anodic oxidation treatment methods of metals
TRANSCRIPT
![Page 1: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/1.jpg)
1
ํ๊ตญํ๋ฉด๊ณตํํ์งJ. Korean Inst. Surf. Eng.
Vol. 51, No. 1, 2018.
https://doi.org/10.5695/JKISE.2018.51.1.1<ํด์ค๋ ผ๋ฌธ>
ISSN 1225-8024(Print)
ISSN 2288-8403(Online)
๊ธ์์ ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ ๊ธฐ์
๋ฌธ์ฑ๋ชจa,b,*
a์ฌ๋ฃ์ฐ๊ตฌ์ ํ๋ฉด๊ธฐ์ ์ฐ๊ตฌ๋ณธ๋ถ ์ ๊ธฐํํ ์ฐ๊ตฌ์ค
b๊ณผํ๊ธฐ์ ์ฐํฉ๋ํ์๋ํ๊ต ์ ์์ฌ๊ณตํ๊ณผ
Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals
Sungmo Moona,b,*
aSurface Technology Division, Korea Institute of Materials Science, Republic of KoreabAdvanced Materials Engineering, Korea University of Science and Technology, Republic of Korea
(Received February 23, 2018 ; revised February 26, 2018 ; accepted February 26, 2018)
Abstract
Anodic oxidation treatment of metals is one of typical surface finishing methods which has been usedfor improving surface appearance, bioactivity, adhesion with paints and the resistances to corrosion and/orabrasion. This article provides fundamental principle, type and characteristics of the anodic oxidation treatmentmethods, including anodizing method and plasma electrolytic oxidation (PEO) method. The anodic oxidationcan form thick oxide films on the metal surface by electrochemical reactions under the application of electriccurrent and voltage between the working electrode and auxiliary electrode. The anodic oxide films are classifiedinto two types of barrier type and porous type. The porous anodic oxide films include a porous anodizingfilm containing regular pores, nanotubes and PEO films containing irregular pores with different sizes andshapes. Thickness and defect density of the anodic oxide films are important factors which affect the corrosionresistance of metals. The anodic oxide film thickness is limited by how fast ions can migrate through theanodic oxide film. Defect density in the anodic oxide film is dependent upon alloying elements and second-phase particles in the alloys. In this article, the principle and mechanisms of formation and growth of anodicoxide films on metals are described.
Keywords : Anodic oxidation treatment, Anodizing, Anodization, Plasma electrolytic oxidation, Surface treatment
1. ์ ๋ก
โ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ(anodic oxidation treatment)๋ ์ฐ
์ ์ ์ผ๋ก ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋์ด๋ ๋ง๊ทธ
๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฒฝ๊ธ์์ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ๋ฒ ์ค ํ๋์ด๋ค. ๋
๊ธฐ ํ๊ฒฝ ์ค์์ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํฉ๊ธ์
๊ฒฝ์ฐ ๋ถ์์ ์ต์ ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋๋ถ๋ถ ์๊ทน์ฐํ์ฒ
๋ฆฌ ํ ๋ด๊ณต์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ์ฌ ์ฌ์ฉ๋๋ค. ์๊ทน์ฐํ ์ฒ
๋ฆฌ๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํฉ๊ธ์ ์ฉ๋๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ท์์ ๊ฐ
์ ๊ฑด์ถ์์ฌ, ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ๋ชธ์ฒด๋ ๋ถํ, ์๋์ฐจ ๋ถ
ํ/๋ฐ๋, ํญ๊ณต๊ธฐ ๋ชธ์ฒด, ๊ธฐ๊ณ๋ถํ, ์ฃผ๋ฐฉ์ฉํ. ๋ ์ ์ฉ
ํ, ํด๋ํฐ ์ผ์ด์ค ๋ฐ ์ ์์ฅ๋น ์ผ์ด์ค ๋ฑ ์ ์
์์ ๋งํผ ๋ค์ํ๋ค. ์ด์ฒ๋ผ ์ฐ์ ์ ์ผ๋ก ๋๋ฆฌ ์ฌ
์ฉ๋๊ณ ์๋ ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ์๊ฐ๋ ๋ค
์ํ ๋ฌธํ์์ ์ฐพ์๋ณผ ์ ์๋ค[1-3]. ๊ทธ๋ฌ๋ ์๊ทน
์ฐํ์ ๋ํ ๊ฐ๋ ์ ์ถฉ๋ถํ ์ ๊ธฐํํ์ ์ง์์ ๊ฐ
์ง๊ณ ์์ง ์์ผ๋ฉด ์ดํดํ๊ธฐ ๋งค์ฐ ์ด๋ ต๋ค. ์ด์ ๋ณธ
๋ ผ๋ฌธ์์๋ ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ์ ์ ์๋ถํฐ ๊ธฐ๋ณธ ๊ฐ๋ ,
์ข ๋ฅ ๋ฐ ๋ค์ํ ๊ณต์ ์์๋ค์ ๋ํ์ฌ ์๊ธฐ ์ฝ๋
๋ก ์ฒด๊ณ์ ์ด๊ณ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ์ ๋ฆฌํ์ฌ ์ ์ํ๊ณ ์
ํ๋ค.
*Corresponding Author: Sungmo Moon
Surface Technology Division, Korea Institute of MaterialsScienceTel: +82-55-280-3549 ; Fax: +82-55-280-3570E-mail: [email protected]
![Page 2: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/2.jpg)
2 Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10
2. ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ์ ์ ์
โ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ ๊ธ์์ํธ์ ์ก์์ ์ ํด์ง ๋ด์
์นจ์ง ์ํจ ํ ๊ธ์์ํธ์ ์๊ทน(anode)์ผ๋ก ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ
๋ณด์กฐ์ ๊ทน์ ์๊ทน(cathode)์ผ๋ก ํ์ฌ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ธ๊ฐํจ
์ผ๋ก์จ ๊ธ์์ํธ ํ๋ฉด์ ๊ท ์ผํ๊ณ ๋๊บผ์ด ์ฐํํผ๋ง
(oxide film)์ ํ์ฑ์ํค๋ ์ ๊ธฐํํ ๊ณต์ ์ด๋ค. ์๊ทน
(anode)์ด๋ ์ฐํ๋ฐ์์ด ์ผ์ด๋๋ ์ ๊ทน์ ์๋ฏธํ๋ฉฐ,
ํ์๋ฐ์์ด ์ผ์ด๋๋ ์๊ทน(cathode)๊ณผ ๋ฐ๋๋๋ ์
๊ทน์ด๋ค. ์ฐํ๋ ๊ธ์์์๊ฐ ์ฐ์์ ํํ์ ์ผ๋ก ๊ฒฐ
ํฉํ๋ ๊ฒ์ ์๋ฏธํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ฉ์ก ๋ด์์ ๊ธ์์
์๊ทน์ผ๋ก ํ์ฌ ํ๋ฉด์์ ์ผ์ด๋๋ ์ฐํ๋ฐ์์ ์ด์ฉ
ํ์ฌ ์ฐํํผ๋ง์ ์ ๊ธฐํํ์ ์ผ๋ก ์ฑ์ฅ์ํค๋ ๊ฒ์
์๊ทน์ฐํ(anodic oxidation)๋ผ ํ๋ฉฐ, ๊ณ ์จ์์ ์ด์
๊ฐํ์ฌ ์ฐํํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ํค๋ ๊ณ ์จ์ฐํ(high
temperature oxidation)์ ๊ตฌ๋ณ๋๋ค. ๋ํ ์๊ทน์ฐํํผ
๋ง์ ํ์ฑ์ํค๋ ๊ณต์ ์ ๊ธ์ ํ๋ฉด์ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํด๊ฒฐ
ํด ์ค๋ค๋ ์๋ฏธ์โ์ฒ๋ฆฌโ(treatment)๋ ๋จ์ด๋ฅผ ๋ง๋ถ
์ฌ์ ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌโ๋ผ๊ณ ๋ถ๋ฅธ๋ค.
๊ธ์์ ๋๋ถ๋ถ ์์ฐ๊ณ์์ ์ฐํ๋ฌผ(oxide)๋ก ์กด์ฌ
ํ๋ค. ์ฆ ์์ฐ๊ณ์์ ์์ ์(stable phase)์ ์ฐํ๋ฌผ
์ด๋ฉฐ, ๊ธ์์ ์์ ์์ด ์๋๋ผ ์ค์์ ์(metastable
phase)์ด๋ค. ์ค์์ ์์ธ ๊ธ์์ด ์์ ๋๊ฒ ์กด์ฌํ๊ธฐ
์ํด์๋ ๊ธ์ํ๋ฉด์ ์์ฐ์ ์ผ๋ก ํ์ฑ๋ ๋ณดํธ์ฑ ์ฐ
ํํผ๋ง์ด ํ์ํ๋ค. ์ฆ ๋ฐ์์ฑ์ด ๋์ ๋ง๊ทธ๋ค์์ด
๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋๊ณผ ๊ฐ์ ๊ธ์์ด ๋๊ธฐ ์ค์์ ์์ ๋๊ฒ
์ฌ์ฉ๋ ์ ์๋ ์ด์ ๋ ๊ธ์ํ๋ฉด์ ์์ฐ์ฐํํผ๋ง
(native oxide film)์ด ํ์ฑ๋์ด ๊ธ์์์ง๋ฅผ ๋ณดํธํด
์ฃผ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ธ์์ ๋ด์์ฑ์ ๊ธ์
ํ๋ฉด์์ ํ์ฑ๋ ์์ฐ์ฐํํผ๋ง์ด ์ผ๋ง๋ ์น๋ฐํ๊ณ
ํํ์ ์ผ๋ก ์์ ๋๋๊ฐ์ ๋ฌ๋ ค์๋ค. ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ
๋ ์์ฐ์ฐํํผ๋ง์ ๋๊ป๊ฐ ์์์ ์ถฉ๋ถํ ๋ด์์ฑ์
๋ํ๋ด์ง ๋ชปํ ๊ฒฝ์ฐ ๊ธ์์์ง๋ฅผ ๋ณดํธํ๊ณ ์ ํ๋ฉด์ฐ
ํํผ๋ง์ ๋๊ป๋ฅผ ์ธ์์ ์ผ๋ก ์ฑ์ฅ์์ผ ์ฃผ๋ ์ ๊ธฐํ
ํ ๊ณต์ ์ด๋ผ ํ ์ ์๋ค.
์๊ทน์ฐํํผ๋ง์ ์ด์จํ๋ ๊ธ์์ด์จ์ด ์ฐ์๋ฅผ ํฌ
ํจํ๊ณ ์๋ ์์ด์จ๋ค๊ณผ ๋ฐ์ํ์ฌ ํ์ฑ๋๋ค. ์๊ทน์ฐ
ํํผ๋ง์ ๊ธ์์ ์ผ๋ถ๊ฐ ์ฐํ ํผ๋ง์ผ๋ก ๋ฐ๋๊ธฐ ๋
๋ฌธ์ ๋ณํํผ๋ง(conversion coating)์ ์ํ๋ค. ํํธ ๊ธ
์ํ๋ฉด์ ํ์ฑ๋๋ ํ์ฑํผ๋ง(chemical conversion
coating)์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ธ๊ฐํ์ง ์์ ์ํ์์ ์ผ์ด๋
๋ ํํ๋ฐ์์ ์ํด์ ํ์ฑ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์๊ทน์ ๋ฅ๋ฅผ
์ธ๊ฐํ์ฌ ํ์ฑ์ํค๋ ์๊ทน์ฐํํผ๋ง๊ณผ๋ ๋ฌผ์ฑ์ด๋
ํ์ฑ ์๋ฆฌ ์ธก๋ฉด์์ ํฌ๊ฒ ๋ค๋ฅด๋ค. ํ์ฑํผ๋ง๋ ๊ธ์
์ ์ผ๋ถ๊ฐ ํผ๋ง์ผ๋ก ๋ฐ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ณํํผ๋ง
(conversion coating)์ ์ํ๋ค.
์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ ํน์ ํ ๊ธ์๊ณผ ํน์ ํ ์ฉ์ก์์
๋ง ๊ฐ๋ฅํ๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ ๋ฅ-์ ์๊ณก์ ์ ๋ณด๋ฉด ๊ทธ
๋ฆผ 1๊ณผ ๊ฐ์ด ์ธ๊ฐ๋ ์ ์์ด ์์ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ
๊ฒฝ์ฐ ์ ๋ฅ์ ์ฆ๊ฐ๊ฐ ํฌ์ง ์๊ฑฐ๋ ์ผ์ ์ ๊ฐ์ ๋ณด์ด
๋ ๋ฐ๋ฉด, ์ธ๊ฐ์ ์์ด ์์ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ ๊ฒฝ์ฐ์
๋ ์ ๋ฅ๊ฐ ํฌ๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ด๋ ๊ธ์๋ง ์
๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๊ธฐ ๊ฐ๋ฅํ๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ฒฝํฅ์ ํ์ชฝ ๋ฐฉํฅ์ผ
๋ก๋ง ์ ์ฒด๋ฅผ ํ๋ฆฌ๋ ์๋๋ฐธ๋ธ์ ๊ฐ์ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ธ๋ค
๊ณ ํด์ ๋ฐธ๋ธ๊ธ์ (valve metal) ์ด๋ผ ๋ถ๋ฅธ๋ค. ๋ฐธ๋ธ๊ธ
์์ผ๋ก๋ Al, Ti, Mg, Ta, Hf, Nb, W ๋ฑ์ด ์๋ค.
3. ๊ธ์ํ๋ฉด์์์ ์๊ทน์ฐํ ๋ฐ์
์๊ทน(anode, ์ ๋ ธ๋)์์ ์ผ์ด๋๋ ๋ฐ์์ ์ฐํ๋ฐ
์(oxidation reaction)์ด๋ผ ํ๋ฉฐ, ๋์ ํฉ์ณ์ ์๊ทน
์ฐํ๋ฐ์์ด๋ผ ํ๋ค. ๊ธ์ํ๋ฉด์์ ์ผ์ด๋ ์ ์๋
์๊ทน์ฐํ๋ฐ์์ ์(1)์ ์ฐํ๋ฌผ ํ์ฑ๋ฐ์๋ฟ๋ง ์๋
๋ผ ์(2)์ ์ฐ์ ๊ฐ์ค ๋ฐ์ ๋ฐ์๊ณผ ์(3)์ ๊ธ์์ฉ
ํด๋ฐ์์ ํฌํจํ๋ค.
M + z/2 H2O = MOz/2 + zH+ + ze (1)
2H2O = O2 + 4H+ + 4e (2)
M = Maqz+ + ze (3)
M = ๊ธ์ (metal), MO = ๊ธ์ ์ฐํ๋ฌผ, z = ๊ธ์์
์์๊ฐ (number of valance electron), e = ์ ์
(electron), Maqz+ = ์์ฉ์ก ์ค์ ๊ธ์ ์ด์จ (metal ion).
์(1) ~ (3)์ ์๊ทน์ฐํ๋ฐ์์ ์ ์๋ฅผ ์์ฑ์ํค๋
๋ฐ์๋ค์ด๋ค. ์ ๊ธฐํํ์์ ์ฐํ๋ฐ์์ ์(1) ~ (3)
๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ์๋ฅผ ์์ฑํ๋ ํํ๋ฐ์์ผ๋ก ์ ์๋๋ค.
์ฆ ์์ ์ ์ ์ ๊ธฐํํ์์(anodic voltage)๋ฅผ ๊ธ์
์ ์ธ๊ฐํ๋ฉด ์์ ์ ๊ธฐ๋ฅผ ๋ ๋ ์ ์๋ฅผ ์์ฑํ๋ ์
Fig. 1. Current-voltage curve of valve metals.
![Page 3: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/3.jpg)
Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10 3
(1) ~ (3)์ ์๊ทน์ฐํ๋ฐ์๋ค์ด ์ผ์ด๋๊ฒ ๋๋ค. ์๊ทน
์ฐํํผ๋ง์ ํ์ฑ์ ์์ด์ ์(2)์ ์ฐ์๋ฐ์๋ฐ์๊ณผ
์(3)์ ๊ธ์ ์ฉํด๋ฐ์์ ์๊ทน์ฐํํผ๋ง์ ํ์ฑ ํจ
์จ์ ์ ํ์ํค๋ ์์ธ์ด ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํฉ๊ธ์์ ์ค
์ฐํํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ์์กดํ์ฌ ์ฐ์๋ฐ์์ ๋๊ฑฐ๋ ํน์
์ฉ์ก ์ค์ผ๋ก ์ฝ๊ฒ ๋ น์ ๋ค์ด๊ฐ๋ ์์๋ค์ด ์์ผ๋ฉด
์ ๋ฅํจ์จ์ด ๋ฎ์์ง๊ฒ ๋๋ค. ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ์ ์์ด์
์(2)์ (3)์ ๋ฐ์๋ค์ ๊ณ ๋ คํ์ฌ ๊ณต์ ์กฐ๊ฑด์ ์ ์
ํด์ผ ํ๋ค.
๋ง๊ทธ๋ค์, ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ํฐํ๋์ ์์๊ฐ๊ฐ ๊ฐ๊ฐ 2,
3, 4์ด๋ฏ๋ก ์ด์จํ ๋ ๊ฒฝ์ฐ ๊ฐ๊ฐ Mg2+, Al3+, Ti4+๋ก
ํ์๋๋ฉฐ, ์ฐํ๋ฐ์์ ์ํด ์ด์จํ๋ ๊ฒฝ์ฐ ์(4) ~
(6)์ผ๋ก ํํ๋๋ค.
Mg = Mg2+ + 2e (4)
Al = Al3+ + 3e (5)
Ti = Ti4+ + 4e (6)
๋ง๊ทธ๋ค์, ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ํฐํ๋ ํ๋ฉด์์ ํ์ฑ๋๋
์๊ทน์ฐํํผ๋ง์ ์(7) ~ (9)์ ๊ฐ์ด ํํ๋ ์ ์๋ค.
Mg + H2O = MgO + 2H+ + 2e (7)
2Al + 3H2O = Al2O3 + 6H+ + 6e (8)
Ti + 2H2O = TiO2 + 4H+ + 4e (9)
4.์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ฒ์ ์ข ๋ฅ
์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ฒ์ ์ข ๋ฅ๋ ์๊ทน์ ์์ ์ธ๊ฐํ์์
๋ ์ฐํํผ๋ง์ ํ์ฑ์ ํ์ํ ๊ธ์ ์์ด์จ(cation)
๋ฐ ์ฐ์๋ฅผ ํฌํจํ ์์ด์จ(anion)๋ค์ด ์ฐํํผ๋ง์ ํต
๊ณผํ์ฌ ํ๋ฅด๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ผ ๊ตฌ๋ถ๋๋ค. ์ฐํํผ๋ง์
ํ์์ด ์ผ์ด๋์ง ์๊ณ ์ด์จ๋ค์ด ์ธ๊ฐ๋ ์ ๊ธฐ์ฅ์
์ํด ์ฐํํผ๋ง ๋ด๋ถ๋ฅผ ์ด๋ํ์ฌ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ํค๋
์ ํต์ ์ธ ๋ฐฉ๋ฒ์ โ์๋ ธ๋ค์ด์ง(anodizing)โ๋ผ ๋ถ๋ฆฌ์ด
์ ธ ์๋ค. ํํธ, ์ฐํํผ๋ง์ ์ ์ ์ฒด ํ์์ ํตํ์ฌ
์ํฌ๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ฉด์ ์ด์จ๋ค์ ์ด๋์ด ์ผ์ด๋ ํผ๋ง
์ ์ฑ์ฅ์ด ์ผ์ด๋ ๊ฒฝ์ฐ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ฐํ(PEO,
plasma electrolytic oxidation)์ด๋ผ ๋ถ๋ฅธ๋ค. ์๊ทน์ฐํ
ํผ๋ง์ ์ข ๋ฅ๋ ๊ทธ๋ฆผ 2์ ๊ฐ์ด ๋ถ๋ฅ๋ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ข
๋ฅ๋ณ ํผ๋ง์ ๊ตฌ์กฐ๋ ๊ทธ๋ฆผ 3๊ณผ ๊ฐ์ด ๋ํ๋ผ ์ ์๋ค.
Anodize ๋ ๋์ฌ๋ 1930๋ ๋ ์ฒ์ ์ฌ์ฉ๋์์ผ๋ฉฐ
์ด์์ anod(e) + -ize ์ด๋ค. ์๋ ธ๋ค์ด์ง(anodizing)
์ anodize์ ๋๋ช ์ฌํ์ผ๋ก์ โ๊ธ์์ ์๊ทน(anode)
์ผ๋ก ํ๋ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌโ ๊ณต์ ์ด๋ผ๋ ์๋ฏธ๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ์
๋ค. ๊ธ์์ ์๊ทน(cathode)์ผ๋ก ํ์ฌ ์๊ทน ํ์๋ฐ์
์ ์ด์ฉํ๋ ์ ๊ธฐ๋๊ธ๊ณผ๋ ๋ฐ๋์ธ ์๊ทน๋ฐ์์ ์ด์ฉ
ํ๋ค๋ ํน์ง์ด ์๋ค.
์๋ ธ๋ค์ด์ง์ ์ํด ํ์ฑ๋ ํผ๋ง์ ๊ทธ๋ฆผ 3๊ณผ ๊ฐ์ด
์ฅ๋ฒฝํํผ๋ง(barrier type film)๊ณผ ๊ธฐ๊ณตํํผ๋ง (porous
type film)์ผ๋ก ๋๋์ด์ง๋ค. ์ฅ๋ฒฝํ ํผ๋ง์ ๊ทธ๋ฆผ 3(a)
์ ๊ฐ์ด ํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ๊ธฐ๊ณต๊ณผ ๊ฐ์ ๋น ๊ณต๊ฐ์ด ์์ด
์น๋ฐํ๊ฒ ํ์ฑ๋ ํผ๋ง์ ๋งํ๋ค. ๊ธฐ๊ณตํํผ๋ง์ ๊ท
์น์ ์ธ ๊ธฐ๊ณต๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๋ค๊ณต์ฑ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง
(๊ทธ๋ฆผ 3(b)) ๊ณผ ๊ท์น ๊ธฐ๊ณต๋ค ์ฌ์ด์ ๋น ๊ณต๊ฐ์ด ์กด์ฌ
Fig. 2. Classification of anodic oxide films.
Fig. 3. Schematic representation of three different types of anodic oxide films : (a), barrier type anodic oxide film;(b), porous type anodic oxide film; (c), PEO (plasma electrolytic oxidation) film.
![Page 4: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/4.jpg)
4 Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10
ํ๋ ๋๋ ธํ๋ธ (๊ทธ๋ฆผ 4) ํผ๋ง์ผ๋ก ๋๋ ์ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 4๋ ํฐํ๋์ ๋ถ์ฐ์ด์จ์ด ํฌํจ๋ ์์ฉ์ก์
์ ์ ์ ์ ์กฐ๊ฑด์ผ๋ก ํ์ฑ์ํจ ๋๋ ธํ๋ธ์ ํ๋ฉด ๋ฐ
๋จ๋ฉด์ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ FESEM ์ฌ์ง์ผ๋ก์ ๊ธฐ๊ณต๊ณผ ํ๋ธ
๋ค ์ฌ์ด์ ๋น ๊ณต๊ฐ์ด ์์์ ๋ณผ ์ ์๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 3(c)
๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ฐํ ํผ๋ง์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ ๊ทธ๋ฆผ
์ผ๋ก์ ํผ๋ง์ ๊ดํตํ๋ ๊ธฐ๊ณต๋ถํฐ ๋ด๋ถ์ ๊ณ ๋ฆฝ๋
ํฌ๊ณ ์์ ๊ธฐ๊ณต์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ๋ค์ํ ๋ชจ์๊ณผ ํฌ๊ธฐ
์ ๊ธฐ๊ณต์ ๊ฐ์ง๊ณ ์๋ค. ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ฐํ ํผ๋ง์
๊ฒฝ๋๊ฐ ๋ด์ฐ ๋์์ ์ต๊ทผ ๋ค์ด ๋ง์ ๊ด์ฌ์ ๋ฐ๊ณ
์์ผ๋ฉฐ ๋ค์ํ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ค์ด ๋ณด๊ณ ๋๊ณ ์๋ค [4-13].
5. ์๋ ธ๋ค์ด์ง์ ์๋ฆฌ ๋ฐ ์ฃผ์ ์ธ์๋ค์ ์ํฅ
์๋ ธ๋ค์ด์ง์ฒ๋ฆฌ ๊ณต์ ์์ ๊ธ์์ ์๊ทน์ ์์ ์ธ
๊ฐํ์์ ๋ ์ด์จ(ion)๋ค์ด ๊ธ์์ด์จ์ ๊ธ์/์ฐํํผ
๋ง ๊ณ๋ฉด์์ ์ (10)์ ์ด์จํ ๋ฐ์์ ์ํด ์์ฑ๋
์ด ์ฐํํผ๋ง์ ํ์ ์์ด ํผ๋ง์ ํต๊ณผํ์ฌ ์ฉ์ก๊ณผ
์ ํ๊ณ ์๋ ํผ๋ง์ ํ๋ฉด์ชฝ์ผ๋ก ์ด๋ํ๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ
์ฐ์๋ฅผ ํฌํจํ๊ณ ์๋ ์์ด์จ๋ค์ ํผ๋ง ํ๋ฉด์์
์ (11)๊ณผ ๊ฐ์ ๋ฌผ์ ๋ถํด์ ์ํด ํ์ฑ๋์ด ์ (12)
๊ณผ ๊ฐ์ด ํผ๋ง ๋ด๋ถ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ์ด๋ํ๋ค. ํผ๋ง์ ํ๋ฉด
์ชฝ์ผ๋ก ์ด๋ํ๋ ๊ธ์์ด์จ๊ณผ ํผ๋ง์ ์์ชฝ์ผ๋ก ์ด๋
ํ๋ ์์ด์จ์ด ๋ง๋๋ฉด ์ (13)๊ณผ ๊ฐ์ด ๊ธ์์ฐํ๋ฌผ
์ ํ์ฑํจ์ผ๋ก์จ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ด ์ฑ์ฅํ๊ฒ ๋๋ค.
M = Moxz+ + 2e (10)
H2Oad = H+ + OHad- (11)
OHad- = OHox
- (12)
Moxz+ + zOHox
- = M(OH)z (13)
Moxz+ + z/2 Oox
2- = MOz/2 (14)
Mox2+ = ์ฐํํผ๋ง ๊ฒฉ์ ๋ด๋ถ ๊ธ์ ์ด์จ, OHad
- = ์ฐ
ํํผ๋ง ํ๋ฉด์ ํก์ฐฉ๋ ์์ฐํ์ด์จ, OHox- = ์ฐํํผ
๋ง ๊ฒฉ์ ๋ด๋ถ๋ก ์ ์ ๋ ์์ฐํ์ด์จ, Oox2- = ํํผ๋ง
๊ฒฉ์ ๋ด๋ถ๋ก ์ ์ ๋ ์ฐ์์ด์จ, MO = ๊ธ์ ์ฐํ๋ฌผ.
์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฐํํผ๋ง์ ์ ํญ์ ๋งค์ฐ ํฌ๊ธฐ ๋๋ฌธ์
๋์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ์ธ๊ฐ๋์ง ์์ผ๋ฉด ์ด์จ์ ์ด๋์ด ๋
๋ ค์ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ด ์ผ์ด๋๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๊ทธ๋ฆผ
3(a)์ ์ฅ๋ฒฝํ ํผ๋ง๊ณผ ๊ฐ์ด ์น๋ฐํ ํผ๋ง์ ๋์ ์
์์ ์ธ๊ฐํ์ง ์์ผ๋ฉด ๋๊ป๊ฒ ์ฑ์ฅ์ํค๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค.
ํํธ ๋์ ์ ๊ธฐ์ฅ ํ์์ ์ฐํํผ๋ง์ ์ผ๋ถ๊ฐ ๊ตญ๋ถ
์ ์ผ๋ก ์ฉํด๋์ด ๊ธฐ๊ณต(pore)์ ํ์ฑํ ๊ฒฝ์ฐ ๊ทธ๋ฆผ
3(b)์์ ๋ณด๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ๊ธฐ๊ณต์ ๋ฐ๋ฅ (pore bottom)์
์ ๊ธ์๊น์ง์ ์งง์ ์ฅ๋ฒฝ์ธต์ ํต๊ณผํ์ฌ ์ด์จ์ด ์ด
๋ํจ์ผ๋ก์จ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ด ์ผ์ด๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์๋์
์ผ๋ก ๋ฎ์ ์ ์์์ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฑ์ฅํ๋ค. ์ด์ฒ๋ผ ์ฐํ
ํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ๊ตญ๋ถ์ ์ผ๋ก ๊ธฐ๊ณต์ ํ์ฑ์ํด์ผ๋ก์จ ๋
๊ป๊ฒ ํ์ฑ๋๋ ํผ๋ง์ ๋ค๊ณต์ฑ ์๊ทน์ฐํํผ๋ง (porous
type anodic oxide film)์ด๋ผ ํ๋ค. ๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก ์ฅ๋ฒฝ
ํ ์ฐํํผ๋ง์ ํผ๋ง์ด ์ฑ์ฅํจ์ ๋ฐ๋ผ ์ด์จ๋ค์ด ์ด
๋ํด์ผ ํ๋ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ ๊ธธ์ด์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํผ๋ง ํ์ฑ์
์์ด ๋งค์ฐ ๋์์ ธ์ ๋๊ป๊ฒ ์ฑ์ฅ์ํค๊ธฐ ์ด๋ ค์ด ๋ฐ
๋ฉด, ๋ค๊ณต์ฑ ์๊ทน์ฐํํผ๋ง์ ๊ธฐ๊ณต ๋ฐ๋ฅ์์ ๊ธ์๊น
์ง์ ์ผ์ ํ ๊ธธ์ด์ ์ฅ๋ฒฝ์ธต์ ํตํ ์ด์จ์ ์ด๋์ผ
๋ก ํผ๋ง์์ฑ์ฅ์ด ๊ฐ๋ฅํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฎ์
์ ์์์ ๋๊บผ์ด ํผ๋ง์ผ๋ก ์ฑ์ฅ์ํฌ ์ ์๋ค.
์ฐํํผ๋ง์ธต์ ํตํ ์ด์จ๋ค์ ์ด๋์ ์ ํญ์ด์ ๋ฐ
์์ํจ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์๊ทน์ฐํ๊ณต์ ์ ํ์์ ์ผ๋ก ๋๊ฐ
์ฅ์น๋ฅผ ์๋ฐํด์ผ ํ๋ค. ๋ฐ์๋ ์ ํญ์ด๋ก ์ธํ์ฌ ์ฉ
์ก์จ๋๊ฐ ๊ณผ๋คํ๊ฒ ๋์์ง ๊ฒฝ์ฐ ์ฐํํผ๋ง์ด ์ฑ์ฅํ
๋ ๋์์๋ ์ฉ์ก์ ์ํ ์ฐํํผ๋ง์ ์ฉํด๋ฐ์์ด
๋น ๋ฅด๊ฒ ์งํ๋๋ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์ฉ์ก๊ณผ ์ ํ๊ณ ์๋ ์ฐ
ํํผ๋ง์ ํ๋ฉด์ด ์ฉํด๋์ด ์ฑ์ฅ์ํฌ ์ ์๋ ํผ๋ง
Fig. 4. Surface morphology (a) and cross-sectional morphology (b) of TiO2 nanotubes formed by anodizing method.
![Page 5: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/5.jpg)
Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10 5
๋๊ป๊ฐ ์ ํ์ ์ผ ์๋ฐ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋๊บผ์ด ์ฐํ
ํผ๋ง์ ํ์ฑ์ํค๊ธฐ ์ํด์๋ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฉ์ก์ ์จ
๋๋ฅผ ๋ฎ์ถ์ด ์ฐํํผ๋ง์ ์ฉํด๊ฐ ์ผ์ด๋์ง ์๋๋ก
ํด ์ฃผ์ด์ผ ํ๋ค.
์๋ฃจ๋ฏธ๋์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง์ ํ์ฌ ์๋์ฐจ/๊ธฐ๊ณ/ํญ๊ณต
๊ธฐ ๋ถํ, ์ ์/๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ๋ชธ์ฒด, ์ฃผ๋ฐฉ๊ธฐ๊ธฐ, ํด๋ํฐ
์ผ์ด์ค ๋ฑ์ ์ ์ฉ๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ ์ฐ์ ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ฅ ๋
๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ค ํ๋์ด๋ค. ์ฐ
์ ์ ์ผ๋ก ์ด์ฉ๋๊ณ ์๋ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ํฌ ์ ์๋
๋๊ป๊ฐ ์ ํ์ ์ธ ์ฅ๋ฒฝํ ํผ๋ง๋ณด๋ค๋ ๋๊บผ์ด ํผ๋ง์
์ป์ ์ ์๋ ๊ธฐ๊ณตํํผ๋ง์ด ์ฃผ๋ฅผ ์ด๋ฃฌ๋ค. ์๋ฃจ๋ฏธ๋
ํฉ๊ธ์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ด์ธ์ ๋ค์ํ ํฉ๊ธ์์๋ค๋ก ์ธํ
์ฌ ํ๋ฉด์ ์๋ฒฝํ๊ฒ ๋ณดํธํด ์ค ์ ์๋ ์ฅ๋ฒฝํ ํผ
๋ง์ ๋ง๋ค๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋๊บผ์ด ํผ๋ง์ ๋ง๋ค์ด
๋ด๋ง๋ชจ์ฑ์ด๋ ๋ด์์ฑ์ ํฅ์์ํฌ ์ ์๋ ๊ธฐ๊ณตํ
ํผ๋ง์ ํ์ฑ์์ผ ๊ณต์ ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ด๋ค.
๊ธฐ๊ณตํ ํผ๋ง์ ๊ทธ๋ฆผ 3(b)์ ๊ฐ์ด ๋ฐ๊นฅ์ชฝ์ ๋ค๊ณต
์ฑ ์ธต๊ณผ ๋ด๋ถ์ ์ฅ๋ฒฝ์ธต์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ์๋ค. ์ฅ๋ฒฝ์ธต
์ ๋๊ป๊ฐ ์์ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ํฉ๊ธ์์์ ์ํ ๋ง์
๊ฒฐํจ๋ค์ ๊ฐ์ง๊ณ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ฅ๋ฒฝ์ธต๋ง์ผ๋ก๋ ์ผ์
์ด์จ ๋ฑ์ ์นจ์ ์ ๋ง๊ธฐ ์ด๋ ต๊ณ ๋ถ์์ด ์์๋๋ฉด ํ
๊ฒฝ์ผ๋ก๋ณดํฐ ๊ณต๊ธ๋๋ ๋ฌผ์ด๋ ์ผ์์ด์จ์ ๋์ ์ ํ
ํ๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ด์์ฑ์ ๋์ด๊ธฐ ์ํด์๋ ํ
๊ฒฝ์ผ๋ก๋ณดํฐ ๊ณต๊ธ๋๋ ๋ฌผ์ด๋ ์ผ์์ด์จ์ ๋์ ํฌ๊ฒ
์ค์ผ ์ ์๋ ๋๊บผ์ด ํผ๋ง์ธต์ด ํ์ํ๋ฉฐ ์ด์ ์ ํฉ
ํ ํผ๋ง์ด ๊ทธ๋ฆผ 3(b)์ ๊ธฐ๊ณตํ ํผ๋ง์ด๋ค. ๊ธฐ๊ณตํ ํผ
๋ง์ ๋ฐ๊นฅ์ชฝ์ ์์นํ ๋๊บผ์ด ๋ค๊ณต์ฑ ์ธต์ ๊ธฐ๊ณต์
๋ฉ๊พธ์ด ์ฃผ๋ ๋ด๊ณต์ฒ๋ฆฌ (sealing treatment)๋ฅผ ์ ์ ํ๊ฒ
์ํํ ๊ฒฝ์ฐ ๋ด์์ฑ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์ ์ํฌ ์ ์๋ค. ๋ด
๊ณต์ฒ๋ฆฌ๋ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ์ผ์์ด์จ์ด๋ ๋ฌผ์ ์นจ
ํฌ๋ฅผ ์ด๋ ต๊ฒ ํจ์ผ๋ก์จ ๋ถ์์ ์์์ ๋ฆ์ถ์ด ์ค๋ฟ
๋ง ์๋๋ผ ๋ถ์์ด ์์๋๋๋ผ๋ ์ธ๋ถ๋ก๋ถํฐ ๊ณต๊ธ๋
๋ ๋ฌผ์ด๋ ์ผ์์ด์จ์ ๋์ ์ค์ฌ ์ค์ผ๋ก์จ ์ฝ๊ฒ ์
์ถ๋ฌผ์ ํ์ฑํ๊ฒ ๋ง๋ค๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ถ์์๋๋ฅผ ํฌ๊ฒ
๊ฐ์์์ผ ์ค ์ ์๋ค.
์๋ฃจ๋ฏธ๋์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ๊ณต์ ์์ ์ํฅ์ ์ค ์
์ธ์๋ค์ ์ฉ์ก์ pH, ์ฉ์ก ์กฐ์ฑ, ์ฉ์ก ๋๋, ์ฉ์กด
์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ด์จ ๋๋, ์ฉ์ก ์จ๋, ์ฉ์ก ๊ต๋ฐ ์๋, ์ธ
๊ฐ์ ๋ฅ๋ฐ๋, ์ธ๊ฐ์ ์, ์ธ๊ฐ์ ๋ฅ ํํ (DC, AC,
Pulse), ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํฉ๊ธ ์กฐ์ฑ, ์์ถ๋ฌผ, ์ ์ฒ๋ฆฌ, ์ ํ
์ ๋ชจ์ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ, ๋์ ๊ทน ๋ชจ์ ๋ฐ ํฌ๊ธฐ, ์ ๊ธฐ์ ์
์ด ์ ํญ ๋ฑ์ด ์๋ค. ๊ทธ ์ค์์ ๊ฐ์ฅ ํฌ๊ฒ ์ํฅ์ ์ฃผ
๋ ์ธ์๋ค์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์๋์ ๊ธฐ์ ํ์๋ค.
(1) ์๊ทน์ฐํ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ณํ
์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์๋ฃจ๋ฏธ๋์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ๋ฆฌ๋ ์ฐ์ฑ
์ฉ์ก์์ ํํด์ง๋ฉฐ ๊ทธ ์ด์ ๋ ์์ ์ ์๋ฅผ ์ธ๊ฐํ
์์ ๋ ํผ๋ง์ ๊ตญ๋ถ์ ์ฉํด๊ฐ ์ผ์ด๋ ๊ธฐ๊ณต์ด ํ์ฑ
๋๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋๊บผ์ด ์ฐํํผ๋ง์ ํ์ฑ์ํฌ ์ ์๊ธฐ
๋๋ฌธ์ด๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 5์์ ๋ณด๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ์ฐ์ฑ์ฉ์ก์์ ์
๋ฃจ๋ฏธ๋ ํ๋ฉด์ ํ์ฑ๋ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ์ ์ ๋ฅ
์กฐ๊ฑด์ด๋ ์ ์ ์ ์กฐ๊ฑด์ ๊ด๊ณ์์ด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ด ์ฆ๊ฐ
ํจ์ ๋ฐ๋ผ ์ฑ์ฅํ๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๋ ์ด๋ค ์ผ์ ์๊ฐ์ด ์ง
๋๋ฉด ์ฉ์ก๊ณผ ์ ํ๊ณ ์๋ ํผ๋ง ๋ฐ๊นฅ์ชฝ ๋ถ๋ถ์ ํํ
์ ์ฉํด๋ฐ์์ผ๋ก ์ธํ์ฌ ๋ ์ด์ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ด ์ผ
์ด๋๊ธฐ ์ด๋ ต๊ฒ ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 6์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ 7075ํฉ๊ธ์ ์ ์ ๋ฅ ์กฐ๊ฑด์์
์๋ ธ๋ค์ด์ง ํ์ ๋ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ํผ๋งํ์ฑ ์
์์ ๋ณํ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ฝ์ ๋ ๊ทธ๋ฆผ์ ์
์ ๋ฅ ๋ชจ๋์์ ๋ณผ ์ ์๋ ์ ํ์ ์ธ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ
ํผ๋งํ์ฑ์ ์์ ๋ณํ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ ๊ฒ์ผ๋ก์ ์ด๊ธฐ 2
Fig. 5. Anodic oxide film thickness of Al alloy withanodizing time in sulfuric acid solution.
Fig. 6. Voltage-time curves of Al7075 alloy obtainedduring anodizing at 40 mA/cm2 and -1ยฑ0.5oC in 20%H2SO4 solution [14].
![Page 6: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/6.jpg)
6 Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10
~ 3 ์ด ์ด๋ด์ ์ฅ๋ฒฝ์ธต์ ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ผ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์์น
ํ ํ (stage I) ๊ธฐ๊ณต์ด ํ์ฑ๋จ์ ๋ฐ๋ผ ์ฝ 1๋ถ ๋์
๊ฐ์๋๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ธ๋ค (stage II). ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์
๊ฐ์ด ์ฆ๊ฐํจ์ ๋ฐ๋ผ ์ฝ 35๋ถ๊น์ง๋ ํผ๋งํ์ฑ ์ ์์ด
์ง์ํจ์์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๊ณ (stage III) ๊ทธ ์ดํ์๋ ์
์์ ์ฆ๊ฐ์๋๊ฐ ๊ธ๊ฒฉํ๊ฒ ๊ฐ์๋๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ํ๋ธ
๋ค (stage IV). 45๋ถ์์ 70๋ถ๊น์ง์ ์ฌ์ด์์๋ ํผ๋ง
ํ์ฑ์ ์์ด ๋๋ฆฌ๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๋ค๊ฐ (stage V) 70๋ถ ์ดํ
์๋ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๊ฐ์๋๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ธ๋ค (stage VI).
๊ทธ๋ฆผ 7์ ๊ทธ๋ฆผ 6์ ์ ์ ๋ฅ ์กฐ๊ฑด์์ ์ป์ด์ง ์๋ ธ
๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๋จ๋ฉด์ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ ๊ทธ๋ฆผ์ผ๋ก์ ํผ๋งํ
์ฑ์ ์์ ์ฆ๊ฐ์๋๊ฐ ๊ฐ์๋๊ธฐ ์์ํ๋ 3๋จ๊ณ 35
๋ถ๊น์ง๋ ํผ๋ง์ ํ์์ด ์ผ์ด๋์ง ์์์ ์ ์ ์
๋ค. ๋ฐ๋ฉด์ ํผ๋งํ์ฑ์ ์์ ์ฆ๊ฐ์๋๊ฐ ๊ฐ์๋๊ธฐ ์
์ํ๋ 4๋จ๊ณ 40๋ถ ์ดํ์๋ ํผ๋ง์ ์ผ๋ถ๋ถ์ด ํ
์๋๋ ํ์์ด ๋ํ๋๋ค. ํผ๋ง ์ ์์ด ๊ฐ์๋๊ธฐ ์
์ํ๋ 70๋ถ ์ดํ์๋ ํผ๋ง์ ์ฒด๊ฐ ์ดํ๋๋ ํ์์ด
์ผ์ด๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ค์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์๊ฐ์ด ์ด
๋ ์ด์์ด ๋๋ฉด ๋์์ง ์ ํญ์ด๊ณผ ์ฅ์๊ฐ์ ํํ๋ฐ
์์ ์ํด ์ฐ์ฑ์ฉ์ก๊ณผ ํผ๋ง์ ํ์์ด ๊ธ๊ฒฉํ๊ฒ ์ง
ํ๋จ์ ์๋ ค์ค๋ค. ํํธ, ์ธ๊ฐ์ ๋ฅ๋ฐ๋๊ฐ ๋ฎ์ ๊ฒฝ์ฐ
ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์๋๊ฐ ๋๋ ค์ ์ ํญ์ ์ฆ๊ฐ์๋๊ณ ๋๋ฆฌ
๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ฎ์ ์ ๋ฅ๋ฐ๋์์๋ i2R์ ์ ํญ์ด ํจ
๊ณผ๋ณด๋ค๋ ๊ทธ๋ฆผ 5์์ ๋ณด์ฌ์ค ์ฉ์ก๊ณผ์ ํํ๋ฐ์์
์ํ ์ฉํด๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ ํฌ๊ฒ ๋ํ๋ ์ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 8์ ๊ทธ๋ฆผ 7์ ์ ์ ๋ฅ ์กฐ๊ฑด์์ ์ป์ด์ง ์๋ ธ
๋ค์ด์ง ํผ๋ง๋จ๋ฉด์ ์์ชฝ ๋ถ๋ถ๊ณผ ๋ฐ๊นฅ์ชฝ ๋ถ๋ถ์ ๊ฒฝ
๋๋ฅผ ์ธก์ ํ์ฌ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์๊ฐ์ ํจ์๋ก ๋ณด์ฌ์ฃผ๋
๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๊ฒฝ๋๋ ํผ๋ง์ ์์ชฝ
๋ถ๋ถ๊ณผ ๋ฐ๊นฅ์ชฝ ๋ถ๋ถ์ ๊ด๊ณ์์ด ์ ๋ถ๋ถ์ ๊ฑธ์ณ์
์๋ ธ๋ค์ด์ง ์๊ฐ์ด ์งง์์๋ก ๋ ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ๋ค. ์ด
๋ ์ฐ์ฑ์ฉ์ก๊ณผ์ ์ ์ด ์๊ฐ์ด ๊ธธ์ด์ง์๋ก ํํ๋ฐ์
์ ์ํ ์ดํ๊ฐ ๋ ๋ง์ด ์งํ๋์ด ํผ๋ง์ ๊ฒฝ๋๊ฐ
๋ ๋ฎ์์ง์ ์๋ฏธํ๋ค. ๋ํ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๊ฒฝ
๋๋ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๊ด๊ณ์์ด ํผ๋ง์ ์์ชฝ ๋ถ๋ถ์ด ๋ฐ
๊นฅ์ชฝ ๋ถ๋ถ์ ๋นํด ์๋ฑํ๊ฒ ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ๋ค. ์ด๋ฌํ
์ฐจ์ด๋ ๋จผ์ ํ์ฑ๋ ๋ฐ๊นฅ์ชฝ ํผ๋ง์ด ๋ ์ค๋ซ๋์ ์ฉ
์ก์ ๋ ธ์ถ๋์ด ๋ ๋ง์ ์ฉํด์์ฉ์ด ์ผ์ด๋ฌ๊ธฐ ๋๋ฌธ
์ด๋ค.
์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ์์น์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒฝ๋๋ ๊ทธ๋ฆผ 8์
์ ๋ณด๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ๋ ์ค๋ซ๋์ ์ฉ์ก์ ๋ ธ์ถ๋๋ ๋ฐ๊นฅ
์ชฝ ๋ถ๋ถ์ผ๋ก ๊ฐ์๋ก ๋ ๋ฎ๊ฒ ๋ํ๋๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 8์์
ํฅ๋ฏธ๋ก์ด ์ ์ ๋์ผํ ์์น์์์ ๊ฒฝ๋ ๊ฐ์ด ๋ ์ค
๋ซ๋์ ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ ์ํธ์ผ์๋ก ์ฝ๊ฐ ๋ ๋ฎ์์ง
๋ค๋ ์ ์ด๋ค. ์ผ์ ํ ์ ๋ฅ์กฐ๊ฑด์์ ํ์ฑ๋ ํผ๋ง์ด
๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ธ์/์ฐํ๋ฌผ ๊ณ๋ฉด์ผ๋ก๋ถํฐ ๋์ผํ ์์น
์ ํผ๋ง์ ๋์ผํ ์๊ฐ๋์ ์ฉ์ก์ ๋ ธ์ถ๋์๋ค๊ณ
Fig. 7. Cross-sectional morphologies of anodic oxide films on Al7075 alloy with anodization time at 40 mA/cm2 and-1ยฑ0.5oC in 20% H2SO4 solution [14].
Fig. 8. Hardness of inner and outer regions in anodicoxide films as a function of anodization time on Al7075in 20% H2SO4 solution [14].
![Page 7: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/7.jpg)
Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10 7
๊ฐ์ ํ ์ ์๋ค. ์ด๋ ๋ ์ค๋ซ๋์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ
๋ฆฌ๋ ์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋๊บผ์ด ํผ๋ง ๋๊ป๋ก ์ธํ์ฌ ๋
๋ง์ ์ ํญ์ด์ด ๋ฐ์๋๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋์ผํ ์๊ฐ๋์
์ฉ์ก์ ๋ ธ์ถ๋์๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋ ๋ ๋์ ์จ๋๋ก ์ธ
ํ์ฌ ํผ๋ง์ ํํ์ ์ดํ๊ฐ ๋ ๋ง์ด ์งํ๋์๊ธฐ ๋
๋ฌธ์ด๋ผ ํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง
์ ๊ฒฝ๋๋ฅผ ์ป๊ธฐ ์ํด์๋ ํผ๋ง ๋ด๋ถ์์ ๋ฐ์๋ ์
ํญ์ด์ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๋ฐฉ์ถ์ํด์ผ๋ก์จ ํผ๋ง๊ณผ ์ ํ๊ณ
์๋ ์ฉ์ก์ ์จ๋๋ฅผ ๋ฎ์ถ์ด ์ฃผ์ด์ฌ ํ๋ค. ๊ณ ๊ฒฝ๋์
์ฐํํผ๋ง์ ์ป๊ธฐ ์ํ ๋ชฉ์ ์ ๊ฒฝ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ๋ฆฌ
๊ฐ 0oC ์ดํ์ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ ๊ฒ์ ๋ฐ
๋ก ํํ๋ฐ์์ ์ํ ํผ๋ง์ ์ดํ๋ฅผ ๋ง์์ค์ผ๋ก์จ
ํผ๋ง๊ฒฝ๋์ ์ ํ๋ฅผ ์ต์ํํ๊ธฐ ์ํจ์ด๋ค.
(2) ์ฉ์ก ์จ๋ ๋ฐ ๋๋์ ์ํฅ
๊ทธ๋ฆผ 10์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๋๊ป์ ๋ฏธ์น๋ ์ฉ
์ก์ ์จ๋ ๋ฐ ๋๋์ ์ํฅ์ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ
์ ๋ฐ๋ผ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ ๊ทธ๋ฆผ์ด๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 9(a)์์ ๋ณด๋ ๊ฒ
์ฒ๋ผ ์ฉ์ก์ ์จ๋๊ฐ ๋์์๋ก ํํ๋ฐ์์ ์ํ ํผ
๋ง์ ์ดํ๋ ์ฉํด๋ฐ์์ด ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ผ์ด๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์
๋๊บผ์ด ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ์ป๊ธฐ ์ํด์๋ ์จ๋๋ฅผ
๋ฎ์ถ๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ค. ๋ํ ์ฐ์ฑ์ฉ์ก์ ๋๋๊ฐ ๋
์์๋ก ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ํํ์ ์ฉํด๋ฐ์๋ ๊ทธ๋ฆผ
9(b)์ ๊ฐ์ด ๋ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ผ์ด๋๋ค.
์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ํํ์ ์ดํ๋ ์ฉ์ก์ ์จ๋,
ํฉ์ฐ์ ๋๋ ๋ฐ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋น๋กํ๋ค. ํํธ ํผ๋ง์
๋๊ป๋ ์ธ๊ฐ์ ๋ฅ๋ฐ๋ ๋ฐ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ์๊ฐ์ ๋น๋กํ
๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋๊ป๊ณ ๋จ๋จํ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ์ป๊ธฐ
์ํด์๋ ์ ์จ์ ์ฉ์ก์์ ๋์ ์ ๋ฅ๋ฐ๋๋ฅผ ์ธ๊ฐํ
์ฌ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์๋๋ฅผ ๋์ด๊ณ ํผ๋ง์ ์ดํ๋ฅผ ์ต์
ํ์์ผ์ผ ํ๋ค. ์ด๋ฌํ ์๋ ธ๋ค์ด์ง์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ๊ฒฝ์ง์๋ ธ
๋ค์ด์ง์ด๋ผ ํ๋ค.
๊ฒฝ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ด ๋ฎ์ ์จ๋์์ ์ด๋ฃจ์ด์ง
๋ ์ด์ ๋ ํํ์ ์ฉํด๋ฐ์์ ์ํ ํผ๋ง์ ์ดํ๋ฅผ
๋ฐฉ์งํจ์ผ๋ก์จ ๋ ๋จ๋จํ ํผ๋ง์ ์ป๊ธฐ ์ํจ์ด๋ค. ๊ฒฝ
์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง์ ๊ณ ๋๋์ ํฉ์ฐ์ฉ์ก์ ์ฌ์ฉํ๋๋ฐ
๊ทธ ์ด์ ๋ ํผ๋ง์ ์ ํญ์ ๋ฎ์ถค์ผ๋ก์จ ์ ํญ์ด์ ๋ฐ
์์ ์ต๋ํ ์ต์ ์ํฌ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๊ทธ์ ๋ฐ๋ผ ๋์
์ ๋ฅ๋ฐ๋๋ฅผ ์ธ๊ฐํ์ฌ ํผ๋ง์ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฑ์ฅ์ํฌ ์
์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค. ๊ฒฝ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ์ป๊ธฐ ์ํด
์๋ ์ฉ์ก์ ์จ๋๋ฅผ ๋ฎ๊ฒ ์ ์งํ๊ฑฐ๋ ํํ๋ฐ์ ์ต
์ ์ฉ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ฅผ ์ฌ์ฉํจ์ผ๋ก์จ ํํ๋ฐ์์ ์ํ ์ดํ
์ ์งํ์ ๋ฆ์ถ์ด ์ฃผ๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ค.
๊ฒฝ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ํ์ฑ๋๋ฏ
๋ก ํผ๋ง์ ํ์ฑ์ํจ ํ ์์จ ๋๋ ๊ณ ์จ์์ ํํด์ง
๋ ์์ธ๊ณต์ ์ด๋ ๋ด๊ณต์ฒ๋ฆฌ ๊ณผ์ ์์ ์ดํฝ์ฐฝ์ ์ํ
์ด์๋ ฅ์ ๋ฐ๊ฒ ๋๋ค. ์ฐํํผ๋ง์ ์์ง๊ธ์๋ณด๋ค ๋ฎ
์ ์ดํฝ์ฐฝ๊ณ์๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์จ๋๊ฐ ์์นํ๋ฉด
์ธ์ฅ์๋ ฅ์ ๋ฐ๊ฒ ๋๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ํผ๋ง์ ๊ท ์ด์ด ํ์ฑFig. 9. Hardness profile across the anodic oxide filmsformed on Al7075 in 20% H2SO4 solution [14].
Fig. 10. Anodic oxide film thickness of Al alloy with anodizing time at different (a) temperatures and (b)concentrations of sulfuric acid solution.
![Page 8: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/8.jpg)
8 Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10
๋๋ ํ์์ด ์ผ์ด๋๋ค. ํนํ ๋๊บผ์ด ์ฐํํผ๋ง์ผ์
๋ก ์์ง๊ธ์/์ฐํํผ๋ง ๊ณ๋ฉด์์ ๋ฐ์๋๋ ์๋ ฅ์ด ํฌ
๊ธฐ์ ๊ท ์ด์ด ๋ ์ฝ๊ฒ ๋ฐ์ํ๋ค. ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์
๋ฐ์๋ ๊ท ์ด์ ์์ง๊ธ์์ ๋ด์์ฑ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ํผ๋ก
๊ฐ๋๋ฅผ ํฌ๊ฒ ์ ํ์ํค๋ ์์ธ์ด ๋ ์ ์๋ค.
์ฐ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๊ฒฝ์งํผ๋ง๊ณผ๋ ๋ฌ๋ฆฌ ๋น๊ต์
๋ฎ์ ๋๋์ ํฉ์ฐ์ฉ์ก์ ์ฌ์ฉํ๋ฉฐ ์ฉ์ก์ ์จ๋๋ ์
๋์ ์ผ๋ก ๋์ ์์จ์์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ํํด์ง๋ค. ์๋
์ ์ผ๋ก ๋์ ์จ๋์์ ํ์ฑ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ฒฝ์งํผ๋ง์
๋นํด ๊ฒฝ๋๋ ๋ฎ์ง๋ง ๋๊ฐ๋น์ฉ์ ์ ๊ฐํ ์ ์๊ณ , ์
์กฐ์ ์ค์จ์ ์ฐจ์ด ํฌ๊ธฐ ์์ ์ดํฝ์ฐฝ/์์ถ์ ์ํ ์ด
์๋ ฅ์ ๋ฐ์์ด ์๋์ ์ผ๋ก ์ ๊ณ ์์์ ์ฐํ ํน์ฑ
์ ๋ํ๋ด๊ธฐ์ ๊ท ์ด๋ฐ์๋ ์๋์ ์ผ๋ก ์ ์ ์ฅ์ ์ด
์๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ด๋ง๋ชจ์ฑ์ด ์๊ตฌ๋๋ ๊ธฐ๊ณ๋ถํ์
๊ฒฝ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํ๊ณ ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ด์์ฑ์ ์๊ตฌ
ํ๋ ์ ํ์๋ ์ฐ์ง์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ๋ค.
(3) ํฉ๊ธ์์์ ์ํฅ
์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๋๊ป ๋ฐ ์์ฑํจ์จ์ ๊ฐ์ฅ ํฐ
์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ ์ธ์ ์ค ํ๋๋ ๊ทธ๋ฆผ 11์์ ๋ณด๋
๊ฒ์ฒ๋ผ ํฉ๊ธ์ฑ๋ถ์ด๋ค. ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํฉ๊ธ์๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋
์ฑ๋ถ ์ด์ธ์ ๊ธฐ๊ณ์ ๋ฌผ์ฑ ๋๋ ์ฃผ์กฐ์ฑ์ ํฅ์์ํค
๊ธฐ ์ํด ํฉ๊ธ์ ์ข ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ ๊ตฌ๋ฆฌ(Cu)์ ๋ง๊ทธ๋ค์
(Mg), ์์ฐ(Zn), ๋ง๊ฐ(Mn), ์ฒ (Fe), ๊ท์(Si) ๋ฑ์ด ๋ค
๋์ผ๋ก ํฌํจ๋์ด ์๋ค. ํฉ๊ธ ์ฑ๋ถ ์ค ๊ฐ์ฅ ์๋ ธ๋ค
์ด์ง ํผ๋ง์ ํ์ฑ์ ๊ฐ์ฅ ํฌ๊ฒ ์ํฅ์ ์ฃผ๋ ์์๋
Cu, Mg ๋ฐ Si์ด๋ค. Cu๋ ์๊ทน์ฐํ ๊ณผ์ ์์ ์ผ๋ถ
๊ฐ ํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ๋จ์์ ์ฐ์๊ฐ์ค ๋ฐ์๋ฐ์์ ์ด์ง
ํจ์ผ๋ก์จ ์ ๋ฅํจ์จ์ ๋จ์ด๋จ๋ฆฌ๋ ์์ธ์ด ๋๋ค. Mg
์ ์ฐ์ฑ์ฉ์ก์์ ์ฝ๊ฒ ์ฉํด๋์ด ์ฉ์ก ์ค์ผ๋ก ๋น ์ ธ
๋๊ฐ์ผ๋ก์จ ์ ๋ฅํจ์จ์ ๋จ์ด๋จ๋ฆด ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ํผ๋ง
๋ด๋ถ์ ๋น ๊ณต๊ฐ์ ๋จ๊ธฐ๊ธฐ๋ ํ๋ค. Si๋ ๋น์ ๋์ฑ ์
์๋ก์ ์ง์ ์๊ทน์ฐํ๋ฐ์์ ์ฐธ์ฌํ์ง๋ ์์ผ๋ ํ
๋ฉด์ ์์กดํ์ฌ ํผ๋งํ์ฑ์ ๋ฐฉํดํ๋ ์ญํ ์ ํ๊ธฐ์
ํผ๋ง์ ๋ถ๊ท ์ผํ ์ฑ์ฅ ๋ฐ ๊ท ์ด๋ฐ์์ ์์ธ์ด ๋๊ธฐ
๋ ํ๋ค.
(4) ์ธ๊ฐ์ ๋ฅ๋ฐ๋ ๋ฐ ์ธ๊ฐ์ ์์ ์ํฅ
์๋ ธ๋ค์ด์ง ์ฒ๋ฆฌ๋ ํฌ๊ฒ ์ ์ ๋ฅ ๋ชจ๋ ๋ฐ ์ ์ ์
๋ชจ๋์์ ํํ๋ค. ์ ์ ๋ฅ ๋ชจ๋์ ๊ฒฝ์ฐ ํ๋ฅธ ์ ํ๋
์ ๋น๋กํ์ฌ ํผ๋ง์ด ์ฑ์ฅํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํผ๋ง๋๊ป์
์กฐ์ ์ด ์ฉ์ดํ ์ฅ์ ์ด ์๋ค. ์ ์ ์ ๋ชจ๋์ ๊ฒฝ์ฐ ํผ
๋ง์ ์ฑ์ฅ์๋๊ฐ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๊ฐ์๋๋ ๊ฒฝํฅ์ด ์
์ผ๋ ํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ํ์ฑ๋ ๊ธฐ๊ณต์ ์ง๋ฆ์ ์ผ์ ํ๊ฒ
์ ์ง์ํฌ ์ ์๊ณ ์ ํ์ ๋ฉด์ ์ ์ ํํ๊ฒ ์์ง ๋ชป
ํด๋ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ผ๋ก ํผ๋ง ๋๊ป๋ฅผ ์กฐ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ
ํผ๋ง ๋ด๋ถ ๊ธฐ๊ณต์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ผ์ ํ๊ฒ ์ ์งํ ์ ์๋
์ฅ์ ์ด ์๋ค.
Fig. 11. Anodic oxide film thickness of various Alalloys with anodizing time in sulfuric acid solution.
Fig. 12. Anodic oxide film thickness of Al with anodizing time at (a) constant current and (b) constant voltageconditions in sulfuric acid solution.
![Page 9: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/9.jpg)
Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10 9
์ ์ ๋ฅ ์กฐ๊ฑด์์ ํผ๋ง์ ์ฑ์ฅ์๋๋ฅผ ๋์ด๊ธฐ ์ํ
์ฌ ๊ณ ์ ๋ฅ์ง๋๋ฅผ ์ธ๊ฐํ ๊ฒฝ์ฐ ๊ทธ๋ฆผ 12(a)์์ ๋ณด
๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ์๊ณ์ ๋ฅ๋ฐ๋ ์ด์์์ ๋ฒ๋ (burning)
ํ์์ด ์ผ์ด๋ ์ ์๋ค. ๋ฒ๋์ ๊ณผ๋คํ ์ด์ด ๋ฐ์
ํ ๋ ๊ตญ๋ถ์ ํน์ ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก ํผ๋ง์ ์ดํ๊ฐ ๋น ๋ฅด
๊ฒ ์งํ๋๋ ํ์์ ์ผ์ปซ๋๋ค. ๋ฒ๋์ ๊ทธ๋ฆผ 12(b)์
์์ ๊ฐ์ด ์ ์ ์ ๋ชจ๋์์๋ ์ผ์ด๋ ์ ์๋ค. ํน
์ ์ ์ ์ด์์์ ์ ๋ฅ๊ฐ ๊ธ๊ฒฉํ ํ๋ฅด๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ
์ด ๋ฐ์์ด ๊ณผ๋คํ๊ฒ ์ผ์ด๋ ํผ๋ง์ ์ฉํด๋ง ์ผ์ด๋
๋ ๋ฒ๋ ํ์์ด ์ผ์ด๋๊ธฐ๋ ํ๋ค.
๋งบ์๋ง
๊ธ์์ ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ ์๋์ฐจ, ํญ๊ณต๊ธฐ, ๊ธฐ
๊ณ๋ถํ, ํด๋ํฐ ์ผ์ด์ค, ์ฃผ๋ฐฉ์ฉํ, ๋ ์ ์ฉํ ๋ฐ ์
์ธ์ฌ๋ฆฌ ์ฉํ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ์ ์ฐ์ ๋ถ์ผ์์ ๊ฐ์ฅ
๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ ์๋ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ค ํ๋์ด
๋ค. ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ ๊ธ์์ ์๊ทน์ผ๋ก ํ์ฌ ์ฉ์ก์
์นจ์ง๋์ด ์๋ ๊ธ์์ ํ์ ํ๋ฉด์์ ์ผ์ด๋๋ ์ฐํ
๋ฐ์์ ์ด์ฉํ์ฌ ๋ณดํธ์ฑ์ด ์ฐ์ํ ํ๋ฉด์ฐํํผ๋ง์
ํ์ฑ์ํค๋ ์ ๊ธฐํํ ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ด๋ค. ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ
๋ฒ์ ์ข ๋ฅ๋ ์๊ทน์ ์์ ์ธ๊ฐํ์์ ๋ ์ฐํํผ๋ง์
ํ์ฑ์ ํ์ํ ์ด์จ๋ค์ด ํผ๋ง์ ํต๊ณผํ์ฌ ํ๋ฅด๋
๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ผ โ์๋ ธ๋ค์ด์ง๋ฒโ๊ณผ โํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ฐํ
๋ฒโ์ผ๋ก ๋๋ ์ ์๋ค. ์ ํต์ ์ธ ์๋ ธ๋ค์ด์ง๋ฒ์ ๊ฒฝ
์ฐ ์ฐํํผ๋ง์ ์ ์ ์ฒด ํ์์ด ์ผ์ด๋์ง ์๊ณ ์ด์จ
๋ค์ด ํผ๋ง ๋ด๋ถ๋ฅผ ์ด๋ํ์ฌ ํผ๋ง์ด ์ฑ์ฅ๋๋ ๋ฐ๋ฉด,
์ต๊ทผ ๋ค์ด ํฐ ๊ด์ฌ์ ๋ฐ๊ณ ์๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ฐํ
๋ฒ์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ฐํํผ๋ง์ ์ ์ ์ฒด ํ์์ ํตํ์ฌ
์ํฌ๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ฉด์ ์ด์จ๋ค์ ์ด๋์ด ์ผ์ด๋ ํผ๋ง
์ด ์ฑ์ฅ๋๋ ์ฐจ๋ณ์ ์ด ์๋ค. ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๋ด
๋ถ์ ๋น ๊ณต๊ฐ์ด ์์ด ์น๋ฐํ ์ฅ๋ฒฝํํผ๋ง(barrier type
film)๊ณผ ๊ธฐ๊ณต์ด ์กด์ฌํ๋ ๊ธฐ๊ณตํํผ๋ง(porous type
film)์ผ๋ก ๋๋์ด์ง๋ค. ๊ธฐ๊ณตํํผ๋ง์ ๊ท์น์ ์ธ ๊ธฐ๊ณต
๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๋ค๊ณต์ฑ ์๋ ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง๊ณผ ๊ท์น ๊ธฐ
๊ณต๋ค ์ฌ์ด์ ๋น ๊ณต๊ฐ์ด ์กด์ฌํ๋ ๋๋ ธํ๋ธ(nanotube)
๋ก ๋๋ ์ ์๋ค. ์๊ทน์ฐํ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ ๊ฒฝ์ฐ ์ฐํ
๋ฌผ ํ์ฑ๋ฐ์๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฐ์ ๊ฐ์ค ๋ฐ์ ๋ฐ์๊ณผ ๊ธ
์์ฉํด๋ฐ์์ด ๋์์ ์ผ์ด๋๋ค. ํฉ๊ธ์์๋ค ์ค Cu
๋ ์๊ทน์ฐํ ๊ณผ์ ์์ ์ผ๋ถ๊ฐ ํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ๋จ์ ๊ฒฝ
์ฐ ์ฐ์๊ฐ์ค ๋ฐ์๋ฐ์์ ์ด์งํจ์ผ๋ก์จ ์ ๋ฅํจ์จ์
๋จ์ด๋จ๋ฆฌ๋ ์์ธ์ด ๋๋ค. Mg์ ์ฐ์ฑ์ฉ์ก์์ ์ฝ๊ฒ
์ฉํด๋์ด ์ฉ์ก ์ค์ผ๋ก ๋น ์ ธ ๋๊ฐ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ๋ฅํจ
์จ์ ๋จ์ด๋จ๋ฆด ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ํผ๋ง ๋ด๋ถ์ ๋น ๊ณต๊ฐ์
๋จ๊ฒจ์ ํผ๋ง์ ๋ฌผ์ฑ์ ์ ํ์ํค๊ธฐ๋ ํ๋ค. Si์ ๋น
์ ๋์ฑ ์ ์๋ก์ ์๊ทน์ฐํ๋ฐ์์ ์ฐธ์ฌํ์ง๋ ์์ง
๋ง ํผ๋งํ์ฑ์ ๋ฐฉํดํff์ฌ ํผ๋ง์ ๋ถ๊ท ์ผํ ์ฑ์ฅ ๋ฐ
๊ท ์ด๋ฐ์์ ์์ธ์ด ๋๊ธฐ๋ ํ๋ค. ์๊ทน์ฐํํผ๋ง์ ๋ฌผ
์ฑ์ ๋ํ ํํ๋ฐ์์ ์ํด์ ํฌ๊ฒ ์ํฅ์ ๋ฐ๊ธฐ ๋
๋ฌธ์ ์ฉ์ก์ ์กฐ์ฑ, ๋๋, ์จ๋, ์ ์ ๋ฐ ์ ํญ์ด ๋ฑ
์ด ์ค์ํ ๋ณ์๊ฐ ๋๋ค.
Acknowledgement
This research was financially supported by a
research grant of general research program of
KIMS.
References
[1] P.G. Sheasby, B.A. Scott, Corrosion, third Ed,
Elsevier (1994) 15:3.
[2] G.E. Thompson, G.C. Wood, Treatise on Materials
Science and Technology, Academic Press (1983)
205.
[3] V. F. Henley, Anodic Oxidation of Aluminium and
its Alloys, Elsevier (1982)
[4] A.L. Yerokhin, X. Nie, A. Leyland, A. Matthews,
S.J. Dowey, Plasma electrolysis for surface
engineering, Surface and Coatings Technology 122
(1999) 73-93.
[5] E. Matykina, R. Arrabal, A. Mohamed, P. Skeldon,
G.E. Thompson, Plasma electrolytic oxidation of
pre-anodized aluminium, Corrosion Science 51
(2009) 2897-2905.
[6] S. Moon, Y. Jeong, Generation mechanism of
microdischarges during plasma electrolytic
oxidation of Al in aqueous solutions, Corrosion
Science 51 (2009) 1506-1512.
[7] S. Moon, C. Yang, S. Na, Effects of Hydroxide
and Silicate ions on the Plasma Electrolytic
Oxidation of AZ31 Mg Alloy, Kor. Inst. Surf.
Eng. 47(2014) 147-154.
[8] D. Kwon, S. Moon, Effects of NaOH Concentration
on the Structure of PEO Films Formed on AZ31
Mg Alloy in PO4
3โ and SiO3
2โ Containing Aqueous
Solution, Kor. Inst. Surf. Eng. 49 (2016) 46-53.
[9] S. Moon, D. Kwon, Anodic Oxide Films Formed
on AZ31 Magnesium Alloy by Plasma Electrolytic
Oxidation Method in Electrolytes Containing
Various NaF Concentrations, Kor. Inst. Surf. Eng.
49 (2016) 225-230.
[10] S. Moon, Duyoung Kwon, Anodic oxidation
behavior of AZ31 magnesium alloy in aqueous
electrolyte containing various Na2CO3 concentrations,
Kor. Inst. Surf. Eng. 49 (2016) 331-338.
[11] X. Lu, M. Mohedano, C. Blawert, E. Matykina,
R. Arrabal, K. U. Kainer, M. L. Zheludkevich,
![Page 10: Anodic Oxidation Treatment Methods of Metals](https://reader030.vdocuments.site/reader030/viewer/2022012623/61a299e62f049919533b3f41/html5/thumbnails/10.jpg)
10 Sungmo Moon/J. Korean Inst. Surf. Eng. 51 (2018) 1-10
Plasma electrolytic oxidation coatings with particle
additions โ A review, Surface and Coatings
Technology 307 (2016) 1165-1182.
[12] Jung-Hyung Lee, Seong-Jong Kim, Influences of
Potassium Fluoride (KF) Addition on the Surface
Characteristics in Plasma Electrolytic Oxidation of
Marine Grade Al Alloy, Kor. Inst. Surf. Eng. 49
(2016) 280-285.
[13] Jung-Hyung Lee, Seong-Jong Kim, Characterization
of Ceramic Oxide Layer Produced on Commercial
Al Alloy by Plasma Electrolytic Oxidation in
Various KOH Concentrations, Kor. Inst. Surf. Eng.
49 (2016) 119-124.
[14] S. Moon, C. Yang, S. Na, Formation Behavior of
Anodic Oxide Films on Al7075 Alloy in Sulfuric
Acid Solution, Kor. Inst. Surf. Eng. 47 (2014)
155-161.