5 vaccum pump

دیافراگمدیافراگمتوسط که ارتجاع قابل ی پرده یک وسیله توسط به که ارتجاع قابل ی پرده یک وسیله به

میشود رانده میشود پیستون رانده میکند ٬٬پیستون میکند عمل عمل ..میچرخد لنگ میل پیستون پائین و باال حرکت میچرخد با لنگ میل پیستون پائین و باال حرکت با

میکند تبدیل دورانی حرکت به را حرکت میکند و تبدیل دورانی حرکت به را حرکت ..و

میکنند کار روغن بدون ها پمپ میکنند این کار روغن بدون ها پمپ و و )) Oil FreeOil Free ) ) ایننهایی فشار نهایی در فشار کنند mbarmbar4 4 در می کنند کار می حرکت ٬٬کار حرکت در در

و میشود بسته دوم دریچه و باز اول دریچه و اول میشود بسته دوم دریچه و باز اول دریچه اولمیشود محفظه وارد میشود هوا محفظه وارد ..هوا

میشود باز دوم دریچه و بسته اول دریچه دوم حرکت میشود در باز دوم دریچه و بسته اول دریچه دوم حرکت دراتفاق لنگ میل رفتن پائین و باال و پیستون حرکت با اتفاق که لنگ میل رفتن پائین و باال و پیستون حرکت با کهمیشود دوم دریچه از هوا رفتن بیرون باعث و افتد میشود می دوم دریچه از هوا رفتن بیرون باعث و افتد می

دیفوژندیفوژنبخاری یک پمپ این بخاری در یک پمپ این . (Heater)(Heater) در میکند داغ را . روغن میکند داغ را روغن

از و میرود باال فشار و میشوند بخار از سپس و میرود باال فشار و میشوند بخار ها ها nazzel nazzel سپسمی بخار به هوا مولکولهای مسیر در شوند می می خارج بخار به هوا مولکولهای مسیر در شوند می خارج

و میشوند خنک پمپ سرد های دیواره روی بر و و چسبند میشوند خنک پمپ سرد های دیواره روی بر و چسبندبخار بخار روغن بر ٬٬روغن خود سرجای به و شود می مایع بر دوبار خود سرجای به و شود می مایع دوبار.... میگردندمیگردند

G معموال که دارد پشتیبان پمپ به احتیاج پمپ G این معموال که دارد پشتیبان پمپ به احتیاج پمپ اینRotoryRotory که است آن حضور علت که که است است آن حضور علت که : : است

فشار) 11 به را فشار) سیستم به را به 1010 ‾ ‾²²سیستم پمپ دیفوژن تا برساند به تور پمپ دیفوژن تا برساند تور. افتد .کار افتد کار

که) 22 اکسیژن با داغ روغن ترکیب از جلوگیری که) برای اکسیژن با داغ روغن ترکیب از جلوگیری برای. میشود روغن سوختن .سبب میشود روغن سوختن سبب

خاطر به پشتیبان فشار پمپ، کار حین در خاطر اگر به پشتیبان فشار پمپ، کار حین در Back Back اگرStreamStream بخار جریان ، شود زیاد بحرانی نقطه یک بخار تا جریان ، شود زیاد بحرانی نقطه یک تا

در چگالی شدن زیاد خاطر به را ناگهانی سقوط در یک چگالی شدن زیاد خاطر به را ناگهانی سقوط یکدارد دارد پمپ . . پمپ

روغن Back StreamBack Stream یکیک قطرات که است روغن زمانی قطرات که است زمانیو BaffelBaffel داخلداخل میشوند و ها میشوند زمانی Back StreamBack Stream ها زمانی بعدی بعدی

برای . میشوند محفظه وارد قطرات این که برای . است میشوند محفظه وارد قطرات این که استاز از جلوگیری بوسیله Back StreamBack Stream جلوگیری محفظه ابتدا بوسیله دوم محفظه ابتدا دوم

عمل این به شود، می خنک مایع عمل نیتروژن این به شود، می خنک مایع ) ) TrapTrap CoolCool نیتروژنسرد سرد دام شود ( ( دام می شود گفته می .. گفته

مولکولی مولکولی توربو توربو

تولید را حدود در نهایی فشارهای پمپ تولید این را حدود در نهایی فشارهای پمپ ایناست شکل ای تیغه توربین یک دارای و است میکند شکل ای تیغه توربین یک دارای و میکند

های تیغه از انتقال ی بوسیله را گازها های که تیغه از انتقال ی بوسیله را گازها کهمتراکم ، گاز مولکولهای به روتور سریع متراکم متحرک ، گاز مولکولهای به روتور سریع متحرک

کند کند می می

8

10

مولکولی متوسط آزاد پویش مسیر که مولکولی زمانی متوسط آزاد پویش مسیر که زمانیاستاتور و روتور بین فاصله از بزرگتر استاتور ذرات و روتور بین فاصله از بزرگتر ذرات

به نسبت روتور به ذرات برخورد ، به است نسبت روتور به ذرات برخورد ، استی نتیجه که است ماکزیمم مولکولی ی برخوردهای نتیجه که است ماکزیمم مولکولی برخوردهای

است کارا پمپاژ فرایند یک است آن کارا پمپاژ فرایند یک . .آنشرایط از پمپاژ به قادر مولکولی توربو شرایط پمپ از پمپاژ به قادر مولکولی توربو پمپپمپ یک از تا است الزم و نیست پمپ اتمسفری یک از تا است الزم و نیست اتمسفری

. شود استفاده . پشتیبان شود استفاده پشتیبان

هم های تیغه با چرخ زنجیره یک شامل پمپ هم این های تیغه با چرخ زنجیره یک شامل پمپ اینمی متحرک و ثابت میان در یک که است می محور متحرک و ثابت میان در یک که است محور

باشند.باشند.

برای جهت یک در ها تیغه پهلوهای چرخ هر برای در جهت یک در ها تیغه پهلوهای چرخ هر دربرای دیگر جهت در و متحرک چرخهای های برای تیغه دیگر جهت در و متحرک چرخهای های تیغه

باشند می مورب محور به ثابت چرخ های باشند تیغه می مورب محور به ثابت چرخ های تیغه

از تجاری مولکولی توربو پمپهای اغلب از در تجاری مولکولی توربو پمپهای اغلب درروتور ساخت جهت باال مقاومت با روتور آلومینیوم ساخت جهت باال مقاومت با آلومینیوم

دیگر مواد با مقایسه در که شود می دیگر استفاده مواد با مقایسه در که شود می استفادهاست آسانتر آنها کاری ماشین و هستند است سبکتر آسانتر آنها کاری ماشین و هستند سبکتر

صورت به مولکولی توربو پمپ یک پمپاژ صورت سرعت به مولکولی توربو پمپ یک پمپاژ سرعتاست مختلف گازهای برای ورودی فشار از است تابعی مختلف گازهای برای ورودی فشار از تابعی

عنوان به نیترژن پمپاژ سرعت از ، ها طراحی عنوان در به نیترژن پمپاژ سرعت از ، ها طراحی درشود می استفاده شود مبنا می استفاده مبنا

) چرخشي (پمپ چرخشي ))Rotary pumpRotary pumpپمپ

ميله يك روی واقع فوالدی استوانه يك شامل ميله روتور يك روی واقع فوالدی استوانه يك شامل روتورمی انتهايی صفحات از يكی درون از كه است می متحرك انتهايی صفحات از يكی درون از كه است متحرك

است. موازی استاتور محور با روتور چرخش محور است. گذرد موازی استاتور محور با روتور چرخش محور گذردطول در كه طوری طول به در كه طوری استاتور inin 0.0010.001به باالی صفحه استاتور با باالی صفحه با

دارد دارد تماس تماس

پره كه همچنان شكل با توجه پره با كه همچنان شكل با توجه ورودی AA با مجرای ورودی از مجرای از ) استاتور، بين فضا يك به سيستم ميكند، ( عبور استاتور، بين فضا يك به سيستم ميكند، عبور

) AAروتور،پرهروتور،پره آن حجم كه ميگردد وصل بندباال آب ) و آن حجم كه ميگردد وصل بندباال آب ويابد ضمنضمن مي افزايش خود دور به پره يابد چرخيدن مي افزايش خود دور به پره چرخيدن

ايجاد سيستم درون را فشار كاهش يك رو اين ايجاد واز سيستم درون را فشار كاهش يك رو اين وازپره . كه يابد می ادامه زماني تا عمل اين پره . ميكند كه يابد می ادامه زماني تا عمل اين ميكند

BB . حجم حالت اين در كند عبور ورودی مجرای حجم . از حالت اين در كند عبور ورودی مجرای ازاست . دوپره بين گاز شده است .افزوده دوپره بين گاز شده افزوده

ورودی منفذ دو از وگاز شده كامل تزريق مرحله اكنون ورودی هم منفذ دو از وگاز شده كامل تزريق مرحله اكنون هم . جاروب باعث چرخش ادامه گردد می ايزوله خروجي . و جاروب باعث چرخش ادامه گردد می ايزوله خروجي و

مانی ز وتا شود می حلقه اطراف در شده ايزوله گاز مانی شدن ز وتا شود می حلقه اطراف در شده ايزوله گاز شدنپره پره كه . AAكه آن، از پس يابد می ،ادامه كند عبور باال بند آب . از آن، از پس يابد می ،ادامه كند عبور باال بند آب از

پره بين پره گاز بين رسيدن BBگاز با وسپس گيرد می قرار باال بند رسيدن وآب با وسپس گيرد می قرار باال بند وآبدر . يابد می كاهش گاز ،حجم باال بند آب به مذكور در . پره يابد می كاهش گاز ،حجم باال بند آب به مذكور پره

كه نهايتنهايت شود می بزرگ حدی به محفظه اين درون كه فشار شود می بزرگ حدی به محفظه اين درون فشارپمپ از اجباری صورت به وگاز كند مي باز را خروجی پمپ شير از اجباری صورت به وگاز كند مي باز را خروجی شير

شكل . مطابق شود می رانده شكل . بيرون مطابق شود می رانده مراحل ddبيرون طی مراحل در طی درپره پشت گاز ،مجددا خروج و شدن پره ايزوله پشت گاز ،مجددا خروج و شدن پمپ به به AAايزوله پمپ داخل داخل

. گردد می تراكم مرحله وارد و شود می .كشيده گردد می تراكم مرحله وارد و شود می كشيده

) روتس (پمپهای روتس ))Roots pumpRoots pumpپمپهای می فن يك به شبيه G اساسا و بوده مكانيكی نوع از ها پمپ می اين فن يك به شبيه G اساسا و بوده مكانيكی نوع از ها پمپ اين

باشد.باشد. روزنه دو با خالی تو ای استوانه استاتور يك شامل روزنه پمپ دو با خالی تو ای استوانه استاتور يك شامل پمپ

. استاتور درون باشد می هم مقابل شعاعی خروجی و . ورودی استاتور درون باشد می هم مقابل شعاعی خروجی و ورودیروتور عدد روتور دو عدد ولی دو يكسان سرعت با كه دارد قرار پروانه ولی دو يكسان سرعت با كه دارد قرار پروانه دو

. می ها پمپ اين كه آنجا از چرخند می مخالف جهتهای . در می ها پمپ اين كه آنجا از چرخند می مخالف جهتهای درآب های لوله اغلب كنند، جا به جا را هوا از زيادی مقادير آب توانند های لوله اغلب كنند، جا به جا را هوا از زيادی مقادير توانند

از حاصل گرمای تا شوند می تعبيه خروجی ناحيه‌ در از خنك حاصل گرمای تا شوند می تعبيه خروجی ناحيه‌ در خنك. دهند انتقال را .تراكم دهند انتقال را تراكم

خورده سايه فضای ، سيستم از حاصل خورده گاز سايه فضای ، سيستم از حاصل گازپر) aaشكل(شكل( استاتور و ها پروانه بين در واقع پر) را استاتور و ها پروانه بين در واقع را

. چرخند،آن می ها پروانه كه همچنان كند . می چرخند،آن می ها پروانه كه همچنان كند میبين را گاز از قسمت ،يك است باالتر كه بين يكی را گاز از قسمت ،يك است باالتر كه يكی

آنرا سپس و اندازد می دام به استاتور و آنرا خودش سپس و اندازد می دام به استاتور و خودششكل ( شكل (مطابق . bbمطابق ميكند) جاروب خارج سمت . به ميكند) جاروب خارج سمت به

روزنه از باالتر پروانه جلويی قسمت روزنه زمانيكه از باالتر پروانه جلويی قسمت زمانيكهفشار ( يك در تخليه قسمت هوای گذشت، فشار ( خروجی يك در تخليه قسمت هوای گذشت، خروجی

) ( مطابق ورودی از شده حمل گاز با باال G ) ( نسبتا مطابق ورودی از شده حمل گاز با باال G نسبتا. ccشكلشكل پروانه) چرخش عالوه، به شود می . مخلوط پروانه) چرخش عالوه، به شود می مخلوط

باالی متحرك قسمت مقابل در را گاز باالی باالتر، متحرك قسمت مقابل در را گاز باالتر،خروج باعث امر ميكند،اين متراكم تر پايين خروج پروانه باعث امر ميكند،اين متراكم تر پايين پروانه

. گردد مي خروجی روزنه از . گاز گردد مي خروجی روزنه از گاز

Roots pumpRoots pump

. از يابد افزايش ر فشا كاهش با پمپ از . كارائی يابد افزايش ر فشا كاهش با پمپ كارائیماكزيمم كارائی ،زمانی وتجربی علمی ماكزيمم لحاظ كارائی ،زمانی وتجربی علمی لحاظ

نسبت با پمپاژ عمل كه ميافتد نسبت اتفاق با پمپاژ عمل كه ميافتد تراكم تراكم اتفاقدرجه 1010 از فشار درجه در از فشار torrtorrدر

تسهيالت يك با بايد پمپ ولذا شود مي تسهيالت انجام يك با بايد پمپ ولذا شود مي انجام . روتس پمپهای باشد همراه مناسب . پشتيبانی روتس پمپهای باشد همراه مناسب پشتيبانی

تا حداكثر سرعتهای تا با حداكثر سرعتهای در در lit/minlit/minبادسترسند. دسترسند.

2105

5102

) ساز سرد های (پمپ ساز سرد های ))Cryo pumpCryo pumpپمپ اگر كه است شده واقع اساس اين بر ها پمپ اين اگر مبنای كه است شده واقع اساس اين بر ها پمپ اين مبنای

گازها دهيم، می قرار خنك سيستم يك درون را سطح گازها يك دهيم، می قرار خنك سيستم يك درون را سطح يكلذا و دارند را آن روی شدن كندانس به تمايل بخارات لذا و و دارند را آن روی شدن كندانس به تمايل بخارات و

. شود مي کم سيستم درون . فشار شود مي کم سيستم درون فشار باالی فشارهای در ها پمپ باالی این فشارهای در ها پمپ استفاده torrtorrاین استفاده مورد مورد

گيرند نمی گيرند قرار نمی خنك ;;قرار سيال زياد مقادير به G اوال كه خنك چرا سيال زياد مقادير به G اوال كه چراپمپ اتمسفری فشار از G مستقيما است الزم كه پمپ كننده اتمسفری فشار از G مستقيما است الزم كه كننده

ضمن شده تشكيل جامد ضخامت G ثانيا و ندارد ،نياز ضمن شود شده تشكيل جامد ضخامت G ثانيا و ندارد ،نياز شودپايين فشارهای در را پمپ باال،كارايی فشار با پمپاژ پايين عمل فشارهای در را پمپ باال،كارايی فشار با پمپاژ عمل

. دهد می کاهش جدی طور .به دهد می کاهش جدی طور به

210

Caryo pumpCaryo pump

يونی ( های يونی (پمپ های ))Ion pumpIon pumpپمپ

مولكولها كه است نحو اين به ها پمپ اين كار مولكولها اساس كه است نحو اين به ها پمپ اين كار اساسكمك به سپس و آورده در يونی شكل به را گازی كمك ی به سپس و آورده در يونی شكل به را گازی یمورد الكترودهای سمت به را آنها الكتريكی، مورد ميدان الكترودهای سمت به را آنها الكتريكی، ميدان

. سيستم تخليه عمل طريق بدين كنند می هدايت . نظر سيستم تخليه عمل طريق بدين كنند می هدايت نظر. گيرد می صورت گاز .از گيرد می صورت گاز از

پمپ گردند، جذب جاذب روی بر گازی يونهای پمپ چنانچه گردند، جذب جاذب روی بر گازی يونهای چنانچه . - توليد فرآيند صورتيكه در گويند مي جذبي يوني . را - توليد فرآيند صورتيكه در گويند مي جذبي يوني راتوسط كنند، می بازی را جاذب نقش كه يی توسط اتمها كنند، می بازی را جاذب نقش كه يی اتمها

شود، انجام سنگين مثبت يونهای با كاتد يك شود، بمباران انجام سنگين مثبت يونهای با كاتد يك بمباران. - نامند می پراكنی اتم يونی را .پمپ - نامند می پراكنی اتم يونی را پمپ

) - پراكنی اتم يونی - (پمپ پراكنی اتم يونی Sputter-ion Sputter-ionپمپpumppump((

كه است نزن زنگ فوالد از ظرف يك شامل پمپ كه اين است نزن زنگ فوالد از ظرف يك شامل پمپ اينمی عسل شانه به شبيه ساختمانی با آند يك می محتوای عسل شانه به شبيه ساختمانی با آند يك محتوایكه. تيتانيمی صفحه يك آند باز سر هر مقابل در كه. باشد تيتانيمی صفحه يك آند باز سر هر مقابل در باشد . يك است گرفته قرار كند، می عمل كاتد صورت . به يك است گرفته قرار كند، می عمل كاتد صورت بهميدان يك و شود می برقرار الكترودها بين ميدان پتانسيل يك و شود می برقرار الكترودها بين پتانسيل

اعمال مغناطيسیمغناطيسی الكترود سيستم محور امتداد اعمال در الكترود سيستم محور امتداد در. گردد .می گردد می

می تشكيل الكترودها ناحيه در كه گاز مثبت می يونهای تشكيل الكترودها ناحيه در كه گاز مثبت يونهاینتيجه در كه شده داده شتاب كاتد طرف به نتيجه شوند، در كه شده داده شتاب كاتد طرف به شوند،

تيتانيم اتمهای كردن پراكنده برای را الزم تيتانيم انرژی اتمهای كردن پراكنده برای را الزم انرژی. كنند می .فراهم كنند می فراهم

فشارهای در كه است آن پمپ اين فشارهای عيب در كه است آن پمپ اين عيبگيرد صورت الزم مراقبت بايد گيرد باال صورت الزم مراقبت بايد كه ;;باال كه زيرا زيرا

بوده بزرگ باال فشارهای در يونی بوده جريان بزرگ باال فشارهای در يونی جريانمی پمپ كردن گرم باعث امر اين می و پمپ كردن گرم باعث امر اين و

پديده افزايش باعث دما افزايش پديده شود، افزايش باعث دما افزايش شود،يك ايجاد باعث خود اين كه شده گاز يك دفع ايجاد باعث خود اين كه شده گاز دفع

. چنين گردد می بزرگتر يونی . جريان چنين گردد می بزرگتر يونی جريانالكترودها بين سريع تخليه باعث الكترودها فرآيندي بين سريع تخليه باعث فرآيندي

در را فشار سريع افزايش و در ميشود را فشار سريع افزايش و ميشود . صورت اين در گردد مي موجب . سيستم صورت اين در گردد مي موجب سيستم

سريع ها جداره از گاز خروج اگر سريع حتي ها جداره از گاز خروج اگر حتي . یابد می کاهش پمپاژ سرعت . نباشد، یابد می کاهش پمپاژ سرعت نباشد،

وسيله به توان می را مشكالت وسيله اينگونه به توان می را مشكالت اينگونه. كرد رفع سيستم ابتدايی .پمپاژ كرد رفع سيستم ابتدايی پمپاژ

ها ها پمپ مولكو ییپمپ مولكو كشش Drag molecular Drag molecular ( (لیلیكششpumppump((

نیرو توسط گاز مولكولهای پمپاژ عمل ها پمپ اين نیرو در توسط گاز مولكولهای پمپاژ عمل ها پمپ اين دربا جامد سطح يك طريق از كه آنها به انتقالی با محرکه جامد سطح يك طريق از كه آنها به انتقالی محرکه

. زمانی شود می انجام گردد، می توليد باال چرخشي . سرعت زمانی شود می انجام گردد، می توليد باال چرخشي سرعتبين فاصله از بزرگتر مولكولی متوسط آزاد پويش مسير بين كه فاصله از بزرگتر مولكولی متوسط آزاد پويش مسير كه

نوع از جريان عبارتی به و باشد ثابت متحرك نوع سطوح از جريان عبارتی به و باشد ثابت متحرك سطوحكنند می برخورد روتور به بيشتر مولكولها باشد، كنند مولكولی می برخورد روتور به بيشتر مولكولها باشد، مولكولیتاثير حالت در و باشد می كارا پمپاژ فرآيند يك آن نتيجه تاثير كه حالت در و باشد می كارا پمپاژ فرآيند يك آن نتيجه كه

. دارد وجود مولكولها داخلی كنش هم .بر دارد وجود مولكولها داخلی كنش هم بر اتمسفری فشار از گازها پمپاژ جهت مولكولی كشش اتمسفری پمپ فشار از گازها پمپاژ جهت مولكولی كشش پمپ

. دارد پشتیبان پمپ به نیاز و نيست .مناسب دارد پشتیبان پمپ به نیاز و نيست مناسب تا است پايين،الزم نهايی فشار به دستيابی منظور تا به است پايين،الزم نهايی فشار به دستيابی منظور به

صدم چند حد در را متحرك و ثابت قسمتهای بين صدم فواصل چند حد در را متحرك و ثابت قسمتهای بين فواصل . ها پمپ این در شدن پمپاژ سرعت نمود طراحی . ميليمتر ها پمپ این در شدن پمپاژ سرعت نمود طراحی ميليمتر

. است .پایین است پایین

های های پمپ NEGNEGپمپ

های های پمپ NEGNEGپمپ

های های پمپ NEGNEGپمپ