AgilentE4991A RFインピーダンス／マテリアル･アナライザRFにおけるインピーダンスおよび材料測定のトータル・ソリューションを提供する次世代のアナライザ

テクニカル・オーバービュー

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使い易さを追求したユーザ・インタフェース・Windowsをベースとしたユーザインタフェースにより、測定設定や各種メニューへのアクセスが、より直感的に可能。

・8.4インチTFTカラー・ディスプレイを搭載し、最大で801点の掃引で、5つのデータトレース表示（3スカラパラメータ+2複素数パラメータ)、9個のマーカ表示が可能。

データストレージ機能・3.5インチ・フロッピーディスク・ドライブ、およびハードディスク・ドライブを内蔵。

・校正データ、測定データ、測定セットアップ、そしてVBAプログラムの保存が可能。

・CITIFILEフォーマットのサポートにより、各種シミュレーションツールへの簡単なデータの受渡しが可能。

VBA®プログラミング機能を内蔵・VBAプログラミング機能により、自動測定だけでなく、測定解析プログラムの容易な作成が可能。

強力な解析機能・マーカー解析機能とマーカリミット機能により、テスト効率を大幅に改善。

・DCバイアス（電圧/電流）や、AC信号レベルなどのテスト信号を変化させることで、さまざまな角度からデバイスを評価。

・等価回路解析機能により、デバイス・モデリングを容易に実現可能。

外部キーボード＆マウス用インタフェース・VBAプログラミング作成時間を大幅に短縮。・マウスを使用することで、操作性が飛躍的に向上。

USBインタフェース・外部機器をコントロールし、自動測定システムを容易に構築可能（82357A USB/GPIBインタフェースが必要）・USBタイプのプリンタをサポート

外部VGA出力・測定波形を外部VGAモニタに、より大きく、見やすく表示が可能。

パラレル・インタフェース・ディスプレイ・イメージを、パラレル・インタフェースをサポートするプリンタに直接カラー出力が可能。

GPIBインタフェース・外部PCからのコントロールが可能。

E4991Aは：・高確度なインピーダンス測定を1 MHz から3 GHzという広範囲で実現しています。・あらゆる角度から電子部品の評価を可能にする各種解析機能を装備しています。・電子部品や電子材料の種類に応じて、さまざまな種類のテスト・フィクスチャを提供します。・マイクロソフトWindows®をベースとした、優れた操作性とPCとの良好な接続性を提供します。

卓越した測定確度を提供する高性能テストヘッド・テストヘッドの7-mmコネクタは、各種テスト・フィクスチャをサポート。

・RF I-Vテクノロジーにより、1 MHz～3 GHzの広範囲にわたり、高確度なインピーダンス測定を実現。

LANインタフェース(10 Base-T/100 Base-Tx自動切り替え)

・リモート・ユーザ・インタフェース・ソフトウエアにより、PC上に測定器のバーチャル・コントロール画面を表示可能。これにより、PCからLANを通じて測定器のリモート・コントロールや測定データの受渡しが容易に可能。

E4991A は、高確度かつ再現性を求められる高周波でのインピーダンス測定、および電子材料（誘電率、透磁率）の評価においてその真価を発揮する製品です。現在の移動体通信機器やディジタル電子機器などの動作周波数は、高周波へと移行しています。電子部品や機器メーカのエンジニアの方々にとって、こうした高周波を扱うような機器の内部で使用される電子部品を実動作状態で測定することが、部品の開発のみならず機器設計においても非常に重要になってきています。E4991Aは3 GHzまでの周波数において、このような電子部品のインピーダンスを様々な角度から解析 するための機能を備えています。一方、電子部品は高周波化が進むだけでなく、そのサイズも年々小型化が進んでいます。このため、特に小型SMDを高確度に測定することはもとより、測定の再現性を保つということが非常に困難になってきています。こうした問題を解決するために、E4991Aにはさまざまな種類のSMD用テストフィクスチャが用意されています。E4991A

は、現在、そして将来にわたるインピーダンス測定要求を十分に満足させる製品です。

さまざまな測定要求を満足させる強力な解析機能

E4991Aは、電子部品の開発時における設計評価、品質検査はもとより、電子機器開発時の回路設計および評価においても、大きく貢献します。また、E4991Aが装備する材料測定ファームウエア（オプションE4991A-002）と各種材料用電極の組み合わせによるソリューションで、電子部品材料や、非電気材料の研究開発における評価においてもその真価をいかんなく発揮します。

以下にあげるのは、測定対象の一例です。

受動部品• RFで使用される、チップインダクタ、チップキャパシタ、チップ抵抗などのインピーダンス評価。

• EMI対策部品（チップビーズ、コモンモード・チョークコイル）などのインピーダンス評価。

半導体部品• バラクタダイオード、トランジスタなどの評価。

• ICなどの端子間容量測定。

材料測定• セラミック、プラスチック、プリント回路基板などの誘電材料における、誘電率および損失等の評価。

• フェライト、アモルファスなどの磁性体材料における、透磁率および損失等の評価。

• シリコンウェハなどの半導体材料における、誘電率、導電率、およびC-V特性評価。

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RFにおける電子部品のインピーダンス測定、および材料評価において革新的なソリューションを提供します。

主な仕様

周波数範囲 1 MHz ～ 3 GHz、1 mHz分解能

測定パラメータ インピーダンス・ |Z|, θZ, |Y|, θY, R, X, G, B, CS, CP, LS, LP, RP, RS, D, Q, |Γ|, θΓ, ΓX, ΓYパラメータ

材料パラメータ注） |εr|, εr’, εr”, |µr|, µr’, µr”, θ, tanδ測定ポイント 2 ～ 801点/掃引

基本インピーダンス確度 ±0.8 %

テストポート 7-mmコネクタ

DC バイアス DC レベル 0 V～±40 V / 1 mV 分解能(オプション 100 µA～50 mA , －100 µA～－50 mA / 10 µA 分解能E4991A-001) DC レベルモニタ機能 電圧、電流

掃引パラメータ 周波数、測定信号レベル（電圧、電流）DCバイアスレベル（電圧、電流）

マーカ機能 9個（リファレンス・マーカ1個、マーカ8個）マーカリスト機能マーカーサーチ（Max, Min, Target, Positive Peak, Negative Peak）機能マーカートラッキング機能

その他の機能 校正 オープン/ショート/50Ω/低損失キャパシタ

フィクスチャ補正 オープン/ショート、フィクスチャ電気長補正

等価回路解析機能 5つの等価回路解析モデル

VBA (Visual Basic® for Applications) によるプログラミング機能

マスストレージ 3.5 インチ・フロッピーディスク・ドライブ (MS-DOS® フォーマット)、ハードディスク・ドライブ

セグメント掃引機能 最大16セグメント（スタート周波数、ストップ周波数、測定ポイント数、信号レベル設定、アベレージング回数、DCバイアス設定など）

注）オプションE4991A-002が必要となります。

RF受動部品の解析に新たな可能性を提供します。

E4991Aが提供する3 GHzまでのインピーダンス測定周波数範囲では、W-CDMA、BluetoothTM、そしてワイヤレスLANなど、これからの需要が大きく期待されるアプリケーションがカバーされます。E4991Aが持つ幅広いインピーダンス測定範囲と、強力な解析機能により、こうしたアプリケーションで使用されるRFチップインダクタやキャパシタといった電子部品をさまざまな角度から解析することが可能になります。また、各種テスト・フィクスチャにより、幅広いサイズのデバイス測定も、より簡単に行うことができるようになります。

RF I-V法による高確度測定の実現携帯電話などの通信機器においては、消費電力の削減や、感度および周波数選択性を高めるために、その内部で使用されるデバイスは、高いQ値や低いESR値（等価直列抵抗値）を持つような部品が使われています。これまで1.8 GHzを超える周波数領域においては、ネットワーク・アナライザが一般

的に使用されていました。しかしながら、ネットワーク・アナライザの反射係数法による測定では50Ωから外れた部分でのインピーダンス測定値が極端に悪くなる事から、十分な測定確度が得られませんでした。これに対し、E4991Aで採用されているRF I-V法は、DUTに印加された電圧、および電流値を直接測定しているため、ネットワーク・アナライザと比較して、より高確度で広範囲なインピーダンス測定を実現しています。

低損失キャパシタ校正E4991Aでは、位相測定確度を向上させるために、従来のオープン、ショート、50Ω標準器に加えて、低損失キャパシタを使用した校正を行うことができます。低損失キャパシタ標準器により、インピーダンス平面上に－90度の位相標準を定義することで位相の測定確度を向上させています。これにより、非常に高いQ値をもつようなインダクタ、あるいは非常に低いESR値を持つようなキャパシタなどの測定をより高確度に行うことが可能になります。（表１参照）

図1 インダクタンスのLs-Q測定例

表１　Q測定値の確度（代表値）データ

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E4991A ネットワーク・アナライザ

主な測定対象部品 ・インダクタ ・フィルター・キャパシタ ・アンプ・バリキャップ・ダイオード

測定パラメータ |Z|, |Y|, θ, R, X, G, B, C, L, R, S-パラメータ, Γ, θD, Q, Γ

掃引パラメータ ・周波数 ・周波数・測定信号電流レベル ・測定信号レベル（dBm）・測定信号電圧レベル・DC電流バイアス・DC電圧バイアス

フィクスチャ ・各種テスト・フィクスチャを ・部品毎に個別対応が必要用意・フィクスチャ補正機能搭載(DUTとの接続面で、より高確度な測定を実現)

インピーダンス ・低損失キャパシタ校正による、 ・50Ω付近で高確度インピー測定確度 高いQ値を持つ部品の高確度 ダンス測定

測定 ・50Ωから外れるほど確度は・50Ωを外れた部分での高確度 低下なインピーダンス測定

その他 等価回路解析機能搭載

表２ E4991Aとネットワーク・アナライザの簡易比較表

使いやすさを追求した、ユーザ・インタフェース8.4インチカラーLCDディスプレイと、Windowsをベースとしたユーザ・インタフェースにより、測定画面の設定、および各種メニューへのアクセスをより直感的に行うことができます。E4991Aは、最大で３つのスカラ・パラメータ（|Z|, L, C, Rなど）と２つの複素数パラメータ（Z,Γなど）を同時に表示することが可能です。さらに、各測定トレースに対して、比較測定のためのメモリトレースをそれぞれ１つ同時に表示させることが可能です。図の例では、チップビーズの測定において|Z|、R、そしてXの値を表示させています。表示の仕方については、１つの画面上に重ね書きさせることも可能ですし、個々のウィンドウ上にそれぞれを好きな組み合わせで表示させることも可能です。

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また、Windowsをベースとしたことにより、マウスによる操作を実現しています。これにより、各種メニューへのアクセスが容易に行えるようになるだけでなく、画面上で興味のある測定結果をマウスでドラッグするだけで、簡単にその部分を拡大することも可能です。図3にマウスを使用した操作例を示します。例えば、インダクタなどの測定においてSRF周辺の様子を詳細に観察したい場合には、周波数範囲やインピーダンス範囲などの設定を、デバイスの特性に合わせて測定毎に変更する必要があります。これに対しマウスを使用した場合は、図に示すように、インダクタのSRF周辺で観測したい部分をマウスでドラッグすると、四角の枠によりその部分が囲まれ、ドロップすることにより指定された部分が拡大されます。これにより、上記のようなわずらわしい作業から開放され、エンジニアの方は測定に専念することができるようになります。

図2-1 画面表示（重ねがき例）

図2-2 画面表示（ウィンドウの表示例）

図3 マウスを使用した操作例

より詳細な電子部品の評価を実現

DCバイアス機能（オプションE4991A-001）RFインダクタや、セラミック・キャパシタのように、電圧や電流依存性のある電子部品の測定に対し、DCバイアス機能（オプションE4991A-001）を使用することで、DCバイアス電圧 (±40V) 、そしてDCバイアス電流(±50 mA)を電子部品に重畳してインピーダンス評価をすることが可能になります。これにより、外部DCバイアス電源を使用することなく、電子部品の特性をDCが重畳した状態で測定できます。以下の図は、バリキャップ・ダイオードのC-V特性を示しています。DC電圧バイアスを0 Vから5 Vまで印加しており、マーカの値より0.5 Vから4.5 Vに電圧が変化する間に、静電容量値が11.27 pF減少していることが読み取れます。このように、DCバイアス機能を使用することで、このような測定が簡単に実現できます。また、電流によるDCバイアス掃引も行うことが可能であり、インダクタなどの飽和特性の評価を行うことができます。

図４　 DCバイアス測定例

外部DCバイアスアダプタ内部DCバイアス機能で、必要とされる電流値が得られなかった場合には、16200B（外部DCバイアスアダプタ）が用意されています。16200Bと外部DC電源を併用することで、最大で±5 AのDCバイアスをテストポートの7-mmコネクタを通じてDUTに印加することが可能になります。注）

注）但し、この場合E4991Aにおける測定周波数範囲は、1 GHzになりますのでご注意下さい。

低損失デバイスの評価をより高確度に実現移動体通信機機器やディジタル電子機器の、小型化、そして省電力化の動きに合わせ、使用されるインダクタやキャパシタ等についてもこれまで以上に小型低損失な製品が求められています。図6の例では、2.28 GHzにおける低損失セラミック・キャパシタのESR（等価直列抵抗値）測定を示しています。移動体通信機器などの実用周波数において、低損失部品でも高確度なESR測定を実現しております。

図6 低損失セラミック・キャパシタのESR（等価直列抵抗）測定例

等価回路パラメータ抽出による電子部品のモデリングE4991Aが搭載する等価回路解析機能により、簡単な操作で、電子部品の等価回路パラメータが抽出できます。この機能には、セラミック・キャパシタや水晶部品など、一般に使用される電子部品の代表的な5つの等価回路モデルが用意されています。測定結果から、そのパラメータによるシミュレーション特性を実測値に重ねあわせて、比較することが可能です（図7参照）。また、ここで抽出されたパラメータは、EDA（Electronic Design Automation) ツールといったデバイスモデリングで使用されるような外部シミュレーション・ソフトウエアに簡単に受け渡すことも可能です。

図7 等価回路解析機能例

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図５ 16200B

セグメント掃引機能によるテスト効率の改善

セグメント掃引機能を使用すると、1回の掃引をいくつかの区間（セグメント）に分割して行うことが可能になります。各セグメントごとに、周波数範囲、測定ポイント数、アベレージ回数、DCバイアス・レベル（電圧/電流）、あるいはテスト信号レベルなどを独立に設定することができます（図8-1参照）。例えば、複数の周波数ポイントにおけるデータを測定したいような場合、これまでであれば測定のたびに測定器の設定変更が必要でしたが、セグメント掃引機能を使用すれば、測定の最初に必要となる周波数セグメントの設定をするだけで、手間のかかる測定を短時間で行うことが可能になります（図8-2参照）。

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図8-1 セグメント・リスト

図8-2 セグメント掃引機能

16197Aおよび、16196A/B/C/DはSMD用テスト・フィクスチャで、3 GHzまでの周波数において安定した測定結果をお約束します。

SMD用テスト・フィクスチャ

16197Aは、底面電極を持つSMD向けに開発されたテスト・フィクスチャです。また、以下に示すように、さまざまなサイズのSMDを再現性よく測定でき、コストパフォーマンスが優れた製品です。

16197Aが対応するSMDサイズ（EIA/EIAJ標準サイズ）• 0201 (inch)/0603 (mm) 注）

• 0402 (inch)/1005 (mm)• 0603 (inch)/1608 (mm)• 0805 (inch)/2012 (mm)• 1208 (inch)/3216 (mm)• 1210 (inch)/3225 (mm)• 上記以外のサイズ (ホルダー・プレートの改良が必要)注）0201 (inch)/0603 (mm)サイズには、オプション16197A-001で対応します。

16196A/B/C/Dは、同軸構造の高性能テスト・フィクスチャで、3 GHzまでの周波数において、測定の再現性と操作性を高い次元で両立させた製品です。16196xシリーズは、オペレータによる測定誤差を極力減らすために、非常にシンプルな操作で部品を固定できるような設計になっています。16196xシリーズは、0603 (inch)/1608 (mm)から01005(inch)/0402 (mm)サイズのSMDまで対応しています。

16196Xシリーズが対応するSMDサイズ（EIA/EIAJ標準サイズ）16196A: 0603 (inch)/1608 (mm)16196B: 0402 (inch)/1005 (mm)16196C: 0201 (inch)/0603 (mm)16196D: 01005 (inch)/0402 (mm)

図9 16197A

図10 16196B

各種電子部品用フィクスチャを用意

VBA（Visual Basic® forApplications）による自動測定VBA機能を搭載したことにより、ユーザ・インタフェースの変更や、複雑な測定を自動的に実行させることがこれまで以上に簡単にできるようになりまし た 。 Visual Basicと 同 様 の IDE（Integrated Development Environment）環境下で、VBAのプログラミングを作成することが可能です。

EDAツールとのリンクADS (Advanced Design System) のような EDAツールを、高周波で使用するデバイス・モデルの作成に使用するケースが一般的になりつつあります。E4991Aの測定データをもとに、ADS上で多くのエレメントを用いたデバイスのモデルを作成し、シミュレーションを実施することで、3 GHzまでの周波数においてより正確なデバイス・モデルの作成および解析が実現できます。さらに、E4991Aは、測定データより計算したSパラメータを、CITIFILEフォーマットで保存できるため、ADSのような各種シミュレーション・ツールに簡単にデータを受け渡すことができます。

PC環境との容易な接続性E4991Aに添付されるリモート・ユーザ・インタフェース・ソフトウエアを使用することで、LANを通じた計測コントロール、およびトラブルシューティングが容易にできるようになります。このソフトウエアは、PC画面上にE4991Aのコントロール・パネルを表示し、LANを通じて離れた場所にあるE4991Aを、あたかも手元にあるようにコントロールすることが可能です。また、PC上の表計算アプリケーション・ソフトウエア等に、測定データをファイルとしてだけでなく、コピー・アンド・ペーストで受渡しすることができます。

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図11 VBAによるプログラミング機能

図12 ADS とのリンク

図13 リモート・ユーザ・インタフェース

PC環境および各種EDAツールとの親和性を向上

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材料測定ファームウエア（オプションE4991A-002）により、誘電体および磁性体の材料パラメータである、誘電率や透磁率といったパラメータを1 GHzまでの周波数においてグラフィック形式で表示することが可能になります。誘電材料測定電極（16453A）と、磁性材料測定電極（16454A）を使用することで、材料測定に伴うわずらわしい電極等の制作から解放され、実験に専念することができるようになります。

材料測定の広がる可能性

図14 E4991A材料測定

磁性体材料測定16454A（磁性材料測定電極）は、E4991A（オプションE4991A-002）との組み合わせにより、透磁率を1 GHzの周波数まで測定することが可能です。このフィクスチャは、直径20 mmまでのトロイダル型に成形されたサンプルのテストをするために設定されています。材料としては、アモルファスや磁性体のコアなどがあります。また、さまざまなサイズのトロイダル型の試料を測定できるように、小型電極(直径8 mm以下)と大型電極（直径20 mm以下）が用意されています。

測定時に必要となる材料のサイズ小型サイズ：外径≤8 mm, 内径≥3.1 mm, 厚さ≤3 mm大型サイズ：外径≤20 mm, 内径≥5 mm, 厚さ≤8.5 mm

誘電体材料測定16453A（誘電材料測定電極）は、平行平板法を用いることで、誘電率および誘電損失を1 GHzの周波数まで測定することが可能です。この測定法は、3 mm以下の厚さで、シート状になっている高分子材料やセラミック材料などの測定に適しています。電極間に測定したい材料を挟むだけという非常にシンプルな構造で、作業性が非常に良好です。

測定時に必要となる材料のサイズ直径≥15 mm, 厚さT≤3 mm

図15 16453A 図16 16454A

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近年、携帯電話に代表される電子機器の小型化が進み回路のスペースを節約するため、ICや回路モジュールの内部に数多くのデバイスが作られるようになりました。例えば、コンデンサやインダクタの役割を果たす薄膜誘電体層や、スパイラル・インダクタ等をウエハ上に作りこむケースが増えています。一般に、こうしたデバイスの測定は測定器にプローブステーションを組み合わせて行いますが、キャパシタンス値やインダクタンス値がpF、nHと非常に小さく、慎重に測定システムを構成する必要があります。こうした測定要求にお応えするために、E4991Aプローブ・ステーション接続キット（オプションE4991A-010）をご用意しました。このオプション製品を使用することにより、オン・ウエハや超小型デバイスの高確度測定が、3 GHzまでの周波数で実現できます。

シンプルな構成通常、測定器をプローブ・ステーションに接続する場合、ポート延長や不適切な校正による確度の低下が問題となります。オプションE4991A-010はこの問題を解決するための要素を全て備えています。このオプションには、小型のテストヘッド、専用の延長ケーブル、コネクタ、接続プレート、そしてインスタレーション・ガイドなど、システム構成に必要なすべての部品があらかじめ用意されています。プローブ・ステーションはカスケード・マイクロテック社製品を推奨します。これらオプションで使用する全ての部品の電気特性を当社で評価していますので、適切な部品を求めて、いくつものサプライヤに問い合わせをする必要はありません。このシステムがあれば、シンプルに、しかも信頼性の高いプローブ測定を実現できます。

プローブ測定システムを使用した、高確度インピーダンス測定

図17 E4991Aとプローブ・ステーション

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図18 E4991AオプションE4991A-010を用いたプローブ測定接続図

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延長されたテスト・ヘッドの測定ポートで測定確度を保証E4991AオプションE4991A-010は、付属する延長ケーブルで延長したテスト・ヘッドの7-mm端子の先端で測定確度を保証しています。確度を保証する基準面からのポート延長は測定誤差を増やすため、確度保証は信頼性のある測定に不可欠です。延長ケーブルの特性によっては測定に悪影響を与えますが、E4991Aでは信頼性の高いケーブルの採用と、専用のテストヘッドを開発することで、この問題を解決しました。また、このテスト･ヘッドを小さくし、できる限りプローブ・ヘッドの近くに設置できるように工夫しました。これにより、テストヘッドとプローブステーションの距離を最小限にすることが可能となり、測定誤差を最小限に押さえることができるようになります。

広範囲で再現性の良いインピーダンス測定E4991Aは、ネットワーク･アナライザと比較して広いインピーダンス範囲を測定することができます。一般に、ネットワーク・アナライザは50 Ωから大きく外れるインピーダンスの測定では十分な精度が得られません。これに対してE4991Aは、広範囲のインピーダンス測定を主な目的としており、50Ωから離れたインピーダンスを測定するための設計がなされています。特に、1 pH、1 nHなどの微少なキャパシタンス値やインダクタンス値を測定する際に威力を発揮します。さらに、E4991Aは時間の経過や温度変化に対しても非常に安定した測定結果を提供します。こうした点も、インピーダンス測定専用器の利点です。

E4991A オプションE4991A-010E4991A オプションE4991A-010には、以下の製品が含まれています。

● E4991A用小型テストヘッド● 延長ケーブル● 7 mm - 3.5 mm（メス）アダプタ 1個● N（オス）- SMA（メス）アダプタ 3個● マニュアル

別途必要な機器オプションE4991A-010付きのE4991Aとは別に、プローブ・ステーションとプローブヘッドをご購入いただく必要があります。 本オプションはいずれのプローブ・ステーションとの使用が可能ですが、当社にて性能が確認できているカスケード･マイクロテック社製のプローブ・ステーションの使用を推奨します。また、以下の製品が別途必要となります。

● カスケード･マイクロテック社製Summit 9000シリーズ、Summit 11000シリーズまたはSummit 12000シリーズプローブ・ステーション

● カスケード・マイクロテック社製ACP シリーズまたはHPC シリーズプローブヘッド

● カスケード・マイクロテック社製インピーダンス基準基板（ISS）

● カスケード・マイクロテック社製マウント・プレート（テスト・ヘッドの固定台）● カスケード・マイクロテック社製セミ・リジッド・ケーブル（テスト・ヘッドとプローブヘッドの接続用）

上記製品の購入につきましては、直接カスケード･マイクロテック社までお問い合わせください。

カスケード・マイクロテック（株）153- 0042東京都目黒区青葉台4- 7- 7住友青葉台ヒルズ1階TEL : (03)5478- 6100URL: http://www.cmj.co.jp/

図19 E4991A プローバ・ステーション接続キット（オプションE4991A-010）

E4991A RFインピーダンス／マテリアル・アナライザ

E4991A プローブ・ステーション接続キット（オプションE4991A-010）

プローブ・ステーション

プローブ・ヘッド

高確度な温度特性評価を実現耐熱測定用テスト・キット（オプションE4991A-007）を使用することで、高周波における電子部品および材料の温度特性評価を簡単に行うことができます。このソリューションは、－55℃から＋150℃の温度範囲をカバーしており、新たに搭載された温度ドリフト補正機能により、高周波における高確度な温度特性測定を実現しています。

図20は、E4991A（オプションE4991A-007）と4291B（オプション013と014を合わせた範囲）の10％測定確度の代表値を比較しています。従来製品の4291Bでは、高インピーダンスと低インピーダンスの測定範囲をカバーするためには、高インピーダンス・テスト・ヘッドと低インピーダンス・テスト・ヘッドの2種類が必要でしたが、E4991Aでは1つのテスト・ヘッドで4291Bよりも広いインピーダンス範囲をカバーしています。

温度ドリフト補正機能は、E4991A（オプションE4991A-007）で採用された新技術です。4291Bとは異なり、Open/Short補正を事前に決められた温度点で行うことで、図21に示すように温度ドリフトによる測定確度への影響を最小限に抑えることができます。

エスペック社注1）製恒温器との組合わせによる自動温度特性評価システム自動温度特性評価システムを構築するのに必要な恒温器はエスペック社から提供され、その他のアクセサリ、そしてサンプル・プログラム等は全てアジレントから提供されます。図22にE4991A（オプションE4991A-007）注2）

に含まれる製品を示します。サンプル・プログラムはVBAで開発されており、エスペック社製のベンチトップ・タイプ恒温器（SU-261）をサポートしているため、簡単に自動温度特性評価システムを構築することができます。SU-261は、ベンチトップ・タイプの恒温

器でありながら、－60℃から＋150℃までの温度範囲に対応しているため、E4991A（オプションE4991A-007）の測定温度範囲をすべてカバーしています（図23参照）。VBAサンプル・プログラムは、プログラム内容の変更を容易に行うことができるため、他メーカの恒温器にも対応することが可能です。さらに、このプログラムは、使い勝手の良いグラフィカル・ユーザー・インタフェースを有しているため、恒温器のコントロール、各種測定パラメータの設定、そして温度プロファイルの設定等を簡単に行うことができます。

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温度特性評価システム

図22 E4991A（オプションE4991A-007）に含まれる製品

図23 E4991A（オプションE4991A-007）とエスペック製ベンチトップ・タイプ恒温器（SU-261）

注1）エスペック株式会社は、アジレントのチャネル・パートナーです。

エスペック製恒温器に関するお問合わせは下記までお願いします。

エスペック株式会社 〒530-8550 大阪市北区天神橋3-5-6Tel. 06-6358-4741Fax. 06-6358-5500http://www.espec.co.jp

注2）E4991Aから恒温器をコントロールするためには、Agilent 82357A USB/GPIBインタフェースが必要です。このUSB/GPIBインタフェースはオプションE4991A-007には含まれておりません。

図20 測定確度の比較表（10％測定確度代表値） 図21 温度ドリフト補正機能の効果

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測定パラメータインピーダンス・パラメータ：|Z|, θZ, |Y|, θY, R, X, G, B, CS, CP, LS, LP, RP, RS, D, Q, |Γ|,

θΓ, ΓX, ΓY材料パラメータ：＊1 |εr|, εr’, εr”, |µr|, µr’, µr”, θ, tanδ

測定信号特性周波数

範囲： 1 MHz ～ 3 GHz分解能： 1 mHz確度： <±10 ppm @23℃±5℃（オプション1D5 <±1 ppm@ 5 ℃～40 ℃）

測定信号レベル設定＊2

範囲 電圧レベル： 4.47 mV～502 mVrms (f ≦ 1 GHz、出力端開放時の電圧)4.47 mV～447 mVrms (f ＞ 1 GHz、出力端開放時の電圧)

電流レベル： 89.4 µA～10 mArms (f ≦ 1 GHz、出力端短絡時の電流）89.4 µA～8.94 mArms (f ＞ 1 GHz、出力端短絡時の電流）

パワー・レベル：－40 dBm～1 dBm (f ≦ 1 GHz、出力端50Ω終端時のパワー）－40 dBm～0 dBm (f ＞ 1 GHz、出力端50Ω終端時のパワー）

分解能： 0.1 dB確度： ±2 dB (f ≦ 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)

±3 dB (f > 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)オプションE4991A-007使用時＋2 dB/－4 dB (f ≦ 1 GHz @ 50 Ω, 23℃±5℃)＋3 dB/－6 dB (f ＞ 1 GHz @ 50 Ω, 23℃±5℃)オプションE4991A-010使用時±3.5 dB (f ≦ 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)±5.6 dB (f > 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)

信号出力インピーダンス（公称値） ：50Ω

DCバイアス機能・特性DCバイアス設定

範囲： 電圧 0～±40 V 電流 100 µA～50 mA、－100 µA～－50 mA分解能： 電圧 1 mV 電流 10 µA確度： 電圧バイアス±{0.1 %+ 6 mV+ (Idc[mA]×20 [Ω]) mV} @23℃±5℃

（出力端開放時の電圧）電流バイアス±{0.2 % + 20 µA+ (Vdc[V] / 10 [kΩ]) mA} @23℃±5℃（出力端短絡時の電流）

DCバイアス・モニタ（代表値）範囲： DCバイアス設定範囲に同じ確度： 電圧モニタ±{0.5 % + 15 mV+ (Idc[mA] × 2 [Ω]) mV} @ 23℃±5℃

電流モニタ±{0.5 % + 30 µA+ (Vdc[V] / 40 [kΩ]) mA} @ 23℃±5℃

E4991A仕様仕様は、他に記述のないかぎり、5℃～40℃の範囲でかつ30分のウォームアップ後に保証される測定器の性能を示します。“代表値”、“約”、“公称”として記載されているデータは保証された性能ではありませんが、測定器の代表的な特性を示し、本器を有効に活用していただくための参考データです。

＊1 オプションE4991A-002が必要となります。

＊2 周波数が1 GHzを超える場合でも、0dBm (447 mV, 8.94 mA) を超える設定が出来ますが、動作保証はされません。また、単位がmVまたはmAに設定されている場合には、dBm表示換算での0.1 dB単位に丸められるように設定されます。

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掃引機能・特性掃引可能なパラメータ： 周波数、信号電圧レベル、信号電流レベル、DCバイアス電

圧、DCバイアス電流掃引の種類： リニア掃引（LIN）、対数掃引（LOG）、セグメント掃引

（SEGMENT）、（対数掃引とセグメント掃引は掃引パラメータが周波数のときのみ。）

掃引方向： アップ掃引（全掃引パラメータ）ダウン掃引（全掃引パラメータ）

測定点数： 2～801点セグメント掃引機能： セグメント数：1～16

設定可能なパラメータ：掃引周波数範囲、測定点数、ポイント・アベレージング回数、信号レベル（電圧または電流）

アベレージング機能： ポイント・アベレージング（各測定点毎に測定値をアベレージング）スイープ・アベレージング（複数回の掃引後に測定値をアベレージング）

ディレイタイム機能： ポイント・ディレイ（各測定点での測定遅延時間設定）スィープ・ディレイ（各スイープ前の遅延時間設定）セグメント・ディレイ（セグメント掃引時に各セグメント毎に遅延時間設定可能）

校正・補正機能校正： オープン／ショート／50Ω／低損失キャパシタ　校正誤差補正： オープン／ショート、フィクスチャ電気長補正補正周波数設定モード： 補間モード（FIXED）、ユーザ設定モード（USER）

表示・データ演算・マーカ機能測定チャンネル： 1表示トレース： データ・トレース（スカラ・パラメータ×3, 複素パラメータ×2）、

メモリ・トレース（スカラ・パラメータ×3, 複素パラメータ×2）データ演算機能： データ－メモリ、データ／メモリ、デルタ%、オフセットマーカの種類と数： リファレンス・マーカ1個／トレース

マーカ8個／トレースマーカ・サーチの種類： 最大、最小、ターゲット、ピークその他のマーカ機能： トラッキング機能、マーカリスト、マーカ連続モード、

マーカ値代入機能

データ記憶機能記憶装置： 3.5インチFDD 720 kB/1.44 MB（MS-DOS®フォーマット）

ハードディスクドライブ記憶内容： データ、設定、プログラム、画面イメージ

インタフェース機能LANインタフェースインタフェース規格： 10Base-T, 100Base-Tx自動切換えプロトコル： TCP/IPサポートアプリケーション： FTPGPIBインタフェース： IEEE488.1-1987, IEEE488.2-1987準拠GPIBファンクション： SH1, AH1, T6, TE0, L4, LE0, SR1, RL0, PP0, DT1, DC1, C0, E2プリンタインタフェース： セントロニクス（パラレル）USBポート： USB1.1, 標準USB A外部モニタ出力： 640×480 VGA

仕様（続き）

15

測定確度＊4

測定確度仕様条件： オープン／ショート／50Ω校正実施。Calibration ON測定点が校正点と同じ事。

温度条件： 23℃±5℃でかつ校正時の温度から5℃以内。これ以外の温度条件下では、測定確度は下記の値の2倍になる。

|Z|, |Y|確度： ±(Ea+Eb) [%]θ確度： ±(Ea+Eb) / 100 [rad]L, C, X, B確度： ±(Ea+Eb) × (1+ Dx2) [%]Ｒ,G確度： ±(Ea+Eb) × (1+ Qx2) [%]D確度（ΔD）： (1+ Dx

2)tan (Ea+Eb /100)±–––––––––––––––––––– @ |Dxtan(Ea+Eb/100)|<11 Dx tan (Ea+Eb /100)

±(Ea+Eb) /100 @ Dx ≦0.1Q確度（ΔQ）： (1+ Qx

2)tan (Ea+Eb /100)±–––––––––––––––––––– @ |Qxtan(Ea+Eb/100)|<11 Qx tan (Ea+Eb /100)±Qx

2 (Ea+Eb) /100 @ 10/(Ea+Eb)≧Qx≧10

ZsとY0 はポイントアベレージング回数、測定信号レベルによって値が変わります。詳細は、データシートを参照下さい。

一般特性外部基準信号入力： 10 MHz ± 100 Hz (代表値)、≧0 dBm、50Ω内部基準信号出力： 10 MHz (公称値)、2 dBm（代表値）、50Ω高安定基準信号出力＊5： 10 MHz (公称値)、2 dBm（代表値）、50Ω外部トリガ入力： TTL、パルス幅≧2 µsec、ポジティブ/ネガティブ選択可能温度範囲： 使用時　+5℃～+40℃／保管時　－20℃～60℃湿度範囲＊6： 使用時　20 ％～80 ％ RH／保管時　15 %～90 % RH電源： 90 V～132 Vまたは198 V～264 V(自動切換え)

47 Hz～66 Hz、最大350 VA重量： 本体：17.0 kg

テストヘッド：0.9 kg外形寸法： 本体：425(幅) mm×234(高さ) mm×445(奥行) mm

テストヘッド：160(幅) mm×64(高さ) mm×160(奥行) mm

仕様（続き）

＊5 オプションE4991A-1D5装着時。＊6 フロッピー・ディスク・ドライブ動

作時。湿球温度≦29℃、結露しないこと。

インピーダンス測定範囲E4991A Osc Level=23dBm, Ave≧8 ΔT≦5℃

100k

10k

1k

100

10

1

0.1

インピーダンス（Ω）

1M 10M 100M 1G 3G周波数［Hz］

10%

5%

2%

1%

±

±

＊4 Ea ：±0.65 [%] (1 MHz ≦ f ≦ 100 MHz)±0.8 [%] (100 MHz ＜ f ≦ 500 MHz)±1.2 [%] (500 MHz ＜ f ≦ 1 GHz)±2.5 [%] (1 GHz ＜ f ≦ 1.8 GHz)±5.0 [%] (1.8 GHz ＜ f ≦ 3 GHz)

Zs ：信号レベル＝－3, －13, －23 dBm±(13 + 0.5×F) [mΩ] (Point Average ≧8)

Yo：信号レベル＝－3, －13, －23 dBm±(5 + 0.1×F) [μS] (Point Average≧8）

Eb ：(Zs/|Zx|+ Y0|Zx|)×100 [%]Dx：D測定値Qx：Q測定値Zx ：|Z|測定値

測定パラメータ誘電率パラメータ |εr|, εr’, εr”, tanδ透磁率パラメータ |µr|, µr’, µr”, tanδ

周波数範囲Agilent 16453A使用時 1 MHz ～ 1 GHz（代表値）Agilent 16454A使用時 1 MHz ～ 1 GHz（代表値）

測定確度確度規定の条件温度

温度許容差 校正温度から±5℃の範囲周囲温度 測定確度は、23℃±5℃で校正を実行したときの

値です。23℃±5℃の範囲外で校正を実行すると、確度は記載されている値の1/2に劣化します。

必要な校正 オープン、ショート、ロードポイント・アベレージング回数 ≧8確度規定の測定ポイント 校正実行時と同じポイント16453Aにおける電極圧力 最大

誘電率パラメータの代表的確度＊7εr’の確度

∆εrm’ 0.1 t ε’rm 100εrm ± 5 + 10 + f ε’rm

+ 0.25 t + [%]1- 13

2

f ε’rm(at tanδ < 0.1)

ε･ rの損失確度 ±(Ea+Eb) (tanδ < 0.1の場合)(= ∆tanδ)

16

材料測定ファームウェア（オプションE4991A-002）

＊7Ea =周波数≦1 GHzの場合

0.002 + 0.001 t + 0.004 f + 0.1f ε’rm 13 2

1-f ε’rm

Eb = ∆ε’rm 1 + ε’rm

0.002 tanδε’rm 100 t

f = 測定周波数 [GHz]

t = MUT（試料）の厚さ [mm]

ε’rm = ε’rの測定値

tanδ = 誘電損失の測定値

=⎛⎝⎜

⎞⎠⎟

⎛⎝⎜

⎞⎠⎟ ⎛

⎝⎜⎞⎠⎟

⎡

⎣

⎢⎢⎢⎢⎢⎢

⎤

⎦

⎥⎥⎥⎥⎥⎥

•⎛⎝⎜

⎞⎠⎟

•⎛

⎝⎜⎞

⎠⎟

17

仕様（続き）

透磁率パラメータの代表的確度＊8µr’の確度

∆µrm’µrm 4 + 0.02 25 + Fµ’rm 1 +

15 2f 2 [%]

f Fµ’rm Fµ’rm(tanδ < 0.1)

µ･ rの損失確度 ±(Ea+Eb) (tanδ < 0.1の場合)(= ∆tanδ)

=⎛⎝⎜

⎞⎠⎟ •

⎛⎝⎜

⎞⎠⎟

比誘電率測定確度参考値（試料厚み：0.3 mmの時）

誘電損失測定確度参考値（試料厚み：0.3 mmの時）

比透磁率測定確度参考値（試料サイズ＊8：10 mmの時）

磁性損失測定確度参考値（試料サイズ＊8：10 mmの時）

E4991A材料測定の確度表

＊7 試料サイズ (F) は以下の式より計算して求める。

F=hlnc

–––b

h：厚さ (mm)c：外径 (mm)b：内径 (mm)

＊8 Ea = 0.002 + 0.001 + 0.004fFµ’rmf

Eb =∆µ’rm tanδµ’rm 100

f = 測定周波数 [GHz]

F = hln c [mm]bh = MUT（試料）の高さ [mm]

b = MUT（試料）の内径 [mm]

c = MUT（試料）の外径 [mm]

µ’rm = µ’rの測定値

tanδ = 損失（tanδ）の測定値

•

18

耐熱測定用テスト・キット（オプションE4991A-007）

測定温度範囲範囲： －55℃～＋150℃

周波数範囲範囲： 1 MHz ～ 3 GHz

測定確度＊9

測定確度仕様条件： 耐熱ケーブルの先端（7-mmコネクタ）でオープン/ショート/50 Ω校正実施。Calibration ON。測定ケーブルが校正測定時と同じ姿勢を保っていること。

校正温度： 23℃±5℃でかつ校正時の温度から5℃以内。これ以外の温度条件下では、測定確度は1/2に劣化する。

測定温度範囲： 校正温度±5℃確度規定面： 耐熱ケーブルの先端（7-mmコネクタ）確度規定の測定点： 校正実行時と同じ測定点、同じ信号レベル|Z|, |Y|確度： ±(Ea + Eb) [%]Θ確度： ±(Ea + Eb) /100 [rad]

耐熱測定用テスト・キット使用時の測定確度（代表値）

＊9 Ea ：±0.8 [%] (1 MHz ≦ f ≦ 100 MHz)±1.0 [%] (100 MHz ＜ f ≦ 500 MHz)±1.2 [%] (500 MHz ＜ f ≦ 1 GHz)±2.5 [%] (1 GHz ＜ f ≦ 1.8 GHz)±5.0 [%] (1.8 GHz ＜ f ≦ 3 GHz)

Zs ：信号レベル＝－3, －13, －23 dBm±(30 + 0.5×F) [mΩ] (Point Average ≧ 8)

Yo：信号レベル＝－3, －13, －23 dBm±(12 + 0.1×F) [μS] (Point Average ≧ 8）

Eb ：(Zs/|Zx| + Y0|Zx|)×100 [%]

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温度変化に伴う測定確度＊10（代表値）測定確度仕様条件： 温度補正データを測定した温度ポイントと、実際に測定す

る温度ポイントが一致していること。校正はUser Calを用いること。

測定温度条件： －55℃～5℃、40℃～150℃ かつ校正実施温度より5℃以上（補正適応時には20℃以上）の温度変化があること。ただし、この温度範囲に関わらず温度特性ヒステリシス分の誤差は加わる。

|Z|, |Y|確度： ±(Ea + Eb + Ec + Ed) [%]Θ確度： ±(Ea + Eb + Ec + Ed) /100 [rad]

＊10温度変化に応じて下記誤差（代表値）が測定確度に追加される

Ec ：Ea’×∆T + Eah [%]

Ed ：±Z’s×∆T + Zsh + (Y’o×∆T + Yoh)|Zx|

×|Zx| ×100 [%]

Zx ：|Z|測定値

∆T：校正温度から測定温度の変化量

温度補正無し：Ea’ = 0.006 + 0.015×f [%/℃]

Yo’= 0.3 + 3×f [µS/℃]Zs’ = 1 + 10×f [mΩ/℃]

温度補正有り：Ea’ = 0.006 + 0.015×f [%/℃]

Yo’= 0.3 + 3×f [µS/℃](1 MHz ≦ f ＜ 500 MHz)1.5 + 0.6×f [µS/℃](500 MHz ≦ f ≦ 3 GHz)

Zs’ = 1 + 10×f [mΩ/℃](1 MHz ≦ f ＜ 500 MHz)5 + 2×f [mΩ/℃](500 MHz ≦ f ≦ 3 GHz)

f ：周波数 [GHz]

温度特性ヒステリシス：Eah =Ea’×∆Tmax×0.3 [%]Yoh=Yo’×∆Tmax×0.3 [mΩ]Zsh =Zs’×∆Tmax×0.3 [mΩ]∆Tmax=測定時までの最大温度変化量

⎛⎝⎜

⎞⎠⎟

仕様（続き）

オーダリング情報Agilent E4991A インピーダンス/マテリアル・アナライザ

付属品：インピーダンス・テスト・ヘッド、校正キット（50 Ω、オープン、ショート、低損失キャパシタ、トルクレンチ）、電源ケーブル、CD-ROM（ファームウェア/VBAソフトウェア・インストール用）、CD-ROM（マニュアル）注意：テストフィクスチャ類、キーボード、マウス、

USB/GPIBインタフェース、そしてマニュアル(印刷版)は、標準付属品ではありません。

コンフィグレーション・ガイドグループ<A>から必要な周波数基準オプションを選択して下さい。次に、グループ<B>, <C>, <D>, そして <E>から必要に応じてオプションを選択して下さい。

●1種類のみ選択が可能なオプション□複数の選択が可能なオプション

<A> 周波数基準オプション（必須オプション）●E4991A-800 標準周波数基準、DCバイアスなし●E4991A-1D5 高安定周波数基準

<B> 測定機能オプション□E4991A-001 DCバイアス機能（±40 V, ±50 mA）□E4991A-002 材料測定ファームウェア□E4991A-007 耐熱測定用テスト・キット□E4991A-010 プローブ・ステーション接続キット

<C> 検査成績表オプション□E4991A-1A7 ISO 17025準拠の検査成績書付き

<D> アクセサリ・オプション□E4991A-810 キーボード□E4991A-820 マウス□E4991A-1CMラックマウントキット□E4991A-1CN フロントハンドルキット□E4991A-1CP フロントハンドル/ラックマウントキット

<E> マニュアル・オプション1

□E4991A-ABA 取扱説明書（英文）□E4991A-ABJ 取扱説明書（和文）□E4991A-0BWサービスマニュアル（英文）1：マニュアル（印刷版）は標準付属品ではありません。

アクセサリ16197A2 底面電極SMDテスト・フィクスチャ（3 GHz

まで）オプション16197A-001 0603用デバイス・ガイド・セット16197A-ABJ 取扱説明書（和文）選択16197A-ABA 取扱説明書（英文）選択

16196A/B/C/D3 平行電極SMDテスト・フィクスチャ（3 GHzまで）

オプション16196A/B/C/D-710 拡大鏡、ピンセット16196A/B/C/D-ABJ 取扱説明書（和文）選択16196A/B/C/D-ABA 取扱説明書（英文）選択

16196U メインテナンス・キットオプション16196U-010 上部電極5個セット(16196A/B/Cモデル共通)16196U-020 上部電極5個セット(16196D用)16196U-100 1608用ショート・プレート5個セット(16196A用)16196U-110 1608用下部電極5個セット(16196A用)16196U-200 1005用ショート・プレート5個セット(16196B用)16196U-210 1005用下部電極5個セット(16196B用)16196U-300 0603用ショート・プレート5個セット(16196C用)16196U-310 0603用下部電極5個セット(16196C用)16196U-400 0402用ショート・プレート5個セット(16196D用)16196U-410 0402用下部電極5個セット(16196D用)

16200B 外部DC バイアス・アダプタ（1 GHzまで）

16190B パフォーマンス・テスト・キット

16195B 7-mm 同軸校正キット

16092A SMD テスト・フィクスチャ（500 MHzまで）

16191A4 (DC～2 GHz)、片面電極SMDテストフィクスチャ

オプション16191A-701 ショートバーセット16191A-710 拡大鏡、ピンセット16191A-010 EIA/EIAJ規格対応サイズのショート・バー

16192A4 (DC～2 GHz)、両面電極SMDテストフィクスチャオプション16192A-701 ショートバーセット16192A-710 拡大鏡、ピンセット16192A-010 EIA/EIAJ規格対応サイズのショート・バー

16094A プローブ・テスト・フィクスチャ（125 MHzまで）

16453A 誘電体測定電極（1 GHzまで）

16454A 磁性体測定電極（1 GHzまで）

82357A5 Windows用USB/GPIBインタフェース

2：マニュアルは言語をお選び下さい。3：拡大鏡、ピンセットは標準付属品ではありません。マニュアルは言語をお選び下さい。

4：ショートバーセット、拡大鏡、ピンセットは標準付属品ではありません

5：E4991Aから外部の測定器を制御するには、USB/GPIBインタフェースが必要です。

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チップ部品/リード部品用テスト・フィクスチャ

16197A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ3 GHzまでのSMDに対応した製品です。幅広いサイズに対応した調整可能な電極構造となっています。このテスト・フィクスチャは、長さ0.6 mmから3.2 mm注）までのSMDに対応しています。注）0201 (inch)/0603 (mm)サイズには、オプションE4991A-001で対応します。

図24 16197A

16196A/B/C/D 平行電極SMDテスト・フィクスチャ3 GHzまでのSMDに対応した製品です。特定のSMDサイズに対応し、使い勝手をできるだけ簡素化すると同時に、さまざまな工夫により測定再現性を極限まで高めた製品です。16196A: 0603 (inch) / 1608 (mm)16196B : 0402 (inch) / 1005 (mm)16196C : 0201 (inch) / 0603 (mm)16196D: 01005 (inch) / 0402 (mm)

図25 16196B

16191A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ2 GHzまでのSMDに対応した製品です。幅広いサイズに対応した調整可能な電極構造となっています。このテスト・フィクスチャは、長さ2 mmから12 mmまでのSMDに対応しています。

図26 16191A

16192A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ2 GHzまでのSMDに対応した製品で、部品を両側の電極で挟む込む形で固定します。幅広いサイズに対応した調整可能な電極構造となっています。このテスト・フィクスチャは、長さ1 mmから20 mmまでのSMDに対応しています。

図27 16192A

16194A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ2 GHzまでのリード部品およびSMDに対応した製品です。2つのデバイスホルダーを有するため、リード部品、SMDのどちらでも簡単に固定することが可能です。

図28 16194A

SMDテストフィクスチャ セレクション ガイド

DUTサイズ 側面電極SMD 底面電極SMD

01005 (inch)/0402 (mm) 16196D －

0201 (inch)/0603 (mm) 16196C 16197AオプションE4991A-001で対応

0402 (inch)/1005 (mm) 16196B 16197A

0603 (inch)/1608 (mm) 16196A 16197A

0805 (inch)/2012 (mm) 16192A1 16197A

1206 (inch)/3216 (mm) 16192A1 16197A

1210 (inch)/3225 (mm) 16192A1 16197A

1210 (inch)/3225 (mm)以上 16192A1 16191A1

1. 周波数範囲は2 GHzまで

詳細情報については、アクセサリ・セレクション・ガイド（カタログ番号5965-4792JA）をご覧ください。

その他カタログ情報E4991A RF インピーダンス/マテリアル・アナライザ データシート（カタログ番号5980-1233E）ウエブ情報http://www.agilent.com/find/impedance

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アジレント・テクノロジー株式会社�本社〒192-8510東京都八王子市高倉町9-1

計測お客様窓口�受付時間 9:00-19:00（12:00-13:00もお受けしています。土・日・祭日を除く)

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5980-1234JA0000-06H

March 11, 2005

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