’’0101 年 年 0606 月 月 029029 日日

300mm 300mm 팀팀

목 차 1. Why IGS must be used ?2. 기본 구성 차이3. Kinetics4. Benkan5. Fujikin6. Flow Path 비교7. Seal Type 비교8. 기술 검토서

검토 의견 :

직위 /성명 양승윤 DL

보존년한 보안등급

결재

일 자

기 안 검 토 승 인

Integrated Gas Box System(IGS)

◈ Benkan

▶ 유지 보수의 용이성

▶ 최소의 밀폐부위 , 경량화 , 소형화

▶ 최소의 구성 부품수 , 생산 기간 단축

▶ 경비 절감

▶ Line-Heating 의 용이성

▶ 고성능성 , 신뢰성 향상

◈ Kinetics

▶ Smaller →Reduces gas systems footprint by up to 50% ▶ Better →Improves reliability, maintainability, leak integrity and dry-down time ▶ Faster →Reduces assembly time by 50% ▶ Cheaper →Saves up to 33% in installation Cost of facility gas systems

1. Why IGS must be used ?

▶ Improve Basic Technology →Safety and Clean Technology ▶ Miniaturization → Use of UPG & W-Seal Technology → Reduce Size of Actuator( 35mm to 25mm) ▶ Increase Reliability → Use of UPG & W-Seal Technology ▶ Simple to Make & Maintain → All Top Mount Components → Uniform Connections → Easier to Heat ▶ Promote Standardization → Full Line-up of Standard Components → Standardize Design & Assembly with Flexibility → Reduce Leadtime with Standard Parts ▶ Cost Reduction → Reduced Overall Cost Through Standardization, Increased Reliability, and Ease of Assembly.

◈ Fujikin

What is the difference between "modular," "topmount" or "surface mount" gas systems?The words "topmount" and "modular" and "surface mount" have slightly different meanings but, in common usage when referring to semiconductor gas systems, they all refer to the same type of system.  The most common usage is either "modular surface-mount" (MSM) or "topmount." 

VALVE VALVE VALVE

1. Maker별 기본 구성 차이Kinetics Benkan Fujikin

Base Plate

Block

Sealing

Valve(Component)

◈ Valve(Component) *. Valve Maker 에서 IGS 에 따라 별도 제작함 *. 고정부 :(2 가지 Type) - Bolt 4 개로 고정형 - Valve 에 나사산이 있어 직접 체결되는 방식 :Benkan(Center Lock System)◈ Sealing *. Valve 부와 Block 간의 연결 Point *. Maker 별 차이 - Kinetics : C-seal - Fujikin : B-seal - Benkan : VCR-Type( 기존 방식 ) ◈ Block *. Valve 와 Valve 의 연결 통로가 구성되어 있음 . - 용접형과 비용접형이 有 *. Heating Point◈ Base Plate *. Block 들을 고정시켜 주는 역할

2. Kinetics

▶ IGS →K1S

☞ IGS : Integrated Gas System(UNIT社 )☞ K1S : IGS의 45% Shrink Block간 연결 Gasket 제거

▶ C-Seal

3. Benkan

▶ BIS →BIS-f

☞ BIS : Benkan Insert System☞ BIS-f : New version

▶ VCR-Type Gasket

-. Only Benkan Valve-. Needs Special Valve Fixing Tool-. Valve 를 회전시켜 고정-. Cross Connecting : 상부-. MFC 의 경우 기존 VCR Gasket 사용

4. Fujikin

▶ Why choose the Fujikin W-Seal and IGS?

• 100% Top-Mounting Reduced Number of Sealing Points• Highly Configurable• Only One • W-Seal Gasket Type Required

5. Flow Path 비교

Kinetics (K1S) Fugikin (IGS) Benkan(BIS)

Kinetics (K1S) Fugikin (IGS) Benkan(BIS)

6. Seal Type 비교

-. Dead Space 無

업체ITEM

공식 명칭 K1S BIS IGSSeal 방법 및 특징 C Seal 이용 Plug - in (B Seal)구조 W Seal 이용 Plug- in 구조가 작업자

유지 보수 편리성 구현 유지 보수시 편리성 구현 유지 보수시 편리성 구현 실수를 최소화 할 수 있다Bolt 로 고정을 함으로써 작업자 실수 최소화 Bolt 로 고정을 함으로써 작업자에 따라 실수 가는성이 블록 축심부 연결부 없음 작업자에 따라 실수 가는성이 .있다 - Leak Point 최소화 .있다

Mater ia l 특징 wt % 316L(VIM/BAR),S:0.03,Mn:2.0 316L(ViM/BAR) ,S: 0.001, Mn:0.7 316L(ViM/BAR),S:0.003,Mn:0.4 S,Mn 함유량이 적어야 한다 μin Rmax : 20, Ra : 5 Rmax : 40 , Ra : 4 Rmax:27 , Ra: 4Body 형태 특징 23 All Panel 종류로 구성 가능 5 All Panel 종류로 구성 가능 11 All Panel 종류로 구성 가능

Parts Handling 각 매우 편리 Stock 관리 유리 Parts Handling 각 매우 편리 Parts Handling 각 매우 편리

Size Performance관련 Volum : 내부 중 Volum : 내부 최소 Volum : 내부 대Size : 소 Size : 중 Size : 대

Welding Point 관련 70% 감소율 70 % 감소율 75 % 감소율 Parts 각종 대응성 Parts 모든 업체 대응 가능 Parts 대부분 대응 가능하나 Parts 대부분 대응 가능하나 Parts 모든 적용 가능 유리

V/V Benkan V/V 는 에 극한됨 V/V Fujikin V/V 는 에 극한됨Temp Contro l Insert Type 으로 유지 불편하나 Pad Type 으로 유지 편리 Pad Type 으로 유지 편리

Temp Performance 우수 사양비교에 따른 의견 - AMAT 와 연계되어 있어 - 작업자 실수로 인한 사고를 - Size 타사 제품에 비해 가 커

AMAT 장비에 유력 최소화 할수 있는 구조 Volum 내부 이 크다 - Welding단순화 추구로 인한 - Gas V/V 는 반드시 자사제품

- Open Architecture 채택으로 Point 가 타 제품 보다 多 반드시 장착 Parts 가격 상승 억제 - Gas V/V 는 반드시 자사제품 - Parts특허화된 기술로 각종 - Gas Block 전문업체로 모든 반드시 장착 가격 상승 요인 Parts 종류의 선택 가능 - Parts특허화된 기술로 각종

가격 상승 요인 종합 의견 * 각각의 제품에 대해서 호환이 되지 않기 때문에 향후 유지 보수 측면에서 각 팀에 대한 * SEMI 현재 에서 표준화를

C o st .제품의 선택은 동일해야향 후유지 관 리 절감 , Maker진행 중이며 별로* Maintenace MFC Gasket 장비 입고 후 측며에서 자주 교체하는 의 경우에만 보면 기존 을 대응 중이나 서로의 이권 BENKAN .사용하는 제품이 단가 측면에서 유리하다고 판단됨 이 있어 표준화는 곤란

하다고 판단됨

KINETICS BENKAN FUJIKIN REMARK

7. IGS 기술 검토서