기판 (substrate)

도가니

증발 입자

1) 용기내의 방사형 열 이동에 의한 가스 온도의 계산2) 용기 벽과 기판 (substrate) 에 대하여 방사형 열 이동에 대한 열 흐름 (flux) 의 계산

가스 온도 ?

신규모듈 : 2-D RHT (Radiative Heat Transfer)

Substrate

Crucible

Evaporation particles

1) Calculate gas temperature by radiative heat transfer in the chamber.2) Calculate heat flux by radiative heat transfer to the substrate and the chamber wall.

Gas temperature