agilent idp ドライスクロールポンプagilent idp...

Agilent IDP ドライスクロールポンプ

多様なニーズに応える革新的な真空ポンプ

IDP-3

IDP-15

新製品 IDP-7新製品 IDP-10

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アジレントの製品はどれも厳格な品質および性能基準をクリアしたものばかりです。

アジレントの真空ソリューションも例外ではありません。目指したのは、トラブルなく安心してご利用いただける製品です。深い専門技術に基づき、ワークフローの課題解決に向けて開発を推進し、お客様のニーズに応えること、すなわちダウンタイムを最小限に抑え、安全な作業環境を確保し、きわめてクリーンでドライな真空を提供することを目標としてきました。

アジレントの新しいドライスクロールポンプファミリアジレントのスクロールポンプは、従来のオイル密封型ポンプに代わる、単にクリーンでコンパクトなポンプではありません。アジレントの革新的技術と、業界に変革をもたらすアイデアの結実に向けた精力的な取り組みが形となった製品です。

厳しい基準を満たしたトラブルフリーのドライポンプ

AGILENT IDP ドライスクロールポンプ

スクロールメカニズムの動作原理

Agilent IDP ポンプは、シンプルなデュアルスクロールメカニズムによって真空状態を作り出します。入れ子構造のスクロールの一方が他方のスクロールを旋回することで、2 つのスクロール間の空間に閉じ込められたガスが中心部へと移動します。ガスは外縁からスクロールセットへと入り、中央ハブに向かって移動しながら圧縮され、中央ハブで排気されます。

ガスが移送され… ガスは中央ハブで排気されます

…中央ハブに向かって圧縮されます

ガスがスクロールセットに入ります

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アジレントのスクロールポンプは本当に「ドライ」なのでしょうか?

そのとおりです。これが、アプリケーションに大きな違いをもたらします。

同じサイズのポンプよりも優れた性能

隔離型ドライポンプ (IDP) は、高速で低い到達圧力を実現し、ターボポンプの性能とシステムの信頼性を最大限に高めます。

ラボ内外の環境をよりクリーンに

IDP スクロールポンプはオイルを使用しないため、オイルの流出や漏出、真空システムへの侵入の心配がありません。真空システムが炭化水素で汚染されるリスクもありません。さらに、有害廃棄物による空気、水、および土壌の汚染を低減できることも非常に大きな利点です。

ダウンタイムを短縮して所有コストを低減

定期的なメンテナンスが必要な従来型ポンプとは異なり、IDP スクロールポンプは簡単なシール交換のみ。15 分程度の作業で完了します。また、アジレントのソリッドチップシールの優れた耐久性により、作業時間の短縮に加えてメンテナンス頻度も大幅に低減できます。

ドライスクロールポンプは、高価なオイルの補充、交換、廃棄も不要で、ポンプの焼付きのリスクもありません。さらに、メンテナンスは定期的なチップシール交換のみのため、日ごろのオイルレベルチェックやオイル交換、オイル廃棄などが必要ありません。

省スペースで軽量 IDP ドライスクロールポンプは、設置面積が少なく、軽量、消費電力が少ないという要件を備えているため、どのシステムデザインにも対応します。特別な電圧が不要で、キャビネット内での使用に適しています。また、Agilent IDP スクロールポンプは、モーターから取り外し可能な標準 IEC 電源コードを採用しています。

より快適な作業環境を実現革新的なスクロール設計により、ノイズや振動が最小限に抑えられています。また、炭化水素が排出されないため、オイルミストフィルタも不要です。

チップシールの交換がいかに簡単かをご覧いただけます。 www.agilent.co.jp/chem/idp3

革新的なハーメチックデザイン

IDP ポンプでは、ベアリングとモーターが真空スペースから完全に隔離されています。この構造が有害ガスの漏出を防ぎ、プロセスガスの安全な回収を可能にします。

IDP-3 チップシールは短時間で簡単に交換できます。

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プロセスガスを回収して有害ガスの漏出を防止

Agilent IDP ドライスクロールポンプは、ハーメチックデザインを採用しています。モーターおよびベアリングが真空スペース外の大気圧下にあり、プロセスガスから完全に隔離されています。吸気から排気までのすべてが密閉システム内で行われるため、希ガスおよびヘリウム再循環アプリケーションに最適です。

システムを振動のダメージから保護

IDP-15 スクロールポンプの一体型バイブレーションアイソレータがモジュールの振動を吸収します。モーターやスクロールの振動が取り付けブラケットに伝わりません。

バイブレーションアイソレータ

IDP-15ハーメチックデザインの

IDP ポンプは、プロセスガス以外のガスが真空パスに侵入するリスクを

排除します。


ポンプ内の圧力が低下すると、インレットバルブが開きます。

ポンプのベント時には、インレットバルブが閉じます。

IDP スクロールポンプの特長

一体型アイソレーションバルブが予測外の汚染を防止

オプションの一体型アイソレーションバルブは、ガスの逆流や突発的なベントからシステムを保護します。バルブはモジュールに内蔵されているため、ポンプ吸気口の高さは変わりません。次のように動作します。

• 通常動作時には、スプリングによってインレットバルブが開いています。

• 停電時には、ソレノイドバルブによるバルブ下の小型チャンバのベントが開始され、インレットバルブは閉じます (約 20 ミリ秒)。

• 電源が復旧すると、ソレノイドバルブが閉じ、ポンプの排気が開始され、インレットバルブが開きます (約 10～ 30 秒)。

オイルフリーでクリーン、軽量で静かな環境を実現

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低ノイズ

静音性に優れた動作を実現するために、IDP スクロールポンプモジュールの設計にはノイズ専門家の助言が反映されています。Agilent IDP スクロールポンプのノイズは、日常生活で耳にするノイズと同程度です。

世界各国の入力電源に対応

Agilent IDP ポンプのモーター (IDP-3、7、15) は、次の単相動作電圧に対応しています。

• 100 V、50/60 Hz

• 115 V、60 Hz

• 220-230 V、50/60 Hz

• 24 VDC (IDP-3 のみ)

また、簡単なスイッチ操作で高電圧/低電圧の切り替えが可能です。

外側のカウリングがノイズを遮断

電源モジュールオン/オフスイッチ

アワーメータ

高電圧/低電圧スイッチ

ノイズ dBA

チェーンソー/雷鳴 120 クラクション (1 m)/ライブ会場 110 芝刈り機/航空機の離陸 (1 km) 100 オートバイ (8 m) 90 貨物列車 (25 m)/食品ミキサー 80 高速道路の走行/掃除機 70 エアコン (30 m)/オフィス 60 Agilent IDP-7 スクロールポンプ 52人の話声 50 公共図書館 40

10 dBA ごとにノイズは 2 倍になります。

ポンプのメンテナンスを 15 分未満で完了

IDP ポンプのチップシールは、片側のポンプハウジングを取り外すだけで交換できます。この作業にかかる時間は約 15 分、一般的な 2 種類の工具があれば完了できます。 Agilent IDP スクロールポンプは、非常にシンプルな設計ながら、10 mTorr というきわめて低い到達圧力を実現します。

チップシールの交換がいかに簡単かをビデオでご覧いただけます。 www.agilent.com/chem/jp

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Agilent IDP-10 および IDP-7 スクロールポンプが新たに追加され、アジレントの優れた品質と性能を、凍結乾燥、グローブボックス、サンプル前処理、SEM などのアプリケーションでご利用いただけるようになりました。このポンプは、ターボポンプの補助およびロードロックとしても最適です。

アジレントのポンプは非常に幅広い排気速度からお選びいただけるため、システム構成を最適化し、最小限のコストで最大限の性能を実現できます。

アプリケーションの可能性を広げる幅広い排気速度オプション


電子顕微鏡• 非常に低振動 ― 機器への影響なし• オイルフリー - 面倒なメンテナンスが不要、汚染のリスクなし• 吸気口アイソレーションバルブがシステムを確実に保護• 静かな動作 ― 静音ボックスが不要

質量分析

• オイルフリー - 面倒なメンテナンスが不要、汚染のリスクなし• 吸気口アイソレーションバルブがシステムを確実に保護• 静かな動作 ― 静音ボックスが不要

サンプル前処理

• ベアリングの隔離により軽質溶媒にも対応

• クリーンでオイルフリーの真空パス• 低ノイズ• 長寿命

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研究

• オイルフリー - 面倒なメンテナンスが不要、汚染のリスクなし

• 吸気口アイソレーションバルブがシステムを確実に保護

• 静音性に優れた動作が快適な作業環境を実現

• 長寿命

ヘリウム再循環

• クリーンでオイルフリーの真空パス、面倒なメンテナンスが不要、汚染のリスクなし

• 長寿命• 有害ガスの漏出を防ぐハーメチックデザイン

凍結乾燥

• ベアリングの隔離により水蒸気への優れた耐性を実現


• 長寿命

グローブボックス

• ベアリングの隔離により水蒸気への優れた耐性を実現


• 長寿命

IDP モデル排気速度到達圧力モーター定格/ 動作電圧

一般的なアプリケーション

ポンプに求める性能・仕様

IDP-3

60 Hz/24 VDC60 L/min3.6 m3/h

50 Hz50 L/min3.0 m3/h

60 Hz/24 VDC3.3 x 10-1 mbar2.5 x 10-1 Torr

50 Hz3.3 x 10-1 mbar2.5 x 10-1 Torr

0.16 HP (120 W)/100-120、200-240 VAC

• リーク検出

• GC/MS

• ヘリウム再循環

• 最軽量の非常にコンパクトな一次ポンプをお求めの場合

• ポンプを機器に組み込む必要がある場合

• 24 V 駆動ポンプをお求めの場合

新製品 IDP-7

60 Hz152 L/min9.1 m3/h

50 Hz120 L/min7.2 m3/h

60 Hz2.6 x 10-2 mbar2.0 x 10-2 Torr

50 Hz4.0 x 10-2 mbar3.0 x 10-2 Torr

0.38 HP (300 W)/100-120、200-240 VAC

• 真空オーブン


• バッキング高真空ポンプ

• ラボでの一般的な真空の生成

• もう少し排気速度の高い、コンパクトな卓上型ポンプをお求めの場合

• 水蒸気を取り扱う必要がある場合

新製品 IDP-1050 Hz または 60 Hz(最大回転速度時)

(出荷時設定) 170 L/min10.2 m3/h

50 Hz または 60 Hz(最大回転速度時)

(出荷時設定) 2.0 x 10-2 mbar1.5 x 10-2 Torr

0.5 HP (350 W)/100-127、200-240 VAC

• 電子顕微鏡

• 表面分析機器


• 薄膜形成

• あらゆる入力周波数で確実な排気性能をご希望の場合

• リモートからの速度制御またはオン/オフ機能をご希望の場合

IDP-15

60 Hz256 L/min15.4 m3/h

50 Hz214 L/min12.8 m3/h

60 Hz1.3 x 10-2 mbar1.0 x 10-2 Torr

50 Hz1.3 x 10-2 mbar1.0 x 10-2 Torr

0.75 HP (560 W)/100-115、220-230 VAC


• 薄膜形成

• LED、電球の製造

• 静音性に優れたポンプをお求めの場合

• 吸気口の振動を最小限に抑えたい場合

• 大型チャンバの吸引が必要な場合

次の場合は吸気口アイソレーションバルブを追加してください

• 実験機器

• ビームおよび素粒子物理学

• ターボポンプの補助

• 停電時のシステムおよび高真空ポンプの保護をご希望の場合

• 乱流の停止および開始時にポンプ吸気口を隔離したい場合

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AGILENT IDP ドライスクロールポンプモデル一覧

お客様のアプリケーションに適した排気速度、到達圧力、モーター仕様の Agilent IDP ポンプをお選びいただけます。

IDP モデル排気速度到達圧力モーター定格/ 動作電圧

一般的なアプリケーション

ポンプに求める性能・仕様

IDP-3

60 Hz/24 VDC60 L/min3.6 m3/h

50 Hz50 L/min3.0 m3/h

60 Hz/24 VDC3.3 x 10-1 mbar2.5 x 10-1 Torr

50 Hz3.3 x 10-1 mbar2.5 x 10-1 Torr

0.16 HP (120 W)/100-120、200-240 VAC

• リーク検出

• GC/MS


• 最軽量の非常にコンパクトな一次ポンプをお求めの場合

• ポンプを機器に組み込む必要がある場合

• 24 V 駆動ポンプをお求めの場合

新製品 IDP-7

60 Hz152 L/min9.1 m3/h

50 Hz120 L/min7.2 m3/h

60 Hz2.6 x 10-2 mbar2.0 x 10-2 Torr

50 Hz4.0 x 10-2 mbar3.0 x 10-2 Torr

0.38 HP (300 W)/100-120、200-240 VAC

• 真空オーブン


• バッキング高真空ポンプ


• もう少し排気速度の高い、コンパクトな卓上型ポンプをお求めの場合

• 水蒸気を取り扱う必要がある場合

新製品 IDP-1050 Hz または 60 Hz(最大回転速度時)

(出荷時設定) 170 L/min10.2 m3/h

50 Hz または 60 Hz(最大回転速度時)

(出荷時設定) 2.0 x 10-2 mbar1.5 x 10-2 Torr

0.5 HP (350 W)/100-127、200-240 VAC

• 電子顕微鏡

• 表面分析機器


• 薄膜形成

• あらゆる入力周波数で確実な排気性能をご希望の場合

• リモートからの速度制御またはオン/オフ機能をご希望の場合

IDP-15

60 Hz256 L/min15.4 m3/h

50 Hz214 L/min12.8 m3/h

60 Hz1.3 x 10-2 mbar1.0 x 10-2 Torr

50 Hz1.3 x 10-2 mbar1.0 x 10-2 Torr

0.75 HP (560 W)/100-115、220-230 VAC


• 薄膜形成

• LED、電球の製造

• 静音性に優れたポンプをお求めの場合

• 吸気口の振動を最小限に抑えたい場合

• 大型チャンバの吸引が必要な場合

次の場合は吸気口アイソレーションバルブを追加してください

• 実験機器

• ビームおよび素粒子物理学

• ターボポンプの補助

• 停電時のシステムおよび高真空ポンプの保護をご希望の場合

• 乱流の停止および開始時にポンプ吸気口を隔離したい場合

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IDP ドライシングルスクロールハーメチック真空ポンプ

IDP-3 新製品 IDP-7 新製品 IDP-10 IDP-15

高さ x 幅 x 奥行き 181 x 140 x 358 mm (7.13 x 5.5 x 14.09 in) 254 x 260 x 420 mm (10 x 10.24 x 16.54 in) 297 x 260 x 420 mm (11.7 x 10.05 x 16.54 in) 364 x 333 x 485 mm (14.3 x 13.1 x 19.1 in)

最大排気速度 60 Hz/24 VDC: 60 L/min (3.6 m3/h)50 Hz: 50 L/min (3.0 m3/h)

60 Hz: 152 L/min (9.1 m3/h)50 Hz: 120 L/min (7.2 m3/h)

170 L/min (10.2 m3/h) (最大回転速度時)

60 Hz: 256 L/min (15.4 m3/h) 50 Hz: 214 L/min (12.8 m3/h)

到達圧力 3.3 x 10-1 mbar (2.5 x 10-1 Torr) 60 Hz: 2.6 x 10-2 mbar (2.0 x 10-2 Torr)50 Hz: 4.0 x 10-2 mbar (3.0 x 10-2 Torr) 2.0 x 10-2 mbar (1.5 x 10-2 Torr) 1.33 x 10-2 mbar (1 x 10-2 Torr)

回転速度 60 Hz/24 VDC: 3200 rpm50 Hz: 2600 rpm

60 Hz: 1750 rpm50 Hz: 1450 rpm

周波数可変: 最高 63.33 Hz: 1900 rpm (出荷時設定) 最低 45 Hz: 1350 rpm

60 Hz: 1725 rpm50 Hz: 1450 rpm

重量 (ポンプのみ) 9.5 kg (21 ポンド) 24.5 kg (54 ポンド) 24.74 kg (54.5 ポンド) 34 kg (75 ポンド)出荷時重量 10.5 kg (23 ポンド) 28.1 kg (62 ポンド) 28.1 kg (62 ポンド) 45 kg (100 ポンド)ノイズレベル (ISO 11201 規格に準拠) 55 dB (A) 52 +/-2 dB (A) 53 +/-2 dB (A) 50 +/-2 dB (A)

寸法図mm [インチ]

排気速度曲線

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

4

3

2

1

01.0E-02 1.0E-01 1.0E+00 1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03

Inlet pressure (Torr)

60 Hz and 24 VDC N2 speed (m3/h) 50 Hz N2 speed (m3/h)

01.0E-02 1.0E-01 1.0E+00


60 Hz N2 speed (m3/h) 50 Hz N2 speed (m3/h)

1.0E+01 1.0E+02

2

4

6

87

5

3

1

910

1.0E+03

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

0

2

4

6

8

10

12

1.0E-02 1.0E-01 1.0E+00


1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

1900 rpm N2 speed (m3/h) Factory set at 63.3 Hz 1450 rpm N2 speed (m3/h) (approximately 50 Hz)1600 rpm N2 speed (m3/h) (approximately 55 Hz) 1350 rpm N2 speed (m3/h) (approximately 45 Hz)

0

4

8

12

16

14

10

6

2

18

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

60 Hz N2 speed (m3/h) 50 Hz N2 speed (m3/h)Inlet pressure (Torr)

1.0E-02 1.0E-01 1.0E+00 1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03

CL

4x4x

2x

2x

102(4.00)

128(5.05)

7(0.28)

17(0.66)

140(5.50)

127(5.00)

CL

181(7.13)

42(1.67)

(140)5.50

32(1.25)

32(1.25)

7(0.27)

Purge Inlet1/8” NPT

358(14.09)

Intake NW16

Exhaust1/4” with 10mm

Hose Barb

Power CordReceptacleIEC 320

PowerSwitch

(AC motor versions only)


CL

4x4x

2x

2x

102(4.00)

128(5.05)

7(0.28)

17(0.66)

140(5.50)

127(5.00)

CL

181(7.13)

42(1.67)

(140)5.50

32(1.25)

32(1.25)

7(0.27)

Purge Inlet1/8” NPT

358(14.09)

Intake NW16

Exhaust1/4” with 10mm

Hose Barb

Power CordReceptacleIEC 320

PowerSwitch



113.3[4.46]

140.6[5.54]

134.3[5.29]

6.3[.25]

253.9[10.00]

247.6[9.75]

165.4[6.51]

4X ø min6.8[.27]

138.1[5.44]

Cutaway

184.7[7.27]

374.0[14.72]

204.3[8.04]

102.2[4.02]

260[10.24]

420.1[16.54]

144.64[5.69]

109.6[4.31]

IDP-3 の空気/N2 排気速度 IDP-7 の空気/N2 排気速度

10

ポンプの仕様


この製品一覧には、各 Agilent IDP スクロールポンプに特徴的な仕様が記載されています。 (注: 一般的な仕様については、14 ページをご覧ください。)

IDP ドライシングルスクロールハーメチック真空ポンプ

IDP-3 新製品 IDP-7 新製品 IDP-10 IDP-15

高さ x 幅 x 奥行き 181 x 140 x 358 mm (7.13 x 5.5 x 14.09 in) 254 x 260 x 420 mm (10 x 10.24 x 16.54 in) 297 x 260 x 420 mm (11.7 x 10.05 x 16.54 in) 364 x 333 x 485 mm (14.3 x 13.1 x 19.1 in)

最大排気速度 60 Hz/24 VDC: 60 L/min (3.6 m3/h)50 Hz: 50 L/min (3.0 m3/h)

60 Hz: 152 L/min (9.1 m3/h)50 Hz: 120 L/min (7.2 m3/h)

170 L/min (10.2 m3/h) (最大回転速度時)

60 Hz: 256 L/min (15.4 m3/h) 50 Hz: 214 L/min (12.8 m3/h)

到達圧力 3.3 x 10-1 mbar (2.5 x 10-1 Torr) 60 Hz: 2.6 x 10-2 mbar (2.0 x 10-2 Torr)50 Hz: 4.0 x 10-2 mbar (3.0 x 10-2 Torr) 2.0 x 10-2 mbar (1.5 x 10-2 Torr) 1.33 x 10-2 mbar (1 x 10-2 Torr)

回転速度 60 Hz/24 VDC: 3200 rpm50 Hz: 2600 rpm

60 Hz: 1750 rpm50 Hz: 1450 rpm

周波数可変: 最高 63.33 Hz: 1900 rpm (出荷時設定) 最低 45 Hz: 1350 rpm

60 Hz: 1725 rpm50 Hz: 1450 rpm

重量 (ポンプのみ) 9.5 kg (21 ポンド) 24.5 kg (54 ポンド) 24.74 kg (54.5 ポンド) 34 kg (75 ポンド)出荷時重量 10.5 kg (23 ポンド) 28.1 kg (62 ポンド) 28.1 kg (62 ポンド) 45 kg (100 ポンド)ノイズレベル (ISO 11201 規格に準拠) 55 dB (A) 52 +/-2 dB (A) 53 +/-2 dB (A) 50 +/-2 dB (A)

寸法図mm [インチ]

排気速度曲線

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

4

3

2

1

01.0E-02 1.0E-01 1.0E+00 1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03


60 Hz and 24 VDC N2 speed (m3/h) 50 Hz N2 speed (m3/h)

01.0E-02 1.0E-01 1.0E+00


60 Hz N2 speed (m3/h) 50 Hz N2 speed (m3/h)

1.0E+01 1.0E+02

2

4

6

87

5

3

1

910

1.0E+03

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

0

2

4

6

8

10

12

1.0E-02 1.0E-01 1.0E+00


1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

1900 rpm N2 speed (m3/h) Factory set at 63.3 Hz 1450 rpm N2 speed (m3/h) (approximately 50 Hz)1600 rpm N2 speed (m3/h) (approximately 55 Hz) 1350 rpm N2 speed (m3/h) (approximately 45 Hz)

0

4

8

12

16

14

10

6

2

18

Pum

ping

spee

d (m

3 /h)

60 Hz N2 speed (m3/h) 50 Hz N2 speed (m3/h)Inlet pressure (Torr)

1.0E-02 1.0E-01 1.0E+00 1.0E+01 1.0E+02 1.0E+03

179[7.05]

231

[9.10]

485

[19.08]

488

[19.20]

56[2.22]

389

[15.31]

4X [0.42] 11 THRU

178

[ 7.00

]

305[12.00 ]

36

4[ 1

4.33]

170

[6.68]

Intake NW25

Exhaust NW16

113.3[4.46]

9.5[.38]

174.3[6.86]

183.8[7.24]

165.4[6.51]

287.6[11.32]

297.1[11.70]

184.7[7.27]

374.0[14.72]

204.3[8.04]

102.2[4.02]

138.1[5.44] Cutaway 420.1

[16.54]

109.6[4.31]

144.6[5.69]

260[10.24]

IDP-10 の空気/N2 排気速度 IDP-15 の空気/N2 排気速度

11

製品情報


IDP-3 製品名部品番号

IDP-3、1φ、220 V、50/60 Hz IDP3A01

IDP-3、1φ、115 V、60 Hz IDP3B01

IDP-3、1φ、100 V、50/60 Hz IDP3C01

IDP-3、24 VDC IDP3D01

吸気口アイソレーションバルブ付き

IDP-3、1φ、220 V、50/60 Hz IDP3A21

IDP-3、1φ、115 V、60 Hz IDP3B21

IDP-3、1φ、100 V、50/60 Hz IDP3C21

IDP-3、24 VDC IDP3D21

サービス部品番号

IDP-3 チップシール交換キット IDP3TS

アクセサリ部品番号

排気口サイレンサーキット EXSLRIDP3

インレットトラップ SCRINTRPNW16

バイブレーションアイソレータキット IDP3VIBISOKIT


IDP-7 X3807-64000

IDP-7、吸気口アイソレーションバルブ付き X3807-64010


IDP-7/10 チップシール交換キット X3807-67000


排気口サイレンサーキット X3807-68003

パージキット X3807-68004

ガスバラストキット X3807-68008


バイブレーションアイソレータキット SH110VIBISOKIT

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IDP-10 X3810-64000



IDP-7/10 チップシール交換キット X3807-67000


排気口サイレンサーキット X3807-68003

パージキット X3807-68004



バイブレーションアイソレータキット SH110VIBISOKIT


IDP-15 X3815-64000



IDP-15 チップシール交換キット X3815-67000


排気口サイレンサーキット EXSLRSH110

パージキット X3807-68004



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技術仕様


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技術仕様 – IDP ドライシングルスクロールハーメチック真空ポンプ

吸引可能気体非腐食性、非爆発性、微粒子を形成しないガス

最大吸気口圧力 1.0 atm (0 psig)

推奨最大吸気口圧力 200 mbar (150 Torr)

最大排気口圧力 IDP-3 および IDP-15: 1.4 atm (6.5 psig)

IDP-7 および IDP-10: 1.34 atm (5 psig)

吸気接続 IDP-3: NW16

IDP-7、IDP-10、IDP-15: NW25

排気接続 IDP-3: メス 0.25 インチ NPT、10 mm ホース用たけのこ継手装着済み

IDP-7 および IDP-10: NW16

IDP-15: メス 0.25 インチ NPT (NW16 アダプタ付き)

ガスバラスト IDP-3、IDP-7、IDP-10: メス 0.25 インチ NPT (ガスバラストポートプラグ装着済み、20 μm 焼結フィルタ付き)

IDP-15: メス 0.25 インチ NPT (2 ポジション)

最大水蒸気処理量 (Pneurop 6602) IDP-7 および IDP-10: 120 g/hr

IDP-15: 235 g/hr

使用周囲温度 5～40 °C (41～104 °F)

保管温度 -20～60 °C (-4～140 °F)

モーターサーマル保護自動

冷却方式空冷

リークレート (排気口密閉時) <1 x 10-6 sccs (1 x 10-6 mbar.l/s) Helium

吸気口での振動レベル (ISO 10816-1 規格に準拠)

IDP-3: 5 mms-1 rms

IDP-7 および IDP-10: 7 mms-1 rms

IDP-15: < 9 mms-1 rms

アワーメータアワーメータ搭載

エミッションおよびイミュニティ EN61236-1: 2013、Class A デバイス

安全性 EN/IEC 61010 3rd Edition 適合

周囲相対湿度 5～90 %、結露しないこと

設置屋内用、設置カテゴリ II、汚染度 2

標高 2000 m (6562 フィート)

注: 各モデルの詳細な仕様については、10～11 ページをご覧ください。

アジレントの真空ソリューション

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TwisTorr FS ターボ分子ポンプ卓越した真空性能を実現します。次の特長があります。

• 静かで低振動

• 長期に渡るノイズおよび振動安定性

• システムへ容易に組み込み可能

• アジレントの品質と信頼性

Vaclon ポンプ

イオンポンプ考案者による新製品 VIP200 は、10-8 mbar レンジの低圧で最大排気速度を実現する初のイオンポンプです。

VS リークディテクタ

アジレントの VS リークディテクタは、2 つのボタンによるシンプルな操作で高度なシステムインテリジェンスを実現します。産業および研究アプリケーションに最適です。日々の操作を始動ボタンとベントボタンですべて行えます。高い精度と信頼性を備えた使いやすいディテクタです。

科学および産業における真空測定

XGS-600 は、高性能、高キャパシティの真空ゲージラックコントローラです。標準のハーフラックパッケージで複数の粗引き真空、高真空、および超高真空ゲージを高いコスト効率で柔軟にモニタリング、コントロールできます。

アジレントは、最新のドライスクロールポンプに加え、ラボの成果を最大限に維持するためのソリューションを提供しています。

真空およびリーク検出技術の教育

Vaclon 超高真空ポンプが考案されて以来、アジレント (Varian 社を買収) は 60 年間に渡って真空およびリーク検出技術を先導してきました。実績あるアジレントのトレーニングプログラムは、ウェビナー、セミナー、数日間のクラスルームトレーニング、オンサイトでのカスタムトレーニングなど、多様な形式で実施されています。経験を積んだエキスパートが幅広い技術について包括的な指導を行います。

ホームページwww.agilent.com/chem/jp

カストマコンタクトセンタ0120-477-111 [email protected]

本製品は一般的な実験用途での使用を想定しており、医薬品医療機器等法に基づく登録を行っておりません。本文書に記載の情報、説明、製品仕様等は予告なしに変更されることがあります。

アジレント・テクノロジー株式会社 © Agilent Technologies, Inc. 2017Printed in Japan, March 7, 20175991-7583JAJP

agilent idp ドライスクロールポンプagilent idp...

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