Определение ширины запрещённой зоны...

25
1 Лабораторная работа № 40 Определение ширины запрещённой зоны полупроводника Цель работы: определить ширину запрещённой зоны полупроводника по температурной зависимости электропроводности. Сравнить результат измере- ний с табличным значением. Теория Дискретные уровни энергии электрона в атоме. Рассмотрим вначале с точки зрения классической механики взаимодействие электрона с положи- тельным зарядом атомного ядра. 1 Т.к. сила электростатического взаимодейст- вия центральна, то сохраняется полный момент импульса электрона M (в кван- товой механике момент импульса принято обозначать этой буквой). Сохраня- ется и полная энергия электрона 2 2 () 2 кин E E r m Zq r U v , где 2 2 кин E m v - кинетическая энергия, m - масса, v - скорость электрона, 2 () r Zq r U - потенциальная энергия взаимодействия заряда электрона ( ) q с зарядом ядра Zq , Z - атом- ный номер, r - расстояние от электрона до то- чечного ядра. Разложим вектор скорости электрона v , касательный к траектории, на две ортогональ- ные компоненты: радиальную r v и азимутальную a v (рис. 1). Азимутальную можно выразить через момент импульса: , sin , a a M r p M mr mr M mr v v v Тогда кинетическая энергия 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 r a r m m m m M mr v v v v 1 Автор не успел прочитать этот материал своим студентам в 1-м семестре, поэтому включил его сюда. r v a v v r Zq q Рис. 1

Upload: others

Post on 12-Oct-2020

10 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

1

Лабораторная работа № 40

Определение ширины запрещённой зоны полупроводника

Цель работы: определить ширину запрещённой зоны полупроводника по

температурной зависимости электропроводности. Сравнить результат измере-

ний с табличным значением.

Теория

Дискретные уровни энергии электрона в атоме. Рассмотрим вначале

с точки зрения классической механики взаимодействие электрона с положи-

тельным зарядом атомного ядра.1 Т.к. сила электростатического взаимодейст-

вия центральна, то сохраняется полный момент импульса электрона M (в кван-

товой механике момент импульса принято обозначать этой буквой). Сохраня-

ется и полная энергия электрона

2 2( ) 2кинE E r m Zq r U v ,

где 2 2кинE m v - кинетическая энергия, m -

масса, v - скорость электрона, 2( )r Zq r U -

потенциальная энергия взаимодействия заряда

электрона ( )q с зарядом ядра Zq , Z - атом-

ный номер, r - расстояние от электрона до то-

чечного ядра.

Разложим вектор скорости электрона v ,

касательный к траектории, на две ортогональ-

ные компоненты: радиальную rv и азимутальную av (рис. 1). Азимутальную

можно выразить через момент импульса:

, sin ,a aM r p M m r mr M mr v v v

Тогда кинетическая энергия

2 2 2 2 2 22 2 2 2 2r a rm m m m M mr v v v v

1 Автор не успел прочитать этот материал своим студентам в 1-м семестре, поэтому включил его сюда.

rv

av

v

r

Zq

q

Рис. 1

Page 2: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

2

Полная энергия 2 2 22 2 ( )rE m M mr U r v . Таким образом, движение

электрона в центральном поле можно представить как одномерное движение

вдоль r с эффективной потенциальной энергией 2 22 ( )эфф M mr U r U , гра-

фик которой изображён на рис. 2. Если полная энергия положительна, то элек-

трон может оторваться от ядра, уйти на беско-

нечность, движение электрона инфинитно. Ес-

ли же 0E , то движение электрона финитно,

т.е. происходит в ограниченном пространстве.

Области, отмеченные штриховыми линиями,

классическому электрону недоступны, т.к. в

них потенциальная энергия превышает пол-

ную.

Контрольные вопросы

1. Какие величины сохраняются при движении электрона в классическом

атоме водорода?

2. При какой полной энергии электрон связан с ядром классического

атома водорода?

3. Зависит ли полная энергия электрона в классическом атоме водорода

от ориентации его орбитального момента импульса, т.е. от ориентации

классической орбиты?

С точки зрения квантовой (волновой) механики, связанное движение

электрона в атоме схоже со стоячей волной. Вспомните лабораторную работу

№ 24 "Волны на струне". Стационарные колебания большой амплитуды возни-

кали, если на длине струны L укладывалось целое число по-

луволн

2, 1, 2, 3L n n

Выясним физический смысл этого условия. Рассмот-

рим смещение струны в какой либо плоскости AB (рис. 3).

Гармоническая волна, например, бегущая вправо, последова-

r

21 r

1 r0E

0E 0

эффU

Рис. 2

Рис. 3

L

B

A

Page 3: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

3

тельно отражается от концов струны и складывается в плоскости AB с первич-

ной волной, проходящей эту плоскость в более поздний момент времени.

Большая амплитуда суммарной волны возможна только том случае, если со-

ставляющие волны складываются в фазе. Т.е. набег фазы при циклическом об-

ходе струны должен быть кратен 2 :

2 2L n L n

При любом другом значении разность фаз многократно отражающихся бегу-

щих волн будет меняться в пределах от 0 до 2 , поэтому результирующая ам-

плитуда не будет максимальной.

В квантовой механике движению микрочастицы с импульсом p соответ-

ствует длина волны h p (де Бройль), h - постоянная Планка. В модели

атома Бора постулировались только те круговые орбиты, на которых укладыва-

ется целое число . Определённым значениям соответствуют определённые

значения импульса p , а через импульс и определённые значения энергии E .

Полученный на основе такой полуклассической модели энергетический спектр

электрона соответствовал экспериментальным спектроскопическим данным. На

рис. 4 слева показан дискретный набор отрицательных уровней энергии в атоме

водорода2:

2, 1, 2, 3 ,nE R n n R 13,6 эВ, 1 эВ = 1,610-19

Дж.

Здесь n - главное квантовое число. Энергия ионизации iE =13,6 эВ (электрон-

вольт) – минимальная энергия, которую необходимо сообщить невозбуждённо-

му атому водорода для отрыва электрона.

В рамках более общей теории волновой функции электрон, как волна,

может быть обнаружен на любом расстоянии от ядра, однако существуют об-

ласти, в пределах которых его обнаружение наиболее вероятно. На рис. 4 спра-

ва для нижних трёх уровней энергии показаны радиальные распределения ве-

роятности ( )dP r обнаружения электрона в сферическом слое бесконечно малой

толщины dr вокруг ядра. Максимумы этих кривых примерно соответствуют

классическим траекториям, однако в квантовой механике принято говорить об

2 Постоянная Ридберга, пропорциональная R , также обозначается этой буквой.

Page 4: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

4

электронном облаке. С ростом энергии размеры электронного облака увеличи-

ваются3.

В водородоподобных ионах с одним электроном ( 3, ,He Li Be и т.д.)

структура уровней энергии электрона отличается от водородной только мас-

штабом: 2

nE ZR n , где Z - атомный номер.

В многоэлектронных атомах

электроны распределены по электрон-

ным оболочкам – группам близко рас-

положенных уровней с определёнными

значениями квантовых чисел. Как и в

атоме водорода, чем больше энергия,

тем больше размер электронного обла-

ка. Взаимное отталкивание электронов

ослабляет их притяжение к ядру, так

что электроны внешних электронных

оболочек взаимодействуют с ядром го-

раздо слабее, чем внутренних. Энергия связи с ядром у электронов внутренних

оболочек достигает 102 ÷ 10

4 эВ, тогда как у внешних она порядка 10 эВ. По-

этому большинство свойств атомов (химических, электрических) определяется

строением внешних электронных оболочек.

Контрольные вопросы

4. На примере колебаний струны объясните квантование волны, сущест-

вующей в ограниченном пространстве.

5. Какие орбиты электрона постулировались в модели атома Бора? На-

пишите формулу де Бройля. Как она объясняет квантование энергии

электрона?

6. Напишите формулу энергетического спектра электрона в бОровской

модели атома водорода, нарисуйте схему уровней.

3 В учебниках обычно приводят графики или картинки распределения плотности вероятности, не обращаю-

щейся в нуль при 0r , однако полная вероятность dP , пропорциональна 2

r dr , обращается в нуль: электрон

не может упасть на ядро.

-13,6

-3,4

-1,5

0

( )E эВ

3n

2n

1n

n

r r

dP

iE

Рис. 4

Page 5: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

5

7. Нарисуйте графики электронного облака атома водорода для несколь-

ких значений главного квантового числа.

8. Чем определяются химические и электрические свойства многоэлек-

тронных атомов? Почему?

Расщепление уровней энергии. Вспомним лабораторную работу № 20

"Связанные маятники". Вначале выравнивались длины маятников, чтобы часто-

ты гармонических колебаний изолированных маятников совпадали. В таком

случае говорят, что маятники вырождены по частоте. Однако потом, когда ма-

ятники связывали пружиной, гармонические колебания возникали на двух раз-

ных частотах. Это очень общее явление: связь колебательных систем приводит

к снятию частотного вырождения, к расщеплению нормальных частот. И чем

сильнее связь, чем сильнее растягивалась пружина, тем больше расщепление

.

Список взаимодействий, приводящих к расщеплению атомных уровней

энергии, обширен: внешние поля, межэлектронное взаимодействие в атоме.

Даже в атоме водорода возникает слабое расщепление (тонкая структура), вы-

званное спин-орбитальным взаимодействием электрона "с самим собой": внут-

ренний магнитный момент электрона взаимодействует с магнитным полем,

создаваемым током электронного "витка" при движении электрона по орбите.

Применительно к теории электропроводности

кристаллов рассмотрим расщепление, связанное с

межатомным взаимодействием. На рис. 5 показано

расщепление уровней изолированного атома по мере

уменьшения расстояния между атомами a и соответ-

ственно увеличения потенциальной энергии меж-

атомного взаимодействия W . Кристалл – система N

взаимодействующих атомов. Каждый "родительский" уровень изолированного

атома расщепляется на N подуровней. В кристалле размером 1 мм содержится

1019

атомов. При типичном расстоянии между уровнями энергии порядка 1 эВ

расстояние межу подуровнями 10-19

эВ Для сравнения, при температуре T =

N N

N

gE

E

a W

изо

ли

рован

ны

й

атом

кри

стал

л

Рис. 5

Page 6: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

6

300 К энергия теплового движения kT 0,0251/40 эВ. Т.е. в кристалле образу-

ются квазинепрерывные энергетические зоны. Разрешённые зоны энергии раз-

делены запрещёнными зонами. На рис. 5 gE - ширина запрещённой зоны (gap

– щель, зазор, промежуток). Сильнее взаимодействуют внешние электроны

атомов и потому их уровни энергии сильнее расщепляются, так что зоны сосед-

них родительских уровней атома могут перекрываться.

Контрольные вопросы

9. Поясните на примере связанных маятников, что такое расщепление

частот колебаний и что влияет на величину расщепления.

10. Перечислите основные источники расщепления энергетических уров-

ней атомов.

11. Нарисуйте схему образования энергетических зон в кристалле, со-

стоящем из N атомов.

Обобществление электронов в кристалле. Электроны изолированных

атомов "привязаны" к своему ядру. По мере сближения атомов волновые функ-

ции электронов перекрываются всё сильнее, прежде всего внешних электрон-

ных оболочек. На рис. 6а штриховыми линиями

показаны вероятности распределения отдель-

ных электронов, а сплошной линией – резуль-

тирующая вероятность dP обнаружения элек-

трона на бесконечно малом промежутке dr

кристалла. Видно, что электрон с высокой ве-

роятностью может быть обнаружен не только

вблизи ядер, но и практически в любой точке

кристалла. Совокупность свободных электро-

нов в кристалле образует электронный газ.

Это явление можно объяснить и классически. Потенциальные кривые

( )U r отдельных ядер (штриховые линии на рис. 6б) частично накладываются

друг на друга. Результирующая кривая потенциальной энергии (сплошная кри-

вая) понижается: притяжение электрона к ближайшему ядру частично компен-

E

0( )U r

резU

A A

B B Туннельный

переход

Туннельный

переход

dP

Рис. 6

а)

б)

Page 7: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

7

сируется притяжением к соседним ядрам. Поэтому верхняя энергетическая зона

A A оказывается во всём кристалле выше потенциального барьера подобно

области 0E инфинитного движения на рис. 2. Электроны на нижних энерге-

тических зонах B B также могут переходить от атома к атому сквозь потен-

циальные барьеры, но с меньшей вероятностью (туннельный эффект).

Контрольные вопросы

12. Объясните обобществление электронов в кристалле на языке про-

странственного распределения вероятностей обнаружения электронов

13. Объясните образование энергетической зоны свободного движения

электронов в кристалле.

Принцип Паули. Рассмотрим подробнее распределение электронов по

уровням энергии. Могут ли все электроны скопиться на одном, например, ниж-

нем уровне энергии? Какому распределению соответствует минимальная энер-

гия электронов в атоме или кристалле?

На основе изучения атомных спектров Паули сформулировал принцип

запрета: в каждом квантовом состоянии не может находиться более одного

электрона. Под состоянием понимается набор значений квантовых чисел, опре-

деляющих волновую функцию микрочастицы. Квантовое магнитное спиновое

число sm , описывающее проекцию собственного момента импульса (спИна)

zM на выбранную ось, может принимать только два значения 1 2sm , т.е.

2zM h . Поэтому на одном уровне энергии может находиться не более двух

электронов с противоположно направленными спинами.

Принцип Паули позволил объяснить распределение электронов по атом-

ным уровням энергии. В атоме гелия два электрона с противоположными спи-

нами занимают нижний уровень. В атоме лития третий электрон должен уже

занять более высокий уровень. По мере увеличения атомного номера Z элек-

троны последовательно заполняют электронные оболочки. Важно отметить, что

в соответствии с принципом Паули внутренние, заполненные, оболочки содер-

жат чётное число электронов, тогда как на внешней оболочке число электронов

может быть как чётным, так и нечётным.

Page 8: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

8

Контрольные вопросы

14. Сформулируйте принцип Паули.

15. Как принцип Паули объясняет распределение электронов по атомным

уровням энергии? Могут ли все электроны в атоме собраться на одном

энергетическом уровне?

Проводники, диэлектрики, полупроводники. При температуре, близ-

кой к абсолютному нулю, энергия кристалла стремится к минимуму, поэтому

электроны заполняют уровни, начиная с нижнего. На каждом уровне по два

электрона с противоположно направленными спинами. На верхнем занятом

уровне может быть один электрон (рис. 7а).

Таким образом, даже при нуле-

вой температуре кристаллической

решётки электроны обладают нену-

левой энергией хаотического движе-

ния, "носятся как угорелые". Т.е.

электронная температура, как мера

энергии хаотического движения, от-

лична от нуля. Это чисто квантовый

эффект.

Электроны каждого нижнего родительского уровня энергии атома полно-

стью заполняют соответствующую нижнюю энергетическую зону в кристалле:

2 N атомов = 2 N подуровней. Верхняя из полностью заполненных зон на-

зывается валентной зоной. Если же на верхней электронной оболочке атома

только один электрон, то N подуровней верхней зоны они заполнят только на-

половину, т.к. каждый подуровень занимают два электрона.

Создадим в таком кристалле внешнее электрическое поле E . На каждый

электрон это поле действует с силой F q E , изменяющей, по классическим

представлениям, его скорость и энергию. Однако изменение энергии возможно,

если в энергетической зоне, к которой принадлежат данные электроны, есть не-

занятые подуровни. Поскольку расстояние между подуровнями очень мало,

E

0

FE

Зо

на

пр

ово

ди

мо

сти

Вал

ентн

ая

зон

а

Зо

на

пр

ово

ди

мо

сти

Зо

на

пр

ово

ди

мо

сти

Вал

ентн

ая

зон

а

а) б) в)

Рис. 7

gE

Page 9: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

9

достаточно будет слабого электрического поля, чтобы возникло преимущест-

венное направление движения электронов против поля, т.е. электрический ток.

Частично заполненная зона или свободная зона над валентной зоной на-

зывается зоной проводимости. Вещества с частично заполненной энергетиче-

ской зоной должны быть хорошими проводниками. Таковы щелочные металлы

, ,Li Na K , а также , ,Cu Ag Au - у атомов всех этих веществ на внешней элек-

тронной оболочке только 1 электрон.

Хорошей электропроводностью могут обладать вещества, у которых на

верхней электронной оболочке атома находится нечётное число электронов,

например Al . Частично заполненная зона может образоваться и при наложении

свободной и валентной зон, как у бериллия и щелочно-земельных элементов

, ,Ca Sr Ba (рис. 7б).

Теперь рассмотрим случай, когда валентная зона заполнена целиком и

отделена от ближайшей свободной зоны широкой запрещённой зоной gE (рис.

7в). Внешнее электрическое поле, приложенное к такому кристаллу, не способ-

но поднять электроны в вышележащую зону. Внутри же валентной зоны, не со-

держащей ни одного свободного уровня, поле лишь вызовет перестановку элек-

тронов по уровням, что не нарушит симметрию распределения электронов по

скоростям и не создаст направленного движения электронов. Такие вещества

являются непроводниками, т.к. обладают практически нулевой электропровод-

ностью. Условно непроводники по ширине запрещённой зоны делятся на ди-

электрики и полупроводники. У типичных диэлектриков gE 3 эВ. Так, у ал-

маза (углерод – 4 валентных электрона) gE = 5,2 эВ, у корунда 2 3Al O gE = 7

эВ. К полупроводникам относят вещества со сравнительно узкой запрещённой

зоной, gE 1 эВ. У германия (4 электрона) gE = 0,66 эВ, у кремния (4 элек-

трона) gE = 1,08 эВ, у арсенида галлия gE =1,43 эВ.

Page 10: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

10

Контрольные вопросы

16. Нарисуйте и объясните зонно-энергетическую диаграмму

a. проводника (варианты);

b. диэлектрика.

17. Равна ли нулю энергия электронов при нулевой температуре кристал-

лической решётки?

18. Почему зона проводимости так называется?

19. Какова электропроводность кристалла с полностью заполненной

верхней энергетической зоной?

20. Как подразделяют диэлектрики и полупроводники?

Виды полупроводников .

Собственные полупроводники – это химически чистые полупроводни-

ки. При абсолютном нуле температуры зона проводимости такого полупровод-

ника является пустой (рис. 7в), а валентная зона полностью заполнена, все

электроны "заняты" в межатомных связях кристалла, по два электрона на связь

между парой атомов. Поэтому при абсолют-

ном нуле полупроводник является диэлектри-

ком. Ненулевая электропроводность полу-

проводника может возникнуть только под

действием внешнего фактора, способного со-

общить электрону энергию, достаточную для

разрыва валентной связи и его переброса в

другую ячейку кристалла, где все связи заполнены, и этот электрон будет лиш-

ним, т.е. свободным. Такими факторами могут быть облучение светом или ио-

низирующим излучением либо повышение температуры, когда электрон полу-

чает энергию от тепловых колебаний ионной решётки.

При отрыве электрона и его переходе в зону проводимости возникает

дырка – положительный ион кристаллической решётки, незаполненная меж-

атомная связь (рис. 8а) и свободный электронный уровень в валентной зоне

(рис. 8б). На рис. 8 VE - энергия верхнего уровня валентной зоны (valence -

Ge

Ge

Ge

+

Ge

Свободный

электрон

Дырка

gE

CE

VE

FE

E

а) б)

Рис. 8

Ge

Page 11: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

11

способность привлекать), CE - энергия дна зоны проводимости (conductivity -

проводимость). Дырка может блуждать по кристаллу, т.к. место ушедшего

электрона может занять соседний связанный. Под действием внешнего поля

валентные электроны могут переходить на свободный валентный уровень по-

добно электронам в зоне проводимости, т.е. дырки могут создавать электриче-

ский ток. Суммарная сила тока электронов валентной зоны с одним свободным

состоянием равна силе тока, создаваемого одной фиктивной частицей с поло-

жительным зарядом q , помещённой в это состояние. В собственных полу-

проводниках концентрация дырок ip (p – positive, i – intrinsic – присущий,

свойственный) равна концентрации собственных электронов в зоне проводимо-

сти in (n - negativ). Однако вклад дырок в электрический ток меньше, т.к. их

подвижность меньше, чем у электронов проводимости.

Контрольные вопросы

21. Что такое собственный полупроводник?

22. Для собственного полупроводника нарисуйте и поясните

a. Пространственное распределение зарядов и связей в кристалле;

b. Зонно-энергетическую диаграмму при наличии свободных заря-

дов.

Равновесные носители. Генерация – процесс появления свободных но-

сителей при ненулевой температуре кристаллической решётки. Если бы этот

процесс был единственным, то концентрация свободных носителей непрерывно

бы возрастала. Однако вместе с генерацией возникает и рекомбинация – унич-

тожение пары свободных носителей при встрече электрона с дыркой. Сама

возможность установления постоянной концентрации свободных носителей

обусловлена тем, что скорости генерации и рекомбинации по-разному зависят

от концентрации. Предположим, что скорость генерации G , т.е. количество

носителей, возникающих в единице объёма в единицу времени (м-3

с-1

), не

зависит от времени t - горизонтальная прямая на рис. 9. Тогда, если бы свобод-

ные носители не исчезали, их концентрация in линейно росла бы со временем.

Page 12: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

12

Рекомбинация – совмещение двух независимых событий - встреча под-

вижного заряда и подвижной вакансии для этого заряда в

одной элементарной ячейке кристаллической решётки.

Как известно (1-й семестр), вероятность совместного со-

бытия равна произведению вероятностей независимых со-

ставляющих событий. Поэтому скорость рекомбинации R

пропорциональна произведению концентраций свободных

электронов и равной ей концентрации дырок, т.е. 2n (кривая на рис. 9)

4. Точ-

ка пересечения скоростей генерации и рекомбинации есть точка равновесия,

определяющая концентрацию равновесных носителей.

Другие способы генерации: под действием света (лаб. раб № 42) или ио-

низирующих частиц (лаб. раб. 10, 11, 12 практикума ФТФ), введения (инжек-

ции) через контакт с другим материалом (лаб. раб. № 44). Возникающие при

этом дополнительные носители называются неравновесными.

Поскольку для генерации требуется дополнительная энергия, то при об-

ратном процессе, рекомбинации, энергия выделяется, например, в виде тепла

(безызлучательная рекомбинация) или кванта света (излучательная рекомбина-

ция). Действие светодиодов основано на излучательной рекомбинации.

Контрольные вопросы

23. Что такое генерация и рекомбинация в кристаллах?

24. Что такое равновесие носителей, почему оно возникает?

25. Перечислите способы генерации неравновесных носителей.

26. Типы рекомбинации носителей в кристалле.

4 Автор сначала догадался сам, а потом увидел это в английской Википедии

t

R

G

3 1, ( )G R м c

Рис. 9

Page 13: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

13

Примесные полупроводники n - типа (донорные, электронные).

Предположим, что в кристалле четырёхвалентного германия часть атомов

замещена атомами пятивалентного мышьяка (рис. 10а). Для установления свя-

зей с соседями атом мышьяка

расходует четыре валентных

электрона. Пятый электрон в об-

разовании межатомных связей

не участвует. Доля примеси в по-

полупроводниках меняется в

пределах 10-9

÷ 10-3

, т.е. расстоя-

ние между атомами примеси в

3 3 9 310 10 10 10 раз меньше,

чем между атомами основного

вещества. Поэтому атом примеси

окружён атомами основного ве-

щества, можно считать, что он

погружён в диэлектрик. Диэлектрическая проницаемость германия =16, сле-

довательно, пятый электрон движется в поле иона мышьяка, ослабленном в

раз, радиус его орбиты, точнее, размер области локализации электрона в раз

больше, чем в изолированном атоме. Энергия связи электрона с ядром, энергия

ионизации примеси DE 0,01 эВ сравнима с энергией теплового движения

атомов. Поэтому при 0T высока вероятность отрыва пятого электрона и пре-

вращения его в свободный электрон проводимости (рис. 10в).

Примеси, являющиеся источником электронов проводимости, называют-

ся донорами ( D - donate - дарить). Полупроводник, содержащий такую примесь,

называется электронным или n - типа, а также донорным. При низкой темпера-

туре, когда концентрация примесных подвижных электронов намного больше

концентрации собственных электронов и дырок, примесные носители называ-

ются основными, а дырки – неосновными. При высокой температуре концен-

трация собственных подвижных носителей резко возрастает, поэтому разделе-

ние на основные и неосновные носители теряет смысл.

Ge

Ge

Ge

As

Ge

r

5-й электрон As

Ge

Ge

Ge

+

Ge

Свободный

электрон

gE

VE

FE CE

DE DE

а) б)

gE

VE

FE CE

DE DE

г) в)

0T

0T

Рис. 10

As

Донорные

уровни

Донорные

уровни

Page 14: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

14

На языке зонной теории: энергетические уровни пятого электрона атомов

мышьяка DE расположены в запрещённой зоне атомов германия вблизи дна зо-

ны проводимости CE (рис. 10б) на расстоянии DE 0,01 эВ. Атомы примеси

между собой слабо взаимодействуют (см. выше), расщепление примесных

уровней намного меньше, чем у германия, поэтому эти уровни обычно изобра-

жают как единый уровень. Образующиеся при переходе донорных электронов в

зону проводимости положительные ионы мышьяка неподвижны и в проводи-

мости не участвуют.

Контрольные вопросы

27. Какие примеси превращают германий в донорный полупроводник?

28. Для донорного полупроводника нарисуйте и поясните пространствен-

ное распределение зарядов и связей в кристалле, а также зонно-

энергетическую диаграмму 0T и при 0T .

29. Назовите основные и неосновные носители в донорном полупровод-

нике.

Примесные полупроводники p - типа (акцепторные, дырочные).

Предположим, что в решётке германия часть атомов замещена атомами

трёхвалентного индия (рис. 11а). Для образования связей с четырьмя ближай-

шими соседями атому индия не хватает электрона. Этот электрон может перей-

ти от атома германия, в результате образуется неподвижный отрицательный

ион индия и положительная дырка - незаполненная связь у атома германия

(рис. 11в). Поскольку для перехода электрона ему достаточно сообщить энер-

гию ионизации примеси AE 0,01 эВ, сравнимую с тепловой энергией атома,

эта дырка может блуждать по кристаллу.

На языке зонной теории: незаполненные электронные уровни AE индия

располагаются в запрещённой зоне германия на расстоянии AE от верха ва-

лентной зоны VE (рис. 11б). Электроны, перешедшие на эти уровни из валент-

Page 15: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

15

ной зоны германия, связываются атомами индия и в проводимости не участву-

ют. Подвижными носителями являются дырки в валентной зоне (рис. 11г).

Примеси, захватывающие

электроны из валентной зоны полу-

проводника, называются акцептор-

ными (Accept - принимать), а энер-

гетические уровни этих примесей –

акцепторными уровнями. Полупро-

водник, содержащий акцепторные

примеси, называют дырочным по-

лупроводником или p - типа, а так-

же акцепторным. Основными носи-

телями в акцепторном полупровод-

нике являются дырки, а неоснов-

ными – электроны.

Контрольные вопросы

30. Какие примеси превращают германий в акцепторный полупроводник?

31. Для акцепторного полупроводника нарисуйте и поясните пространст-

венное распределение зарядов и связей в кристалле, а также зонно-

энергетическую диаграмму 0T и при 0T .

32. Назовите основные и неосновные носители в акцепторном полупро-

воднике.

Энергетическое распределение электронов. Как мы уже выяснили,

при абсолютном нуле температуры ионной решётки свободные электроны по-

парно заполняют в зоне проводимости все уровни энергии от низшего до неко-

торого максимального (рис. 7а). Теперь рассмотрим энергетическое распреде-

ление в электронном газе при произвольной температуре.

Найдём количество электронов ( )dN E , имеющих энергию в интервале

,E E dE . Для этого необходимо количество возможных состояний ( )dG E в

Ge

Ge

Ge

In

Ge

Ge

+

Ge

Ge

gE

VE FE

CE

AE AE

а) б)

gE

VE

CE

г) в)

0T

0T

Рис. 11

Ge

In

Акцепторные

уровни

AE AE

Акцепторные

уровни

FE

Неукомплектованная

связь

Page 16: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

16

интервале dE умножить на вероятность заполнения состояния ( )f E , называе-

мую функцией распределения

( )dN E вероятность число состояний = ( ) ( )f E dG E (1)

Число состояний свободных электронов в интервале dE . В класси-

ческой механике состояние материальной точки полностью определяется зада-

нием координаты и скорости (или импульса). В шестимерном фазовом про-

странстве с координатами , , , , , ,x y zr p x y z p p p этому состоянию соответ-

ствует точка. Плотность расположения точек и их общее количество бесконеч-

ны.

В квантовой механике координата и соответствующая компонента им-

пульса связаны соотношением неопределённостей

, ,x y zx p h y p h z p h ,

где 346,62 10h Джс - постоянная Планка. Следовательно, одному состоянию

микрочастицы соответствует минимальный "объём" в фазовом пространстве

3x y zx y z p p p h .

Точнее задать состояние микрочастицы невозможно.

Электроны могут свободно перемещаться в

кристалле, неопределённость пространственных ко-

ординат электрона равна размерам кристалла. По-

этому пространственный объём, который занимает

электрон, равен объёму кристалла: x y z V .

Тогда минимальный объём одного состояния в про-

странстве импульсов

3x y zp p p h V

Энергия свободной нерелятивистской частицы связана с величиной импульса5

2 2E p m . Найдём число состояний с модулем импульса в интервале ,p p dp

. В пространстве импульсов таким состояниям соответствует слой между сфе-

5 Такая связь подразумевает, что начало отсчёта энергии находится на уровне дна зоны проводимости, тогда как

до сих пор начало соответствовало нулю потенциальной энергии взаимодействия зарядов. Ничего страшного:

функция распределения, как показано ниже, зависит от разности энергий, т.е. не зависит от положения начала

отсчёта.

xp

zp

yp

p

p dp

Рис. 12

Page 17: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

17

рами радиусом p и p dp (рис. 12). Объём этого сферического слоя равен

24 p dp .

2 12 , 2

2

dEp mE dp m

E

Тогда

3

2 21

4 4 2 2 2 (2 )2

dEp dp mE m m EdE

E

Таким образом, число состояний в интервале энергий ,E E dE равно

32

23 3

4 2(2 )

p dp VV m E dE

h h

.

Каждому энергетическому состоянию соответствуют два состояния элек-

тронов с противоположными направлениями спинов. Поэтому окончательно

полное число состояний электронов в интервале ,E E dE равно

3

23

4( ) (2 )

VdG E m E dE

h

(2)

Контрольные вопросы

33. Что такое фазовое пространство?

34. Как описывается в фазовом пространстве состояние классической

частицы и квантовой микрочастицы?

35. Вывести формулу числа состояний свободных электронов в интервале

dE .

Функция распределения Ферми-Дирака. Как уже говорилось, микро-

частицы со спином 2h или 1 2 в единицах h , в том числе электроны, подчи-

няются принципу Паули. Такие частицы называются фермионами. Если элек-

тронный газ взаимодействует с термостатом, имеющим температуру T , напри-

мер, с кристаллической решёткой, то вероятность электрону занять состояние с

энергией E описывается функцией распределения Ферми-Дирака

1

( )

1F

F E E

kT

f E

e

(3)

Page 18: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

18

Здесь 231,38 10k Дж/К – постоянная Больцмана, FE - химический потенци-

ал, который в физике твёрдого тела называют энергией Ферми или уровнем

Ферми. Эта важная характеристика распределения нам потребуется в лаб. раб.

№ 44. Энергию Ферми определяют из полного числа частиц в системе по (1)

( ) ( ) ( )FdN E N f E dG E (4)

Энергия Ферми зависит от структуры уровней и, вообще говоря, от температу-

ры. В собственных полупроводниках при 0 300T K уровень Ферми совпа-

дает с серединой запрещённой зоны (рис. 8б), в примесных полупроводниках –

с серединой запрещённой зоны примеси (рис. 10б,г и рис. 11б,г).

Рассмотрим функцию Ферми-Дирака для газа свободных электронов зо-

ны проводимости. При 0T и при FE E получаем ( )FE E kT , т.е.

( ) 0Ff E . При FE E показатель экспоненты ( )FE E kT , т.е.

( ) 1Ff E . Таким образом, при 0T функция Ферми-Дирака описывает уже

рассмотренный случай рис. 7а, полученный нами из принципа Паули и требо-

вания минимальной энергии электронного газа при 0T . На рис. 13 изобра-

жён график этой функции6. Уровень Ферми электронного газа – это макси-

мальная энергия электрона при 0T .

График функции Ферми-Дирака при

0T - кривая 2 на рис. 13. Возникает во-

прос: как вероятность заполнения поду-

ровня может быть дробной, меньше еди-

ницы? Ведь подуровень либо занят, либо

свободен, т.е. число заполнения подуровня

либо единица, либо ноль. Объяснение: функция распределения описывает веро-

ятность, усреднённую по бесконечно малому интервалу dE . Если присмотреть-

ся к этому интервалу с "увеличительным стеклом" (увеличенная выноска ин-

тервала dE ), то видно, что в нём заполнена только часть подуровней, т.е. сред-

няя вероятность вевероятность заполнения меньше единицы. Вероятность за-

полнения подуровней с FE E всегда равна 0,5.

6 На всех предыдущих рисунках ось энергии была вертикальной.

1

0,5

( )Ff E

FE E

kT

dE

dE

Рис. 13

0T 0T

Page 19: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

19

При 0T электроны могут получать дополнительную энергию от тепло-

вых колебаний решётки (фононов) и переходить на более высокие подуровни,

FE E . Вследствие этого число электронов с FE E уменьшается, т.к. полное

число электронов в зоне проводимости не меняется: тепловой энергии недоста-

точно, чтобы перебросить дополнительные электроны из нижележащей валент-

ной зоны. При 300T K средняя тепловая энергия

1 40 1 10FkT эВ E эВ . Поэтому полное число электронов, подвергшихся

тепловому возбуждению, составляет малую часть от общего числа электронов в

зоне проводимости: / 1 2%N N .

Рассмотрим высокоэнергетический "хвост" функции распределения,

FE E , точнее, FE E . Напомним, , 0FE E . Пусть 0E . Тогда

1FE

kTe

Поэтому единичным слагаемым в знаменателе (3) можно пренебречь. Тогда

( )F FE E E E

kT kT kTFf E e e e

(5)

т.е. при FE E распределение Ферми-Дирака совпадает с распределением

Максвелла-Больцмана. Этот важный результат мы используем в дальнейшем.

Контрольные вопросы

36. Какие частицы называются фермионами, каково их свойство?

37. Запишите функцию Ферми-Дирака, выведите её предельный вид при

0T , нарисуйте график. Поясните, как этот график согласуется с

распределением электронов в зоне проводимости проводника.

38. Нарисуйте график функции Ферми-Дирака при 0T . Объясните от-

личие ( )Ff E от единицы.

39. Где располагается уровень Ферми

a. в собственных полупроводниках?

b. в примесных полупроводниках?

40. С каким распределением совпадает распределение Ферми-Дирака при

FE E ?

Page 20: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

20

Температурная зависимость концентрации подвижных носителей

в собственном полупроводнике. Определим концентрацию свободных элек-

тронов в зоне проводимости из (4):

( ) ( )F

Nn f E dG E

V (6)

Интегрировать нужно по всем подуровням зоны проводимости, от нуля, совпа-

дающего с CE (рис. 8б), и до верхнего уровня. Поскольку в собственном полу-

проводнике занята только малая часть подуровней этой зоны, верхний предел

можно заменить на бесконечный. Кроме того, заменим точное распределение

Ферми-Дирака его высокоэнергетическим приближением (5). Тогда (6)

3

23

0

4(2 )

FE E

kT kTV

n m e e E dEh

(7)

Интеграл пропорционален 3 2T (без доказательства). Во-вторых, для собствен-

ного полупроводника энергия Ферми отрицательна относительно дна зоны про-

водимости: 2F gE E (рис. 8б). Поэтому

3

22

gE

kTn CT e

(8)

где C - постоянная.

Оценим изменение сомножителей с температурой. В условиях лабора-

торной работы температура изменяется от 20 до 55 ºС, min 293T K ,

max 328T K , max min min( ) 0,12T T T T . Следовательно, относительное из-

менение множителя 3 2( ) 1,5 0,12 0,18 18%T . Относительное изменение

экспоненты

min

min min

222

2min minmin

2 2

( )( )

22

gg

g

g g

EEE kTkT

g gkTE E

kT kT

E Ee e Te T

kT TkTe e

(9)

Пусть 2 0,5gE эВ, 1 40kT эВ. Тогда экспоненциальный множитель ме-

няется с температурой в 200,12 = 2,4 раза. Т.е. изменение экспоненциального

множителя намного сильнее влияет на концентрацию свободных носителей.

Page 21: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

21

Поэтому изменением множителя 3 2T можно пренебречь. Окончательно кон-

центрация электронов в зоне проводимости

21( )

gE

kTn T C e

(10)

где 1C - постоянная.

Контрольные вопросы

41. Вывести формулу температурной зависимости концентрации

подвижных носителей в собственном полупроводнике.

Температурная зависимость электропроводности и ширина за-

прещённой зоны собственного полупроводника . Из закона Ома для участка

цепи U IR , где U - напряжение на этом участке, I - ток, /R l S - сопротив-

ление этого участка, - удельное сопротивление, l - длина участка, S - его по-

перечное сечение, получаем удельную электропроводность вещества

1 I l

U S

(См = сименс) (11)

Напряжённость электрического поля U lE = в приближении однородно-

го поля в веществе, плотность тока j I S . Поэтому из (11) получаем локаль-

ный закон Ома j E . Плотность потока частиц со средней скоростью v рав-

на nv (1-й семестр, давление газа на стенку), а плотность тока j qn v . Ско-

рость дрейфа частиц в веществе под действием электрического поля пропор-

циональна напряжённости поля v= E , где - подвижность.7 Подставляя все

эти формулы в j E , получаем выражение электропроводности через кон-

центрацию электронов проводимости

qn (12)

В собственном полупроводнике подвижными носителями заряда являют-

ся не только электроны, но и дырки. Поэтому

( )i n i p i n pqn qp qn (13)

7 Размерность подвижности выведите самостоятельно, исходя из определения.

Page 22: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

22

где n , p - подвижности электронов и дырок, которые зависят от 3 2T и в рас-

смотренном выше приближении могут считаться постоянными.

Подставляя концентрацию (10) в (13), получаем температурную зависи-

мость электропроводности

20

gE

kTe

(14)

Логарифмируя (14), получаем линейную зависимость логарифма электропро-

водности от обратной температуры 1 T

0

1ln ln

2

gE

k T

(15)

В переменных ln и 1 T график этой зависимости имеет вид прямой (рис. 14),

причём ширина запрещённой зоны пропорциональна угловому коэффициенту

наклона этой прямой, определённому по координатам двух точек 1 1(ln ,1 )T и

2 2(ln ,1 )T :

2 1

2 1

(ln ) ln ln2 2

(1 ) 1 1gE k k

T T T

(16)

Подставляя (11) в (16) и преобразуя разность логарифмов, получаем оконча-

тельное выражение ширины запрещённой зоны полупроводника через изме-

ренные значения тока, напряжения и температуры

2 1

2 1

2 1

ln ln

21 1

g

I I

U UE k

T T

(17)

Таким образом, ширина запрещённой зоны макроскопического образца

полупроводника не зависит от его размеров.

Поэтому на рис. 14 по вертикальной оси мож-

но откладывать не ln , а ln( )I U .

В низкоразмерных структурах (кванто-

вых нитях, квантовых точках), у которых один

или несколько размеров сравнимы с диамет-

ром атома, ширина запрещённой зоны зависит от этих размеров. Такие струк-

туры – объект исследования наноэлектроники.

lnln

I

U

2ln

1ln

21 T 11 T 1 T

Рис. 14

Page 23: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

23

Контрольные вопросы

42. Вывести формулу температурной зависимости электропроводно-

сти собственного полупроводника.

43. Вывести формулу ширины запрещённой зоны собственного полупро-

водника

Общая температурная зависимость электропроводности пол у-

проводника. Можно показать, что температурная зависимость электропровод-

ности примесного полупроводника в области низких температур может быть

описана формулой (14) с заменой ширины запрещённой зоны на энергию иони-

зации примеси. В переменных ln и 1 T график этой зависимости будет ли-

нейным, а угловой коэффициент наклона прямой будет пропорциональным

энергии ионизации примеси. На рис. 15 изображён общий график температур-

ной зависимости электропроводности. На прямых 1-2 примесной проводимости

и 3-4 собственной проводимости электропроводность пропорциональна кон-

центрации. Угол наклона прямой собственной проводимости больше, часто на-

много больше, угла наклона прямой примесной проводимости.

Прямые 1-2 и 3-4 соединяются переходным участком 2-3. Это область ис-

тощения примеси. По мере роста температуры от точки 1 к точке 2 растёт кон-

центрация примесных носителей. В точке 2 все

атомы примеси ионизованы, примесь не может

обеспечить дальнейший рост концентрации.

Концентрация собственных носителей в точке

2T , это точка 5 на штриховом продолжении пря-

мой 3-4, ещё слишком мала, чтобы обеспечить

рост электропроводности. Поэтому от точки 2

электропроводность полупроводника уменьшается подобно электропроводно-

сти металлов: концентрация свободных носителей практически постоянна, но с

температурой растёт рассеяние носителей на тепловых колебаниях кристалли-

ческой решётки, т.е. растёт сопротивление току. Только при дальнейшем росте

1

2

3

4 ln

1 T

Рис. 15

21 T

(ln )n

5

Page 24: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

24

температуры, от точки 3, становится значительной концентрация собственных

носителей.

Контрольные вопросы

44. Нарисуйте график изменения электропроводности полупроводника в

широком температурном диапазоне, укажите характерные области

графика.

45. Чем отличаются зоны примесной и собственной проводимости на

графике?

46. Что такое область истощения примеси, почему она появляется, как

изменяется электропроводность в этой области и почему?

Описание экспериментальной установки

Электрическая принципиальная схема измерительной установки показана

на рис. 16. Амперметром измеряется ток I через образец полупроводника. Ток

регулируется с помощью переменного сопротивления R . Переключатель на-

правления тока на рис. 16 не показан. Вольтметр измеряет напряжение 3 4U

между контактами 3 и 4. Для измерения температурной зависимости образец

помещён в электрическую нагревательную печь. Цепь питания печи с выклю-

чателем на рис. 16 не показана. С помощью омметра измеряется сопротив-

ление датчика 5 температуры образца - термометра сопротивления (терморези-

стора). Затем по градуировочной кривой, имеющейся на передней панели каж-

дой установки, необходимо пересчитать сопротивление в значение температу-

ры.

Первичные измеряемые величины: ток, напряжение и сопротивление.

Особенности измерений. При включённой печи температура полупровод-

никового образца непрерывно возрастает, поэтому сложно записать одномо-

ментные показания трёх приборов. В наше время, когда космические корабли

бороздят просторы Большого театра, можно панели приборов сфотографиро-

вать на один снимок. Во-вторых, можно уменьшить скорость изменения темпе-

ратуры, отключив на короткое время печь и дождавшись, когда температура

перестанет меняться.

Page 25: Определение ширины запрещённой зоны ...pitf.ftf.nstu.ru/files/suhanov/ЛабРаб40.pdf7 сируется притяжением к соседним

25

V

A

1 2

3

5

4

R

Образец

Печь

Рис. 16

Задание к работе

1. Измерить ток и напряжение на образце полупроводника при комнат-

ной температуре.

2. Включить электропечь и измерить ток и напряжение при различных

значениях температуры полупроводника. В диапазоне 20 ÷ 55 ºС изме-

рить не менее 5-6 точек. Для устранения влияния термоЭДС между

контактами 3 и 4 повторить все измерения при обратном направлении

тока.

3. Вычислить среднеквадратичное отклонение ln( )I U при комнатной

температуре, исходя из погрешностей измерения I и U .

4. Построить графики ln( )I U от 1 T для прямого и обратного направле-

ний тока.

5. По графикам определить ширину запрещённой зоны gE полупровод-

ника.

6. Сравнить полученный результат с табличным.

Контрольные вопросы по заданию к работе

47. Какова цель работы?

48. Какие величины измеряются в работе, какими приборами?

49. Каковы особенности измерений?

50. Каков график предполагаемой теоретической зависимости?

51. Как по графику определить ширину запрещённой зоны?