Профориентационная работа кафедры МЭ

в 2009-2010 уч. году

3. Проведение экскурсий для учащихся гимназии

№1528 и №1353 по направлению

«Микросистемная техника. Оборудование.

Робототехника»

1. Проведение занятий для учащихся 10-11 классов гимназии №1528 по курсам:

«Основы трехмерного проектирования» и

«Роботизированные системы в МЭ»

2. Подготовка школьников к

участию в конференции

«Творчество юных» в секции «Техника и

технология»

5. На кафедре организован кружок

для школьников «Робототехника»

4. Проведение экскурсий и лекций «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника» для школьников по графику управления образования.

были организованы кафедрой• школа № 1353 - 58 человек• гимназия №1528 - 34 человекапо направлению управления образования

• школа № 1692 - 14 человек• школа № 1739 - 10 человек• школа №1149 - 7 человек• гимназия №1150 - 17 человек • школа № 718 - 12 человек• школа № 1923 - 13 человек • школа г. Торжок - 12 человек

Экскурсии «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника»

ИТОГО:

167 человек

Лекция «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника»

по направлению управления образования

• школа № 617 - 14 человек• школа № 804 - 12 человек• школа №1149 - 19 человек• гимназия №1150 - 12 человек • школа № 638 - 16 человек

ИТОГО:

73 человека

Кружок «Робототехника»

Каждую неделю по пятницам проводятся занятия со школьниками по направлению “Робототехника”.

Результатом занятий в кружке является участие школьников в ежегодной научно-практической конференции МИЭТ “Творчество юных”.

Воронин Денис (механизированный робот ) – диплом 1 степениСтолярчук Ксения (роботизированная рука) – диплом 2 степени

Механизированный робот на гусеничной основе

Роботизированная рука

Экскурсия

Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника.

Разработка Производство

1. Аналитическое математическое моделирование

2. Компьютерное моделирование с использованием программных продуктов производства РТС, Mentor Graphics, ANSYS, Solid Works

Кристальное производство элементов и

схем микро- и наносистем-ной техники

Испытание, контроль

Тестиро-вание

испыта-ние

Сборка модулей систем

Оборудование: Поворотные столыОптические головкиТермокамеры

Технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства изделий НЭМС и МЭМС на основе обработки Si пластин

Участок входного контроляУчасток фотолитографииУчасток жидкостной химической обработки и травленияУчасток сухого травления технологических слоевУчасток формирования д/э слоёвУчасток напыления металловУчасток термических процессов и осаждения технологических слоевУчасток сборки

РАЗРАБОТКА

1. Аналитическое математическое моделирование

2. Компьютерное 3D-моделирование с использованием программных продуктов производства РТС, Mentor Graphics, ANSYS, Solid Works

РАЗРАБОТКА

Компьютерное 3D-моделирование с использованием ПО ANSYS

РАЗРАБОТКАРАЗРАБОТКА

Центр Mentor Graphics – МИЭТ

Учебно-научный центр проектирования «Mentor Graphics — МИЭТ» занимается вопросами

проектирования систем на печатных платах, интегрировано

с маршрутом проектирования ПЛИС.

Центр полностью укомплектован необходимым компьютерным и

демонстрационным оборудованием, программное обеспечение установлено на

рабочих местах, подготовлены базовые учебные пособия на

русском языке.

Аудитория 4308

РАЗРАБОТКАЦентр проектирования Pro/Engineer

Инновационный центр, созданный совместно с фирмой Parametric Technology Corporation (PTC), обеспечивает подготовку специалистов, бакалавров и магистров по

направлениям «Электронное машиностроение» , «Проектирование и

технология электронных средств».

Направлением подготовки является проектирование узлов и систем

технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники, а также блоков электронных средств, с помощью системы

объемного параметрического моделирования Pro/Engineer.

Аудитория 4116

Упрощённый технологический маршрут изготовления МЭМС

Подготовка исходных пластин

Получение подвижных и неподвижных элементов МЭМС

Совмещение элементов и структур МЭМС (установка SUSS MA6/BA6)

Получение чувствитель-ных элементов и струк-тур МЭМС. Сращивание Si-Si; Si-SiO2-Si; Si-стекло (установка SUSS SB6e)

- фотолитография- жидкостная хим. обработка и травление, плазмохимическая обработка- формирование д/э слоёв- напыление металлов- термические процессы- осаждение технологических слоев- сборка и корпусирование

Изготовление элементов ИС

Установка плазменного травления кремнияAMS 200 SE “I-PRODUCTIVITY”(ALCATEL, Франция)

Профили травления Кольцевой гироскоп

ПРОИЗВОДСТВОКРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ.

ГЛУБОКОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ

Аудитория 7217

Высокоточная установка Suss MA/BA 6(Suss MicroTec, ФРГ)

для фотолитографии, совмещения фотошаблонов и пластин для их

последующего сращивания

ПРОИЗВОДСТВОКРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ.

ФОТОЛИТОГРАФИЯ И СОВМЕЩЕНИЕ ПЛАСТИН

Аудитория 7217

ПРОИЗВОДСТВОКРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ.

СРАЩИВАНИЕ ПЛАСТИН (БОНДИНГ)

Сращивание Si и стеклянной пластин диаметром 100 мм на установке SB6.

Полуавтоматическая высокоточная установка

сращивания (склейка, бондинг) пластин

Suss SB6 (Suss MicroTec, ФРГ)

Аудитория 7217

ПРОИЗВОДСТВОСБОРКА, КОРПУСИРОВАНИЕ, КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ

Измерение и контроль ЧЭ МЭМС Сборка и контроль ЧЭ МЭМС

Разварка выводов в корпусе ЧЭ МЭМС Контроль параметров корпусированных ЧЭ МЭМС

Аудитория 1102

ИСПЫТАНИЯ и КОНТРОЛЬ

Камера тепла и холода МС-811T(Espec Corp, Япония)

диапазон температуры:от -85 до +180°С

Одноосная центрифуга AC1135(Acutronic Schweiz AG, Швейцария)

ускорение: 0,5-200 g

Изучение характеристик разрабатываемых микро- и наноакселерометров и других МЭМС-приборов и испытания и контроль серийных изделий при

воздействии ускорений, повышенной и пониженной температуры.

Одноосевой поворотный стенд AC1120S (Acutronic Schweiz AG, Швейцария)

Ускорение (без нагрузки) 40000о/с2.Диапазон температуры:от -60оС до +125оС

Аудитория 4111

3. Элементы ИС, компоненты, фильтры перестраиваемые

Области применения

8. Микро- и наноакселерометры

Автомобилестроение, транспорт (трубопроводный, ж/д)

- измерение шумов двигателя- измерение вибрации- счётчики оборотов- удары- ускорение- угол наклона- стабилизация- навигация- позиционирование- сейсмодатчики- датчики изображения

9. Микро- и наногироскопы

Измерение угловой скорости, наведение объекта на цель

1. Датчики давления

абсолютного давления, относительного давления, дифференциального давления

- измерение потоков газов, жидкостей- измерение плотности жидкости- измерение уровня жидкости

5. Микрореле

6. Микрозеркала

7. Актюаторы

12. Преобразователи энергии и т.д.

11. Микросопла, реактивные двигатели

4. Телефоны, микрофоны

2. Датчики излучения

10. Интегрированные системы

СЭМ-изображение чувствительного элемента кольцевого микрогироскопа.

МИЭТ

Школьники начинают

сотрудничество с кафедрой с

посещения занятий кружка

«Робототехника» .

Поэтому экскурсия

заканчивается здесь же.

Аудитория 4116

ВЫВОДЫ

Выявлена большая заинтересованность в проведении ознакомительных экскурсий и лекций.

Представители школ проявили заинтересованность в участии своих школьников в работе кружка и в организации дополнительных занятий по нашей тематике.

Спасибо за внимание