EBARA Germany GmbH IndustriestraBe 15 6 0-63517 Rodenbach Tel.: 0 61 84/95 82-0

Die EBARA Corporation Tokyo verstarkt ihre Europaprasenz. Zum 01.08.1994 wurde eine ei- gene Tochtergesellschaft in Deutschland in der Nahe von Frankfurt/M rnit Sitz im hessi- schen Rodenbach gegrundet. Die Geschaftsfuhrung der EBARA Deutschland GmbH hat Hen Dr. Alfred Hauff uber- nommen. Die EBARA Corporation hat ih- ren Stammsitz in Tokio. EBARA ist ein international tatiges Un- ternehmen mit einem Umsatz von fast 7 Milliarden DM. Die Hauptaktivitaten liegen auf den Gebieten Umwelttechnik, bei Hydrauliksystemen und bei Prikisionsgeraten und -ma- schinen fur die Halbleiterindu- strie. EBARA ist u.a. der welt- groOte Hersteller von Pumpen. Gleichzeitig wird das zweite wichtige Segment Jusrijstun- gen fur die Halbleitertechnik" fur Gesamt-Europa organisiert. EBARA reagiert damit auf die ansteigenden Halbleiteraktivi- taten in Europa fur die nachste Generation 64 bzw. 256 Mbyte Chips. Herr Wilhelm Jung, Di- PI.-lng., ist General-Manager mit europaweiter Verantwor- tung rnit Sitz in Rodenbach. Er koordiniert die Aktivitaten der Vertriebs- und Serviceburos in Livingston, GB, Amsterdam, NL sowie Dresden und Roden- bach bei Frankfurt. Weitere Vertriebs- und Servicestellen sind in Europa in Planung und werden in den nachsten Wo- chen eroffnet. Einer der wichtigsten Produkte dieses Arbeitsgebietes sind die trockenlaufenden Pumpen fur die Halbleiterindustrie. EBARA nimmt mit weltweit 13 000 gelieferten Pumpen eine Weltmarktposition ein. Die Pro- duktreihe der trockenlaufen- den Vakuumpumpen enthalt

F a : 0 61 84/95 82-40

Gerate mit Pumpleistungen von 700/800 I/min. bis 15 OOO/ 18 000 Vmin. Alle Pumpen sind mit modernen Monitoring-Sy- stemen, die den gesamten Be- trieb uberwachen und anzei- gen, ausgestattet. Ozon- und Reinstwassergeneratoren so- wie Anlagen fur CMP (Chemi- cal-Mechanical-Polishing) run- den das Lieferprogramm von EBARA ab.

American Vacuum Society 120 Wall Street, 32nd Floor New York, New York 10005

The American Vacuum Society (AVS) is pleased to announce the election of Dr. William D. Sproul as its 1995 President- Elect - effective in January 1995. Dr. Sproul is a veteran to the vacuum technology communi- ty with more than 21 years of experience in wear-resistant coatings. He currently man- ages the Vapor Deposition Group at BIRL - Northwestern University's industrial research laboratory in Evanston, Illinois - where he is working on the development and application of superhard polycrystalline superlattice and carbon nitride coatings and on the promotion of hard coatings for enhancing the life of commonly engi- neered components such as gears and bearings. Prior to joining BIRL, Dr. Sproul was Senior Research Engineer at BorgWarner Corporation in Des Plaines, Illinois, and a Re- search Engineer at the Ameri- can Can Company in Barring- ton, Illinois. Dr. Sproul received his Ph.D. in materials science and engineering from Brown University in Providence, Rhode Island, after serving four years as an officer in the United States Navy. Dr. Sproul has been an active member of the AVS since 1975

2 12/2 48-02 00

and has served the AVS at the local, divisional, national, and international levels. Currently, he is the AVS Vacuum Metallur- gy Division (VMD) Representa- tive to the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA) and is Chair for the IUVSTA VMD.

VSI GmbH BahnhofstraBe 12 0-65307 Bad Schwalbach Tel.: 0 61 24/70 83-0 Fa: 0 61 24/70 83 33 Der Erfolg der in Deutschland entwickelten und hergestellten VSI-Produkte ErLEED, ErEELS 31 und DELTA 0.5 so- wie die steigende Akzeptanz der KRATOS XPS/AES/SAM- Gerate machen eine Erweite- rung der Firma notwendig. Das neue Domizil in Bad Schwal- bach, nur wenige Kilometer von Wiesbaden entfernt, bietet optimale Bedingungen fur die geanderte Aufgabenstellung, namlich neben Vertrieb und Service auch Fertigung und Produktentwicklung durchzu- fuhren.

Atomika Instruments GmbH Bruckmann-Ring 40 D-85764 OberschleiBheim Tel.: 0 89/31 58 91 -0 lhre Priisenz im Markt fur ana- lytische Systeme fur die Halb- leiterindustrie in Asien hat die Atomika Instruments GmbH, OberschleiOheim, durch neue Distributionspartner im asia- tisch-pazifischen Raum ausge- baut. Fur den Vertrieb der SIMS (Sekundarionen-Massenspek- trometrie) und der TXRF (Total- reflexions-Rontgenstrahl-Fluo- reszenz-Spektrometrie) Syste- me des Unternehmens in Sin- gapur und Malaysia wurde das fuhrende Handelshaus Singa- purs fur Halbleiterbedarf ESI Excellent Scientific Instru- ments gewonnen. Den korea- nischen Markt sol1 in Zukunft Oyang, Seoul, bedienen, die ebenfalls nur fuhrende Herstel- ler wie Amray und Noran (beide USA) im Angebot haben. Neu ist ebenfalls ein Distributions- abkommen fur den australi- schen Markt; hier wurde ein Vertrag mit der Firma HiTech in Melbourne geschlossen.

American Vacuum Society 120 Wall Street, 32nd Floor New York, New York 10005

The American Vacuum Society (AVS) announces the Call for Papers for its 42nd National Symposium, being held Octo- ber 16-20, 1995, in Minneapo- lis, Minnesota, at the Minnea- polis Convention Center. Ab- stracts of papers are due by May 5, 1995. Papers are being solicited as follows:

Three New Topical Conferen- ces 0 Flat Panel Displays. 0 Quantitative Surface Analy-

0 Magnetic Surfaces and Na-

2 12/2 48-02 00

sis.

nostructures.

Eight Traditional Technical Divisions 0 Applied Surface Science. 0 Nanometer-Scale Science

and Technology. 0 Surface Science. 0 Vacuum Metallurgy. 0 Electronic Materials and

0 Plasma Science and Tech-

0 Thin Film. 0 Vacuum Technology.

Two New Technical Groups 0 Manufacturing Science and

0 Biomaterial Interfaces. Focus areas of the Symposium will include: nucleation and growth; sensors, diagnostics, and process control; and other areas currently being devel- oped. For a copy of the Call for Papers covering submission details, contact Angela Mulli- gan, AVS.

Processing.

nology.

Technology.

SURFACE - Germany Rheinstr. 7 0-41836 Hiickelhoven Tel.: 0 24 33/9703 05 F a : 0 24 33/9 7 03 02 Seit dem 1.10.94 ist SURFACE unter einer neuen Anschrift zu erreichen. Man blieb Huckelho- ven treu und hat den Betrieb

6 Vakuurn in Forschung und Praxis (1 995) Nr. 1

vom Schubertweg in die Rheinstr. 7 verlegt. Mit dem Umzug wurde gleich- zeitig auch der Schritt in Rich- tung Produktion von UHV-Sy- stemen getan, bei dem ein er- fahrenes Team von Physikern und Physik-lngenieuren kun- denspezifische UHV-Systeme plant und fertigt. Dabei werden Beschichtungsanlagen ebenso gefertigt wie Systeme der Oberflachenanalytik. Ein wei- terer Schwerpunkt der Arbeit

Der Gaede-Preis 1995 wird Herrn Privatdozenten Dr. Mat- thias Wuttig in Wurdigung sei- ner Arbeiten zur Herstellung und Charakterisierung von ul- tradunnen Schichten und Oberflachenlegierungen ver- liehen. Herr Dr. Wuttig wurde am 20. April 1960 in Mettmann ge- boren. Seine Schulbildung schloO er 1979 in Velbert rnit dem Abitur ab. Herr Wuttig studierte Physik an der Univer- sitat zu Koln bis zum Jahre 1985. Mit seiner Diplomarbeit uber ,,Die Struktur und Dyna- mik der sauberen und adsor- batbedeckten Cu(l00)Flache" am lnstitut fur Grenzflachen- forschung und Vakuumphysik des Forschungszentrums Ju- lich begann er, sich fur Ober- flachenphysik zu interessieren. Im Jahre 1988 promovierte Herr Wuttig an der RWTH Aachen rnit einer Dissertation uber ,,Die Relaxation und Rekonstruktion metallischer Oberflachen". Die ,,mit Aus- zeichnung" (summa cum lau- de) bewertete Dissertation nebst Rigorosum wurde zu- satzlich durch die Borchers- Plakette der RWTH Aachen und den Friedrich-Wilhelm- Preis der RWTH Aachen fur herausragende wissenschaft- liche Leistungen im Rahmen der Dissertation ausgezeich- net. Im Jahre 1993 erhielt Herr Wuttig den Heinz-Maier-Leib- nitz-Preis des Bundesministe- riums fur Bildung und Wissen- schaft fur das Fachgebiet ,,Chemie und Physik dunner Schichten und Schichtsyste- me". Im Februar 1994 habili- tierte sich Herr Wuttig fur das Fach Physik an der RWTH Aachen und ist seitdem dort als Privatdozent tatig. Mehrere

ist der Bau von komplexen UHV-Manipulatoren. Oabei lie- fert man besonders Systeme, die sonst nicht am Markt er- haltlich sind. Die erste Anlage verlaBt SUR- FACE im Januar, es handelt sich dabei um eine Laser Abla- tionsanlage fur ein deutsches Forschungsinstitut. Die Kombination des Vertrie- bes von Komponenten der Dunnschichttechnik rnit dern Anlagenbau bietet den Kunden

Iangere und kunere For- schungsaufenthalte brachten Herrn Wuttig in Kontakt rnit in- und auslandischen Wissen- schaftlern. Bereits wahrend seiner Promotion war Herr Wuttig im Jahre 1986 am National Institute for Research in Inorganic Materials, Tsuku- ba in Japan tatig, WO er sich insbesondere in die gitterdy- namische Beschreibung von Phononen von Ubergangsme- tallkarbiden einarbeitete. Ein Iangerer Forschungsaufent- halt im Jahre 1990/91 fuhrte Herrn Wuttig an das Lawrence Berkeley Laboratory, Berke- ley, USA, WO er bei Dr. M. Van Hove die Strukturanalyse von Oberflachen mittels der dyna- mischen Theorie der Elektro- nenbeugung erlemte und zum integralen Bestandteil seines wissenschaftlichen Oeuvres machte. Herr Wuttig ist seit 1988 wis- senschaftlicher Mitarbeiter des lnstituts fur Grenzflachen- forschung und Vakuumphysik des Forschungszentrums Ju- lich, seit 1991 im Rahmen einer Fiebiger-Stelle. In seiner wis- senschaftlichen Arbeit be- schaftigte Herr Wuttig sich in etwa bis zum Jahre 1990 mit der Dispersion von Oberfla- chenphononen auf reinen und adsorbatbedeckten Oberfla- chen. Er begann dann, sich fur Legierungen und speziell Oberflachenlegierungen zu in- teressieren, einThema, das ihn bis heute fesselt. Verschiede- ne Legierungen wurden zu- nachst bezuglich ihrer Phono- dynamik studiert. In Zusam- menarbeit mit Dr. Gauthier von der Universitat Grenoble, Prof. Tong, University of Wisconsin- Milwaukee und den Professo- ren Heinz und Muller von der

von SURFACE ein noch umfas- senderes Produktspektrum.

Atomika Instruments GmbH Bruckmannring 40 0-85 764 OberschleiBheim Tel.: o 89/31 58 91-0 Uber 60 YO Umsatzwachstum kann der Anbieter von Syste- men fur die Spurenanalytik

Universitat Erlangen traten jedoch mehr und mehr Fra- gen der kristallographischen Struktur in den Vordergrund. In den letzten Jahren hat Herr Wuttig sein lnteresse dem Zusammenhang zwischen Struktur und Magnetismus zu- gewandt. Schon seit Iangerem ist bekannt, daO dunne epitaxi- al gewachsene Filme magne- tischer Materialien ungewohn- liche magnetische Eigenschaf- ten besitzen. So konnen die magnetischen Momente der Atome, der Curie-Punkt, die magnetische Anisotropie, ja sogar die Art der magnetisch- en Kopplung (ferromagnetisch oder antiferromagnetisch) in dunnen Filmen deutlich ver- schieden sein. Auch hat es sich herausgestellt, daO die magnetischen Parameter sehr empfindlich auf Details der Wachstumsbedingungen, der Reinheit und der kristallogra- phischen Struktur der Filme reagieren. Dies fuhrte mitunter zu einer nicht unbetrachtlichen Konfusion, da fur scheinbar gleiche Systerne in verschie- denen Laboratorien unter- schiedliche magnetische Ei- genschaften ermittelt wurden. Es ist das wesentliche Ver- dienst der Arbeit von Herrn Wuttig, durch eine genaue Charakterisierung der Wachs- tumsprozesse durch Elektro- nenstreuung und neuerdings auch durch Rastertunnelmi- kroskopie sowie durch eine begleitende quantitative Strukturanalyse repoduzierbar magnetische Eigenschaften mit strukturellen Eigenschaft verknupft zu haben. Als be- sonders reichhaltig im Hinblick auf unterschiedliche kristallo- graphische Strukturen unter verschiedenen Wachstums-

Atomika Instruments GmbH, OberschieiOheirn, im Ge- schaftsjahr 1993194 (30. Sep- tember) verzeichnen. Das Un- ternehmen enielte rnit analyti- schen Geraten zur hochemp- findlichen Untersuchung von komplexen Gasen, Flussigkei- ten und festen Stoffen sowie von Oberflachen und dunnen Schichten einen Umsatz von 11,4 Millionen Mark (gegenuber 7,1 Millionen Mark im Ver- gleichszeitraum 1992/93).

und Schichtdickenbedingun- gen hat sich dabei das System Eisen auf Cu(lO0) erwiesen dem Hen Wuttig eine Reihf vielbeachteter Arbeiten wid- mete. Ein weiteres For- schungsgebiet von Herrn Wut- tig stellen die magnetischer Oberflachenlegierungen dar. In Zusammenarbeit rnit det Festkorpertheorie, insbeson- dere Herrn Dr. Blugel vom For- schungszentrum Julich, konn- te Herr Wuttig zeigen, daR bestimmte Legierungen, die nur als Oberflachenlegierung existieren, ihre Stabilitat den magnetischen Momenten von Oberflachenatomen verdan- ken. Die Arbeiten zur kristallo- graphischen Struktur dunner epitaxial gewachsener Filme sowie von Oberflachenlegie- rungen und der Zusammen- hang zwischen kristallographi- scher Struktur und magneti- schen Eigenschaften wurden von Herrn Wuttig zusammen- fassend in seiner Habilitations- schrift ,,Tailoring of Materials by Epitaxial Growth" darge- stellt. Diese Arbeit wird mit dem Gaede-Preis ausgezeich- net. Die Gaede-Stiftung verleiht all- jahrlich zusammen rnit der Deutschen Vakuum-Gesell- schaft (DVG) den Gaede-Preis fur hervorragende Arbeiten jungerer Wissenschaftler aus einem der Bereiche, die von der DVG betreut werden. Die preisgekronten Arbeiten sollen entweder aus der Grundlagen- forschung oder aus wichtigen Anwendungsgebieten stam- men. Der 1985 gestiftete Preis besteht aus einer Urkunde und einem Preisgeld.

a Vakuum in Forschung und Praxis (1995) Nr.1

Rund zwei Drittel des Umsat- zes wurden am europaischen, ein Drittel am asiatischen und qerikanischen Markt gene- riert. Im gleichen Zeitraum wurde auch das Personal um 50% aufgestockt. Atomika Instru- ments beschaftigt jetzt 40 Mit- arbeiter in Entwicklung, Ver- trieb, Fertigung, Service und Marketing.

Bayer AG 0-51368 Leverkusen Tel.: 02 14/30 50 44 66 Fax: 02 14/30 89 23 Die Bayer AG, Leverkusen, er- hielt die Genehmigung des Bundeskartellamts fur die Zu- sammenfuhrung der eigenen Solarsilicium-Fertigung rnit den entsprechenden Ge- schaftsfeldern der Freiberger Elektronikwerkstoffe GmbH (FEW) sowie der Wacker-Che- mitronic Gesellschaft fur Elek- tronik-Grundstoffe mbH. Die

Integration erfolgte unter dern Dach der Bayer Solar GrnbH, die zurn 1. August am Standort Freiberg, Sachsen, ihre Ge- schaftstatigkeit aufgenomrnen hat. Die Gesellschaft ist mit ei- nern Stammkapital von 600 000 DM ausgestattet. Die Geschaftsfuhrung liegt in den Handen der Herren Dr. Wo- ditsch und Dr. Schwirtlich, bei- de bisher in der Bayer AG ver- antwortlich fur den Bereich Photovoltaik. Das Unternehrnen - es repra- sentiert bereits den dritten Ba- yer-Standort in den neuen Bundeslandern - wird mono- und multikristalline Silicium- scheiben zur Weiterverarbei- tung an die Hersteller von So- larzellen liefern. Nach dem mit- telfristig geplanten Ausbau der Produktionskapazitat auf 16 Millionen Scheiben pro Jahr wird die Bayer Solar GmbH der weltweit leistungsfahigste An- bieter fur den zukunftstrachti- gen Photovoltaik-Markt sein. Neben der Konzentration der Fertigung an einem Standort und der dadurch erreichten

gunstigeren Stuckkosten will der Bayer-Konzern durch Ein- satz seines ausgereiften Pro- duktionsverfahrens einen Bei- trag zur wirtschaftlichen Nut- zung der Solarenergie leisten.

VACOM GmbH Vertrieb Sud Torsten Rohwedder Riemenschneider Str. 40

Tel.:/Fax: 09 11/75 85 48 Im Rahmen der lntensivierung der Kundenbetreuung wurde in Furth ein neues Vertriebsburo fur Suddeutschland eroffnet. Ziel ist es, kompetente und fachgerechte Beratung in allen Fragen der Vakuumtechnik in Kundennahe bieten zu konnen. Herr Dipl.-Phys. Torsten Roh- wedder hat ab sofort diese Aufgabe ubernommen.

0-90766 Forth

Die Vacom GmbH ist umgezo- gen. Die neue Adresse lautet:

VACOM GmbH BrandstromstraOe 14 07749 Jena Tel.: 0 36 41/5 52 75 Fax: 0 36 41 /5 52 74

Malz & Schmidt GbR 6eschichtungsanlage~ MeBtechnik OssietzkystraBe 37A 0-01662 MeiBen Tel.: 0 35 21/46 33 06 Fa: 0352V463554 Das seit dem 01.11.1991 beste- hende Serviceunternehmen ist von Cossebaude bei Dresden in das lnnovationscentrum MeiOen - ICM - umgezogen. Schwerpunkte des kleinen, fle- xiblen Unternehmens sind die Fertigung und Lieferung klei- ner, automatisierter Beschich- tungsanlagen mit umfangrei- chem Zubehor und der Service von Beschichtungsanlagen des frijheren HOCHVAKUUM Dres- den (B63D/Z, 890/855/B30) einschlieOlich aller Optionen, wie Elektronenstrahlverdamp- fer, Vakuurn- U. Schichtdicken- mefltechnik, Komponenten u.v.a.

Beide Geschaftsfuhrer besit- zen aufgrund ihrer langjahrigen Servicetatigkeit umfangreiche Erfahrungen im Anlagen- und MeOtechniksektor und auf dern Gebiet der Kundenbetreuung.

LEYBOLD AG Bonner StraBe 498 0-50968 Koln Tel.: 02 21/3 4 7-0

Vom 19.-21.10.1994 fuhrte die Deutsche Gesellschaft zur Zer- tifizierung von Qualitatsma- nagementsystemen (DQS) ein Zertifizierungsaudit auf der Grundlage von DIN IS0 9001 bei Leybold durch. Auditiert wurde der Unternehmensbe- reich Vakuurntechnik Koln mit den Niederlassungen Deutsch- land. Die Erteilung des Zertifikats er- folgte im ersten Anlauf und oh- ne Auflagen fur Leybold. Auf dem gleichen Weg befin- den sich auch die auslandi- schen Tochtergesellschaften. Nach DIN IS0 9OOX sind be- reits zertifiziert: - LEYBOLD INFICON Inc.,

- LEYBOLD Wien und - LEYBOLD Barcelona. Die weiteren Tochtergesell- schaften werden spatestens Mitte 1995 die Zertifizierung er- reichen.

Fa: 02 21/3 4 7- 12 50

USA

UIC GmbH Am Neuen 5erg 4 0-63 755 Alzenau- Horstein Tel.: 0 60 23/9 50- 1 10

Ab 01.09.1994 hat Herr Norbert Kukla, Dipl.-lng., die Ge- schaftsfuhrung der UIC GmbH im frankischen Alzenau-Hor- stein ubernommen. Norbert Kukla war davor in leitender Position im Marketing und technischen Vertrieb der Ley- bold AG tatig. Die UIC GmbH ist ein Tochter- unternehmen der amerikani- schen UIC Inc., die vor weni- gen Jahren den Geschaftsbe- reich Kurzweg-Destillation der Leybold AG ubernommen hat. Das Lieferprogramm besteht aus Labor-, Pilot- und Produk- tionsanlagen fur die produkt- schonende Stofftrennung durch Kurzweg-Destillation.

F a : 0 60 23/9 50-2 66

10 Vakuum in Forschung und Praxis (1995) Nr.1