マノスターデジタルセンサ emd7 - manostar.co.jp · wo81 wo71 fr51a wo70 ms99 ms30 ms61a...

7
WO81 WO71 FR51A WO70 MS99 MS30 MS61A MS65 EMD8A EMT1H EMT6 EMP5 HWS15A EB3C EMRT1 EMD7 EMT1 EMTGP1 アクセサリ 応 用 注意事項 保 守 製品一覧表 最大値 D Pa E kPa 1 420mA 4 15V N NPNトランジスタ P PNPトランジスタ D3 DC1224V (例) レンジ アナログ出力 製品コード EMD 7 RoHS 0100Paから05kPaまでの8レンジより選択が可能 ・アナログ出力機能は420mAまたは1 5Vを選択可能 ・警報出力形式はNPNまたはPNPオープンコレクタを選択可能 1224VDC電源対応 ・移動平均フィルタ、最大値、最小値メモリ、遅延タイマなど、 差圧計測においての付加機能が充実 ・用途に合せた警報機能モードを設定可能 ・EU指令、UL規格適合品 100 ◆お問い合わせ・ご注文の際は、上記製品コードにてご指定ください。 D 1 N D3 警報出力 圧力レンジコード 〈主な利用分野〉 ・半導体製造装置部品 ・集塵機負圧・空調機器差圧 ・フィルタ圧損管理 ・精密機械製造ライン ・一般工場管理設備 〈用途〉 ・室内装置内圧計測 ・エアフィルタ目詰まり検出 ・バグフィルタ目詰まり計測 ・通風・排気装置の動圧計測 ・クリーンルーム室圧計測 ※(p.112参照) EMD7 48×48型 デジタル微差圧センサ EMD7D3 69 マノスターデジタルセンサ EMD7

Upload: dinhthuy

Post on 03-Sep-2018

212 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

WO81

WO71

FR51A

WO70

MS99

MS30

MS61A

MS65

EMD8A

EMT1H

EMT6

EMP5

HWS15A

EB3C

EMRT1

EMD7

EMT1

EMTGP1

アクセサリ

応 用

注意事項

保 守

製品一覧表

最大値

D PaE kPa

1 4~20mA4 1~5V

N NPNトランジスタP PNPトランジスタ

D3 DC12~24V

(例)

レ ン ジ

単 位

アナログ出力

製品コード

E M D 7

RoHS・0~100Paから0~5kPaまでの8レンジより選択が可能・アナログ出力機能は4~20mAまたは1~5Vを選択可能・警報出力形式はNPNまたはPNPオープンコレクタを選択可能・12~24VDC電源対応・移動平均フィルタ、最大値、最小値メモリ、遅延タイマなど、 差圧計測においての付加機能が充実・用途に合せた警報機能モードを設定可能・EU指令、UL規格適合品

100

◆お問い合わせ・ご注文の際は、上記製品コードにてご指定ください。

D1ND3

電 源

警報出力

圧力レンジコード

〈主な利用分野〉・半導体製造装置部品・集塵機負圧・空調機器差圧・フィルタ圧損管理・精密機械製造ライン・一般工場管理設備

〈用途〉・室内装置内圧計測・エアフィルタ目詰まり検出・バグフィルタ目詰まり計測・通風・排気装置の動圧計測・クリーンルーム室圧計測

※(p.112参照)

EMD7

48×48型 デジタル微差圧センサ

EMD7D3

69

マノスターデジタルセンサ EMD7

WO71

FR51A

WO70

MS99

MS30

MS61A

MS65

EMD8A

EMT1H

EMT6

EMP5

HWS15A

EB3C

EMRT1

EMD7

EMT1

EMTGP1

アクセサリ

応 用

保 守

WO81

製品一覧表

注意事項

形 式 EMD7D3

圧 力 単 位圧 力 測 定 方 式電気信号変換方式測 定 ガ ス 体受 圧 エ レ メ ン ト取 付 姿 勢計 器 本 体 耐 圧 力受圧エレメント耐圧力使 用 周 囲 温 度使 用 周 囲 湿 度適 合 配 管口 金 極 性

表 示

ゼ ロ 調 整 方 式

絶 縁 抵 抗

耐 電 圧

外 装 材 質使 用 高 度保 護 等 級汚 染 度

Pa、kPa差圧式可変インダクタンス空気および非腐食性ガス(液体不可)ダイヤフラム(シリコーンゴム)垂直面取付20kPa(p.116参照)20kPa(p.116参照)0~50℃(ただし氷結しないこと)35~85%RH(ただし結露しないこと)ビニル管またはゴム管 内径4(外径6以内)配管接続口金部に高圧側「H」低圧側「L」のマークにて表示表示部   7セグメントLED 赤色4桁      圧力表示/警報設定表示 最大3桁      (最上位桁はモード表示)精度    ±1.5%FS±1digit(20℃において)温度特性  ±0.15%FS/℃(ゼロ+スパン)プッシュ式オートゼロ

(表示値とアナログ出力が同時にゼロ調整されます)端子~ケース間10MΩ以上(500V DCメガー)端子~ケース間500V AC 50/60Hz 1分間ABS樹脂(色調 アイボリ)高度2000m以下規格 IEC60529 等級コード IP41規格 IEC60664 等級 2

(乾燥した清潔な場所に取り付けることが出来ない場合は筐体に収納してください。)

警 報 出 力

ア ナ ロ グ 出 力

最 大 消 費 電 流

電 源 電 圧質 量耐 久 振 動

耐 久 衝 撃

出力形式  1.EMD7D3N       NPNオープンコレクタ        上限および下限 各1

        最大負荷電流 100mA(1出力当り)        最大負荷電圧 30V DC以下        出力飽和電圧 1V DC以下      2.EMD7D3P       PNPオープンコレクタ        上限および下限 各1

        最大負荷電流 100mA(1出力当り)        最大負荷電圧 30V DC以下        出力飽和電圧 2V DC以下設定範囲   上限 0~100%FS       下限 0~100%FSヒステリシス幅 1~5%FS設定可能設定方式   プッシュ式デジタル設定出力表示   赤色LED×2

出力形式  1.EMD7D3□1        4~20mA(0~FS圧力にて)        負荷抵抗 0~250Ω      2.EMD7D3□4

       1~5V(0~FS圧力にて)        負荷抵抗 10kΩ以上精度     ±1.5%FS(20℃において)温度特性   ±0.15%FS/℃(ゼロ+スパン)1.EMD7D3N(警報出力NPNトランジスタタイプ) 全消費 100mA(内部消費のみ)2.EMD7D3P(警報出力PNPトランジスタタイプ) 内部消費 100mA 全消費 300mA(警報出力の負荷電流100mA×2含む)12~24V DC ±10%(リップル10%以下)約130g(端子カバー、パネル取付用アダプタ含む)5~10Hz 振幅10mm、10~50Hz 加速度39m/s2(3軸方向 各2h)100m/s2(3軸方向 各6回)

付 属 品 パネル取付用アダプタ 端子カバー(本体装着済)

圧力レンジコード 圧 力 レ ン ジ LED表示 警報出力 アナログ出力

D 100

D 200

D 300

D 500

0 ~ 100 Pa

0 ~ 200 Pa

0 ~ 300 Pa

0 ~ 500 Pa

0 ~ 100 

0 ~ 200 

0 ~ 300 

0 ~ 500 NPNトランジスタ

または

PNPトランジスタ

4~20mA

または

1~ 5VE  1

E  2

E  3

E  5

0 ~  1 kPa

0 ~  2 kPa

0 ~  3 kPa

0 ~  5 kPa

0.00 ~ 1.00

0.00 ~ 2.00

0.00 ~ 3.00

0.00 ~ 5.00

仕様

適合規格  1.EU指令    本器はEUのEMC指令に適合しています。    EMC指令基本要求事項 規格№     (1) EMI(電磁エミッション)規格……………………………EN61000⊖6⊖3     (2) EMS(電磁イミュニティ)規格……………………………EN61000⊖6⊖2  2.UL規格

本器はUL規格のレコグニション(Recognition)部品として認定を受けています。またカナダ規格(C⊖UL)の認定も受けています。ただし、次の(3)に示す設置条件に従って使用してください。

     (1) 要求事項規格№……………………UL61010⊖1     (2) ファイル№…………………………E220685     (3) 設置条件……………………………本器に接続する直流電源にはNEC(National Electrical Code)、クラス2電源を使用すること。

◆使用環境につきましてはp.116をご参照ください。

EMD7

70

マノスターデジタルセンサ EMD7

WO81

WO71

FR51A

WO70

MS99

MS30

MS61A

MS65

EMD8A

EMT1H

EMT6

EMP5

HWS15A

EB3C

EMRT1

EMD7

EMT1

EMTGP1

アクセサリ

応 用

注意事項

保 守

製品一覧表

外形寸法図

端子配置図

EMD7

EMD7専用アクセサリ RoHS

パネルカット図

1 2 4 5

H L

パネル蓋 閉

口金部詳細(断面図)

45+0.6 0.0

45+0.6 0.0

48

58

20

7.5

(パネル取付用アダプタ)

(パネル取付用アダプタ)

パネル取付用アダプタ(取付は上下左右反転可)

取付パネル(適応板厚1mm~10mm)

8 59 (3)

70

53

61

端子カバー

銘板貼付

開閉式パネル蓋製造番号バーコードラベル

48

48

φ5.5

φ9

4.5 (8)

12.5

6.6以下

φ 3.8

M3.5 端子ねじ

端子番号

7

44.5

LH6

54321

     

端子① 電源+(12~24V DC)端子② 電源-(OV)端子③ 警報出力コモン/アナログ出力マイナス側端子④ 下限警報出力端子⑤ 上限警報出力端子⑥ アナログ出力プラス側◆端子③は警報出力コモンとアナログ出力マイナス側の共用端子です。

適合圧着端子

注意

端子ねじ締付トルク:0.7~1.0N・m必要以上の締め付けは計器本体を損傷しますのでご注意ください。

端子カバー

品 番 材 質TCA-D7 ポリカーボネート

(補用品)

71

マノスターデジタルセンサ EMD7

WO71

FR51A

WO70

MS99

MS30

MS61A

MS65

EMD8A

EMT1H

EMT6

EMP5

HWS15A

EB3C

EMRT1

EMD7

EMT1

EMTGP1

アクセサリ

応 用

保 守

WO81

製品一覧表

注意事項

操作パネル

モード切替

EMD7

《エンタ-》キ-各モ-ドでの設定値を登録します。押すと表示が2度点滅して登録を知らせます。

上限警報灯(赤色LED)

《ダウン》キ-各モードでの設定値の数値を下げる時に使用します。

《アップ》キ-、《ダウン》キーは1回押すと数値1回ずつ変化、押し続けると連続変化します。

《アップ》キ-各モードでの設定値の数値を上げる時に使用します。

クイックマニュアル

下限警報灯(赤色LED)

《モード》キーモードの切替に使用します。

パネルカバー

圧力、モード表示器(4桁セグメントLED)

ALARMLO

Pa

HI

MODE ENT

DISPLAY CHARACTER ZERO AdjustH.

O.(H)Alarm Point(H)Hysteresis(H)Output Mode

HH.L. (L)Alarm Point

(L)Hysteresis(L)Output Mode

LH.Lo.Ho.

警報機能の動作モードを選択します。0:上下限個別検出1:正常/異常圧力検出2:上限警報2段検出3:下限警報2段検出4:簡易制御

計測圧力を表示します。

ゼロ調整を行います。エンターキーで補正値を登録します。

最小値メモリの表示とリセットを行います。エンターキーでリセットします。単位:圧力値

最大値メモリの表示とリセットを行います。エンターキーでリセットします。単位:圧力値

上限警報の設定値を設定します。設定範囲:0~FS単位:Pa,kPa

下限警報の設定値を設定します。設定範囲:0~FS単位:Pa,kPa

上限警報出力のヒステリシス幅(動作すきま)の値を決定します。設定範囲:1~5%FS単  位:%FS

上限警報の出力モードを選択します。0:出力オフ1:反転出力2:非反転出力

下限警報の出力モードを選択します。0:出力オフ1:反転出力2:非反転出力

圧力表示の移動平均回数を設定します。0:高速(10回 0.2s)1:標準(50回 1.0s)2:低速1(100回 2.0s)3:低速2(200回 4.0s)

警報検出の移動平均回数を設定します。0:高速(10回 0.2s)1:標準(50回 1.0s)2:低速1(100回 2.0s)3:低速2(200回 4.0s)

電源投入直後の下限警報出力禁止時間を設定します。設定範囲:0~20分単  位:分

各モード設定値を工場出荷状態に戻します。エンターキーで設定値をクリアします。

下限警報出力のヒステリシス幅(動作すきま)の値を決定します。設定範囲:1~5%FS単  位:%FS

72

マノスターデジタルセンサ EMD7

WO81

WO71

FR51A

WO70

MS99

MS30

MS61A

MS65

EMD8A

EMT1H

EMT6

EMP5

HWS15A

EB3C

EMRT1

EMD7

EMT1

EMTGP1

アクセサリ

応 用

注意事項

保 守

製品一覧表

配線

警報動作図

EMD7

EMD7D3N 外部機器 外部機器

NPN Tr PNP Tr

PNP Tr

6 6

0V 0V

0V

12~24V 12~24V

ANALOG+ ANALOG+

ALARM HI

ALARM LONPN TrALARMCOM

ANALOGー

(警報出力:NPNトランジスタタイプ) (警報出力:PNPトランジスタタイプ)

ANALOG+

ALARM HI

ALARM LO

ALARMCOM

ANALOGー

EMD7D3P

R2

R1

D2

D1

D1R2

R1

D2

R1、R2:リレーD1、D2:ダイオード

R1、R2:リレーD1、D2:ダイオード

負荷 負荷

電源回路 電源回路

アナログ出力回路

アナログ出力回路

上限警報回路

下限警報回路

上限警報回路

下限警報回路

直流電源

直流電源

直流電源

入力 + 入力 +

入力 - 入力 -

コモン

コモン

入力 

入力 

入力 

入力 

EMD7D3N 外部機器

NPN Tr

0V

12~24V

ANALOG+

ALARM HI

ALARM LONPN TrALARMCOM

ANALOGー

(警報出力:NPNトランジスタタイプ) (警報出力:PNPトランジスタタイプ)

PNP Tr

PNP Tr

0V

12~24V 1

ANALOG+

ALARM HI

ALARM LOALARM COMANALOGー

外部機器EMD7D3P

電源回路

アナログ出力回路

上限警報回路

下限警報回路

電源回路

アナログ出力回路

上限警報回路

下限警報回路

直流電源

直流電源

直流電源

負荷入力 +

入力 -

コモン

入力 

入力 

0V

負荷入力 +

入力 -

コモン

入力 

入力 

検出圧力レベル圧力 警報作動 警報解除 警報作動 警報解除

上限警報設定値

下限警報設定値

上限ヒステリシス

下限ヒステリシス

正常 異常 正常 異常 正常時間

出力モード0出力モード1出力モード2

上限警報出力

下限警報出力

圧力状態

警報出力状態

警報制御出力(内部状態)上限警報制御出力下限警報制御出力

出力モード0出力モード1出力モード2 クローズ

オープン

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

常時オープン

常時オープン

0 0

0 0

1

1

検出圧力レベル圧力 警報作動 警報解除 警報作動 警報解除

上限警報設定値

正常 異常 正常 異常 正常時間

下限警報設定値

上限ヒステリシス

下限ヒステリシス

出力モード0出力モード1出力モード2

上限警報出力

下限警報出力

圧力状態

警報出力状態

警報制御出力(内部状態)上限警報制御出力下限警報制御出力

出力モード0出力モード1出力モード2

クローズクローズ クローズ

クローズ

クローズクローズクローズ

クローズクローズ

クローズオープン オープンオープン オープン

オープンオープン オープン

オープン オープン

オープン

常時オープン

常時オープン

0

0 0

0 01 1

1 1 1

リレーを接続するとき

フォトカプラを接続するとき

警報機能 上限/下限個別検出(警報機能モード0) 警報機能 正常/異常検出(警報機能モード1)

動 作 説 明:異常圧力低下および圧力上昇を検出し、個別に出力します。上限警報は上限警報設定を越えるとオンになり、下限警報は下限設定を下回るとオンになります。

遅延タイマ:遅延タイマ動作中は下限警報が禁止されます。

動 作 説 明:一つの出力で規定範囲以内または範囲外の圧力であることを出力します。もう一方の出力は検出状態が反転されるため規定範囲外または範囲内であることを出力することができます。

遅延タイマ:遅延タイマ動作中は下限側のみ禁止されます。

73

マノスターデジタルセンサ EMD7

WO71

FR51A

WO70

MS99

MS30

MS61A

MS65

EMD8A

EMT1H

EMT6

EMP5

HWS15A

EB3C

EMRT1

EMD7

EMT1

EMTGP1

アクセサリ

応 用

保 守

WO81

製品一覧表

注意事項

機能ブロック図

EMD7

警報作動 警報作動 警報解除 警報解除

正常 異常1 異常2 異常1 正常時間

検出圧力レベル圧力

上限警報設定値

下限警報設定値

上限ヒステリシス

下限ヒステリシス

出力モード0出力モード1出力モード2

上限警報出力

下限警報出力

圧力状態

警報出力状態

警報制御出力(内部状態)上限警報制御出力下限警報制御出力

出力モード0出力モード1出力モード2 クローズ

オープンクローズオープン

クローズオープン

クローズクローズ

クローズオープンオープン オープン

常時オープン

常時オープン

0 01

0 01

正常 異常1 異常2 異常1 正常時間

検出圧力レベル圧力 警報作動 警報作動 警報解除 警報解除

上限警報設定値

下限警報設定値

上限ヒステリシス

下限ヒステリシス

出力モード0出力モード1出力モード2

上限警報出力

下限警報出力

圧力状態

警報出力状態

警報制御出力(内部状態)上限警報制御出力下限警報制御出力

出力モード0出力モード1出力モード2

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

クローズオープン

常時オープン

常時オープン

0 01

0 01

待機 加圧 待機時間

検出圧力レベル圧力 出力作動 出力停止

上限警報設定値

下限警報設定値

出力モード0出力モード1出力モード2

上限警報出力

下限警報出力

圧力状態

警報出力状態

警報制御出力(内部状態)上限警報制御出力下限警報制御出力

出力モード0出力モード1出力モード2

クローズ

クローズ

オープン

オープン

クローズ

クローズ

オープン

オープン

クローズ

クローズ

オープン

オープン

常時オープン

常時オープン

1 10

0 01

圧力センサ A/D変換 D/A変換

増幅器

出力回路

出力回路

LED表示

アナログ出力計測値処理ゼロ補正

4-20mA/1-5V出力回路

警報LED表示ALARM HI

NPN/PNPオープンコレクタ

NPN/PNPオープンコレクタ

上限警報出力

下限警報出力

警報LED表示ALARM LO

表示用移動平均

出力用移動平均

上限警報出力設定値

上限警報制御出力上限警報

設定値

上限警報ヒステリシス設定値

下限警報設定値

下限警報ヒステリシス設定値

警報機能モード設定値

遅延タイマ設定値 遅延タイマ

上限警報検出

下限警報検出

下限警報制御出力

下限警報出力設定値

警報機能 上限2段検出(警報機能モード2) 警報機能 下限2段検出(警報機能モード3)

動 作 説 明:圧力上昇を2段階で検出します。1段目を警告、2段目を装置停止などに使用できます。

遅延タイマ:遅延タイマ動作中はいずれも禁止されません。

動 作 説 明:圧力低下を2段階で検出します。1段目を警告、2段目を装置停止などに使用できます。

遅延タイマ:遅延タイマ動作中は上限、下限両方禁止されます。

警報機能 簡易制御(警報機能モード4)

動 作 説 明:一つの出力で上限設定に達するとオフ、下限設定に達するとオンとなる簡易的な制御機能です。もう一方の出力は反転出力となります。

遅延タイマ:遅延タイマ動作中でも各出力影響を受けません。備   考:各ヒステリシス設定は無効です。

74

マノスターデジタルセンサ EMD7

マノスター総合カタログ

http://www.manostar.co.jp/

Yamamoto Electric Works Co.,Ltd.《第11版》OCTOBER 2016

THE GENERALCATALOG

ただし、次に該当する場合は、この保証範囲から除外させていただきます。  (1) 取扱説明書、仕様書、弊社製品カタログなどに記載された以外の不当な条件、環境、取り扱い、使用方法による場合  (2) 故障の原因が弊社製品以外の事由による場合  (3) 弊社以外での改造、修理による場合  (4) 弊社出荷時の科学、技術水準では予見が不可能だった事由による場合  (5) その他、天災、災害など、弊社の責任ではない外部要因による場合なお、ここでいう保証は、弊社製品単体の保証を意味するもので、製品の故障により誘発される損害は保証の対象外とさせていただきます。

※弊社製品保証は日本国内でのみ有効です。(This warranty is valid only in Japan)

上記保証期間中に弊社の責任により故障が生じた場合は、その製品の修理、または代替品の供給を無償にて行います。■保証範囲

製品の保証期間は、弊社と直接取引のあるご注文主の指定場所に納入後1年といたします。■保証期間

《おことわり》 本カタログに記載された製品の仕様および内容につきましては、改善等のため断りなしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

●製品のご用命は・・・

〒653-0031 神戸市長田区西尻池町一丁目2番3号TEL.(078)621-7000/FAX.(078)621-7788

〒653-0031 神戸市長田区西尻池町一丁目2番3号TEL.(078)631-6000/FAX.(078)631-6020

総代理店 製造元

OCTOBER 2016 YAMAMOTO ELECTRIC WORKS CO.,LTD.JAPANこのカタログは再生紙を使用しています

製品保証について

製品の価格には、技術者派遣等のサービス費用は含んでおりませんので、次の場合は別個に費用を申し受けます。  (1) 取付調整指導および試運転立会  (2) 保守点検、調整および修理  (3) 技術指導および技術教育  (4) 製品の弊社工場における立会検査

■サービスの範囲

サービスについて

マノスター総合カタログ

マノスター総合カタログ

http://www.manostar.co.jp/

Yamamoto Electric Works Co.,Ltd.《第11版》OCTOBER 2016

THE GENERALCATALOG

ただし、次に該当する場合は、この保証範囲から除外させていただきます。  (1) 取扱説明書、仕様書、弊社製品カタログなどに記載された以外の不当な条件、環境、取り扱い、使用方法による場合  (2) 故障の原因が弊社製品以外の事由による場合  (3) 弊社以外での改造、修理による場合  (4) 弊社出荷時の科学、技術水準では予見が不可能だった事由による場合  (5) その他、天災、災害など、弊社の責任ではない外部要因による場合なお、ここでいう保証は、弊社製品単体の保証を意味するもので、製品の故障により誘発される損害は保証の対象外とさせていただきます。

※弊社製品保証は日本国内でのみ有効です。(This warranty is valid only in Japan)

上記保証期間中に弊社の責任により故障が生じた場合は、その製品の修理、または代替品の供給を無償にて行います。■保証範囲

製品の保証期間は、弊社と直接取引のあるご注文主の指定場所に納入後1年といたします。■保証期間

《おことわり》 本カタログに記載された製品の仕様および内容につきましては、改善等のため断りなしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

●製品のご用命は・・・

〒653-0031 神戸市長田区西尻池町一丁目2番3号TEL.(078)621-7000/FAX.(078)621-7788

〒653-0031 神戸市長田区西尻池町一丁目2番3号TEL.(078)631-6000/FAX.(078)631-6020

総代理店 製造元

OCTOBER 2016 YAMAMOTO ELECTRIC WORKS CO.,LTD.JAPANこのカタログは再生紙を使用しています

製品保証について

製品の価格には、技術者派遣等のサービス費用は含んでおりませんので、次の場合は別個に費用を申し受けます。  (1) 取付調整指導および試運転立会  (2) 保守点検、調整および修理  (3) 技術指導および技術教育  (4) 製品の弊社工場における立会検査

■サービスの範囲

サービスについて

マノスター総合カタログ