cs5.5 the pirani family jpfrom atmosphere to high vacuum with one family family overview 2 3 psg550...
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a n d r e l i a b i l i t y i n c o m p a c t d e s i g n s
The Pirani FamilyF r o m a t m o s p h e r e t o h i g h v a c u u m
w i t h o n e f a m i l y
Family Overview
32
PSG550 FAMILYPCG550 FAMILYPIRANI OR PIRANI & CAPACITANCE COMBINATION GAUGE
様々なオプション選択とコンビネーションセ
ンサーのラインナップにより、大気圧から高
真空まで多くのアプリケーションの真空測定
に便利に使えます。
• 標準的なピラニーシングルセンサー、もしくはキャパシタンスダイアフラムゲージとのコンビネーションセンサー
• 耐腐食性に優れる完全セラミックコーティングタイプをラインナップ
• プラグ＆プレイで再現性が保たれる交換センサー
PSG500 FAMILYPIRANI STANDARD GAUGE
PSG500 シリーズは PxG55x シリーズに劣ら
ず安定したパフォーマンスを実現。このコン
パクトなデザインは対費用効果に優れる。
• ステンレス製のセンサーセル
• 流線型・コンパクトデザイン
• センサーユニット交換可能
PGD400 FAMILYPIRANI GAUGE DISPLAY
ピラニー専用ディスプレイ PGD400 は、廉価
ながら広帯域な PSG5xx シリーズの真空圧測
定値を表示するのに便利
• 圧力単位を任意で選択可能
• セットポイントリレー１点付き
• 低コストなラック、又はベンチトップ据え付け
INFICON ピラニー・ファミリー注目の優位性
• 標準的なピラニーシングルセンサー、若しくはキャパシタンスダイアフラムゲージとのコンビネーションセンサー
• センサー材質は３種類：タングステン、ニッケル、セラミックコーティング
• PCGコンビネーションは、1000Pa以上でガス種依存性のない計測
• PCGコンビネーションは、大気圧検知スイッチ機能を統合（オプション）
• 設置方向に制限なし
• LCD付属タイプあり
ピラニー（熱伝導式のセンサー一般）は、10KPa(75Torr) 以上の大気圧近傍にてセンシング感度が低くなるが、PCG55x のキャパシタンスダイアフ
ラムを搭載する無類のコンビネーション技術により高精度でガス依存性ない計測を 10KPa から 150KPa(1125Torr) まで可能にします。
PCG FAMILY PIRANI FAMILY
Accuracy
Accuracy at ATMAccuracy at ATM50%
ATM100 mbar
10-3 mbar
5-4 mbar
50%
50%
PIRANI15%
Accuracy
Accuracy at ATMAccuracy at ATM2.5%
ATM100 mbar
950 mbar
50%
2.5%5%
PIRANICDG15%
10-3 mbar
5-4 mbar
Gas-typeindependent
ArAir, O2, CO, N2
He
103
p [mbar]
peff [mbar]
102
102
100
10-1
10-2
10-3
10-410-410-3 10-2 10-1 100 101 102 103
Pirani sensor
Crossoverrange
Capacitivediaphragm
sensor
ArCO2
Freon 12
Xe
Kr
Water vapor
Air, O2, CO, N2
HeH2 Nep [mbar]
peff [mbar]
101
100
10-1
10-2
10-310-3 10-2 10-1 100 101
p [mbar] p [mbar]
PSG550 FAMILY