C10G-0050A

有機E Lパネルと I T O膜

素子構造

カソード電極

アノード電極

低温p-Si TFT基板

水平駆動回路 垂直駆動回路

有機EL膜

電子輸送層 発光層 ホール輸送層

構造解析 X線回折装置 XRD-６１００/７０００

不良解析

組成分析

発光スペクトル 発光スペクトル、 輝度・彩度の測定に 有機EL評価システム ELS-１５００

電極部の膜厚・組成分析に エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置 μEDXシリーズ

断線・接続不良などの不良解析に マイクロフォーカスX線透視装置 SMX-１６０GT/１６０LT

マイクロフォーカスX線CT装置 SMX-２２５CT-SV

力 学 的 特 性 曲げ・引き剥がし強度 小型卓上精密万能試験機 EZ Graph

小型卓上試験機 EZ Test

薄膜・パターンの硬さなど ダイナミック超微小硬度計 DUH-W２０１/２０１S

表面観察・分析 表面形状観察・元素分析・ 電極部解析に 電子線マイクロアナライザ EPMA-１６００/１６１０

表面・積層構造観察と 元素分析に

分析走査電子顕微鏡 SSX-５５０

走査型プローブ顕微鏡 SPM-９５００J３

走査型共焦点レーザ顕微鏡 OLS３０００

基板上の立体構造

8

２１

4

１２

１３

5

２０

１８ 1

2

6

１９

ガラス基板

洗 浄

成 膜 ITO（陽極）

1 2 材料強度／材料試験

5 表面検査／EPMA

4 外観検査／OLS

3 洗浄後の汚染／FT-IR

6 ITOなどの薄膜硬度評価／

1 １７ 小形卓上精密万能試験機 EZ Graphシリーズ 用途：

特長：

材料強度、ガラス基板・モジュールなど小形部品の引張強度や曲げ強度評価など 小形卓上タイプでありながら、門型構造の高剛性(４２kN/ｍｍ)・高信頼性評価が可能な試験機です。破壊試験力だけでなく変形量の測定も可能です。データ取り込み速度も最速 ８００データ/秒と速く、脆性破壊する部品評価時に威力を発揮します。 速度範囲も０.０００５mm～１０００mm/minと広範囲です。

材料強度、ガラス基板・モジュールなど小形部品の引張強度や曲げ強度評価など 微小部品の強度評価を目的としたコンパクト試験機です。 ５N～５００Nの６モデルあります。 試験速度範囲は０.０５～５００mm/minです。

2 小型卓上試験機 EZ Testシリーズ 用途：

特長：

有 機 E L製造工程における島津の機器

3 フーリエ変換赤外分光光度計 IRPrestige-２１赤外顕微鏡システム

用途： 特長：

4 走査型共焦点レーザ顕微鏡 OLS３０００シリーズ

用途： 特長：

圧倒的な解像力と信頼性で、各種試料の表面観察と形状測定が行えます。 OLS３０００は、視野全面に焦点の合った輝度像と三次元情報が同時に得られ、繰り返し精度の高い計測が可能です。４０８ｎm レーザの採用で、世界最高レベルの平面分解能０.１２μmを実現しました。レーザ共焦点画像とともに、明視野カラー、暗視野、微分干渉観察も可能です。 透明膜を通しての下地の観察と膜厚の評価も可能です。

5 電子線マイクロアナライザ EPMA-１６００/１６１０

用途： 特長：

有機ELパネルの表面形状観察、元素分布解析、電極界面の解析、その他、微小部の定性、定量分析 波長分散型X線分光器（最大５基）により微小領域の元素分析を高感度で行うことが出来ます。カソードルミネッセンス測定装置（オプ ション）により素子の評価と元素分析が同時に行えます。

有機EL部材に付着あるいは混入した異物の定性 有機ELの分子構造解析（官能基情報の取得） オートアパーチャ、オートXYステージ、オートフォーカス、オートセンタリング機能搭載のインテリジェント赤外顕微鏡システムです。明るい光学系と高感度のMCT検出器を使用し、最小１０μm程度までの異物や微小領域の測定が可能です。

多結晶化

TFT形成工程

フォトリソ

エッチング

ドーピング

TFTアレイ

8 結晶構造解析／XRD、SFT 9 定量・組成分析／HPLC

１２ 物性測定／SPM

１１ レーザリペア装置

１０ アレイ良否検査／電子線アレイ検査

１３ リペア痕検査／ SSX

硬さ測定

6 ダイナミック超微小硬度計 DUH-W２０１/２０１S

用途： 特長：

ガラス基板やITO膜など薄膜の硬さ、ヤング率測定 電磁力を利用した微小力での硬さ・ヤング率評価装置。 試験力は０～１９６０mNと広範囲で、１ｎｍの分解能で押し込み深さを測定可能です。 ２５０℃までの高温システムもあります。

8 X線回折装置 XRD-６１００/７０００

用途： 特長：

各種材料の構造解析に適用できます。 新しい光学系（ポリキャピラリユニット）の使用により、強力な平行ビームが得られ、凹凸のある試料でも角度誤差の非常に少ない分析が非破壊で可能です。

9 高速液体クロマトグラフ prominence有機ＥＬ評価用ＨＰＬＣシステム 用途：

特長： 有機EL素子の品質評価のための定量分析・組成分析 素子に使用される有機化合物やその分解物を一斉に分析できる。

１０ 電子線TFTアレイ検査装置 PIXCELSCOPEシリーズ

世界最速のタクトタイムを達成した電子線TFTアレイ検査装置。最新の１mを超える大型基板においても詳細な欠陥分類と高速Go/No Goテストを実現します。

１１ レーザーリペア装置 LRシリーズ アレイ検査装置とリンクして、TFT基板の欠陥修正を行い、歩

留り向上に寄与します。波長やレンズ構成などのカスタマサイズが可能な自動画像取得機能付きのレーザーリペア装置です。

前処理

有機EL蒸着

上部電極成膜 （陰極）

保護膜成膜

フィルムなどで コーティング

セル検査

パネル 実装

１６ 気密性の検査／GC

１７ ギャップ測定／UV

１３ １４ 5 表面形状・元素分析・電極部解析／ EPMA、SSX、プラズマCVD

２０ １２ 4 電極部膜厚・組成・位置ずれ・異物検査・三次元計測／ OLS、SPM、EDX

１４ 成膜／DLC

１２ 走査型プローブ顕微鏡 SPM-９５００J３

用途： 特長：

ナノ領域の三次元計測、物性測定 大気中や溶液中で、固体や膜表面のナノメートルオーダーでの観察と形状測定が可能です。プローブ先端で、試料の電気的特性や層分離構造、硬さなどの物性画像も同時に取得できるため、基板の性状や欠陥の評価、パターンの段差測定や寸法測定に威力を発揮します。雰囲気制御SPMにグレードアップさせることにより、湿度や温度条件をコントロールしながら、In-Situでの測定も可能になります。

１３ 分析走査電子顕微鏡 SSX-５５０

用途： 特長：

ITO薄膜の表面形状観察、積層構造の観察・分析、電極の観察・分析、レーザリペア痕の観察など、数万倍程度の形状観察やサブ％オーダーの元素分析一般SEM観察からEDS分析にいたる全ての操作をマウスだけで行なえる、画期的な操作性を実現しています。 試料の駆動は、５軸のモータードライブによりコンピュータ制御されており、一度試料をセットすれば装置本体に触れる必要はありません。オプションの低真空モードでは、非導電性試料の無蒸着分析が可能です。

１４ ECRプラズマCVD装置 DLC-MRシリーズ

低温非平衡プラズマの雄、“ECR”を用いたCVD装置。磁気ヘッド用超薄膜DLCの成膜の他、有機膜上保護膜の低温成膜にも有効。マルチチャンバ構成により、ドライ洗浄・表面活性化後の成膜など、界面高品質の成膜も可能。

１６ ガスクロマトグラフ　GC-PDDシステム

用途： 特長：

膜の酸素透過量測定のためには、供給ガス（窒素）中の酸素量の分析が必要となります。このシステムは、パルス放電検出器を使用して窒素中の微量酸素の定量を行います。（酸素透過量測定のためには、試料採取部が必要で、この部分は別途ご用意いただく必要があります。） 膜を透過してくる微量酸素を精度よく分析するためには、ガスクロマトグラフで酸素を分離し定量する方法が有効です。しかし、通常の方法では酸素はアルゴンと分離しにくいため、このシステムでは、特別な冷却オーブンを使用して、良好な分離を得るようにしています。また、PDD(パルス放電検出器)は、非常に高感度な検出器で、特型冷却オーブンとPDDの組み合わせにより窒素中の微量酸素（０.１ppm)を精度よく分析することが可能です。

パネル検査 出 荷

１９ １８ 断線、接続不良検査／マイクロフォーカスX線透視／X線CT

１９ １８ 断線、接続不良検査／マイクロフォーカスX線透視／X線CT

２０ 貼付位置ずれ検査・異物解析／EDX

１７ ２１ 輝度、色度、スペクトル検査／UV、ELS

１７ 紫外可視 フォトダイオードアレイ分光光度計 MultiSpec-１５００

用途： 特長：

フィルム、 反射防止膜のスペクトル 膜厚・ 色度測定など 高速スキャン

１８ マイクロフォーカスX線透視装置 SMX-１６０GT/１６０LT

特長： 内部を最大２７００（SMX-１６０GT）～４０００(SMX-１６０LT)倍で透視できます。６０°の斜方向から透視も可能で接続不良の確認ができます。 イメ－ジナビゲ－ション機能、データファイリング機能、ティ－チング機能、オートトラッキング機能を搭載。

１９ マイクロフォーカスX線CT装置 SMX-２２５CT-SV 特長： ワークを破壊せずに、内部状態の断層撮影や３次元表示が可能で、微小部の欠陥検査に、また、寸法計測に最適です。 特に、超高速CT処理システムCT-Solverにより、驚異的な速度で、高画質撮影 を実現しました。

２０ エネルギ－分散型 微小部蛍光X線分析装置 μEDXシリーズ

用途： 特長：

・電極部の膜厚、組成分析 ・異物解析　・元素マッピング ・大気下での非破壊分析 ・５０μｍの分析径 ・１～１０mmの分析径を持つ汎用蛍光X線分析装置EDX-HSシリーズもあります。

5 有機EL評価システム ELS-１５００

用途： 特長：

有機EL発光スペクトルの測定 有機ELの輝度・色度の測定 有機ELパネルに印加する電流・電圧を設定して、有機ELの発光スペクトルを測定することができます。また、電子冷熱素子により有機ELパネルの温調が可能です。得られたスペクトルから色彩値計算を行ない、設定された電流または電圧値に対する色彩値、輝度の時間変化を求めることができます。

有機E Lフィルムディスプレイ

異　物

フーリエ変換赤外分光光度計 IRPrestige-２１

厚　み 色　度 スペクトル

付着・混入した異物の定性に 紫外可視フォトダイオードアレイ分光光度計 MultiSpec-１５００

引張強度などの評価 小型卓上精密万能試験機 EZ Graph

気密性の評価 ガスクロマトグラフ GC-PDDシステム

フィルムタイプ有機EL素子

防湿バリア膜

フィルム基板

有機EL層

封止膜

強　度 酸素透過量

3 １７

1 １６

3430-04512-30A-VAC

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