáí=o~íáçW==NWNMM
fkgKqÉãéK=W=OMM�
I=abqKqÉãéKWOUM�
`çäìã
åqÉãéK=WTM�
EäãáåFJOM�
LãáåJORM�
EOãáåF
abqK^qqbkK=W=Q=I=m^
`^qqbkK=W=R
�� !"#$%
�� !"#
�� !"#
1. �� !"#$%&'��()"#*+
�� !"#$%&'(�� !"#$%&'
2. �� !"#$�� !"#$%&'(
�� !"#$%�99.99%��
�� !"#$%&'()*+,�
�� !"#$%GC�� !
3. �� !"#$%&'()*+
�� !"#$%&'(
�� !"#$%&'
�� !"#$%�� !"�� !"#$%
�� !"#$(�� !)
� �� !"#$%&'($)*
1. �� !
�� !"#�$%&'(� )�� !"#$%&'((�� 1�2�� �
�� !"#$%&'�()*+,-./)
(��)�� �� !"#$%&'(�� !"#$%&
2. �� !"#$%&'(
�� !"#$%&'(�� !"#$%&'(�� !"#$ 30�50cm�(�
�� !"#"$%&'(�)*+",-.)
3. �� !"
�� !"#$%&'()�� !"#$%&'((�� !"#$%�� !"#
�� !"#� ml�� !�� �� )
(��)�� !"#$%&'()*+90%��� !"#$%&'()*+,�� !
�� !"#$%&'()*)
TCD��
TCD�� !"#$%&'()*+,-.�� !"#$%&�� !"#TCD�
�� !"#$%&'()%*+,-./0%12345�� TCD�� !"#$%
�� �� !"
�� !"#$%&'()*+,-.�� !"#$�� !"#$%�� !"
�� �� !"#$%&'!()*+,-�� !"#$�� !"#$%&'()
�� !"#$%&'()*+,-�TCD�� !"#$TCD�� !"#$%&'
�� !"�� !"#$%&'()*+,�� !"#$�� TCD�� !"#$
�� !"#�� !"#�� !"#$%&'()*+,-./01234�� !
�� !"�#$%&'()�� !"#$%&'()�� !"#$%&'()*+
�� !"#�� !"
�� !"#$�� !"#$%&
CURRENT
� �� He
� �� H2
� �� N2
� �� Ar
mA
200
100
0100 200 300 400
TCD TEMP�
�
�
�
�
FID�� �� !"#$%(FID)��
�� !"#$%&'()*�� �� !"# $�� !"#$%&'()*
�� !"#(�� )�� !"#$�� !"#$%&'()*+,-./0
�� !"#$%�� !"#$%&'()*+�� !FID�� !"#$%&
���� !"#$%&'( !)*+,-.�� !"#$%&'()*+,��
��
FID�� !"#
FID�� !"#$%��&' ()*+,-0.3φ�� !"#$%�� !"0.
3φ�� !"#$%&'()�� !"#$%&'()*+,-./0�� !"��
�� !"#$%&'�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%&'
�� !"#$%&�� !�� 0.3φ�� !"#$%&'
� �� ASSY
� �� !
� �� !
�� �� !"#$%&'()*�� !"#$%&'FID�� !"#$%&
�� !�� !"#$%&'()*+
�� 0.3φ�� !"#$%��
�� !
�� !"#
��
� FID�� !"
FID��� !"#$%&'()�� !"#$�� !"#$%�� !"#$
�� !"#$%&'(
� FID��
� �� !"#$%& 3 ���� !"# 50kpa�� ! 150kpa��
� �� �� !"#$%&'( 3 ��
� �� !"#$% 30 ��1�� !�� !"#$%&
�� !"#$%&1�� !"#$%&�� FID�� !"#$�� !"#$
�� �� !"#$%&'()*+,-./01�� !�� !"#$%&
�� ��FID�� !"#$�� !"#$%&'(�� !"#$%&'()
�� !"#$
ECD�� !"#$%&'()*+,-.(/)0%&12�� !"#$%&
�� !"#
� �� !"#$
��(�� !:700�800kpa)
� �(��) �� 99.999% ��
� �(��) �� 99.999% ��
� � + �� (5%) (��)
�� (�� !:300�800kpa)
� �(��) �� 99.999% ��
� � + �� (5%) (��)
� �� !"#
��(�� !:700�800kpa)
� �(��)�� 99.999% ��
� � + �� (5%) (��)
�� (�� !:300�800kpa)
� �(��) �� 99.999% ��
� � + �� (5%) (��)
�� !"#
�� !"#$%&'(�)�� !"#$%&'()*+,-."/�� !"
�� !"#$%&'()*
<��> �� ECD�� !�� !"#$%!&!"' 20�50��
���� !"
<��> 1.�� !"#$%�&'�� !"#$%&�� �!"��
�� !"#�� !"#$%(� 25�) �
2.�� !"#(�FID�)�� ECD�� !"�� !"#$
�� !"#$�� !"#�� !"#$%&�� !"
ECD��
����������������������������������������������������
III ��
�� !"#$% (1) �� !"#$%&'()*+(Clean up)����
�� !"
(2) �� !"#$%&'$()*+,-.%/01234
�� !"#�� !"#$%&'()*
IV�� !"#$
�� !"#$�� !"#$%&�� !"#$%&'()*+#,-./012
�� !"#$%&
�� !"#$%&'()�� !"#$%&�� !"#$%�� !"#$%&
�� !
�� ! 1. �� !"#$%&'�� !"#$%&'(
2. ECD�� !"�� ECD�� !"#$%��
�� �!"�� !�� !"#$
�� !"#$
ECD�� !"
��
�� 1 �� !"#$%
�� 1
�� !
�� !"#$ 10 ��
�� !
�� !"#$ 10 ��
ECD��
�ECD�� !"#$%&'(�� !"#$�� !"#$
���� !"#$%�� !"#$%&�� !"#$
�� �� !"#$�� !"#�� �� !(�)��
���� !"
�� !"#�� ECD�� !
(1) �� !"#�� !"#�� !"#$%&'(
(2) �� !"#$%�� !"#$% &
(3) �� �� !" 1(=101)��� !"
(4) �� �� !" 0(=100)���
�� !" 1�� !"#$%
(5) �� !"#$%&'(�� !
��(4)�� !"#$%&�� !
�� !"#�� !
�� �� !"#$%�� !"
�� !�� !"#$%&��
�� !"
ECD�� !
�� (nA) �� (mv)
2.0
1.0
0.5
0.2
0.1
0.05
160
UM40
16
8
4
�a��� ! �b���
ECD�� !
�� ECD�� !"#$%&'()*+�
1. �� !"#$%& ECD�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%
�� !�� �� !"#$%20�30�� !"#$%
�� ECD��
2. �� !"#$% � 1�� �� ECD�� !"#�� !"#$%!
�� !
�� !"#$%&'�� !"#$%&
3. �� !"#$% �� ECD�� !"#�� !"#$%&'()*�
���� !�� !ECD�� �� !ECD�� !
��
4. �� !"#$%&'! � 3�� !"�� !"#$�� !"#�� !��
�� !"#$�� �� !"#$%&
5. �� !"#$!%&' ECD�� !�� !�� !"#$% &'"()�
���� !"#$%&'�� !"#�� !"#$%�
�� !"�� !"#$%&'()*+,-
6. ECD�� !"#$ ECD�� !"#$%& 350�� !�� !"#$%&
�� �� !"#$%&
�� !"#$%&'�� !"#�� !"#!$%&
�� !
�� !"��� !"#
�� !��� !"#$%� 30�
�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%&'
�� ECD�� !"#
�ECD�� !"#$
�
7.�� !"#$
�� ! "#
��ECD�� !��� !"#$%�� !
�� �!"#$%&'()�� !"#$%
�� !"#�� ECD�� �� !"#�
�� !"#$�� !"#$%&�� ��
�� !�� !"#$
�� !"#$!%!"&'(�� !"#$
�� !"
�� !"#$%&#'#$(120�50�� !
�� ECD�� !"#$%350���� !"
8.�� !"#��
��
�� !"#�� !"#$%&'
1. �� !"#$%& �� !"#
�� !"#$%&'(�� �� !
2. � �� !"�� !"#$%
�� !"#$%&' ECD��
�� !"#$%�� !"#$%&'(�� �� !
�� !"#�� !"#$%&'()
� �� !" �� !"#$%�� !"�� FQ � 0.2mm1D � 2m,
P/N 221-25964-02���
� �� !" �� !MF-MF�� !"P/N 201-4855-**�**�� !"
�� 30cm �� -30�-1m � -00��� !
3. �� ! �� �! �340��� !"
�� !"#$�340�
�� !" �340�
�� ! �� !"#$%�� �!"�� !"#$%&'()*
30��
4. �� !" �� �� !"#$%&'()*
�� ! �� !FQ��0.2mm/DX2m����� !"#$!"
�� !�� !"#$%&'()*
5. �� !"# �� 1��� ! 1nA
�� !"#�� !"#�� !"#$
6.�� ! ��
�� !"#�� ECD�� !"#$
�� !"
F T D � � ! " # $ % & ' ( ! ) * +� � ! " # $ % &� �
� � ! " # $ % &( � � ! " # $ % & ' ()
�� !"#$%&�� !"#$
� �� (�� !:700�800kpa)
�(��) �� 99.999% ��
�(��) �� 99.999% ��
<��> �� !"#$%�� !"�#$%&'()*�
���� !"#$�� !"�#�� FTD��
��
� �� (�� !:300�800kpa)
�(��) �� 99.999% ��
�(��) �� 99.999% ��
<��> �� !"#$%�� !"#$�� FTD��
��
� � (�� !:300�500kpa)
�� �� 99.999% ��
� �� (�� !:300�500kpa)
�� !(�� !")
<��> �� !"#$%&'((�� !)��� !"#$
�� !"#$�� !"#$%&#'()*
�� !"#$
FTD��
FTD�� !"#$�� !"#$%&'()�� !"#$%��
�� !"#$%&'()*+,FID�� �� !"#$%&'()*
�� !
�� !"#
�� !
��
��
�� !
��
��
�� !
�� !"#
��
H2+��
FID ��
�� !"#$%& �� !"#$%&�� !"#$%&
� �� !"#$%&'()*+,-
� �� !�� !"#$%&'()*+#$��
�� !"
� �� �� !"#$%&'�� !"#$%
� �� �� !"#$%&�� !"#$%
� �� !"#$%&'()"#*+�� !"#
�� !�� !�� ��
�� ! �� !"#$%&'()�� !"#$%&'(��
�� !"#$%&'�� !"
�� !"#
1� �� !"#$%&'$()�� !"#$%&'()*+,
2��� !"#$%&'�� !"#$%&�� XE � 60�OV � 25��
3� �� !"#$%&'()*+,�� !"#$%�� !"250��
�� �� !"#$%&
�� ! �� !"#$%&�� !"#$%!&!"' 30��
���� !"
�� ! �� !"#$%&'()*+�� !"#$% ���
�� !"#$%&'()
�� ! �� !"�#$%&�� !"#$%&'(
�� !"#$
�� !"
�� !"#$%&'()*�� !"#$%&'()*+
�� !"#$%�� !"#$%&'()�� !"#$%&'(
�� !"#$%��� !"#$%&�� �� !"#$
�� !"#
�� !"#$%&' !"(�� !"#$%&'()*+�� !"
���� !"#$� 20�� !"#$%&
�� !"#$
�� !"#
�� !"#$ �� !
FPD��
FPD�FID�� !"#�$%&'()�� !"#$%&'FPD��
�� !"#$%�&'()*%�+,-./�� !"#$%&'()
���� !"#�� !"#$%&'()*�� �� !"#$%&�
�� !"#$%&'(
� �� � �� � ��
� �� � �� !" � ��
� 6���� !"#$%&'()*+,-./0�� !"#$%��
�� !"#$%&'()
��
�
��
��
��
��
��
��
H2+��
�� !"#
�� �� �� !"
��
�� !"#
1��� !"#$%
�� !
� 8.1 FID�� ! FPD
FID��
FPD
�� !"#$%&'()*+,-.*/012�� FID
�� !"#$%&'"()�� !"#$%&'#()
�� 8.1�� �� !"#$%&"'FPD���� !
�� !"#$�� �� !"#$%&'
�� !"#$%&'FPD�� !"#$#%&�� !
�� !�� 8.2�
�� 8.1�� � FID�� ! FPD�� !"#$
�� !"#$% FPD�� FPD�� !"#$%��
�� !"#$�� !"#$%&'()*+,-��
�� �� !"#$%&'()*+,�� !"#$%
�� !"#$%&'()
�� !"#$%&'(�FPD�� !"#$%&��
�� !"#FID��� !"�� !"FPD�� !"
FID�� !
2. FID��
FID��
FPD
� 8.2�� !"#$%&'(
�� !"FID�� !"#$%&'"()ppm�� !
���� 8.1�� FPD�� !"#$%��&'($)
�� !"#$%
��� �� !"#$%�� !"#$%&'()*+,-./
���� !"#$% 8.3�� !"#�� !"#$%
�� !"#�� !"#$%&'()*+,-./0,
��
FID��
FPD
�� !"#$
�� !"#$%&'!()*+�� !"#$%&'()
�� !"#$%&'()"*+,-+"./012
�GC�� !"#$%&'(10µL�� !"#$�� !"#!$%&'0.5�
3µµµµµL�� !"�� !"#$%&�'()*+%,-�� !"#$%&'()��
�� !"#�� !"#$%&'()�� !"#$%�&'()*+�� ��
�� !"#$%&'µµµµµL�� !"#�� !"#$%&'()*#+,&-./01
�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%
�� !"#$%&'(�� �� !"#$%&'�� �� !"#$% &'(
�� !"#$%&'()*+,-./�� !"#$%
�� !"#$%&'()*+,-.�� !"#$%&�� !"#$%&'(
��� !"#$%&'�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$%&'()
�� !"#$%&'()*+
�� !"#$%&'�� !"#$%&�� !"#$%&'()�� ��
�� !"#$%&'()*+�� !"#$%&'()*�� !"#$%&'()
3�5���� !"#$%&'( 10�� !�� !"#$%&�� !"#$%&
�� !"#�� !"�� !"#$%&'()*+,-�� !"#$�� !"
�� !"#�� !"#$%&'�� !"#$�
� �� �� !"#$%&'(�� !"#$%�� !"#$%&'()
�� !"�� !"#$%&'(� )*+,-.
� �� !"#$%&'()*+,-
� ��� !"#$%&'
�� !"#