⾼性能ドームロード背圧レギュレーター - equilibar...特徴常に広いcvレンジ...

⾼性能ドームロード背圧レギュレーター

総合カタログ

The Equilibar

Difference

⾼い品質Equilibar背圧レギュレーターは低流量、気液混合流体、腐⾷性流体、超⾼温アプリケーションにおいて、⾼い競争⼒を発揮します。

優秀なエンジニアお客様の仕様に最適な製品を⾼い技術を持つエンジニアが提案します。全ての背圧レギュレーターは⼀つ⼀つ⼿動で技術者が組⽴て、⾼い品質を満たすよう検査を⾏います。

短納期納期が⻑くかかるこの業界において、ほとんどの製品を短納期で対応します。

1

⼀般的な背圧弁は、上流圧⼒をスプリングで制御します。スプリングを利⽤した設計は可動部が多く、ヒステリシス等に悪影響を及ぼす原因となります。しかし、Equilibarの可動部は薄い柔軟なダイアフラムのみです。これにより、クラッキング圧⼒やヒステリシスが極めて低く、無摩擦な制御を可能にします。Equilibar背圧レギュレーターの精度はパイロット圧⼒の精度で制限されます。

性能表

⼊⼝圧⼒

流量

タイプ

図式

下流上流

開ける下流圧の上昇上流圧の減少

閉める下流圧の減少上流圧の上昇

動作の仕組みEquilibar背圧レギュレーターのパイロットポートに、設定したいプロセスの圧⼒と同じ圧⼒をかけます。この制御圧⼒で柔軟なダイアフラムをオリフィスプレート上に押し下げます。⼊⼝圧が上昇すると、ダイアフラムを持ち上げて、余剰圧を出⼝オリフィスから逃がします。同様に、上流の圧⼒が下がると、ダイアフラムをオリフィスに押し下げ、流れを制限し、上流側の圧⼒を安定させます。

背圧レギュレーターと減圧レギュレーター減圧レギュレーターは、⼊⼝の⾼い供給圧⼒を出⼝での低い圧⼒（下流）まで低下させるよう調節します。⼀⽅、Equilibarレギュレーターのような背圧レギュレーターは逆の働きをします。それらは、⼊⼝（上流）で希望の圧⼒を保持する為に、必要なだけ開くことによって⼊⼝（上流）圧⼒を調節します。

ダイアフラム

⼿動レギュレーター

電空レギュレーター

パイロット(リファレンス)

⼊⼝出⼝

E/P

– OR –

電⼦背圧制御の場合、電空レギュレーターでEquilibarを操作します。

ヒステリシスやドループ等の多くの問題は、スプリング式減圧レギュレーターを備えた、パイロット操作のEquilibarによって解決されます。

2

減圧レギュレーター背圧レギュレーター

調整圧⼒

特徴

⾮常に広いCVレンジ制御流量最⼤1,000,000︓1を超えるターンダウン⽐。複数のコントロールバルブを、Equilibar背圧レギュレーター1つで対応も可能。

頑丈な構造＆容易なメンテナンスEquilibar背圧レギュレーターは棒材⾦属から直接機械加⼯されています。各Equilibar背圧レギュレーターは、ボディ、ボルト、Oリング、ダイアフラムで構成されています。Equilibar背圧レギュレーターは、数分で完全に清掃して組み⽴てることができます。リビルドキットは常に在庫があり、短納期にて対応いたします。

⾼圧対応Equilibar Research シリーズ背圧レギュレーターは最⼤70MPaまで調整可能。

化学的適合性Equilibar背圧レギュレーターは、仕様に合わせてハステロイ、チタン、ジルコニウム、PTFE、PVDFなどの多くの⾦属合⾦やポリマー材質で作られます。数⼗種類のダイヤフラムとOリングオプションがあります。

無摩擦操作摩擦を加えて、精度を落とすバネとバルブシートが、Equilibar背圧レギュレーターにはありません。

⾼温対応Equilibar Researchシリーズの背圧レギュレーターは、⾼温流体での使⽤やオーブンに設置出来るように、最⾼450℃まで使⽤できます。

低圧制御Equilibarのダイレクトダイアフラムシーリング技術により、約0.1kPaまで制御可能.

混相フロー適合性＆特許取得マルチオリフィス設計従来の背圧レギュレーターは、単⼀のオリフィスとバルブシートで構成されていますが、Equilibar背圧レギュレーターは複数のオリフィスを並列に備えています。この特許取得のマルチオリフィスのデザインは、⼀般的なレギュレーターで⾒られる、圧⼒スパイクなしで、同時に液体と気体の流れを制御します。このマルチオリフィス設計はスラリー及び粘性流体の圧⼒も制御することができます。

⾃動制御すべてのEquilibar背圧レギュレーターは、⼿動および電動で制御することができます。同じレギュレーターを使⽤して、マニュアル制御でシステム設計した後、⾃動化も可能です。

エンジニア顧客サポートご質問やご不明な点がある場合は販売代理店までお問い合わせください。Equilibarエンジニアから早急に回答を得られます。

早い応答速度Equilibar背圧レギュレーターは、ライン圧⼒または設定圧⼒の変化に即座に応答します。

Equilibarリサーチ・シリーズ・レギュレーターは、⾼温耐性、2相フロー能⼒、およびコンピュータ⾃動化の容易さのために、触媒研究システムで広く使⽤されています。（写真提供︓Integrated Lab Solutions、GmbH）

3

Equilibar背圧レギュレーターは、精密圧⼒制御の劇的なブレイクスルーです。要求の厳しいプロセス⽤に設計されたEquilibarは、広範囲の圧⼒と流量にわたって⽐類のない精度を提供します。

⾼感度⾼性能⼀般的な背圧レギュレーターは、圧縮されたバネを使⽤しており、過剰圧⼒がかかるにつれて徐々に開くような構造です。Equilibar背圧レギュレーターは、摩擦のない柔軟なダイアフラムのみを使⽤して圧⼒を調整します。これにより、ほとんどのアプリケーションで1％未満の過剰圧⼒で完全に開きます。複数のオリフィスにより、⼤部分のアプリケーションでは1000︓1以上の⾮常に広い流量⽐を制御し、⼆相流体も処理できます。Equilibar背圧技術は、⽶国および他の国の特許によって保護されています。

劇的な安定性向上Equilibarは、圧⼒制御における新しい業界標準を確⽴します。このチャートは、他社製スプリングレギュレーターよりもEquilibarの優れた流動安定性を⽰しています。注︓従来のバネで作動する背圧調整のため、流量に対する圧⼒変動は、Equilibarレギュレーターよりもかなり⼤きいことを⽰します。

流量変動に対する精度⼤部分の背圧レギュレーターの⼊⼝圧⼒は、プロセスの流量の変化に伴って⼤きく変化します。右のグラフは、Equilibar GS / GSDレギュレーターがどのように広範囲に変動する流量であっても⼀定のプロセス圧⼒を保持することを⽰しています。 GS / GSDレギュレーターは10000︓1の流量ターンダウン⽐を達成することができます。これは、フロー消費量が⼤幅に変化するアプリケーションで⾮常に役⽴ちます。突然のスパイクや流れが低下しても圧⼒は安定して維持されます。

性能の利点

InletP

ressure,kp

a g

80

70

60

50

40

30

20

10

0

500

400

300

200

100

0

InletP

ressure,psi

0 800

0 5 10 25 3015 20Air Flow, SCFM

性能⽐較Equilibar vs. Spring BP regulator

Air Flow, LPM200 400 600

Spring BP regulator(1/4”, 3/8”, 1/2”)

Equilibar® GS2 3/8”

Equilibar® GS2 1/4”

InletP

ressure,psi

InletP

ressure,kp

a g

Air Flow, SCFM

.25

.5

1

2

5

10

30

100

10

1

0.1

100

10

1

.3

ウルトラワイドフローレンジ性能表3/8” GSD3 Back Pressure Regulator

Air Flow, LPM3 30 300

0.01 0.1 1 10 100

Various Set Points: psig

4

(「性能⽐較」参照)

• 最⼤使⽤圧⼒︓2,500psi（17.2MPa)• CVレンジ︓0.001〜8.5• 本体材質︓SS316,PVC,Hastelloy,アルミニウム等• ダイアフラム︓PTFE, Viton, Buna, PE, SS316,

Polyimide• 接続︓1/4”~1”NPT, BSP, VCR, フランジ等• 最⾼使⽤温度︓327℃

背圧レギュレーター⼀覧

GSシリーズ【⼀般産業⽤】 P6-8

• 最⼤使⽤圧⼒︓10,000psi (70MPa)• CVレンジ︓0.000000001〜0.6• 本体材質︓SS316L, Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, Monel• ダイアフラム︓SS316L, Hastelloy ,PTFE/Glass, Polyimide, PEEK等• 接続︓1/16” ~1/4” NPT, HPLC 等• 最⾼使⽤温度︓450℃

リサーチシリーズ【研究⽤】 P9-13

• 最⼤使⽤圧⼒︓1,000psi (7MPa)• CVレンジ︓0.1~160• 本体材質︓SS316L, Hastelloy C276, Titanium,

Zirconium• ダイアフラム︓SS316L, Hastelloy ,PTFE/Glass,

Polyimide, PEEK 等• 接続︓1.5” ~ 4” NPT, BSPP,フランジ等• 最⾼使⽤温度︓60℃(⾼温対応は応相談)

BDシリーズ【⼤流量⽤】 P14-15

• 最⼤使⽤圧⼒︓150psi (1MPa)• CVレンジ︓0.0000001~19• 本体材質︓SS316L, Hastelloy , Titanium, Zirconium• ダイアフラム:PTFE(USP ClassⅥ), EPDM(USP ClassⅥ),

Viton(Reinforced),Buna-N(Nitrile)等• 接続︓1/4”~2” トリクランプ,スタブ管等• 最⾼使⽤温度︓135℃

FDシリーズ【サニタリー⽤】 P16-18

• 最⼩使⽤圧⼒︓-100kPa• CVレンジ︓0.001~160• 本体材質︓SS316,PVC,アルミニウム等• ダイアフラム︓PTFE,Viton,EPDM等• 接続︓1/4”~4”NPT, BSP, フランジ等• 最⾼使⽤温度︓327℃

EVRシリーズ【真空産業⽤】 P19-22

5

モデル

GS シリーズ仕様(メタルボディ)

ポートタイプ

図1参照

DIM A DIM B

標準オプションｍｍ

ステンレス316 / 316L,ハステロイC276,チタン,ジルコニウム材質モデル

GSD2/GS2 750(5.2)

1E‐03

1.20 1/4"

1/8" N (NPT)

B, C, O, R, S,T

76 34

GSDM2 1000(7) 83 34

GSDH2 2500(17.5) 84 41

GSD3/GS3 500(3.5)

1.80 3/8"

89 36

GSDM3 1200(8.3) 95 39

GSDH3 2500(17.5) 98 45

GSD4/GS4 500(3.5)3.20 1/2"

B, C, F,G,O, R, S, T

114 44

GSDH4 1500(1) 127 50

GSD6/GS6 400(2.8)

1E‐02

5.50 3/4"

152 51

GSDM6 800(5.6) 159 62

GSDH6 3000(21) 163 74

GSD8/GS8 250(1.75)

8.50 1"

178 64

GSDM8 750(5.2) 184 70

GSDH8 2500(17.5) 198 85

アルミニウム材質

GSD2 400(2.8)

1E‐03

1.20 1/4"

1/8" N (NPT)

B, C, T

76 34

GSD3 250(1.75) 1.80 3/8" 89 36

GSD4 200(1.4) 3.20 1/2" 114 44

GSD6 150(1)1E‐02

5.50 3/4" 152 51

GSD8 75(0.5) 8.50 1" 178 64

接液部材質

本体材質 Stainless Steel 316/316L (標準)オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium

O-リング Viton (FKM) (標準)オプション: Kalrez (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N

ダイアフラムPTFE/Glass Laminate (標準)オプション: Stainless Steel SS316/316L, Hastelloy C276, Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM

図1

出⼝Inlet

ポートオプション

表⽰タイプ

N NPT (標準)

B BSPP

C Custom

F 150# Flange

G 300# Flange

O Swagelok VCO

R Swagelok VCR

S SAE

リファレンスポート

最⾼使⽤圧⼒

PSIG(MPag)

CV

MAXMIN⼊⼝/出⼝サイズ

パイロットポートサイズ

技術仕様

最⼤使⽤圧⼒表に記載されている圧⼒定格は、ユニットの設定可能な最⼤圧⼒です。ユニットは、より低い圧⼒で最適な性能を得るように構成することができます。

耐圧定格圧⼒の150% ¹

設計圧⼒最⼤本体圧⼒の400% 2

温度対応150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton Oリング）200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton Oリング）300℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング）

⼊⼝

1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧⼒の150％でテストされています。2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。注意︓Equilibarレギュレーターは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使⽤すべきではありません。

⼀般産業向け背圧レギュレーター

6

PVC, CPVC, PVDF,PEEK 材質モデル

GSD2/GS2 120 (0.83)

1E-03

1.20 1/4"

1/8" N (NPT)

B, C, S, T83 40

GSD3/GS3 100 (0.7) 1.80 3/8" 95 43

GSD4/GS4 75 (0.5) 3.20 1/2"

B, C, F, S, T

121 46

GSD6/GS6 50 (0.3)1E-02

5.50 3/4" 159 59

GSD8/GS8 50 (0.3) 8.50 1" 184 74

PTFE 材質モデル

GSD2/GS2

50 (3)

1E-03

1.20 1/4"

1/4" N (NPT) B, C, T

83 41

GSD3/GS3 1.80 3/8" 95 46

GSD4/GS4 3.20 1/2" 121 51

GSD6/GS61E-02

5.50 3/4" 159 64

GSD8/GS8 8.50 1" 184 85

GS シリーズ仕様(ポリマーボディ)

技術仕様




温度対応 40℃まで(ポリマー本体材質)

接液部材質

本体材質 PVC (標準)オプション: PTFE, PVDF, PEEK, PVC


ダイアフラム PTFE/Glass Laminate (標準)オプション: Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM

¹ すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧⼒の150％でテストされています。² ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。

ポリマーモデルは、圧縮ガス⽤途には推奨されていません。


表⽰タイプ

N NPT (標準)

B BSPP

C Custom

F 150# Flange

G 300# Flange

S SAE

図2

モデルポートタイプ

図2参照

DIM A DIM B

標準オプションｍｍ

最⾼使⽤圧⼒

PSIG(MPag)

CV

MAXMIN⼊⼝/出⼝サイズ


出⼝⼊⼝


7

1 2 3 4 5 ‐ 6 7 8 9 10 11 12 13 14

1 モデルGSD Standard O Ring Design

GS No O Ring Seals

GDSM Medium Pressure Models

GSDH High PressureModels

2 接続サイズ

3 3/8”

4 1/2”

6 3/4”8 1”

3 ボディ材質S 316/316L S/S

P PVC

A アルミニウム(アルマイト)H Hastelloy C276

T Titanium

Z Zirconium

F PTFE

K PEEK

D PVDF

M Monel

4 ポートタイプN NPTB BSPP

S SAEO VCO® R VCR®F 150# FlangesG 300# Flanges

5 改訂 #

（メーカー選定）

6 パイロットポートタイプN NPT

B BSPP

S SAE

O VCO®

R VCR®7 キャップ材質

(⾮接液部)S 316/316L S/SP PVCA アルミニウム(アルマイト)H Hastelloy C276T Titanium Z Zirconium F PTFEK PEEKD PVDFM Monel

8 ボルト（メーカー選定）

9 圧⼒レート10 温度レート(°C)

11 ダイアフラム材質G. PTFE (Glass Reinforced)B. Buna‐N (Nitrile)V. FKM FluoroelastomerM. EPDME. PolyethyleneF. PTFE (Virgin)S 316/316L S/SH. Hastelloy C276I. PolyimideK. PEEKL. Kel‐FQ Monel

12 ダイアフラム厚（メーカー選定）

13 O リング (GSDのみ)(接液部)

VV Viton® Shore 75WW Viton ®Shore 90KK Kalrez® Grade 7075LL Kalrez® Grade 7090FF PTFEEE EPDMBB Buna

14 特殊オプションB 取り付けブラケット

(ポートサイズ 2 & 3 のみ)

O 酸素禁油

⻘の表記は短納期対応可能

GSシリーズ型式選定表例

GSD 2 S N X ‐ N S X P 100 T 150 G X VV B

X ‐ X P T X

10 温度レート(°C)

設計圧⼒本体耐圧と同圧以下

温度制限︓40℃ ポリマー本体材質150℃ PTFEダイアフラム材質200℃ バイトンOリング材質300℃ カルレッツOリング材質

2 1/4”

流体仕様詳細をご連絡頂ければ、最適な型式を選定致します。

8

独⾃の特許取得済みマルチオリフィス技術は、⾮常に広い流量範囲と優れた⼆相流性能を備えています。


表記タイプ最⼤CV

N NPT (標準) 最⼤限

A HiP (⾼圧⽤) 0.072

B BSPP 最⼤限

C Custom –

O Swagelok VCO® 0.072

R Swagelok VCR® 0.072

T Tube Stub 0.072

V HPLC 0.001 - 0.018

W Autoclave Speed-Bite 0.07

技術仕様

最⼤使⽤圧⼒

表に記載されている圧⼒定格は、ユニットの設定可能な最⼤圧⼒です。ユニットは、より低い圧⼒で最適な性能を得るように構成することができます。



温度対応150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton Oリング）200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton Oリング）300℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング）

接液部材質

本体材質ステンレス 316/316L (標準）オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, PTFE3, PVDF3, PEEK3, PVC3, Monel

O-リングViton® (FKM) (標準)オプション:Kalrez® (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N, Grafoil® (HT のみ)

ダイアフラムPTFE/Glass Laminate (標準)オプション: ステンレスSS316/316L, Hastelloy C276, Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM

1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧⼒の150％でテストされています。2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。3 ポリマーユニットは最⼤許容圧⼒が低くなります。Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 Grafoil®はGrafTechの商標です。注意︓Equilibarレギュレータは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使⽤すべきではありません。

出⼝⼊⼝

1/8" NPTRef(All models)

B

ほとんどのモデルでブラケットが使⽤可能


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A

¹デッドボリュームはおおよその値であり、参考値です。ダイアフラムが「下」位置にあると仮定して算出します。

ベース最⾼使⽤圧⼒ CV ⼊⼝/出⼝ポートサイズ


接続タイプ DIM A DIM B 重量ﾃﾞｯﾄﾞﾎﾞﾘｭｰﾑ¹

パート# ゲージ圧 MIN MAX 標準オプションｍｍ Kg mL

標準低流量モデルLF0 7MPa 1E‐08 0.01 1/16’’

1/8"

V(HPLC) A, C,N 64 39 0.8 0.27

LF1 7MPa 1E‐08 0.07 1/8" N(NPT) A, B, C,O,R, T, V,W

64 39 0.8 2.19

LF2 7MPa 1E‐08 0.07 1/4" N(NPT) 64 39 0.8 3.27

H3P0 20MPa 1E‐08 0.01 1/16’’ V (HPLC) A, C,N 64 42 0.9 0.17

H3P1 20MPa 1E‐08 0.07 1/8" N(NPT) A, B, C,O,R, T, V,W

64 42 0.9 2.08

H3P2 20MPa 1E‐08 0.07 1/4" N(NPT) 70 42 1.1 3.48

H6P0 40MPa 1E‐08 0.01 1/16’’ V (HPLC) A, C,N 70 42 1.1 0.17

H6P1 40MPa 1E‐08 0.07 1/8" N(NPT) A, B, C,O,R, T, V,W

70 42 1.1 2.18

H6P2 40MPa 1E‐08 0.07 1/4" N(NPT) 70 42 1.1 3.25

H10P1 70MPa 1E‐06 0.07 1/8" W A,C 76 53 1.4 1.28

⼤流量⽤モデルHF1 7MPa

1E‐05

0.60 1/8"

1/8"N

(NPT)B,C

64 39 0.8 5.65

HF2 7MPa 0.60 1/4" 64 39 0.8 6.68

H3PF2 20MPa 0.50 1/4” 70 42 1.1 7.75

H6PF2 40MPa 0.50 1/4” 70 42 1.1 6.23

⾼温⽤モデルHT1 40MPa 1E‐05 0.07 1/8"

1/8"N

(NPT)

C,R,T, V,W

82 50 1.6 2.62

HT2 40MPa 1E‐05 0.07 1/4" 95 50 2 3.70

HTF1 40MPa 1E‐05 0.50 1/8" C 95 50 2 8.93

リサーチシリーズ仕様

9

ボルト

キャップ

非接液部O‐リング

ダイアフラム

接液部 O-リング

本体

パイププラグ(選択モデルのみ)

標準低流量モデルの性能曲線（窒素）3000

2500

2000

1500

0.01 0.10 1.00 10000.00 100000.00 1000000.00

1000

500

010.00 100.00 1000.00

Flow,ml/min

InletP

ressure,

psig

⻘い部分のパフォーマンスは構成によって異なります。より⾼い流量のモデルは、より⼤きな流動においても同様の性能を⽰します。これらの性能曲線は窒素によるものですが、気体、液体、または混合相のサービスに、Equilibar背圧レギュレーターを使⽤する事ができます。

10

出⼝⼊⼝

1/8" NPT Re(All models)

B

Ultra Low Flow モデル仕様Ultra Low Flowモデルは、通常のシリーズと同様に動作しますが、より低い流量で動作することができます。

Ultra Low flowモデルの性能曲線（窒素）

3000

2500

2000

1500

1000

500

00.01 0.10 1.00 10.00 100.00 1000.00 10000.00 100000.00 1000000.00

Flow, ml/min

Inlet P

ressure, psi

g

3500




A HiP (⾼圧⽤) 最⼤限

B BSPP 最⼤限

C Custom –

O Swagelok VCO® 最⼤限

R Swagelok VCR® 最⼤限

T Tube Stub 最⼤限

V HPLC 0.001 - 0.018

W Autoclave Speed-Bite W125 最⼤限

技術仕様

最⾼使⽤圧




温度対応150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton®Oリング)200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton®Oリング)最⼤300C（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング)

接液部材質

本体材質Stainless Steel 316/316L (標準)Also available: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, PTFE3, PVDF3, PEEK3, PVC3, Monel

O-リング Viton® (FKM) (標準)Also available: Kalrez® (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N

ダイアフラム

PTFE/Glass Laminate (標準)Also available: Stainless Steel SS316/316L, Hastelloy C276, Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM


ほとんどのモデルでブラケットが使⽤可能

ボルト

キャップ

⾮接液部O-リングダイアフラム

交換可能オリフィスセット接液 O-リング

本体

8 www.equilibar.com 828.650.6590

1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧⼒の150％でテストされています。2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。3 ポリマーユニットは最⼤許容作動圧⼒を低下させます。Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 Grafoil®はGrafTechの商標です。注意︓Equilibarレギュレーターは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使⽤すべきではありません。



接続タイプ DIM A DIM B 重量ﾃﾞｯﾄﾞﾎﾞﾘｭｰﾑ1

パート# ゲージ圧 MIN MAX 標準オプション mm Kg mL

U3L0 20MPa 1E‐09 0.01 1/16’’ 1/8” V(HPLC) A, N,C 64 42 0.9 0.25

U3L1 20MPa 1E‐09 0.05 1/8" 1/8" N(NPT) A, B, C,O,R, T, V,W

64 42 0.9 2.16

U3L2 20MPa 1E‐09 0.05 1/4" 1/4" N(NPT) 70 42 1.1 3.34

U6L0 40MPa 1E‐09 0.01 1/16’’ 1/8’’ V (HPLC) A, N,C 70 42 1.1 0.25

U6L1 40MPa 1E‐09 0.05 1/8" 1/8" N(NPT) A, B, C,O,R, T, V,W

70 42 1.1 2.28

U6L2 40MPa 1E‐09 0.05 1/4" 1/4" N(NPT) 70 42 1.1 3.34

U10L0 70MPa 1E‐06 0.01 1/16’’ 1/8” N(NPT) A, N,C 76 53 1.4 3.34

U10L1 70MPa 1E‐06 0.05 1/8" 1/8" N(NPT) A, C,W 76 53 1.4 1.33


A

⻘い部分のパフォーマンスは構成によって異なります。より⾼い流量のモデルは、より⼤きな流動においても同様の性能を⽰します。これらの性能曲線は窒素によるものですが、気体、液体、または混合相のサービスに、Equilibar背圧レギュレーターを使⽤する事ができます。

11

Outlet

Inlet

1/8" NPT Ref(All models)

B

Zero Flow モデル仕様標準マルチオリフィス設計と同様に作動しますが、ソフトシートを使⽤して効果的なゼロフロー圧⼒制御を実現します。




A HiP (⾼圧⽤) 最⼤限

B BSPP 最⼤限

C Custom –

O Swagelok VCO® 最⼤限

R Swagelok VCR® 最⼤限

T Tube Stub 最⼤限

V HPLC 0.001

W Autoclave Speed-Bite W125 最⼤限

技術仕様

最⼤使⽤圧⼒




温度対応150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton®Oリング）200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton®Oリング）最⼤300C（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング）

接液部材質

本体材質

Stainless Steel 316/316L (標準)オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, PTFE3, PVDF3, PEEK3, PVC3, Monel, PTFE/GlassLaminate

O-リング Viton® (FKM) (標準)オプション: Kalrez® (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N (Nitrile)

ダイアフラム

Stainless Steel SS316/316L (標準)オプション: Hastelloy C276, PTFE/Glass Laminate, Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, (Nitrile) PEEK, EPDM

ZFシリーズの性能曲線（窒素)

3000

2500

2000

1500

1000

500

00.01 0.10 1.00 10.00 100.00 1000.00 10000.00 100000.00 1000000.00

Flow, ml/min

Inlet P

ressure, psi

g

3500


ボルト

キャップ

交換可能オリフィスセット

⾮接液部O-リングダイアフラム

接液部 O-リング

ﾌﾛｰﾃｨﾝｸﾞﾊﾌﾞ

本体

これらの性能曲線は窒素によるものですが、気体、液体、混合相でも、Equilibar背圧レギュレーターを使⽤できます。

Aほとんどのモデルでブラケットが使⽤可能

1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧⼒の150％でテストされています。2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。3 ポリマーユニットは最⼤許容作動圧⼒を低下させます。Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 Grafoil®はGrafTechの商標です。注意︓Equilibarレギュレーターは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使⽤すべきではありません。



接続タイプ DIM A DIM B 重量ﾃﾞｯﾄﾞﾎﾞﾘｭｰﾑ¹パート# ゲージ圧 MIN MAX 標準オプション mm Kg mL

ZF0 20MPa 0

0.015

1/16” 1/8” V(HPLC) A, C,N 64 42 0.9 0.25

ZF1 20MPa 0 1/8" 1/8" N(NPT)A, B, C,O,R, T, V,W

64 42 0.9 2.16


12

例LF 1 S N N X – N S X P 500 T 150 G X V V B

N X – X P T X

1 2 3 4 5 6 – 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18

リサーチシリーズ型式選定表

1 モデル 6 改訂# 14 O-リング (接液)

7MPa以下

LF Cv: 1E‐7 to 0.07 HF Cv: 1E‐4 to 0.5

7

X (メーカー選定)

パイロットポートタイプN NPT

V Viton® FKMShore 75 W Viton® FKM Shore90K Kalrez® FFKM Grade 7075

21MPa以下 B BSPP L Kalrez® FFKM Grade 7090U3L Cv: 1E‐8 to0.05 W Autoclave Speed‐Bite F PTFE Grade55H3P Cv: 1E‐6 to0.07 O VCO® M EPDM Grade70H3PF Cv: 1E‐4 to 0.5 R VCR® B Buna‐N Grade 70(ニトリル)

42MPa以下

U6L Cv: 1E‐8 to0.05V HPLCA HiP 15

G Grafoil (HTのみ)

O-ring (⾮接液)H6P Cv: 1E‐6 to0.07 8 キャップ材質 (⾮接液) V Viton® FKM Shore75H6PF Cv: 1E‐4 to 0.5 S 316/316L S/S W Viton® FKM Shore90

2

3

70MPa以下

U10L Cv: 1E‐8 to 0.05 H10P Cv: 1E‐6 to 0.07 H10PF Cv: 1E‐4 to0.5

その他HT ⾼圧⽤ZF ゼロフロー

ポートサイズ0 1/16"1 1/8"2 1/4"

本体材質S 316/316L S/SH Hastelloy C276T Titanium

P PVCF PTFEK PEEKD PVDF

ボルトX (メーカー選定)

圧⼒レート設計圧⼒本体耐圧と同圧以下温度レート温度制限︓40℃ ポリマー本体材質150℃ PTFEダイアフラム材質200℃ バイトンOリング材質300℃ カルレッツOリング材質

K Kalrez® FFKM Grade 7075L Kalrez® FFKM Grade 7090 F PTFE Grade55M EPDM Grade70B Buna‐N Grade70 (ﾆﾄﾘﾙ) G Grafoil ® (HTのみ)

O-ring (接液)U3L, U6L, U10L, ZF のみ対象その他のモデルは空⽩(空⽩) 無しV Viton® FKMShore 75 W Viton® FKM Shore90K Kalrez® FFKM Grade 7075L Kalrez® FFKM Grade 7090M EPDM Grade70B Buna‐N Grade 70 (ニトリル)

4

Z ZirconiumF PTFEK PEEKD PVDF

ポートタイプN NPTB BSPPW Autoclave Speed‐Bite O VCO®

R VCR®

12 ダイアフラム材質G PTFE (ガラス入り) B Buna‐N(ニトリル)V FKMFluor elastomer M EPDME PolyethyleneF PTFE (Virgin)S 316/316L S/S H Hastelloy C276I Polyimide

17 O-ring (接液)ZF のみその他のモデルは空⽩(空⽩) 無しV Viton® FKMShore 75 W Viton® FKM Shore90K Kalrez® FFKM Grade 7075L Kalrez® FFKM Grade 7090M EPDM Grade70B Buna‐N Grade 70 (ニトリル)

V HPLC K PEEK 18 オプションA HiP L Kel‐F (空⽩) 無し

5 ブランク C FEP B マウンティングブラケットN 無し 13 ダイアフラム厚 O 酸素禁油

(メーカー選定)

緑の表記は即配達対応型式



13

9

10

11

16

BD シリーズ仕様

モデルポートサイズ

パイロットポートサイズ本体材質最⼤圧⼒レート MIN CV MAX CV DIM A DIM B

Psig(kPa) 図3 参照(mm)BD12S 1.5" 1/8" Stainless Steel 316/316L 50(350) 0.1 14.3 241 99BDM12S 1.5" 1/8" Stainless Steel 316/316L 150(1030) 0.1 14.3 241 102BD12A 1.5" 1/8" Anodized Aluminum 75(515) 0.1 14.3 193 89BD12P 1.5" 1/8" PVC 50(350) 0.1 14.3 229 109BD16S 2" 1/8" Stainless Steel 316/316L 75(515) 0.3 30.2 279 104BDM16S 2" 1/8" Stainless Steel 316/316L 150(1030) 0.3 30.2 279 145BD16A 2" 1/8" Anodized Aluminum 50(350) 0.3 30.2 224 104BD16P 2" 1/8" PVC 65(450) 0.3 30.2 279 130BD24S 3" 1/4" Stainless Steel 316/316L 50(350) 0.6 60 381 132BDM24S 3" 1/4" Stainless Steel 316/316L 100(700) 0.6 60 381 155BD24A 3" 1/4" Anodized Aluminum 30(210) 0.6 60 318 155BD24P 3" 1/4" PVC 30(210) 0.6 60 381 224BD32S 4" 1/4" Stainless Steel 316/316L 75(515) 1.5 160 508 206BD32A 4" 1/4" Anodized Aluminum 30(210) 1.5 160 508 206BD32P 4" 1/4" PVC 30(210) 1.5 160 508 244

A

⼤流量液体、気体および気液混合アプリケーション向け

図3

技術仕様




温度対応150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、VitonOリング）200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、VitonOリング）300℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング）

接液部材質

本体材質 Stainless Steel 316/316L (標準)オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium


ダイアフラムPTFE/Glass Laminate (標準)オプション: Stainless Steel SS316/316L, Hastelloy C276, Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM


表⽰タイプ

N NPT (標準)

B BSPP

C Custom

F 150# Flange

G 300# Flange

O Swagelok VCO

R Swagelok VCR

S SAE

1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧⼒の150％でテストされています。2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。

B

BDシリーズ4”モデル

⼊⼝出⼝

14

1

2

3

４

5

6

7

8

9 ボルト（メーカー選定）

10 圧⼒レート30 30 in Hg(100kPa)10 10 in Hg(35kPa)

11 温度レート40 40C (ポリマーユニット)60 60C (メタルユニット)

12 ダイアフラム材質G PTFE (Glass Reinforced)B Buna-N (Nitrile)V FKM FluoroelastomerM EPDME PolyethyleneF PTFE (Virgin)I Polyimide

13 ダイアフラム厚（メーカー選定）

14 O リング(接液)

VVVV Viton® Shore 75KKKK Kalrez® Grade 7075FFFF PTFEEEEE EPDMBBBB Buna

BDシリーズ型式選定表

例BD 12 S N G X ‐ N S X P 30 T 100 V X V

BD

1 2 3 4 5 6 ‐ 7 8 9 10 11 12 13 14

モデル

12 1.5”

16 2”24 3”32 4”

ボディ材質

S 316/316L S/SP PVCA アルミニウム(アルマイト)

ポート接続タイプN NPTB BSPPF 150# Flanges

ブランク（メーカー選定）

（メーカー選定）改訂 #

N NPT

B BSPPキャップ材質(⾮接液)

S 316/316L S/S

P PVCA アルミニウム(アルマイト)

⻘⽂字は短納期対応可能

BD BDポートサイズ

リファレンスポートタイプ


*⾼温対応モデルは応相談

BDシリーズ4”モデル ANSI150#フランジ付き

15

16

ダイアフラム材質材質

PTFE (USP Class VI)

EPDM (USP Class VI)

Viton (Reinforced)

Buna-N (Nitrile)

Glass Reinforced PTFE

Other (C/F)

1/8” NPT ReferencePort

A’ (Tube Stub)A (Tri‐Clamp)

BD

C

FD シリーズ仕様バイオファーマなどサニタリー⽤途

モデル接続パイロットポート接続

本体材質 DIM ADIM Aʼ (スタブ管)

DIM B DIM C DIM D 最⼤圧⼒ CV レンジ

mm Psig(MPa) MIN MAX

FDO4 1/2” Tri-Clamp

1/8”NPT

316LS/S,Hastelloy C

& other

86 n/a 36 51 25

150(1)

1E-7 1.0

FDO6 3/4” tri-Clamp 151 49 49 127 25 1E-3 4.0

FDO8 1” Tri-Clamp 204 151 61 152 50 1E-3 8.0

FDO12 1.5” Tri-Clamp 230 173 69 178 50 1E-2 12

FDO16 2” tri-Clamp 280 223 91 229 64 1E-2 19

FD08 性能グラフ

Designed with

排⽔性FDシリーズの背圧レギュレーターは、優れた排⽔性を持つようシビアに設計されており、厳しいテストを実施しております。垂直⽅向に設置した場合、FDO6シリーズの背圧レギュレーターは、4mlの⽔分しか溜らず、20 psiのエアブローを30秒間供給すると完全に排⽔されます。

CIP / SIP他のバルブでは、CIP / SIPプロセスを⼀⽅向に⾏う必要がありますが、Equilibar FDシリーズの背圧レギュレーターは、両⽅向で洗浄することができます。ほとんどのダイアフラムでは10bar(1MPa),135℃でCIP/SIPが可能です。

ASME BPEin mind.

‐Jeff Jennings, Equilibar President

“”

17

弊社は、お客様のバルブ選択プロセスを簡略化することを約束しており、エンジニアの直接サポートだけでなく、バイオファーマのすべての

ニーズを満たすバルブも備えています。

FDシリーズは棒材から機械加⼯され、その後機械研磨、電解研磨されます。隙間のないクラッシュシール設計は、Oリングを不要にさせ、より簡単な洗浄に役⽴ちます。⽬視で残留液がないことを確認する広範なリボフラビン試験を⾏いました。

例

FDO 4 S H E 5D - N S C P 102 T 100 G 10 F

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14

1 モデルFDO FD series, in line

FDT FD series, angled (メーカー選定)2 ポート接続4 1/2”

6 3/4”

8 1”

12 1.5”

16 2”3 本体材質S 316/316L S/S

H HastelloyC276

I HastelloyC22

T Titanium Grade 2

Z Zirconium 7024 ポートタイプH トリクランプT スタブ管5 オプション

D 6 mm ID (FDO4Only)E 10 mm ID (FDO4Only)L Low flow, 6 mm ID (FDO4 Only)N 無しU Flow Through Option (FDT Only)

6 改訂 #


7 リファレンスポートタイプ(⾮接液)

N 1/8” NPT

D 1/8” BSPP

8 キャップ材質(本体材質と同じ番号)

S 316/316L S/S9 ボル

ト(メーカー選定)

10 圧⼒レート

最⾼仕様圧⼒(in psig) (本体許容圧⼒以下)

11 温度レート100 （標準）12 ダイアフラム材質

G PTFE (Glass reinforced)B Buna‐N (Nitrile)V FKM FluoroelastomerM EPDMU EPDM, USP Class VIF PTFE (Virgin)Y PTFE (Virgin, USP Class VI)

13 ダイアフラム厚


14 O リング/プラグオプションF PTFE Plug (FDO only)

Y USP VI PTFE Plug (FDO Only)

S Silicone Gasket (FDT Only)

FD シリーズ型式選定表

18

⻘⽂字は短納期対応可能流体仕様詳細をご連絡頂ければ、最適な型式を選定致します。

EVR シリーズ仕様

真空専⽤、絶対真空、および真空から陽圧のオプションが利⽤できます。

⼊⼝/出⼝

ボディ材質DIM A DIM B CV 範囲

圧⼒範囲

0 ~ -100kPa(12 to 760 torr)[0 to -980 mbar]

ｍｍ MIN MAX1/4”〜1”サイズレギュレーター(図4参照)

EVR-GSD2A 1/4” Anodized Aluminum 76 33 1.00E-03 1 0 ~ -34kPa[0 to -340 mbar]

EVR-GSD2S 1/4” Stainless Steel 316 76 33 1.00E-03 1

*低い所で0〜-0.5kPa[-5mbar]の圧⼒レンジ電気式オプションでカスタム設定も可能

EVR-GSD2P 1/4” PVC 83 38 1.00E-03 1

EVR-GSD3A 3/8” Anodized Aluminum 89 36 1.00E-03 1.8EVR-GSD3S 3/8” Stainless Steel 316 89 36 1.00E-03 1.8

EVR-GSD3P 3/8” PVC 95 41 1.00E-03 1.8 接続タイプ

EVR-GSD4A 1/2” Anodized Aluminum 114 41 1.00E-03 3 NPT (標準)

EVR-GSD4S 1/2” Stainless Steel 316 114 41 1.00E-03 3 BSPP

EVR-GSD4P 1/2” PVC 121 46 1.00E-03 3 SAE

EVR-GSD6A 3/4” Anodized Aluminum 152 51 1.00E-02 6.2 150# Flange

EVR-GSD6S 3/4” Stainless Steel 316 152 51 1.00E-02 6.2 ダイアフラムオプション

EVR-GSD6P 3/4” PVC 159 57 1.00E-02 6.2 Buna - N (Nitrile)

EVR-GSD8A 1” Anodized Aluminum 178 66 1.00E-02 9.9 FKM

EVR-GSD8S 1” Stainless Steel 316 178 66 1.00E-02 9.9 EPDM

EVR-GSD8P 1” PVC 184 74 1.00E-02 9.9 PTFE (Glass Reinforced)

1.5”〜4”サイズレギュレーター(図5参照) PTFE (Virgin)

EVR-BD12A 1.5" Anodized Aluminum 241 99 1.00E-02 14.3 O リングオプションEVR-BD12S 1.5" Stainless Steel 316 241 99 1.00E-02 14.3 Buna - N (Nitrile)

EVR-BD12P 1.5” PVC 229 109 1.00E-02 14.3 Viton

EVR-BD16A 2" Anodized Aluminum 279 104 3.00E-02 30.2 Kalrez

EVR-BD16S 2" Stainless Steel 316 279 104 3.00E-02 30.2 EPDM

EVR-BD16P 2” PVC 279 130 3.00E-02 30.2 PTFE

EVR-BD24A 3" Anodized Aluminum 381 155 6.00E-01 60 温度範囲EVR-BD24S 3" Stainless Steel 316 381 155 6.00E-01 60 ポリマーユニット: 40C

EVR-BD24P 3” PVC 381 226 6.00E-01 60 メタルユニット: 60C

EVR-BD32A 4" Anodized Aluminum 508 206 1.50 160

*⾼温対応モデルは応相談EVR-BD32S 4" Stainless Steel 316 508 206 1.50 160

EVR-BD32P 4” PVC 508 244 1.50 160

19

ToOutlet Vacuum

PumpInlet

76.2mm

B B

AA

図 4: 1/4”〜1”レギュレーター⼨法図図 5: 1.5”〜4”レギュレーター⼨法図

76.2mm

モデルナンバー

真空アプリケーション向け

真空流量特性カーブ1/2” Equilibar EVR-GSD4 vs. Fairchild Model 16

Competitive 1/2”

Regulator Equilibar 1/2”

EVR‐GSD4

流量変動に対する安定性他社の真空レギュレーターは真空供給圧⼒に敏感です。⼀⽅、Equilibar真空レギュレーターは、上流圧⼒を真空ヘッダーの変動から効果的に分離します。その為、左の図のように安定した制御を可能にします。

広範囲における安定性左の図は、Equilibar真空レギュレーターの超広範囲の流量範囲を⽰しています。

この1/2インチのサイズは、1〜10SCFMで流れる場合、変化量が3.5kPa未満です。

EVR性能グラフVa

cuum

Pressure, in HG

0

5

10

15

20

25

0 2 4Air Flow (SCFM)

6 8

Vacuum

Pressure, in HG

Inlet P

ressure (kPa)

16

14

12

10

8

6

4

2

00

0 50 250

021 3 7 8 9 10

20

30

40

50

10

Air Flow (SLPM)

100 150 200

4 5 6Air Flow (SCFM)

真空ポンプ圧⼒の影響3/8” EVR-GSD3, 1 SCFH flow rate

Vacuum Supply Pressure, in HG

Vacuum

Pressure, in HG

½” EVR-GSD4 性能グラフ（真空供給 68-85kPa）

0

17

35

52

69

85

真空

圧⼒

, ｋPa

20

下の表は、各本体サイズの真空性能を⽰しています。所定のレギュレーターサイズでは、フローが臨界点を超えて増加すると、「ドループ」が増加します。ドループは、レギュレーターの摩擦による真空圧⼒の低下として定義されます。⽤途に最適なサイズを選択するには、流量範囲内で許容可能な圧⼒変動を持つ最⼩のレギュレーターを選択してください。例えば、5〜20SCFMの流速の場合、3/4 “は変動がわずか0.85kPa程であり、ほとんどの⽤途で許容可能です。1インチレギュレーターはこの範囲ではほとんど変化がありません。流量が不明な場合は、既存の配管サイズに合わせてEquilibar真空レギュレーターを選択することができます。

EVRサイズ選定表

Air Flow,SCFM

ドルー

プ,i

n H

G（

流量

増加

に伴

う⼀次

側圧

⼒の

上昇

）

1 10 100 1000

EVRフローサイズ表(10inHG)

3.5

3

2.5

2

1.5

1

0.5

0

1/4”3/8”1/2”3/4”

1”11/2”2”

21

0

1.7

3.4

5.1

6.8

8.5

10.2

11.9

（kPa)

⻘⽂字は短納期対応可能

1 モデルEVR Equilibar 真空レギュレーター

2 タイプGSD GSD シリーズ(エラストマー接液)

GS GS Series (エラストマー⾮接液)3 ポートサイズ2 1/4”3 3/8”4 1/2”6 3/4”8 1”4 ボディ材質S 316/316L S/SP PVCA アルミニウム(アルマイト)

その他︓応相談

5 ポートタイプN NPTB BSPPS SAEO VCO®R VCR®F 150# Flanges6 ブランク

(メーカー選定)7 改訂#

(メーカー選定)8 リファレンスポートタイプN NPTB BSPP9 キャップ材質(⾮接液)S 316/316L S/SP PVCA アルミニウム(アルマイト)

10 ボルト(メーカー選定)

11 圧⼒範囲30 30 in Hg(-100kPa)10 10 in Hg(-35kPa)12 温度範囲40 40C (ポリマーユニット)60 60C (メタルユニット)



14 ダイアフラム厚(メーカー選定)

15 O リング (GSD ユニットのみ)(接液)

VV Viton® Shore 75KK Kalrez® Grade 7075FF PTFEEE EPDMBB Buna-N (Nitrile)16 オプションB 取り付けブラケット

(ポートサイズ 2 & 3 のみ)O 酸素禁油

EVRシリーズ型式選定表（1/4”〜1”サイズ）例

EVR - GS 2 S N G X - N S X P 30 T 100 V X VV B

EVR -1 2 3 4 5 6 7 - 8 9 10 11 12 13 14 15 16


22

23

1 モデルEVR Equilibar真空レギュレーター

2 タイプBD BD

3 ポートサイズ12 1.5”16 2”24 3”32 4”

4 ボディ材質S 316/316L S/SP PVCA アルミニウム(アルマイト)

その他︓応相談

5 ポートタイプN NPTB BSPPF 150# Flanges6 ブランク

(メーカー選定)7 改訂 #

(メーカー選定)8 リファレンスポートタイプN NPTB BSPP9 キャップ材質(⾮接液)S 316/316L S/SP PVCA アルミニウム(アルマイト)

10 ボルト(メーカー選定)

11 圧⼒範囲30 30 in Hg(-100kPa)10 10 in Hg(-35kPa)12 温度範囲40 40C (ポリマーユニット)60 60C (メタルユニット)



14 ダイアフラム厚(メーカー選定)

15 O リング(接液)

VVVV Viton® Shore 75KKKK Kalrez® Grade 7075FFFF PTFEEEEE EPDMBBBB Buna

EVRシリーズ選定表(1.5” 〜 4”サイズ）例

EVR - BD 12 S N G X - N S X P 30 T 100 V X V

EVR - BD1 2 3 4 5 6 7 - 8 9 10 11 12 13 14 15

⻘⽂字は短納期対応可能流体仕様詳細をご連絡頂ければ、最適な型式を選定致します。

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レギュレーター概要主な特徴

低圧⽤

Technical Page

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QPV Series 最⼤使⽤圧︓1MPa

中圧⽤

QB Series 最⼤使⽤圧︓3.5MPa

⾼圧⽤

GP Series 増幅回路無しで最⼤70MPaまで使⽤可能

電⼦パイロット制御オプションプロセス圧⼒の⾃動化は、電空レギュレータを使⽤して、パイロット設定圧⼒をパイロットポートを持つ背圧レギュレーターに提供することによって容易に達成されます。これらの機器は、Equilibar精密背圧レギュレーターまたは真空レギュレーターと機能するようカスタム調整されています。

最⼩レンジ: 0-75Pa最⼤レンジ: 0-1MPa/0-1MPa(abs)

ゲージ圧、絶対圧、真空圧・真空ー正圧範囲で使⽤可能分解能: 0.005% - 0.2% FS

4-20mA や 0-10VDC アナログ出⼊⼒オプション︓ DeviceNet やシリアルデジタルRS232/485

最⼩レンジ: 0-7kPa最⼤レンジ: 0-3.5MPa

ゲージ圧、絶対圧、真空圧・真空ー正圧範囲で使⽤可能分解能: 0.2% - 0.5% FS

4-20mA や 0-10VDC アナログ出⼊⼒オプション︓ DeviceNet やシリアルデジタルRS232/485

最⼤レンジ: 0-70MPaゲージ圧、絶対圧、真空圧・真空ー正圧範囲で使⽤可能

分解能: 0.5% FS4-20mA や 0-10VDC アナログ出⼊⼒

クローズドループ制御による精密制御

ポンプ吐出圧⼒コントロール

PID コントローラー

出⼒信号0-10 VDC /4-20 mA

コンプレッサー

⼊⼒信号0-10 VDC or 4-20 mA

外部フィードバック付き電空レギュレーター

圧⼒トランスデューサープロセッサー

アプリケーションEquilibarのユニークな機能には、数多くの潜在的なアプリケーションがあります。液体、ガス、および気液混合流体に対応できるよう設計されています。アプリケーションは超低流量から極端な⾼圧にまで及びます。 Equilibarレギュレーターは、ダイヤフラムとOリング材質の組み合わせにより、⾼温および過酷な化学物質を含む厳しい環境下においても⾼い性能を発揮します。

ほとんどのシンプルなアプリケーションでは、⼿動設定Equilibarで上流側圧⼒を⼗分な性能で制御します。ただし、オートメーションアプリケーションでは、外部圧⼒トランスミッタを使⽤してクローズドループ制御を⾏うとより効率的です。外部フィードバック付き電空レギュレーターを使⽤することにより、プロセス圧⼒トランスミッターの読み値を、希望の設定値と正確に⼀致させることができます。Equilibarは、これらのクローズドループアプリケーションで、⼀般的なレギュレーターに⽐べて多くの利点をもたらします。特に、⾮常に広い流量範囲、迅速な応答時間、PIDチューニングの容易さなどが特徴的です。

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背圧レギュレーターの⼀般的なアプリケーションを右の図に⽰します。出⼝配管に抵抗がなければ、ポンプは吐出圧⼒を作り出すことができません。適切なサイズの背圧レギュレーターは、ポンプの吐出圧⼒を正確に制御するのに必要な量の抵抗だけを作り出すことができます。圧⼒バイパス制御の概念は、多くのタイプのポンプ（例︓遠⼼ポンプ、容積式ポンプ）に対しても同様に良好に機能します。このように使⽤される場合、背圧レギュレーターは、圧⼒保持弁または圧⼒バイパス弁とも呼ばれます。

減圧弁

エアコンプレッサー

液タンク

遠⼼⼒ポンプ

アプリケーションへ

Equilibar BPR

貯留層のコア分析背圧レギュレーターでサンプル圧⼒を保持する、多くのタイプの上流⽯油コア分析アプリケーションがあります。コアフラッディング（右図参照）、PVT分析、熱分解、スリムチューブ分析はすべて、Equilibarのリサーチシリーズの超低流動能⼒を活⽤できます。 ZF（Zero Flow）シリーズは、特にこの業界の厳しい要件に対応するために開発されました。


多くの触媒研究の⽤途は、⾼温度およびナノ流量において安定した圧⼒を保持するための、⾼性能背圧制御装置です。Equilibarの⼆相流を扱う独⾃の能⼒により、⾼圧分離器を、低圧液体・気体分離器で代⽤することを可能にします。

触媒研究反応器

真空蒸留の制御多くの真空調整レギュレーターは、沸点の近い流体を選択的に蒸留するのに必要な精度を持っていません。

通常のレギュレーターは繊細で壊れやすく、真空蒸留所で使われる腐⾷性の化学物質や⾼温に耐えられません。Equilibar EVRシリーズの⾼精度真空レギュレータは、

1つのパッケージで精度と耐久性の両⽅の問題を

解決できます。

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膜分離および膜ろ過プロセスで背圧レギュレーターは使⽤され、透過液圧⼒と残留圧⼒の両⽅を制御します。化学物質を含む浸透圧によって、膜を透過する差圧（膜間差圧）は、狭い範囲で精密に保持しなければなりません。多くの⼩分⼦分離は、膜間差圧を1psiの範囲内に収める必要とします。このような低圧制御は、研究環境および産業分離⽤途の両⽅において課題となります。Equilibarの背圧レギュレーターは、これらの要求に対して理想的です。摩擦のないドームロード設計は、1psig以下の差を容易に保持することができ、0.01psi未満の設定点変動に敏感です。

膜分離/膜ろ過の圧⼒制御

⾼精度な低圧供給が可能流量が変動する場合に、3.5kPaより低いガス圧⼒を正確に制御することができる市販のレギュレーターはごくわずかです。LPR2は、Equilibar GSDシリーズの精密背圧レギュレーターと流量制御バルブと組み合わせて使⽤することで、低圧ガスを⾼精度で⾼い応答性で供給することができます。アプリケーションで必要とされないガス流量を排気することによって、このシステムは、精度を損なうことなく、アプリケーションでの順⽅向または逆⽅向のガス流量を調整できます。

減圧弁


Equilibar BPR

排出

流量計アプリケーション

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燃料ポンプ、燃料噴射装置、燃料レール試験

燃料電池⽤背圧レギュレーター

燃料システムコンポーネントの試験では、実際の動作条件またはそれに近いところで開発および品質保証試験を実施することが望まれます。これは試験サイクル中にユニットの背圧と回転数を変化させます。様々な速度が周知のプロセスであるが、背圧の変動で複雑または⾼価になる可能性があります。Equilibar背圧レギュレーターは、試験装置の設計を簡素化し、⾼サイクルサービスの下で信頼性の⾼いサービスを提供します。以下の概略図では、被試験ポンプは、テストコンピュータによって駆動される電空コントローラからの空気パイロット信号を有するEquilibar背圧レギュレーターに、希望のrpm、流量および圧⼒シーケンスを有する流れを供給します。

このテストでは、さまざまな負荷と速度で実際のサービス条件をシミュレートして、使⽤中のパフォーマンスをより正確に予測できます。同じテストスタンドで品質保証製品テストに使⽤できます。

利点︓Equilibarレギュレーターは柔軟なダイアフラムが唯⼀の可動部品であるため、短時間で⾼いサイクルスタイルのライフテストをするために、迅速に圧⼒を循環させることができます。

PLC

QPV

PLC

フィルター

QPV

タンク試験ポンプ

エアコンプレッサーEquilibarBPR圧⼒変換器

圧⼒変換器

減圧弁

ガスボンベ

燃料電池

排出EquilibarBPR

Equilibar精密背圧レギュレーターは、多くの燃料電池アプリケーションに最適です。燃料電池試験システムは、他社製品では⽋けている低圧から中圧までの⾼精度制御で優位性があります。Equilibarの現在の「GR」トリムは、燃料電池試験業界の厳しい流量要件に対応して設計されました。これらのGRトリムレギュレーターは、厳しいテストプロトコルに必要な超広範囲の流量範囲で安定した圧⼒を提供します。ガス流量制御は、1ml/分以下に制御可能です。優れた低流量制御により、1000︓1の流量ターンダウン⽐が得られます。

集中型真空配給

⼤型真空ヘッダー70-80kPa EVR#2 EVR#1

産業界では、1つの真空ユーティリティヘッダーが複数の異なるプロセスに供給され、それぞれ別々の真空圧⼒要求があります。例えば、1つの装置が34kPaの真空で機能し、別のプロセスでは50kPaの真空が必要です。この⽤途では、より低い真空を必要とするプロセスにおいて真空レギュレーターが必要とされます。単⼀の圧⼒を供給する真空ポンプでは、バキュームブレーカーが⼀般的に使⽤されますが、これらのVBRはヘッダー全体のシステム真空を損なうため適していません。上記の図では、ツール＃1はツール＃2より⾼い真空レベルを必要とします。共⽤ポンプを使⽤するには、真空を必要なレベルまで低下させるために真空調整器が必要です。EVRシリーズ真空レギュレーターは、ポンプからプロセスへの流れを制限することで機能します。プロセスには⼤量の空気を流さないでください。

真空ポンプ

吸引ツール

ツール＃235kPaに設定

ツール＃150kPaに設定

図6: 共通の真空供給源を使⽤する施設内に複数のEquilibar真空レギュレータを設置した例

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グローブボックス/換気制御Equilibarは、グローブボックスやその他の換気システムのガス圧を制御できます。柔軟なダイヤフラム材料を選択することにより、⽐較的⾼い流量でも、低圧で⾼精度および⾼感度で制御できます。

設定ガスは、ポンプまたは他の流量制御⼿段によって供給することができ、パイロット圧⼒は、電空レギュレーター（右図）または⼿動スプリングレギュレーターによって調節することができます。

リアクター圧⼒制御/窒素充填Equilibarを使⽤すると、リアクター内圧⼒の制御を、窒素などの不活性ガスで容器を制御する事が容易になります。

容器へのガス注⼊は、任意で便利な⽅法によって提供することができます。

Equilibarの幅広い流量範囲（最⼤1000︓1）と圧⼒幅（最⼩1.4kPa）により、

ユーザーは優れた操作範囲を得ることができます。 EquilibarLPR2はパイロット圧⼒設定点を3.5kPa以下の圧⼒で提供することが

できます。または電空圧⼒レギュレーターによって簡単に⾃動制御できます。

コンプレッサ

流量制御

ベント


流量制御

Equilibar©PrecisionBackPressure Regulator

設定レギュレーター

ベントエアー

⾼性能ドームロード背圧レギュレーター - equilibar...特徴 常に広いcvレンジ...

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⾼性能ドームロード背圧レギュレーター - equilibar...特徴常に広いcvレンジ...