14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0...

54
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Upload: others

Post on 19-Mar-2020

7 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 2: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 3: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 4: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 5: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 6: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 7: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 8: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 9: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 10: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 11: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 12: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 13: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 14: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 15: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 16: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 17: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 18: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 19: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 20: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 21: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 22: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 23: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 24: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 25: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 26: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 27: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 28: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 29: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 30: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 31: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 32: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 33: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 34: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 35: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 36: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 37: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 38: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 39: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 40: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 41: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 42: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 43: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 44: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 45: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 46: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 47: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 48: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 49: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 50: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 51: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 52: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 53: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Page 54: 14644-3-2007, ' 8 A B K 5 ? > < 5 I 5 = 8 O 8 A 2 O 7 0 ...cleanroom-technology.ru/uploads/files/gost14644-3.pdf14644-3-2007, ' 8 a b k 5 ? > < 5 i 5 = 8 o 8 a 2 o 7 0

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007, Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытанийCleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods