a study on vibration reduction mechanism of precision
TRANSCRIPT
ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ pp. 431-437 June 2017 / 431
J. Korean Soc. Precis. Eng., Vol. 34, No. 6, pp. 431-437 https://doi.org/10.7736/KSPE.2017.34.6.431
ISSN 1225-9071 (Print) / 2287-8769 (Online)
LDI ๋ ธ๊ด๊ธฐ์ฉ ์ด์ ๋ฐ ์คํ ์ด์ง์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ์ ๊ดํ ์ฐ๊ตฌ
A Study on Vibration Reduction Mechanism of Precision Stage for LaserDirect Imaging
์์ฐฝํ1, ์ดํ๊ท2, ์ ์ฉํธ1, ์ด๋ฌธ๊ตฌ1,#
Chang Hoon Seo1, Hyeong Gyu Lee2, Yong Ho Jeon1, and Moon Gu Lee1,#
1 ์์ฃผ๋ํ๊ต ๊ธฐ๊ณ๊ณตํ๊ณผ (Department of Mechanical Engineering, Ajou University)
2 ใ ๋ฆฌํ ๊ธฐ์ ๋ถ์ค์ฐ๊ตฌ์ (R&D Center, LEETECH Co., Ltd.)
# Corresponding Author / E-mail: [email protected], TEL: +82-31-219-2338, FAX: +82-31-219-1611
KEYWORDS: Precision stage (์ด์ ๋ฐ ์คํ ์ด์ง), Vibration reduction (์ง๋ ์ ๊ฐ), Reaction force compensation (๋ฐ๋ ฅ ๋ณด์),
Displacement cancellation (๋ณ์ ์์)
Recently, Laser Direct Imaging (LDI) has been used to replace lithography in Flexible Printed Circuit Board (FPCB)
manufacturing. However, repeated motion of a linear motor caused residual vibration in the granite on which the workpiece
was placed when the motor either accelerated or decelerated. Because the residual vibration made positioning less
accurate, there were more defective products and worse productivity. This paper proposes a way to reduce vibration in the
granite during the precision stage. First, the frequency domain of the vibrations of a pneumatic vibration isolator is
identified. Second, we present the design of the mechanism using a voice coil actuator and a capacitive displacement
sensor. Third, we apply a feedback control algorithm based on PID to cancel displacement. Consequently, we are able to
propose an optimal way to reduce vibration for the laser direct imaging equipment. The amount of vibration reduction is
evaluated in terms of amplitude and settling time.
Manuscript received: May 10, 2016 / Revised: December 16, 2016 / Accepted: March 20, 2017
1. ์๋ก
๊ธฐ์กด์ ์ ์ฐํ๋ก๊ธฐํ(Flexible Printed Circuit Board, FPCB)
์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ํ๋ก ํจํฐ๋์ ์ํด์ ๋ง์คํฌ๋ฅผ ์ด์ฉํ ๋ ธ๊ด ๋ฐฉ์์
์ฌ์ฉํด ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋, ๋ง์คํฌ๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ํจํด ๋ณ๊ฒฝ ์
๋ง์คํฌ ๊ต์ฒด๋ฅผ ์ํ ๋ณต์กํ ๊ณผ์ ์ด ์๊ตฌ๋์ด ๋คํ์ข ์์ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ
์๊ตฌ์ฌํญ์ ๋ง์กฑํ๋ ๋ฐ ์ด๋ ค์์ด ์๋ค. ํนํ, ๋น์ฉ ์ธก๋ฉด์์ ๋ง
์คํฌ ์ ์์ ์์๋๋ ๋น์ฉ์ด ๊ณ ๊ฐ์ผ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ, ๋ง์คํฌ ์ ๋ ฌ์
์ํด ์ ฮผm์ด๋ด์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ๋ ์ด์ ๋ฐ ์ด์ก ์ฅ์น๊ฐ ์ถ๊ฐ๋ก ์
๊ตฌ๋๋ ๋จ์ ์ด ์๋ค. ์ต๊ทผ ๋ง์คํฌ๋ฅผ ์ด์ฉํ ๋ ธ๊ด ๋ฐฉ์์ ๋์์ผ๋ก
LDI (Laser Direct Imaging) ๋ฐฉ์์ ๋ ธ๊ด ๊ณต์ ์ด ์ ์ฐจ ์ฆ๊ฐํ๊ณ
์๋ค.1 UV-Laser๋ฅผ ๊ด์์ผ๋ก ํ๋ ๋ ธ๊ด ์ฅ๋น์ ๊ฒฝ์ฐ, 5 - 10 ยตm
์ ํญ์ ๋ฏธ์ธ ํ๋ก ํจํด์ ๊ตฌํํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๊ฐ๋ฐ๋ ธ๋ฏธํฐ ์ค์บ๋๋ฅผ
์ด์ฉํ Step & Scan ๋ฐฉ์์ ์ฃผ๋ก ์ฌ์ฉํ๋ค.
Step & Scan ๋ฐฉ์์ ๋ ธ๊ด ํจํด ํ์ฑ์ ์ํด์ ์ด์ก์ฅ์น๋ ์ฅ๊ฑฐ
Copyright ยฉ The Korean Society for Precision Engineering
This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License (http://creativecommons.org/licenses/by-nc/
3.0) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.
NOMENCLATURE
Freq = Required force to compensate residual vibration
f = Frequency of residual vibration
m = Mass of granite
dm = Maximum deviation of granite from origin
x(s) = Actual position of granite
d(s) = Direct disturbance to granite
P(s) = Dynamics of granite
R(s) = Transfer function of vibration reduction mechanism
G(s) = Transfer function of PID contoller
432 / June 2017 ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ
๋ฆฌ ์๋ณต ์ด๋์ ๋ฐ๋ณตํ๋ค. ์ด ๋, ๋ ธ๊ด ์ฅ๋น์ ์์ฐ์ฑ์ ํฅ์์ํค
๊ธฐ ์ํด ๊ณ ์์ผ๋ก ์ด์กํ๋ ๊ฒฝ์ฐ, ๋ฆฌ๋์ด ๋ชจํฐ์ ๋ฐ๋ ฅ๊ณผ ์ ์ง๋๋ฅผ
๊ตฌ์ฑํ๋ ๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ ๋ฎ์ ๊ฐ์ฑ์ผ๋ก ์ธํ์ฌ ๊ฐ๊ฐ์ ๊ตฌ๊ฐ์์
์์ ๋ฐ์ ๋ณ์๊ฐ ๋ฐ์ํ๊ฒ ๋๋ค.2 ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ฐ๋ฐ๋ ธ๋ฏธํฐ ์ค์บ๋
์ ์ค์บ๋์ ์ ์๊ตฌ๊ฐ์์ ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ฏ๋ก, ๊ฐ๊ฐ์ ๊ตฌ๊ฐ์ ํด๋นํ
๋ ์๊ฐ์ ๋งค์ฐ ์งง์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ก ์ธํด ์์ ๋ฐ์ ๊ฐํด์ง๋ ๋ฐ๋ ฅ์ด ์ถฉ
๊ฒฉ๋ ฅ๊ณผ ์ ์ฌํ ํน์ฑ์ ๊ฐ๋๋ค. ์์ ๋ฐ์ ๊ฐํด์ง ์ถฉ๊ฒฉ์ ๊ดํ๊ณ,
์ด์ก ์ฅ์น ๋ฑ LDI ๋ ธ๊ด ์ฅ๋น๋ฅผ ๊ตฌ์ฑํ๋ ๊ฐ๊ฐ์ ์ฃผ์ ๋ถํ์ ์
๋ฅ์ง๋์ ๋ฐ์์ํค๊ณ , ๋ ์ด์ ์ ์ด์ ์ด ์ํ๋ ๊ณณ์์ ์ด๊ฒฉ๋๋
๋ก ํ๋ฏ๋ก ํ๋ก ํจํด ์ ๋ฐ๋ ํ๋ฝ์ ์ฃผ์ ์์ธ์ด ๋๋ค.
์๋ํ ์ ์ง ์์คํ ์ ์ง๋ ์ต์ ์ฑ๋ฅ์ ํฅ์์ํค๊ณ ๋ณด๋ค ๋์
์ฃผํ์ ๋์ญ์์ ๋์ํ๋๋ก ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฅ๋ํ ์ ์ง ์์คํ ์
๊ดํ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ํ๋ฐํ ์ด๋ฃจ์ด์ง๊ณ ์๋ค.3,4 ์ด๋ฌํ ๋ฅ๋ ์ ์ง ์์คํ
์ 6์์ ๋ ์ง๋ ์ฑ๋ถ์ ๋ํ ๋ณด์์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ฏ๋ก ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์
์ ์ฉ์ด ๊ฐ๋ฅํ ์ฅ์ ์ด ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋, ์๋ ์ผ์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฏ๋ก ์
ํ์ค ํํ์ ์ถฉ๊ฒฉ์ ๋ํ ๋ฐ์ ์๋๊ฐ ์ข์ง ์๊ณ , ๋ค์ถ๊ตฌ์กฐ๋ก ์ธ
ํด ๋น์ฉ์ด ๋์์ง๋ ๋จ์ ์ด ์๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ
Shahadat5 ๋ฑ์ ๋ณ์์ผ์๋ฅผ ๊ฐ๋ ๋ฅ๋ํ ์ ์ง ์์คํ ์ ์ ์ํ์
๋ค. ์ง๋ ์์ธ์ ํนํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก Nguyen6 ๋ฑ์ ์์ ๋ฐ์ ์ ๋ฌ๋
๋ ๋ฆฌ๋์ด ๋ชจํฐ์ ๋ฐ๋ ฅ์ ๋ณด์ํ๋ ๊ธฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ ์ํ์์ผ๋ฉฐ, Hong7
์ LDI ๋ ธ๊ด ์ฅ๋น์ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ ์ฉํ ์ ์๋ ๋ฐ๋ ฅ ๋ณด์ ๊ธฐ๊ตฌ
๋ฅผ ์ ์ํ์๋ค.
๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์์๋ ๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ ๋ฎ์ ๊ฐ์ฑ์ ๋ณด์ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ
Voice Coil Motor์ Feed-Back ์ ์ด ์๊ณ ๋ฆฌ ์ฆ์ ์ด์ฉํ ์์ ๋ฐ
์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น๋ฅผ ์ ์ ํ๊ณ , ์คํ์ ํตํด ์ด๋ฅผ ๊ฒ์ฆํ์๋ค.
2. ๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ ์ง๋ ํน์ฑ
2.1 ์์ ๋ฐ ๋ณ์ ์ธก์
์์ ๋ฐ ์์ ์ฅ์ฐฉ๋๋ ๊ตฌ๋๊ธฐ๋ ๊ธฐ๊ตฌ๋ค์ ๊ฐ๊ฐ์ ์ด๋์ ์ํ
์ง๋์ ์ผ์ข ์ ์ธ๋์ผ๋ก ์๊ฐํ ์ ์๋ค. ์ด๋ฌํ ์ธ๋์ ์์ ๋
๊ฒ์ด ์ด ์ฐ๊ตฌ์ ๋ชฉ์ ์ด๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ธ๋์ ํน์ฑ์ ํ์ ํ๋ ๊ฒ์
์ง๋ ์ ๊ฐ์ ์ํด์ ์ค์ํ๋ค. ์ง๋์์ธ ๊ฐ๊ฐ์์ ์์ ๊ธฐ์ ํ์
๊ณ ์ฌ๊ธฐ์๋ ๊ทธ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ง๋์ ์คํ์ผ๋ก ๊ตฌํ๊ณ ๋ถ์ํ๋ค.
Fig. 1์ ์ ์๋ ๋ชจ์ ํ๋กํ์ผ์ ๋ฐ๋ผ Fig. 2์ ๋ํ๋ธ X์ถ ์ด
์ก ์ฅ์น๋ฅผ ๋ฐ๋ณต ๊ตฌ๋ ํ๋ฉด์, LDV (Laser Doppler Vibrometer)๋ฅผ
์ด์ฉํ์ฌ ์์ ๋ฐ์ ๋ฐ์ํ๋ ์ง๋์ ์ธก์ ํ์๋ค. ์ด ๋ชจ์ ํ๋กํ
์ผ์ Step & Scan ๋ฐฉ์์ ์ ์ฉํ ๋๋ค์์ ์ค์ ๊ณต์ ์์ ๋น๋ฒ
ํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฒ์ด๋ค. LDV๊ฐ ๋ณ์์ ํธ๋ฅผ ์ถ๋ ฅํ๋๋ก ์ค์ ํ์
์ผ๋ฉฐ, DSA (Dynamic Signal Analyzer)๋ฅผ ์ด์ฉํ ์คํํธ๋ผ ๋ถ์
์ ํตํด ์ฃผํ์ ์์ญ์์ ์ง๋์ ํธ๋ฅผ ๋ถ์ํ์๋ค.
๋ฆฌ๋์ด ๋ชจํฐ์ ๊ฐ๊ฐ์์ ๋ฐ๋ผ ์์คํ ์ ์์ ๋ฐ์ด ์ด๋ป๊ฒ ๊ฐ์ง
๋๋ ์ง๋ฅผ Fig. 3์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด ์ง๋์ ์ดํด๋ณด๋ฉด ๋ ๊ฐ์ง ์
์์ด ๋ณด์ธ๋ค. ์ฒซ๋ฒ์งธ๋ก Fig. 1์ ๊ฐ๊ฐ์๊ณผ ๋๊ธฐํ๋ ๋ ๊ฐ์ ๋ ์นด
๋ก์ด ยฑ290 ยตm์ Peak์ด๋ค. ์ด๊ฒ์ ๋ฆฌ๋์ด ๋ชจํฐ๊ฐ ๊ฐ์ง์ํค๋ ๋ถ
๋ถ์ด๋ค. ๋๋ฒ์งธ๋ ยฑ80 ยตm์ ์๋งํ ์ง๋์ด๋ค. ์ด๊ฒ์ ์ ์ง๋์
์ง๋ ์ต์ ๊ฑฐ๋์ด๋ค. ์ฆ, ์ ์ง๋์ ๊ณต๊ธฐ์คํ๋ง์ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ ์ ์ ํน์
์ ์ถ๋๋ฉด์ ์ง๋์ ์ต์ ํ๋ ค ํ๊ณ ์๋ ๊ฒ์ด๋ค. ๊ทธ๋ฐ๋ฐ ์ด ์ต์ ๋ฅผ
์ํ ๊ตฌ๋์ ๊ฐ์ง์ ๋นํด์ ๋งค์ฐ ๋๋ฆฌ๊ณ ์ถฉ๋ถํ์ง ์์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ
๊ฐ์ง๋ค. ๋ฐ๋ผ์, ์์คํ ์ ์์ ์ฑ์ ๋์ด๊ณ ๋ฐ๋ ฅ ๋ณด์ ์ ์ด๋ฅผ ๋ณด
๋ค ์ฉ์ดํ๊ฒ ํ๊ธฐ ์ํด ์ ์ง ์ ์์ ๋ฐ์ ๋ณ์๋ฅผ ์ผ์ ํ๊ฒ ๋ณด์
Fig. 1 Motion profile for linear motor of precision stage
Fig. 2 Precision stage for laser direct imaging process with UV-
laser head
Fig. 3 Displacement of granite during repeated moving of linear
stage
ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ June 2017 / 433
ํ ํ์๊ฐ ์๋ค. ์ด๋ฅผ ์ํ์ฌ ํฐ ๊ตฌ๋๋ ฅ๊ณผ ๋น ๋ฅธ ๊ฑฐ๋์ด ๊ฐ๋ฅํ ์ง
๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ๊ฐ ํ์ํ๋ค.
2.2 ๋ฐฉ์ง ๋ง์ดํธ ํน์ฑ ๋น๊ต
์ด์ ๋ฐ ์์คํ ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ง๋ฉด์์ ์ฌ๋ผ์ค๋ ์ง๋์ ์ ๊ฐ
ํ๊ณ ์ ์๋์ ๊ณต๊ธฐ์คํ๋ง์ด๋ ๋จ์ํ ๊ณ ๋ฌด ์ฌ์ง์ ๋ฐฉ์งํจ๋๋ฅผ
์ฌ์ฉํ๋ค. ๊ฐ๊ฐ์ ๊ฒฝ์ฐ์ ๋ํด์ ์์ ๋ฐํ ์ง๋ ํน์ฑ์ด ๋ฌ๋ผ์ง
์ ์๋ค. ์ด ์ฐ๊ตฌ์์๋ ๊ณต๊ธฐ์คํ๋ง์ ๊ฐ์ง ์์คํ ์ ์ฃผ๋ก ๊ด์ฌ์ด
์์ง๋ง ๋ฐฉ์งํจ๋๋ง์ ๊ฐ์ง ๊ฒ๋ ๊ณ ๋ คํ๊ณ ์ ํ๋ค. ์์ ์ ์คํ์
๋ ๊ฒฝ์ฐ์ ๋ํด์ ์ ์ฉํ๋ฉด, ๋ ๊ฒฝ์ฐ์ ๋ํ ์ง๋ ํน์ฑ๋ ์ ์
์๋ค. ์ ์ง๋์ ์ง๋ ์ต์ ํน์ฑ์ ๋ณด๋ค ๋ช ํํ ๊ท๋ช ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ,
๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง ๋์ NBR (Nitrile Butadiene Rubber) ์ฌ์ง์ ๋ฐฉ์ง
ํจ๋๋ฅผ ์ ์ฉํ ๋ชจ๋ธ์ ์ง๋์ ๋์ผํ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ธก์ ํ๊ณ DSA๋ฅผ
์ด์ฉํ์ฌ ์ฃผํ์ ์์ญ์์ ๋น๊ตํ์๋ค. Fig. 4๋ Fig. 1์ ๋ชจ์ ํ
๋กํ์ผ์ ๋ฐ๋ฅธ X์ถ ์ด์ก ์ฅ์น์ ์๋ณต ์ด๋ ์ ์์ ๋ฐ ๋ณ์๋ฅผ ์ฃผ
ํ์ ์์ญ์์ ๋์ํ ๊ทธ๋ํ์ด๋ค. ๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ ์ ์ฉํ ์ด์ ๋ฐ
์คํ ์ด์ง์ ์ํ ๋ฐฉํฅ ๊ณ ์ ์ง๋์๋ 2.0 Hz ๋ฏธ๋ง์ผ๋ก ๋งค์ฐ ์ ์ด
์ ํํ ์ธก์ ์ด ์ด๋ ค์ฐ๋ฉฐ, NBR ๋ฐฉ์งํจ๋๋ฅผ ์ ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ฝ
10.5 Hz์์ ํ์ธํ ์ ์๋ค.
์์ ์ ์๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก๋ถํฐ 11.0 Hz ์ด์์ ์ฃผํ์ ์์ญ์์
๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ ์ ๋ฌ์จ ๊ฐ์ ํจ๊ณผ๋ NBR ๋ฐฉ์งํจ๋ ๋๋น ์ฝ 3๋ฐฐ
์ด์ ๋์ ๊ฒ์ ํ์ธํ ์ ์๋ค. ์ฃผ๋ณ ํ๊ฒฝ์ ์ํด ๋ฐ์ํ๋
10.0 Hz ์ด์์ ์ง๋์ ๋ฐฉ์ง ๋ชฉ์ ์๋ ๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ด ์ ํฉํ๋ค.
๊ทธ๋ฌ๋, ์์ ๋ฐ์ ๊ฐํด์ง๋ ๋ฆฌ๋์ด ๋ชจํฐ๋ 5.0 Hz ์ดํ์ ์์ญ์
์ฃผ๋ก ๋์ํ๊ณ , ์ด์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฐ๋ ฅ์ ๋์์ ์์ ๋ฐ์ ๊ฐํด์ง๋ฏ๋ก ์ด
๋ฅผ ๋ณด์ํ๊ธฐ ์ํ ๋ณด์กฐ ์ฅ์น๊ฐ ํ์ํ๋ค.
3. ์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น ์ค๊ณ
3.1 ๊ธฐ๊ตฌ๋ถ ์ค๊ณ
์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น๋ ํฌ๊ฒ ์์ ๋ฐ ๋ธ๋ผ์ผ, VCM ๊ตฌ๋๊ธฐ, ๋น์ ์ด์
๋ณ์์ผ์๋ก ๊ตฌ์ฑ๋๋ค. ๊ฐ๊ฐ์ ๊ตฌ์ฑ ์์๋ ์ํ๋ ์ฑ๋ฅ์ ๊ฐ์ง๋
๋ก ์ค๊ณ๋์ด์ผ ํ๋ค. ๊ตฌ๋๊ธฐ์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ถฉ๋ถํ ํ์, ์ผ์์ ๊ฒฝ์ฐ
์๋ ์ถฉ๋ถํ ๊ณ์ธก ์ฃผํ์ ์์ญ๊ณผ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ, ๋ธ๋ผ์ผ๊ณผ ๊ฐ์ ๊ธฐ๊ตฌ์
๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ถฉ๋ถํ ๊ฐ์ฑ์ ๊ฐ์ ธ์ผ ํ๋ค.
VCM์ ํฐ ๊ตฌ๋๋ ฅ์ ์ํด ์ฝ์ผ๊ณผ ์์ ์ฌ์ด์ ๋งค์ฐ ์์ ๊ณต๊ทน
์ ๊ฐ์ง๋ฏ๋ก, ์์์น ๋ชปํ ๊ธฐ์๋ณ์์ ๋ฐ์ ์ ํ์์ ๋ฐฉ์งํ๊ธฐ
์ํ์ฌ ๋ณผ ์บ์คํฐ๋ฅผ ํตํด ๋ธ๋ผ์ผ๊ณผ ์ ์ ์ด ํ๋๋ก ์ค๊ณํ์๋ค.5
์ ์ ์ด ์ VCM์ ๊ตฌ๋๋ฐฉํฅ์ ๋ฐ๋ผ ๋ธ๋ผ์ผ๊ณผ ๋ณผ ์บ์คํฐ๊ฐ ๋จ์ด
์ง๋ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๋ฐ์ํ๋ฏ๋ก, ์์ ๋ฐ ์๋จ์ ์๋ก ๋ฐ๋๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ๊ตฌ์กฐ
๋ฌผ๊ณผ VCM์ ๋ฐฐ์นํจ์ผ๋ก์จ ๊ฐ๊ฐ์ VCM ๊ตฌ๋๊ธฐ๋ ํ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก
๋ง ๋์ํ๋๋ก ์ค๊ณํ์๋ค. Fig. 5์ ์ฃผ์ ๊ตฌ์ฑ๋ฌผ์ ๋ฐฐ์น๋ฅผ ๋ํ
๋ด์๋ค.
์๋ฅ์ง๋์ ์ต์ ํ๊ธฐ ์ํด ํ์ํ VCM ๊ตฌ๋๊ธฐ์ ์๊ตฌ ํ์
์๋ ์(1)๋ก๋ถํฐ ๊ตฌํ ์ ์๋ค.
(1)
์์ ๋ฐ์ ์ง๋ m์ 1,661 kg์ด๋ฉฐ, ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก๋ถํฐ ์ต๋ ๊ฑฐ๋ฆฌ
dm์ 295 ฮผm์ด๋ค. ์คํ์ ํตํด ์ป์ ๊ณ ์ ์ง๋์๊ฐ ๋งค์ฐ ๋ฎ์ผ๋ฏ๋ก,
๊ณ ์ ์ง๋์ f๋ฅผ ๊ณต๊ธฐ์คํ๋ง ์ ์กฐ์ฌ์ ์ ๊ณต ์ฌ์์ธ 2.5 Hz๋ฅผ ์ ์ฉ
ํ์๋ค. ์ด ๊ฒฝ์ฐ์ ์ธก์ ์ ํตํด ์ป์ ์ ์๋ 2.0 Hz ์ดํ์ ๊ณ ์
์ง๋์ ๋ณด๋ค ๋ ๋์ ์๊ตฌ ํ์ ์๊ตฌํ๋ฏ๋ก ์ ์์ ์ธ ์๋์ ์
ํ ์ต์ ์๊ตฌ์กฐ๊ฑด์ ๋ง์กฑํ๋ค. ์ ์(1)๋ก๋ถํฐ ๊ณ์ฐ๋ ์๊ตฌ ํ์
121 N์ด๋ค.
VCM ๊ตฌ๋๊ธฐ๋ Akribis็คพ์ AVM90-HF-10์ ์ฌ์ฉํ์ผ๋ฉฐ, ๋น
Freq 2ฯf ( )2
m dรร=
Fig. 4 Spectral analysis of granite with (a) air spring, (b) NBR pad Fig. 5 Sectional view of vibration reduction mechanism
434 / June 2017 ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ
์ ์ด์ ๋ณ์ ์ผ์๋ Microsense็คพ์ 5503 ๋ชจ๋ธ์ ์ฌ์ฉํ์๋ค. ๊ตฌ
๋๊ธฐ์ ์ผ์์ ์ฃผ์ ์ฌ์์ Tables 1๊ณผ 2์ ๊ฐ๊ฐ ํ๊ธฐํ์๋ค.
3.2 ์ ํ์์ ํด์์ ํตํ ๊ฒ์ฆ
์ง๋์ ์ต์ ํ๋ ค๋ฉด, ํ๋ ์๊ณผ ์์ ๋ฐ ์ฌ์ด์ ์ง๋์ ๋ฐ๋๋ฐฉํฅ
์ผ๋ก ์์ง์ด๋ ์๋์ ์ธ ๋ณ์๊ฐ ์์ด์ผ ํ๋ค. ์ด๋ฅผ ์ํ์ฌ Fig. 5
์ ๋ํ๋ธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด VCM์ ํ๋ถ ํ๋ ์ ์์ ์ฅ์ฐฉํ๊ณ , ์์ ๋ฐ
์ ์๋์ ์ฅ์ฐฉ๋ ๋ธ๋ผ์ผ์ ๋ฐ๋๋ก ์ค๊ณํ์๋ค. ์ด ๋, VCM์
๊ตฌ๋๋ ฅ์ ์ํด์ ๋ธ๋ผ์ผ์ด ๋๋ฌด ๋ง์ด ๋ณํ๋๊ฑฐ๋ ๊ณต์ง์ด ๋ฐ์ํ
๋ ๊ฒฝ์ฐ ์ ๋ฐ๋ ํ๋ฝ, ๋ถํ ํ์, ์์ ์ฌ๊ณ ๋ฑ์ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ์ผ๊ธฐํ๋ฏ
๋ก, ์ด๋ฅผ ๋ฐฉ์งํ๊ธฐ ์ํ ์ฌ์ ์ค๊ณ ๊ฒ์ฆ์ด ์๊ตฌ๋๋ค.
ํ์ค์ด ์ธ๊ฐ๋๋ ์์ ๋ฐ ๋ธ๋ผ์ผ์ ์ค๊ณ์์ ๊ฒ์ฆํ๊ธฐ ์ํ์ฌ
ANSYS Workbench v16.2 ์ํํธ์จ์ด๋ฅผ ์ด์ฉํด ์ ํ์์ ํด์์
์ํํ์๋ค. ์ ์ ํ์ค์ ๋ํ์ฌ ์์ ๋ฐ ๋ธ๋ผ์ผ์ ์ฌ์ง์ ์๋ฃจ๋ฏธ
๋๊ณผ ์คํ ์ธ๋ ์ค ์คํธ๋ก ๊ตฌ๋ถํ์ฌ ๊ฐ๊ฐ์ ๊ฒฝ์ฐ์ ๋ํด ์์ค์ ์
ํ ์ฒ์ง๊ณผ VCM์ ์ต๋ ์ถ๋ ฅ ๊ตฌ๋ ์ ๋ธ๋ผ์ผ์ ๋ณ์๋์ ๊ฒํ ํ
์๋ค. 3,622๊ฐ์ ๋ ธ๋์ 1,636๊ฐ์ ์์๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ๊ฒฉ์๋ฅผ ์์ฑ
ํ์์ผ๋ฉฐ, ์์ ๋ฐ๊ณผ ๋ณผํธ๋ก ์ฒด๊ฒฐ๋๋ ๋ฉด์ ๋ํ์ฌ ๋ณ์๋ฅผ 0์ผ๋ก
์ ํํ์๋ค.
Fig. 6(a)๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ฌ์ง์ ๋ํ ์ ์ ํด์ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ฉฐ, Fig.
6(c)๋ ์คํ ์ธ๋ ์ค ์คํธ ์ฌ์ง์ ๋ํ ํด์ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ต๋ ๋ณ์๋
์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ 48 ฮผm, ์คํ ์ธ๋ ์ค ์คํธ 32 ฮผm๋ก ์คํธ์ด ์ฐ์ํ ํน
์ฑ์ ๋ณด์๋ค. ์๋ฃจ๋ฏธ๋์ ์ต๋ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ 2.65 MPa๋ก ๊ทนํ๊ฐ๋
์ธ 310 MPa ๋๋น ์ฝ 0.85%์ ํด๋นํ๋ ์์น๊ฐ ๋ฐ์ํ์๋ค. ์คํ
์ธ๋ ์ค ์คํธ์ ์ต๋ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ 4.45 MPa๋ก ๊ทนํ๊ฐ๋์ธ 505 MPa
๋๋น 0.88%๊ฐ ๋ฐ์ํ์๋ค. Figs. 6(b)์ 6(d)์ ๋์ผํ ์กฐ๊ฑด์์
์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ฌ์ง๊ณผ ์คํ ์ธ๋ ์ค ์คํธ ์ฌ์ง ์ ์ฉ ์ ์๋ ฅ ํด์ ์ํ
๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ๊ฐ ๋ํ๋ด์๋ค.
๊ณต์ง ๋๋ ๋ฐ๋ณต ๊ตฌ๋์ ์ํ ๋์ ํ์ค์ ๋ํ์ฌ Harmonic
Response ํด์์ ํตํด VCM์ ์ด์ฉํ ์กฐํ๊ฐ์ง ์ ๊ณ ์ ์ง๋์์
10 Hz ์ ๋ ฅ์ ๋ํ ๋ณ์๋์ ๊ฒํ ํ์๋ค. ๊ณ ์ ์ง๋์์ ๊ฒฝ์ฐ, ์
๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ฌ ์ง์ 120.25 Hz์ด๋ฉฐ, ์คํธ์ 118.75 Hz๋ก ์ ์๋ฏธํ ์ฐจ
์ด๋ฅผ ๋ณด์ด์ง ์์๋ค. 10 Hz ๊ฐ์ง ์ ๋ณ์๋์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ 25.8 ฮผm,
์คํธ 8.9 ฮผm๋ก ์ ์ ํด์๊ณผ ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง๋ก ์คํธ์ด ๋ ์ฐ์ํ ํน์ฑ์
๊ฐ์ง๋ ๊ฒ์ ํ์ธํ์๋ค. ์์ ๋ฐ ๋ธ๋ผ์ผ์ ๋ฏธ์ธํ ๋ณํ์ VCM
๋ฐ๋ณต ๊ตฌ๋ ์ ๊ธฐ์๋ณ์๋ฅผ ์ ๋ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ์คํธ์ ์ฌ๋ฃ๋ก ์
์ ํ์๋ค. Figs. 7๊ณผ 8์ ์ฃผํ์ ์๋ต๊ณผ 10 Hz ๊ฐ์ง์กฐ๊ฑด์์ ๋ฐ์
ํ๋ ๋ชจ๋ ํ์์ ํ๊ธฐํ์๋ค.
Table 1 Specifications of voice coil motor
Item Unit Value
Stroke mm 10
Continuous force N 152.67
Peak force N 610.68
Table 2 Specifications of non-contacting displacement sensor
Item Unit Value
Range ยตm ยฑ500
Bandwidth kHz 1.0
Resolution Nm 5.7
Output signal V ยฑ10 (Analog)
Fig. 6 Result of finite elements analysis for (a) deformation, (b) equivalent stress of AL6061, (c) deformation, (d) equivalent stress of SUS304
ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ June 2017 / 435
4. ์ง๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ์ ์ ์ด
์ง๋ ์ ๊ฐ ์ ์ด๋ฅผ ์ํด์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ, ์์ ๋ฐ์ ๋น๋กฏํ ๋
์ ์์คํ , ์ธ๋๊ณผ ์ ์ด๊ธฐ๋ฅผ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ๋ค. ์ธ๋์ ์์ ๊ธฐ์ ํ
์์คํ ์์ ๊ธฐ๊ตฌ๋ค์ ๊ฐ๊ฐ์์์ํ๋ค. ์ด๋ฌํ ์ธ๋์๋ ๋ถ๊ตฌํ
๊ณ ๋์ ์์คํ ์ ์ด๋์ ์์ ๋ ๊ฒ์ด ๋ชฉ์ ์ด๋ค.
์ง๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ์ ์ค์๊ฐ ์ ์ด๋ฅผ ์ํ์ฌ Fig. 9์ ์ ์ด์์คํ
์ ๊ตฌ์ฑํ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ์ ๋ฌํจ์ ํํ๋ก ๋ํ๋ด๋ฉด ์๋ ์(2)์
๊ฐ๋ค. ์ด ๋, ์ ์ด๊ธฐ G(s)๋ ์ผ๋ฐ์ ์ธ PID ์ ์ด๊ธฐ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฉฐ, ์
(3)๊ณผ ๊ฐ์ด ๋ํ๋ผ ์ ์๋ค.
(2)
(3)
์ค์๊ฐ ์ ์ด๊ธฐ๋ Deltatau็คพ์ PowerPMAC์ ์ฌ์ฉํ์์ผ๋ฉฐ,
์ฃผ์ ์ฌ์์ Table 3์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ ์ด๊ธฐ์ ๋น์ ์ด ๋ณ์์ผ์์
์ฌ์์ผ๋ก๋ถํฐ, ADC (Analog to Digital Converter)๋ฅผ ํตํด ์ ๋ ฅ
๋๋ ๋ณ์ ์ ํธ์ ๋ถํด๋ฅ์ 15 nm์ด๋ค. ์ ํด์ํ์์ ๋ณ๋์ ๋ ธ
์ด์ฆ๋ ๊ฒ์ถ๋์ง ์์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ Table 2์ ์ ์ํ ์ผ์์ ๋ถํด๋ฅ
์ด ADC์ ๋ถํด๋ฅ ๋๋น ์ถฉ๋ถํ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ธ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ธ๋ค.
์ ์ด ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ PowerPMAC์ ๋ด์ฅ๋ PID ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ ์ฌ์ฉ
ํ์์ผ๋ฉฐ, ์ํ์ฐฉ์ค๋ฒ์ ํตํ์ฌ ๋ ๊ฐ์ VCM์ ๋ํ ์ด๋์ ์
๋ก ๋ค๋ฅด๊ฒ ์ ์ฉํ์๋ค. Table 4์ ๊ฐ๊ฐ์ ์ด๋์ ํ๋ก ๋ํ๋ด์๋ค.
x s( )
d s( )----------
P s( )
1 R s( )G s( )+-------------------------------=
G s( ) Kp
KI
S----- KDS+ +=
Fig. 7 Frequency response using finite elements analysis for (a)
AL6061, (b) SUS304
Fig. 8 Harmonic response to 10 Hz excitation from finite elements
analysis for (a) AL6061, (b) SUS304
Fig. 9 Block diagram of control system
Table 3 Specifications of real-time controller
Component Details
CPU, EP460EX 800 MHz, 1 GB RAM
DAC, ACC-24E3 6 CH, 16 bits Output
ADC, ACC-28EP 6 CH, 18 bits Input
Table 4 Gains for PID controller
VCM1 VCM2
KP 12 KP 10
KI 0.1 KI 0.12
KD 0.1 KD 0
436 / June 2017 ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ
5. ์คํ
์ด ์คํ์ ๋ชฉ์ ์ Fig. 1๊ณผ ๊ฐ์ ๋ฆฌ๋์ด ๋ชจํฐ์ ๊ตฌ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ์ธ
๋ ํน์ ์ธ๋ถ ์ง์์ ๋ํด์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ๊ฐ ์ผ๋ง๋ ์์ ๋ฐ์
์์ ์ํค๋๊ฐ๋ฅผ ํ์ธํ๋ ๊ฒ์ด๋ค. ์์์ ์์ ํ ๋ฐ์ ๊ฐ์ ์์ค
ํ ์ ๊ตฌ๋์กฐ๊ฑด์ ๋ํด์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ๊ธฐ๊ตฌ๋ฅผ ๊ฐ๋ํ๋ฉด์ ์์ ๋ฐ์
์ง ๋์ ์ธก์ ํ์๋ค. ์ด๋ ์ญ์ ์์ ์ ์ํ ์ง๋ ์ ๊ฐ ์ ์ด๋ฅผ ์
์ฉํ์๋ค. Fig. 10์ VCM์ ๊ตฌ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ์์ ๋ฐ ๋ณ์์ ์ฃผํ์
์๋ต์ ๋ํ๋ด์๋ค.
10.6 Hz์์ Cutoff Frequency์ ํด๋นํ๋ -3 dB๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฉฐ, ์ด
๋ 10.6 Hz ๋ฏธ๋ง์ ์๋ ์์ญ์์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น๊ฐ ์ ์์ ์ผ๋ก
๊ตฌ๋๋จ์ ์๋ฏธํ๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ๊ณต๊ธฐ ์คํ๋ง์ ์ทจ์ฝ ๊ตฌ๊ฐ์ธ 10 Hz
๋ฏธ๋ง์ ์ง๋์ ๋ณด์ํ ๊ธฐ ์ํ ์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น์ ์ค๊ณ ํ๋น์ฑ์
๊ฒ์ฆํ์๋ค.
์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น์ ์ํด ๋ณด์๋ ์์ ๋ฐ์ ๋ณ์ ๊ทธ๋ํ๋ฅผ Fig.
11์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ต๋ ๋ณ์์ฐจ๋ 328 ฮผm๋ก ๋ฏธ๋ณด์ ์ 552 ฮผm ๋
๋น ์ฝ 59%๋ก ๊ฐ์ํ์๋ค. ์๋ํ ์ ์ง๋ ๋จ๋ ์ฌ์ฉ ์ ์ด์ก ์ ํ
์ ๋ณ์ ์ฐจ๊ฐ ์ฝ 160 ฮผm ๋ด์ธ๋ก ์ง์๋๋ ๊ฒ๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ, ์ด์ก ์ฅ์น
์ ๊ฐ๊ฐ์์ด ์ข ๋ฃ๋ ์์ ์ผ๋ก๋ถํฐ 0.25์ด ๋ด์ 5.0 ฮผm์ด๋ด๋ก ๋ณ
์๊ฐ ์๋ ดํ์๋ค.
6. ๊ฒฐ๋ก
LDI ๋ ธ๊ด๊ธฐ์ฉ ์ด์ ๋ฐ ์คํ ์ด์ง์ ์ ๋ฐ๋ ํฅ์์ ์ํ ์ง๋ ์
๊ฐ ์ฅ์น๋ฅผ ์ค๊ณํ๊ณ ๊ฒ์ฆํ์๋ค. ์ ํ์์ ํด์๊ณผ ์คํ์ ํตํด ์ง
๋ ์ ๊ฐ ์ฅ์น์ ๊ตฌ์กฐ์ ์์ ์ฑ๊ณผ ์ฃผํ์ ์์ญ์์ ์๋ ๋ฒ์๋ฅผ
๊ฒ์ฆํ์๋ค. ์์ ๋ฐ์ ์ต๋ ๋ณ์๋ ์ฝ 41% ๊ฐ์ํ์์ผ๋ฉฐ, ๋ฑ์
๋๋ ์ ์ง ๊ตฌ๊ฐ์์ ์์ ๋ฐ์ ๋ณ์๊ฐ 5.0 ฮผm ์ด๋ด์ ์๋ ดํ์ฌ ์
์ ํ ๋๋ ์๊ฐ์ 0.25์ด์์ ํ์ธํ์๋ค.
7. ํ ์
๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์์ ์ ์ํ๋ VCM์ ์ด์ฉํ 2์์ ๋ ์ง๋ ์ ๊ฐ ๋ฉ์ปค
๋์ฆ์ ๋์ผํ ์์ค์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ 6์์ ๋ ๋ฅ๋ ์ ์ง๋ ๋๋น
๋น์ฉ ์ธก๋ฉด์์ ์ฅ์ ์ด ์์ผ๋ฏ๋ก ์ ์ง ์์คํ ์ ์์ฉํ ์ธก๋ฉด์์
ํฐ ์ฅ์ ์ด ์๋ค. ๋ํ, ๋ ์ด์ ๊ฐ๊ณต ์ฅ๋น ๋ฐ ๋น์ ์นด๋ฉ๋ผ๋ฅผ ์ด์ฉํ
๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น ๋ฑ Step & Scan ๋ฐฉ์์ ์ฌ์ฉํ๋ ๋ค์ํ ์ฅ๋น์๋ ๋
์ผํ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ์ ์ฉํ ์ ์๋ค. ๋ณด๋ค ๋์ ๊ฐ์๋ ์ ์ฉ๊ณผ ์์ ํ
์๊ฐ ๋จ์ถ ๋ฑ์ ์ง๋ ์ ๊ฐ ์ฑ๋ฅ ๊ฐ์ ์ ํตํด Step & Scan ๋ฐฉ์์
๊ฐ๊ณต ์ฅ๋น์์ ๋ ๋์ ๊ฐ๊ณต์์ญ์ ์ ๊ณตํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋๋ฆด๋ง ์ฅ
๋น์ ๊ฐ์ Step & Repeat ๋ฐฉ์์ ๊ณต์ ์์ ์๋ฅ ์ง๋์ผ๋ก ์ธํด
ํ๊ณ๊ฐ ์์๋ ๊ฐ ์ง์ ๊ฐ ์ด๋ ์๊ฐ์ ๋จ์ถ์ ๊ธฐ๋ํ ์ ์๋ค.
ACKNOWLEDGEMENT
์ด ๋ ผ๋ฌธ์ 2016๋ ๋ ์ ๋ถ(๋ฏธ๋์ฐฝ์กฐ๊ณผํ๋ถ)์ ์ฌ์์ผ๋ก ํ๊ตญ์ฐ
๊ตฌ์ฌ๋จ์ ์ง์์ ๋ฐ์ ์ํ๋ ๊ธฐ์ด์ฐ๊ตฌ์ฌ์ ์ (No. 2014R1A2A1A
10052344).
REFERENCES
1. Lee, S. J., Kim, J. S., Shin, B. C., Kim, D. W., and Cho, M.W.,
โDevelopment of a LDI System for the Maskless Exposure
Process and Energy Intensity Analysis of Single Laser Beam,โ
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology
Engineers, Vol. 19, No. 6, pp. 834-840, 2010.
2. Zhang, Y., Yang, Q., and Bao, G., โNonlinearity Analyses of
Pneumatic Vibration Isolation System with Simple Harmonic
Excitations,โ Proc. of the 3rd International Conference on
Computer Science and Information Technology, pp. 814-817,
2010.
3. Kim, M. H., Kim, H. Y., Kim, H. C., Ahn, D. H., and Gweon,
D. G., โDesign and Control of a 6-DOF Active Vibration
Isolation System Using a Halbach Magnet Array,โ IEEE/ASME
Transactions on Mechatronics, Vol. 21, No. 4, pp. 2185-2196,
2016.
Fig. 10 Frequency response of granite using voice coil actuators for
excitation
Fig. 11 Performance of vibration reduction: Temporal response to
disturbance
ํ๊ตญ์ ๋ฐ๊ณตํํ์ง ์ 34๊ถ ์ 6ํธ June 2017 / 437
4. Hong, J. P. and Park, K. H., โDesign and Control of Six Degree-
of-Freedom Active Vibration Isolation Table,โ Review of
Scientific Instruments, Vol. 81, No. 3, Document ID: 035106,
2010.
5. Shahadat, M., Mizuno, T., Ishino, Y., and Takasaki, M., โActive
Vibration Isolation Using Negative Stiffness and Displacement
Cancellation Controls: Comparison Based on Vibration Isolation
Performance,โ Control Engineering Practice, Vol. 37, pp. 55-66,
2015.
6. Nguyen, D. C. and Ahn, H. J., โA Fuzzy-P Controller of an
Active Reaction Force Compensation (RFC) Mechanism for a
Linear Motor Motion Stage,โ Int. J. Precis. Eng. Manuf., Vol. 16,
No. 6, pp. 1067-1074, 2015.
7. Hong, S. T., โA Study on Analysis of Ultra Precision Stage and
Vibration Reduction Device for Design of Reaction Force
Compensator,โ M.Sc. Thesis, Department of Mechanical
Engineering, Ajou University, 2016.