D F Aマイクロエレクトロニクス用

小型カプセルフィルター

■流量－圧力損失特性（水、20℃）

本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。

05/2015改訂増刷10V

DFA6402、DFA2

初期圧力損失（kPa）

A010

A050

A015A030初

期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

AN01E

ANME

ANDE

AN15E 初期圧力損失（kPa）

NIEY

NAEY

初期圧力損失（kPa）

FDE

FTE

FRE

初期圧力損失（kPa）

V001EV002E

初期圧力損失（kPa）

UFDE

UFTE

UFRE

初期圧力損失（kPa）

UG5E UG003E UG001E UG005E

UG100E

マイクロエレクトロニクス用 DFA PFLT006JPh

1 2

マイクロエレクトロニクス用■ポールDFAフィルターは、低流量や小スケールのバッチプロセス用として、便利で使いやすく、経済的なカプセルフィルターです。

■一般工業用途に幅広く対応できるように、豊富なメディア材質と継手を用意しています。

■フィルターメディアとカプセルが一体構造になっているため、シール性に優れています。

■豊富なメディア材質（PTFE、ナイロン-6,6、親水性PVDF、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン）■豊富な継手ラインアップ（スウェージロックタイプ、ピラースーパー、NPTネジ、ホース継手）■コンパクトなオールプラスチック一体構造■全品出荷前完全性試験、気密試験実施済み（エレクトロニクス・グレード）＊国産品の場合

■処理量やろ過精度に合わせたろ過システムの構築が可能■エアー抜き、ドレン抜きが容易■少ないろ過残液

プロファイル・スターポリプロピレン

ポリプロピレン

0.8 , 1 .0 , 1 .5 , 3 .0 , 5 .038 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPa懸濁液高粘度流体コーティング液6個

PFS605

HDCⅡポリプロピレン

ポリプロピレン

0.6, 1.2, 2.5, 4.5, 6.0, 10.0, 20.0, 40.0, 70.038 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPa酸、アルカリ純水溶剤6個

PFS049

PE-クリーン高密度ポリエチレン高密度ポリエチレンポリプロピレン

5nm※1, 10nm, 30nm, 0.05, 1.038 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPaフォトレジスト有機溶剤各種薬液6個

PFS905

ペンフロンPTFE（疎水性）高密度ポリエチレンポリプロピレン0.05, 0 .1 , 0 .238 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPaフォトレジスト有機溶剤各種薬液6個

PFS811

フロロダインPVDF（親水性）

ポリプロピレン

0.1 , 0 .238 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPa

超純水水溶性薬品

6個

PFS044

ウルチプリーツ・P-ナイロンナイロン6,6（親水性）高密度ポリエチレンポリプロピレン

10nm, 20nm, 40nm, 0.1538 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPaフォトレジスト現像液純水6個

PFSH018

エンフロンPTFE（疎水性）

ポリプロピレン

0.05, 0.1, 0.2, 0.4538 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPaベントエアープロセスガス有機溶剤6個PFS018PFS057

■一般仕様

メディアその他の部品

ろ過精度（μm）最高使用温度最高使用圧力（38℃）

液体気体

耐差圧（38℃）

主な用途

梱包単位

関連カタログ

材　質

ウルチポアN66

ナイロン6,6（親水性）ポリエステルポリプロピレン0.1 , 0 .238 ℃0.49 MPaG0.34 MPaG0.34 MPaフォトレジスト現像液純水6個PFS016PFS031

※流体適合性については、担当営業にお問い合わせください。（注）DFAはポール社の登録商標です。（商標番号2710417号）

※写真のチューブは付属品に含まれていません。 ※写真の出入口のナット、チューブは付属品に含まれていません。

DFA１ DFA3201, 4201, 5301, 6402特 長

利 点

DFA小型カプセルフィルター

＊

フォトレジスト、現像液、純水、およびブローガスのろ過

※1 5nmはDFA1、DFA2、DFA6402のみ

FDEFTEFRE

NIEYNAEY

AN01EANMEANDEAN15E

V001EYV002EY

UFDEUFTEUFRE

UG5E＊8UG001EUG003EUG005EUG100E

J006□J012□J025□J045□J060□J100□J200□J400□J700□

A008□A010□A015□A030□A050□

出入口

DFA1□SW44/84M DFA1□FW64M DFA1□NP64M/84M DFA1□NP64

3 4

プロファイル・スター＊2HDCⅡ＊2PE-クリーン＊3フロロダインウルチプリーツ・

P-ナイロンウルチポアN66

サイズベント、ドレン

1/4″4mm4mm4mm4mm4mm4mm4mmなし1/4″1/4″4mm1/4″4mm4mm4mm1/4″

形　状スウェージロック＊6タイプスウェージロック＊6タイプフロウエル20（シリーズ）ピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプなしフレアスタイルNPTフロウエル20（シリーズ）ピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプスウェージロック＊6

サイズ1/4″8mm6mm3/8″6mm6mm8mm8mm3/8″3/8″3/8″12mm3/8″8mm12mm12mm1/2″

継手コード

SW44SW84MFW64MNP64NP64MNP64MR＊4NP84MNP84MR＊4FL6FL64F6N4FW124MNP64NP84MNP124MNP124MR＊4SW84

■DFA1、2シリーズ① 形状コード ③ 継手コード＊5② メディアの種類とグレードコード＊1

12

少流量用中流量用

DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2

形　状スウェージロック＊6タイプスウェージロック＊6タイプフロウエル20（シリーズ）ピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプフレアスタイルフレアスタイルフレアスタイルフロウエル20（シリーズ）ピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプスウェージロック＊6

エンフロン＊3

コード ろ過精度

0.050.10.2

コード ろ過精度

0.10.2

コード ろ過精度

10nm20nm40nm0.15

コード ろ過精度

0.10.2

コード ろ過精度

0.050.10 .2

コード ろ過精度

5nm10nm30nm0.051.0

コード ろ過精度0.61.22 .54 .56 .010.020.040.070.0

コード ろ過精度

0.81.01 .53 .05 .0

ペンフロン＊3

＊１ エレクトロニクスグレードの製品型式の末尾にはEまたはEYが記されています。＊２ HDCⅡおよびプロファイル・スターにはフラッシングオプション（F）があります。＊３ オプションとして、初期抽出物量の低減処理を施したSグレードも供給可能です。＊４ Rオプションは、リピート製品用として、出入口のスリーブ、ナットの非装着にした製品です。

＊５ 標準継手ラインアップ以外にもオプションが設定されています。＊６ スウェージロック社の商標＊７ 日本ピラー社の商標＊８ PE-クリーン5nmは、DFA1、DFA2、DFA6402シリーズにラインナップされています。

■外形図

DFA2□SW84 DFA2□FW124M DFA2□NP124M DFA2□＊FL6/64

プロファイル・スター＊2HDCⅡ＊2＊4

サイズベント、ドレン

1/8″1/8″4mm1/4″

形　状NPTオスNPTオススウェージロック＊5タイプスウェージロック＊5タイプ

サイズ出入口

3/8″1/4″6mm3/8″

継手コード3201420153016402

■DFA3201、4201、5301、6402シリーズ製品型式：DFA ④ 形状・継手コード ⑤ メディアの種類とグレードコード＊1

形　状ホース口NPTオススウェージロック＊5タイプスウェージロック＊5タイプ

FDEFTEFREFXE

0.050.10.20.45

NIEYNAEY

0.10.2

AN01EANMEANDEAN15E

10nm20nm40nm0.15

V001EYV002EY

0.10.2

UFDEUFTEUFRE

0.050.10.2

UG5＊6UG001EUG003EUG005EUG100E

5nm10nm30nm0.051.0

J006□J012□J025□J045□J060□J100□J200□J400□J700□

0.61.22.54.56.010.020.040.070.0

A008□A010□A015□A030□A050□

0.81.01.53.05.0

コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度

＊１ エレクトロニクスグレードの製品型式の末尾にはEまたはEYが記されています。＊２ HDCⅡおよびプロファイル・スターにはフラッシングオプション（F）があります。＊３ オプションとして、初期抽出物量の低減処理を施したSグレードも供給可能です。＊４ 4201J012、4201J025、DFA3201は□部にPと表示される場合がありますが性能は全く変りません。＊５ スウェージロック社の商標＊６ PE-クリーン5nmは、DFA1、DFA2、DFA6402シリーズにラインナップされています。

DFA3201 DFA4201 DFA5301 DFA6402■外形図

マイクロエレクトロニクス用 DFA マイクロエレクトロニクス用 DFA

エンフロン＊3 ウルチポアN66 ウルチプリーツ・P-ナイロン フロロダイン ペンフロン PE-クリーン

製品型式：DFA

（注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。

6個梱包単位

6個梱包単位

＊ベント/ドレンなし

（注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。

① ③

②

④

⑤

5 6

■流量－圧力損失特性（水、20℃）DFA4201 DFA1□SW44

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

AN01E

ANME

ANDE

AN15E

初期圧力損失（kPa）

NIEY

NAEY

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

AN01E

ANME

ANDE

AN15E

初期圧力損失（kPa）

NIEY

NAEY

■流量－圧力損失特性（水、20℃）DFA4201 DFA1□SW44

初期圧力損失（kPa） FDE

FTE

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

FRE

FXE

初期圧力損失（kPa）

FDE FTE

FRE

初期圧力損失（kPa）

V001EV002E

初期圧力損失（kPa）

UFDE

UFTE

UFRE

初期圧力損失（kPa）

UG5E UG003E

UG005E

UG001E

UG100E

初期圧力損失（kPa）

V001E

V002E

初期圧力損失（kPa）

UFDE

UFTE

UFRE

初期圧力損失（kPa）

UG003E UG001E

UG005E

UG100E

マイクロエレクトロニクス用 DFA マイクロエレクトロニクス用 DFA