curso sistema de vácuo1

8/17/2019 Curso Sistema de Vácuo1

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CURSO: SISTEMA DE VÁCUO

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1- INTRODUÇÃO

1.1 – PRESSÃO :

Estamos habituados a idéia de pressão dada pela fórmula P=F/S, ou sea, for!a distribu"da por #rea , e sempreutili$amos as u%idades: &'f/(m) ou N/m) *S++-+. pressão atmosféri(a Patm foi obtida atraés da e0peri%(ia de orre(illi 3ue deu ori'em as u%idades orr oumm'+ 5a" a pressão atmosféri(a ao %"el do mar ser 678orr ou 678mm'+. pressão atmosféri(a dimi%ui propor(io%alme%te (om o aume%to da altitude em rela!ão a superf"(ie da terra +Para altitudes de 188&m temos alto #(uo e para altitudes a(ima de 488&m temos ultra #(uo +. u%idade mbar foi adotada (omo u%idade de medida sta%dard prati(ada em sistema de #(uo, (omo um(o%se%so, porta%to %ão perte%(e ao S++ 9ale a obsera!ão 3ue %ão e0iste difere%!a si'%ifi(atia em se trabalhar

(om a u%idade orr ou mbar, a u%idade em mbar é muito mais (o%e%ie%te + E0+ 1mbar = 8,6orr = 18)Pa+Para Patm teremos 18;mbar = 1 bar.prese%tamos abai0o a tabela de (o%ersão de u%idades de #(uo:

Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. SantosEditado por: Toni Carlos 5ata: 2


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1.2 - AR, GASES E VAPORES

Nossa atmosfera terrestre est# pree%(hida por #rios tipos de 'ases, mostramos abai0o sua (omposi!ão :

.s part"(ulas (o%stitui%tes de um '#s ou ar moemse (om muita liberdade e (om moime%tos retil"%eos eu%iforme, ma%te%do uma 'ra%de dist>%(ia e%tre si , isto o(orre deido a 3uase %ão e0istir atra!ão elétri(a e%treas part"(ulas e por possu"rem e%er'ia elétri(a (o%sta%te+sto si'%ifi(a 3ue os 'ases e o ar tm a propriedade de e0pa%dirse ou ser (omprimido, ou sea em umre(ipie%te fe(hado a pressão do ar ser# i'ual em 3ual3uer um dos po%tos medidos, pois o ar ou '#s se distribui por i'ual %o olume i%ter%o do re(ipie%te+

5a" os 'ases e o ar obede(erem a lei dos 'ases ideais dada pela fórmula de ?lape@ro%: PV=η*R*T

Abs+1: Est# lei %ão se apli(a a 'ases pró0imos de suas (o%di!Bes de (o%de%sa!ão +Abs+2: .s molé(ulas do ar a temperatura ambie%te possuem elo(idade de até C788&m/h+



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. #'ua aprese%ta difere%tes (omportame%tos 3ua%do as sua (o%di!Bes de pressão e temperatura, para istoobseremos o dia'rama de fases da #'ua aprese%tado abai0o:

Pelo dia'rama de fases da #'ua aprese%tado podemos obserar 3ue a #'ua estar# %a forma li3uida se estiersubmetida a pressão atmosféri(a * 1atm- e (om temperatura me%or do 3ue 188D?+Porém para est# mesma pressão e (om temperatura maior do 3ue 188D?, a #'ua estar# %a re'ião de apori$a!ão+.i%da para mesma pressão e a'ora dimi%uirmos a temperatura para abai0o de 8D?, a #'ua ir# para re'ião desolidifi(a!ão , até a3ui tudo bem+?hamamos a ate%!ão para difere%tes (o%di!Bes a 3ue é submetida a #'ua em um pro(esso de #(uo, o%de a pressão de trabalho é me%or do 3ue 18;mbar, %este (aso as molé(ulas da #'ua são separadas i%do ao estado desublima!ão, 3ue para %ós e (o%he(ido (om a 4 fase *'ases-+ases produ$idos dura%te o pro(esso de eapora!ão de alum"%io ou GaporesH de #'ua são bombeados pelas bombas de #(uo, os GaporesH de #'ua podem ser (aptados efi(ie%teme%te utili$a%do sistemas de serpe%ti%astipo pol@(old ou Nitro'%io, mas ale ressaltar 3ue al'u%s outros tipos de 'ases e 'ases proe%ie%te deeapora!ão de alum"%io %ão podem ser li3Iefeitos+

1.3 VÁCUO

. fi%alidade de um sistema de #(uo é redu$ir a de%sidade GdH de molé(ulas de '#s ou ar de%tro de umre(ipie%te, pri%(ipalme%te de GaporesH de #'ua+



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Jua%do da eapora!ão do alum"%io, a pressão do #(uo dee ser tal 3ue o alum"%io passe do estado sólido parao estado de apor *sublima!ão- e solidifi(a%do se %oame%te sem sofrer pro(esso de o0ida!ão+Podemos desta(ar ai%da 3ue um dado re(ipie%te (o%te%do #'ua e outro ar+ Se %o re(ipie%te %+D 1 i%i(iarmos o pro(esso de retirada da #'ua atraés de um tampão *GladrãoH- e se medirmos esta a$ão em 1/mi%, amoserifi(ar 3ue esta rela!ão litros por mi%uto é li%ear, ou sea , é uma reta de i%(li%a!ão (o%sta%te (om po%to de partida $ero+A mesmo %ão o(orre %o re(ipie%te %D2 (o%te%do ar, Pois ao i%i(iarmos a retirada do ar de de%tro do re(ipie%te,o ar te%der# e e0pa%dirse para o(upar todo o re(ipie%te e ao medirmos esta a$ão amos (o%statar 3ue estarela!ão litros por mi%uto %ão é li%ear+

Absere a (ura do ar e dos 'ases mostrados %a fi'ura a se'uir:

5eido a este efeito a i%di(a!ão de pressão de%tro de uma (>mara em #(uo (ertame%te ir# diferir após a pressão de #(uo fi(ar me%or do 3ue 18Kmbar, ou sea a leitura da pressão %a (>mara de bobi%ame%to ser#difere%te de pressão da (>mara de eapora!ão , mesmo 3ue haa abertura *bura(os- 3ue as i%terli'uem+ L# osse%sores e i%di(adores de pressão de #(uo possuem em sua (o%stru!ão (ir(uitos de (orre!ão lo'ar"tmi(a ,(o%forme podemos obserar em suas respe(tias es(alas+



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Para efeito de estudo os sistemas de #(uo são diididos em 3uatro fases, 3ue são:

• Pré#(uo 1888 M 1mbar *ou'h 9a(uum- O 9• édio#(uo 1 M 18;mbar *edium 9a(uum- O 9• .lto#(uo 18;mbar M 186 *i'h 9a(uum- O9• Qltra alto #(uo 186mbar em dia%te *Qltrahi'h a(uum- O Q9

Estas diisBes são %aturalme%te arbitr#rias + . re'ião de Pré#(uo é 'eralme%te (hamada de re'ião de bai0a pressão *abai0o da pressão atmosféri(a-+Para sistemas de #(uo h# trs tipos de flu0o de '#s 3ue são : Flu0o is(oso, flu0o mole(ular e flu0o &%udse%+

• Fluxo viscoso : .prese%tase 3uase sempre em sistema de pré#(uo+ A flu0o is(oso é subdiidido em

lami%ar ou turbule%to+ A flu0o turbule%to tem o %+D e@%olds *e- R2288, este é (ara(teri$ado (omo umflu0o ari#el de elo(idade %ão (o%sta%te %o (e%tro do tubo, muito e%(o%trado em flu"dos de altais(osidade ou bai0a pressão+

• Fluxo laminar: (ara(teri$ado por %+D eT2288 e aprese%ta uma elo(idade (o%sta%te %o (e%tro do turbo(om um fio li3uido e (o%t"%uo , possui%do um (ami%ho médio lire me%or do 3ue o di>metro do tubo, proo(a%do (olisão e%tre as part"(ulas dos 'ases, é %ormalme%te e%(o%trado em sistema de pré#(uo+

• Fluxo Knudsen: e'ião 3ue fi(a e%tre flu0o is(oso e flu0o mole(ular , predomi%a a(ima do médio #(uo+Possui (ami%ho médio me%or 3ue o di>metro da tubula!ão+

• Fluxo molecular : ra%deme%te e%(o%trado em sistema de alto e ultra #(uo+ A (ami%ho médio lire das part"(ulas é maior 3ue o di>metro da tubula!ão + Nestas re'iBes as part"(ulas podem se moime%tarlireme%te , %ão te%do (olisBes e%tre si, mas (om deslo(ame%to desorde%ado , para todas as dire!Bes+

Para trabalho em alto e ultra#(uo um fator importa%te é o tipo de superf"(ie e tipo de material de 3ue é(o%stru"do esta superf"(ie , pois deido as (ara(ter"sti(as do flu0o mole(ular poderemos er a forma!ão de umamo%o(amada de 'ases %as paredes i%ter%as da tubula!ão o 3ue ir# aume%tar em muito o tempo para se ati%'iro #(uo fi%al+

5efi%i!Bes : ?ami%ho médio lire ou ta0a de (olisão de part"(ulas é a dist>%(ia e%tre a part"(ula a%terior e a

posterior 3ua%do arrastadas %um flu0o de%tro de uma tubula!ão+ Re é um %Umero adime%sio%al 3ue depe%de da is(osidade do flu"do, este %os i%forma i tipo de es(oame%to deum determi%ado flu"do, se lami%ar ou turbule%to+

2- BOMBA ROTATIVA

.s bombas rotatias perte%(em ao 'rupo de bombas de #(uo de deslo(ame%to positio e e0istem #rios tipos,tais (omo: Pistão, rotor, palhetas, e de #lulas (ua a fi%alidade é tra%sportar o ar ou 'ases proe%ie%te do pro(esso, (omprimi%do e e0peli%doo , também são de%omi%ados de bombas de pré#(uo, Fo!"#$".



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E0istem as bomba (uo o selo é a óleo, p+e0+, palhetas e de pistão , (ua a ta0a de (ompressão pode (he'ar a 18 para um U%i(o est#'io de (ompressão e as bombas a se(o, 3ue %ão possuem selo a óleo, e tem(o%se3ue%teme%te ta0a de (ompressão muito me%or, (he'a%do a 18, p+e0+V %o$%&' oo('.

Este tipo de bomba opera a pressão atmosféri(a até 1 018) mbar+.s bombas rotatias i%staladas em %ossas m#3ui%as metali$adoras 128C 9aroa( e 1282 So'ea(, são do tipo palhetas de simples est#'io de (ompressão e selo a óleo, possui%do respe(tiame%te a$ão de 7C8m;/h e6m;/h+

2.1 – Bo$%&' o(&()*&' ()"o "&+!(&'

.prese%tamos abai0o a fi'ura de uma bomba rotatia 9aroa(, tipo palheta+

Fi'ura %+2 O ?orte tra%sersal da bomba 9aroa( S7C8F

1 5efletores de óleo2 ?ai0a de óleoC 5efletores de óleo4 Filtros de óleo Sa"da de e0austão7 9#lula de '#s ballast6 Filtro de e%trada



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W ?>mara de admissãomara *W-, i%do para a (>mara de (ompressão, (omposta pelo(ili%dro *18- e o rotor *12-, mo%tado %o rotor temos as palhetas *11-+ ?om o rotor 'ira%do em se%tido hor#rio edeido a for!a (e%tr"peta as palhetas são for!adas a se deslo(arem to(a%do ta%'e%(ialme%te a superf"(ie i%ter%ado (ili%dro da bomba+ ?om a rota!ão as palhetas arrastam os 'ases, e deido o rotor esta posi(io%adoe0(e%tri(ame%te em rela!ão ao (ili%dro, a (ada deslo(ame%to a%'ular a #rea ai se%so dimi%u"da , ou sea os'ases ão se%do (omprimidos+.s palhetas passam pelo po%to do selo a óleo , o%de os 'ases (omprimidos ati%'em pressão sufi(ie%te para(oma%dar a abertura das #lulas de e0austão*1C-, estas e0pulsam a mistura de 'ases e óleo para o reseratóriode óleo*2-+ As 'ases passam pelos defletores *1 e C-, passa%do pelos filtros de óleo *4-, 3ue retm o óleo, permiti%do ape%as a passa'em dos 'ases, e se%do estes liberados para atmosfera, atraés da tubula!ão dee0austão*-+

2.3 – +!o

A óleo %as bombas rotatias atua lubrifi(a%do as partes i%ter%as da bomba 3ue estão em moime%to, refri'era a

bomba e sere (omo selo me(>%i(o, pree%(he%do a difere%!a e%tre o raio do (ili%dro , das palhetas e do rotor*'ap-+ A óleo utili$ado é 9a(um N67, de aspe(to brilha%te e tra%spare%te, a altera!ão do aspe(to isual podei%di(ar 'ra%de 3ua%tidade de apores de #'ua ou até deteriora!ão do mesmo, %este (aso se a (or do óleo fores(ura dee pro(eder a tro(a do mesmo+ A fabri(a%te re(ome%da substituir o óleo a (ada 2+888h+



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Fi'ura 71 9#lula de 3uebra de #(uo4 Po%to de abaste(ime%to de óleo7 9#lula de e%trada de 'as ballast6 9isor de %"el de óleoW Po%to de dre%o de óleo

2.4 – R!)5!&/o 0&' Bo$%&'

.s bomba rotatias 9aroa(*128C- e So'ea(*1282- tem seus sistemas de refri'era!ão efetuado por #'uai%dustrial M temperatura de 28D(+ . temperatura de trabalho %ão dee e0(eder a 6WD(, esta temperatura detrabalho das bombas rotatias são de fu%dame%tal import>%(ia para a efi(i%(ia das mesmas+

Fi'ura W

1ermostato de óleo29#lula termost#ti(aCro(ador de (alor do óleo18e%trada de #'ua para refri'era!ão


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9ale desta(ar 3ue 3ua%do (olo(amos uma bomba rotatia em modo 'as ballast , estamos admiti%do ar a pressãoatmosféri(a para de%tro da (>mara de (ompressão, %este (aso a efi(i%(ia da bomba ir# dimi%uir, (omo pode seristo pela (ura po%tilhada do 'r#fi(o+

2.7 – V8+*#+& 0! 9#!%& 0! *8#o ! &()-'#%&

Jua%do a bomba rotatia é dese%er'i$ada, a #lula de 3uebra de #(uo *fi'+2 item 1- é e%er'i$ada admiti%do

ar para de%tro da (>mara de (ompressão*fi'+2- da bomba rotatia+ Neste mome%to a #lula Ga%tisu(Xba(XH *fi'+2item mara de (ompressão da bomba rotatia , a #lulaGa%tisu(Xba(XH isola ou eda a (>mara de (ompressão da bomba rotatia da tubula!ão da m#3ui%a, 3ue esta sob#(uo+. atra!ão das #lulas de 3uebra de #(uo e a%tisu(Xba(X tem dupla fi%alidade: Eitar 3ue o(orra reflu0o deóleo da bomba rotatia só para de%tro da (>mara de #(uo, deido a ultimate pressure e eitar 3uebra das palhetas 3ua%do d# partida %a bomba rotatia+



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2.; – P!''/o )&+

?ada bomba rotatia sea do tipo palheta ou pistão possui, deido as suas (ara(ter"sti(as (o%strutias de proeto,um determi%ado alor de pressão fi%al, também (omo #+()$&(! "!''#! + Esta é a m#0ima pressão fi%al 3ueuma espe("fi(a bomba pode al(a%!ar +.s bombas rotatias em um pro(esso de #(uo são as 3ue re(ebem maior soli(ita!ão e por (o%se3I%(ia ummaior des'astes das pe!as i%ter%as , por e0emplo: Palhetas, eda!Bes, et(+ .pós 'ra%des or%adas de trabalho,(om o des'astes das palhetas, des'astes das #lulas, deteriora!ão do óleo lubrifi(a%te ou obstru!ão dos filtrosde ar Geda!ãoH estas bombas te%dem a aprese%tar uma dimi%ui!ão de sua efi(i%(ia ou pressão fi%al+ Paraerifi(ar a efi(i%(ia de uma bomba rotatia dee ser e0e(utado o pro(edime%to: Geste de efi(i%(ia de bombarotatiaH, a%e0o %+%i(a é importa%te 3ue o óleo de lubrifi(a!ão e selo estea ise%to de óleo+A po%to de 'ap é dado pela difere%!a de di>metro do rotor e do (ili%dro da bomba, pois são e0(%tri(os , %u%(ausi%ar o (ili%dro da bomba+Se'ue abai0o ista e0plodida de mo%ta'em do rotor, da (ai0a de óleo e das #lulas de e0austão e 'as ballast da bomba rotatia 9aroa( S7C8F da m#3ui%a 128C+



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1 ?ai0a de óleo2 Lu%ta de eda!ãoC .%el el#sti(o4 9#lula de 'as ballast .%el oYri%'7 Lu%ta de eda!ão6 ampa (om defletores de ar W i(le


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3- BOMBA ROOTS

Perte%(em ao 'rupo de bombas de #(uo de deslo(ame%to positio, bomba do tipo ise%te de óleo, o selo é feitoatraés da i%terfer%(ia me(>%i(a e%tre lóbulos , 3ue é de apro0imadame%te W (e%t"metros, se%do me%or do 3ueum filme *pel"(ula- de óleo+As dois lóbulos tem a forma simétri(a semelha%tes M de um oito de se!ão si%(ro%i$adas por um par dee%'re%a'e%s a(io%adas, os lóbulos ou rotores %ão se to(am, também %ão to(am as paredes i%ter%as da (ar(a!ada bomba+



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Por (ausa desta pe3ue%a i%terfer%(ia e%tre os lóbulos e em rela!ão as paredes i%ter%as das bombas , dee seeitar a deforma!ão da (ar(a!a i%ter%a, %ão dee%do esta trabalhar a pressão atmosféri(a, (om se a(o%te(e%ormalme%te (om uma Forepump, bomba de pré#(uo+ 5ee ser eitado o a3ue(ime%to da mesma por (ausada dilata!ão térmi(a, pois os lóbulos podem to(arse ou to(ar %a (ar(a!a i%ter%a da bomba da%ifi(a%doa+. bomba roots é %ormalme%te utili$ada em (o%u%to (om uma bomba rotatia (om selo M óleo, possui ta0a de(ompressão e%tre 18 e 188, opera%do %a fai0a de pressão e%tre 1 a 1018;mbar, trabalha por tra%spar%(ia deolume de 'ases e %ão h# (ompressão dos 'ases dura%te o re'ime de opera!ão+

Para teste de efi(i%(ia de uma bomba roots, utili$ar o pro(edime%to de ma%ute%!ão Geste de Efi(i%(ia deZombas ootsH+ .%e0o


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4 – BOMBA DIFUSORA E BOMBA >ET BOOSTER

Zombas difusoras são %ormalme%te utili$adas para a produ!ão de alto #(uo e ultra alto #(uo+ São bombas 3uetrabalham atraés de Gr#pidaH moime%ta!ão atraés de um flu"do apori$ado , 3ue pode ser:[leo9apor de mer(Urio9apor\'ua

Em %ossas metali$adoras , o flu"do utili$ado é óleo de sili(o%e + . pri%(ipal (ara(ter"sti(a do óleo térmi(o é 3ueuma temperatura eleada ele possui a propriedade de se fra(io%ar em molé(ulas 3ue se a'rupam (om asmolé(ulas de ar , proo(a%do um arraste de%tro da bomba difusora+A óleo é a3ue(ido por um ba%(o de resist%(ia elétri(a de%tro de um reseratório lo(ali$ado %o fu%do da bomba+ Porém as resist%(ias estão e%(lausuradas, %ão e%tra%do em (o%tato (om óleo+

Este óleo uma e$ apori$ado é despeado em alta elo(idade pelos difusores da bomba + Este óleo ir# (aptar asmolé(ulas de ar 3ue se e%(o%tram %o i%terior da (>mara de #(uo, arrasta%doas, deido a depressão (riada pela alta elo(idade+Estas molé(ulas são (o%du$idas pelo óleo em dire!ão a tubula!ão de sa"da da bomba em dire!ão a li%ha das bombas roots e (o%se3ue%teme%te as rotatias+Qm pes3uisador (hamado aede foi o primeiro M erifi(ar 3ue 'ases 3ua%do submetidos a uma bai0a pressão, podem ser bombeados atraés da moime%ta!ão de flu"dos em alta pressão, e desta forma o flu"do submetido a bai0a pressão, moese em dire!ão # re'ião de pressão mais alta +Este (o%(eito foi utili$ado por ]a%'muir em 1


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.s bombas difusoras dispBem de isor de %"el de óleo, o reabaste(ime%to de óleo dee ser feito 3ua%do atemperaturas das bombas estierem abai0o de 188D?, para isto despressuri$ar a bomba+L# as bombas Let Zoosters %ão tem isor de %"el de óleo, o %"el de óleo e erifi(ado a traés do sistema :medi!ão por areta de %"el de óleo+Para isuali$a!ão ou reabaste(ime%to do %"el do óleo é %e(ess#rio 3ue a temperatura da bomba Let Zoostersestea abai0o de 188D?+

7 – SISTEMA DE MEDIÇÃO E CONTRO?E DE VÁCUO

7.1-P!''o'(&(o 0! Bo#0Elaborado por: Eng. Carlos Reinaldo B. SantosEditado por: Toni Carlos 5ata: 2


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Fai0a de trabalho M partir da pressão atmosféri(a até 18;mbar, possui (o%tato elétri(o a(io%ado pelo (urso dei%di(a!ão de pressão+

7.2 – S!'o P)&) o# T!$o*&

. (o%dutiidade térmi(a de um '#s muda (om o de(rés(imo da pressão+ Esta propriedade é utili$ada para medira pressão+A eleme%to de medi!ão *eletrodo- (o%siste de um filame%to de metal tu%'st%io, (om alto (oefi(ie%te detemperatura e forma um dos bra!os de uma po%te resistia tipo _heatsto%e+ 5eido a (o%dutiidade térmi(ado '#s prese%te %a tubula!ão ou (>mara de #(uo, o(asio%a%do uma aria!ão de temperatura deste filame%to,ori'i%a%do uma aria!ão da (orre%te elétri(a %a po%te _heatsto%e+. fai0a de trabalho deste tipo de se%sor é de 1 018`;mbar, mas ta%to %o i%"(io (omo %o fim da fai0a %ão h# pre(isão de leitura ou (o%trole , e para (orri'ir isto a es(ala é do tipo lo'ar"tmi(a +Calibração: ?om o se%sor fora do po%to de medi!ão e0posto a pressão atmosféri(a, austar o trimpot atmlo(ali$ado %o se%sor Pira%i para se ter a i%di(a!ão de (o%trole de #(uo o alor de 18`;mbar +Para a (alibra!ão do se%sor para pressão de 18;mbar, (olo(alo em um po%to de medi!ão o%de a pressão esteaabai0o de 18;mbar, por e0emplo, %a e%trada da bomba difusora ou %a (>mara de #(uo, austar para a u%idadede (o%trole de #(uo se ter a leitura da pressão em 18;mbar+

7.3 – S!'o P!)5



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?o%siste de um eletrodo (e%tral, >%odo, e da (ar(a!a met#li(a, (#todo, um par imãs são mo%tados ao redor paraorie%tar ao redor o se%tido de io%i$a!ão+Jua%do me%or a pressão da (>mara, me%or ser# a 3ua%tidade de molé(ulas de '#s e por (o%se3I%(ia me%or ser# a io%i$a!ão, ou me%or a des(ar'a elétri(a, a te%são de alime%ta!ão é de apro0imadame%te 288 9olts+5eido este pri%("pio de fu%(io%ame%to este se%sor %ão dee ser li'ado a pressão atmosféri(a+ Sua fai0a detrabalho ai de 18)mbar até 186 mbar + .i%da, deido ao pri%("pio atio de fu%(io%ame%to, te%de a se formarsobre o eletrodo uma pel"(ula de (arbo%o, ori'i%a%do um resistor de alta imped>%(ia 3ue dimi%ui a io%i$a!ão, proo(a%do erro de leitura e até o %ão fu%(io%ame%to do sistema de medi!ão+. e%er'i$a!ão do se%sor Pe%%i%' para pressBes pró0imas a de 18)mbar a(elera a forma!ão da pel"(ula de(arbo%o sobre o eletrodo, se%do re(ome%d#el a limpe$a deste eletrodo a (ada 1hrs+

7.4 – U)0&0!' 0! o(o+! 0! *8#o

; – C@MARA DE VÁCUO

< – F?UOGRAMAS

Flu0o'rama metali$adora 1281Flu0o'rama metali$adora 1282Flu0o'rama metali$adora 128C

– DETECÇÃO DE INFI?TRAÇÃO

E da tabela periódi(a desta(amos o %Umero de massa at^mi(a de al'u%s eleme%tos+

e = 4ma A = 17ma = 1ma

?o%(lu"mos 3ue uma molé(ula de #'ua e 3uatro e$es maior 3ue a molé(ula do '#s élio+

1 - PROCEDIMENTOS

Pro(edime%to 1 O este de bomba rotatia (om a m#3ui%a em fu%(io%ame%toVPro(edime%to 2 O este de bomba rotatia após seri!os de reisãoVPro(edime%to C O este de ta0a de i%filtra!ão de ar %a (>mara de #(uo *]eaX ate-Pro(edime%to 4 O este de bomba roots (om a m#3ui%a em fu%(io%ame%to+

11- SIMBO?OGIA DE VÁCUO



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.%e0o . O Fi'ura p'1W

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12 – BIB?IOGRAFIA

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Nome:

ENGENHARIA

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ROOTS (VC21)

ROTATIVA (VC11)

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ROTATIVA (VD11)

PIRANI VM11-P1 (8x10-1mbar)

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