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超高潔淨零組件與設備 為半導體設備製造商提供高品質零組件及次組件,例如:管線、閥門、管道、集成管線、組裝件及系統,而且符合半導體產業嚴苛的要求。包含產品皆採用雙層包裝,並在無塵室環境中生產。 針對半導體工業提供的特殊功能包括:閥門與配件最佳空間應用小、特殊潤滑使用量最低、採用潔淨且高度拋光的不鏽鋼、徑向安裝、壓縮配件、焊接配件、膜片閥、純化器、流量控制器、壓力感測器和無塵室解決方案等等。

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關於 TEESING1952 年成為技術供應商

自 1952 年開始,Teesing 即已成為氣動、液動、儀器設備及介質運輸等產業領域的配件、閥門、管道、系統及組裝件,「全方位連接組件解決方案」之國際化供應商。藉由在荷蘭總部(Rijswijk)、美國(紐澤西)、中國(北京)與台灣(竹北市)設立公司據點,Teesing活躍於全球半導體、鐵路、替代能源、醫療/製藥與石油化學工業等特定市場提供技術與服務。

Teesing能針對您的在連接的應用上提供所需的完整產品與服務組合. 藉由對自家產品與市場的專業知識,我們能快速回應您在液體與氣體輸送上使用之組件的所有相關問題。另外,透過我們的工程設計部門, 我們也能夠針對您特殊應用上的需求及規格開發專屬的客製化產品與組裝件。

.關於 TEESING 2.為何選擇 TEESING 3.TEESING 事業單位 4.TEESING半導體科技 介紹 5.無塵室:潔淨且可靠 6.工程設計 7.MOTT 8-9.SAES 10-11.SETRA 12-13.SERTO 14-15.RECTUS 16.CELERITY 17.ROTAREX 18 -19.ROTAREX - GAZEL 20.TEESING 特製產品 21-23

目錄

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TEESING介紹

為何選擇 TEESING?

.高品質連接解決方案的國際供應商 透過在歐洲、美國與亞洲都設有公司據點,我們能在全球提供您最快速 、多樣化的產品。

.應用裝置的豐富經驗 Teesing有專業、經驗豐富的業務工程師能針對各種應用提供您建議與支援。

.以客戶為本 我們樂於依照客戶的需求調整。更希望能瞭解您特殊的應用需求以確保提供您最

佳的產品與支援。

.全方位後勤支援 Teesing 擁有全新的倉儲系統,可以快速且安全地提供產品,也可提供雙層包裝

與一般包裝服務。

.擁有 60 年以上技術知識的供應商 Teesing 從 1952 年開始便成為全球各大公司的忠實合作夥伴。

.創新的工程設計部門 Teesing 透過與客戶密切合作及最新技術的支援,為您的特殊需求開發正確的產

品與組裝件。

.位於荷蘭總部的無塵室 Teesing 擁有可在等級 100 的無塵室中組裝UHP 配件、軟管、閥門、調壓閥及管

道的獨特技術。

.全球夥伴 我們在歐洲、美國與亞洲皆有獨家合作夥伴,能以合理的價格提供您最佳產品。

所有產品可依照要求採用無塵室雙層包裝

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TEESING 事業單位介紹

工業應用

配件、閥門、管道、系統及組裝件的國際化供應商,我們的市場包括石油化學工業、生醫科技、鐵路與實驗室應用。

半導體技術

我們是提供從原料到製程中所需之 HP/UHP配件與組裝件的國際供應商,市場包括半導體、電子機械、太陽能光電模板及 LED 工業。

替代能源

我們是 CNG-H2 專案的零件、系統及組裝件的國際供應商,市場包括汽車與運輸工業,以及所有替代能源相關市場。

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半導體科技介紹

關於 TEESING 半導體科技

Teesing 針對用於半導體製程的氣體與液體有關的各種應用產品、配件與系統提供多樣化的零組件。範圍包含冷卻系統、儲存氣瓶櫃、氣體監控應用、氣體過濾與純化到氣體供應使用點。

超高潔淨零組件與設備

為半導體設備製造商提供高品質零組件及次組件,例如:管線、閥門、管道、集成管線、組裝件及系統,而且符合半導體產業嚴苛的要求。包含產品皆採用雙層包裝,並在無塵室環境中生產。

針對半導體工業提供的特殊功能包括:閥門與配件最佳空間應用小、特殊潤滑使用量最低、採用潔淨且高度拋光的不鏽鋼、徑向安裝、壓縮配件、焊接配件、膜片閥、純化器、流量控制器、壓力感測器和無塵室解決方案等等。

「在等級 100 無塵室中組裝的獨特技術」

半導體技術業務經理 Leen Nugteren表示:「我們在荷蘭設有一間無塵室,我們提供的所有產品都可以在乾淨的空氣、氮氣及氦氣中以雙層方式包裝。Teesing 擁有在等級 100 的無塵室中組裝 UHP 設備、軟管、閥門、調節器及管道的獨特技術。至於小型配件,也可以生產出等級 10 的配件。」

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無塵且可靠半導體技術服務

無塵升降倉儲系統

Teesing 擁有自己的無塵室已超過 10 年,因此可依據客戶的特殊要求提供潔淨且雙層的產品與配件包裝。數台垂直升降倉儲機已調整及加壓;我們將半導體與電子機械客戶的(已組裝)產品都存放於此,此系統可確保將微粒的交叉汙染與移動降到最低。產品均以安全且潔淨的方式儲存

庫存的完善與效率

Teesing 在產品儲存程序中使用自動化系統,可即時更新庫存資訊。工作人員不需要到產品項目存放位置存取產品,而是系統將產品運送至人員工作區。因此可大幅提高工作效率。此系統除了可節省大量空間與時間外,也能顯著降低出貨錯誤率。

TEESING 無塵室解決方案

Teesing 可以與夥伴共同處理從少數原型樣品到完成大量配件生。具備使用 UV 與雷射技術測試潔淨度。採用僅含次ppb級污染物的超潔淨乾燥空氣 (XCDA),且擁有加熱烘烤 (bake-out) 能力,可確保將微粒數降到最低,並降低 TOC 等級,提供能夠用於產生奈米技術的子系統或零組件。

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TEESING 工程設計半導體技術服務

工程設計

在先進技術的支援下,透過與客戶間的緊密合作,Teesing可研發出合適的產品和組裝件以滿足您特殊的需要。我們同時也提供額外的服務,比如說我們大部分產品的CAD檔案。

諮詢

公司內部的工程設計部門支援、提供與產品系列及各種市場有關的銷售工程知識,讓 Teesing 能夠以含有豐富知識且具競爭力的方式為客戶提供建議,以及提出適當的應用解決方案。

產品效率化

Teesing 可針對您的應用方式分析、優化及重新設計產品,以確保為您提供最佳的解決方案如果有需要的話,我們會對產品或組裝做相對應的調整以確保滿足您的應用。

「我們從開端到製程、為您設計、策劃最佳的產品方案」

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MOTT半導體技術產品系列

MOTT公司簡介

Mott Corporation(舊名 Mott Matallurgical Corpora-tion)是由 Lambert H. Mott 在 1959 年 7 月 9 日以 Con-necticut Corporation 的名稱所創立,公司由三個事業部門組成。

高潔淨 (High Purity):專門從事與半導體製程中將處理氣體微粒去除的嚴苛要求之相關作業。

處理系統 (Process Systems):結合多孔金屬過濾器零件與硬體、電子與軟體,建立大規模監督系統,以用於大量區分液體、氣體、固體與研磨液(Slurry)的作業。

特殊小孔 (Specialty Porous):正確製作任何由多個或單一多孔金屬構成的簡單或複雜 OEM 零配件。

Teesing 為荷蘭、比利時及盧森堡所有 Mott 多孔金屬產品的正式供應商。

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MOTT半導體技術產品系列

MOTT過濾器

GasShield針對過濾器的使用擁有超過 20 種標準設計,使用 316L 不鏽鋼、鎳或HastelloyC-22 (鎳鉻鉬鎢合金)材質,可達最高 600 slpm 與高達 5000 psig 入口壓力的標準。100% 以金屬製造的過濾器可供最高達 25000 slpm 與具有 400 - 650 psig 入口壓力的流程使用。

Mott 提供完整的過濾器與流體節流器產品,這些產品可以和目前的製程工具、氣櫃及閥門集成管線安裝等採用的氣體系統介面相容。IGS 過濾器可提供更高的系統使用彈性,且容易更換並可降低維修時間;過濾器以 316L SS 標準提供,另有鎳與 Hastelloy C-22合金可供選擇。可提供每分鐘 10 到 100 公升流動率的氣體相容性與範圍。

MOTT節流器

Mott 也提供「高潔淨度流體節流器」,其中多孔金屬元件為多金屬面密封設備,可提供一致、耐用、抗磨損及抗堵塞的流動控制 - 僅耗用極少能源且節省空間。

MOTT擴散器

Mott 的擴散器是特別針對盡可能降低微粒產生速度的處理室所設計。透過使用多孔金屬擴散器,即可維持層流,進而將處理室中微粒移動的現象降到最低。

MOTT噴霧器

若要將 CO2 與其他氣體導引到生物反應器 (bioreactor) 上; 您使用 Mott 噴霧器時可以提高生產力。我們可以根據媒介物等級、臉部速度、噴霧器直徑、液體與槽大小的要求,提出可為生物處理提供最佳環境的解決方案。

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SAES半導體技術產品系列

SAES公司簡介

SAES Pure Gas 從 1989 年開始生產 MonoTorr® 氣體純化器。身為開發加熱式吸收劑技術的先鋒,SAES 持續透過卓越的純化技術與更長的淨化器產品壽命為市場設定新標準。為了符合個別客戶的要求,以及基於增加技術市場的需要,SAES 所做的其他研究與開發作業讓SAES 開發出最多樣化的氣體淨化器,可滿足所有氣體淨化需求。

SAES Pure Gas 透過導入環境溫度 MicroTorr® 純化器與 MegaTorr® 大量氣體純化器,提供能夠滿足各種流動率要求與氣體應用的機型。

Teesing 為荷蘭、比利時及盧森堡所有 Saes Pure Gas 產品的正式供應商。

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SAES半導體技術產品系列

SAES終端純化器

SAES Pure Gas MicroTorr 環境溫度純化純化使用端氣體淨化最理想的解決方案。純化的氣體包括:氮器、罕見氣體、氫氣、氧氣、CDA、氨水、腐蝕性氣體、矽烷、砷化三氫、磷化氫等等,流動率最高為1000 slpm。

SAES加熱式吸收劑

SAES Pure Gas MonoTorr 加熱式吸收劑淨化器是需要清除 CH4 與 N2 之使用點淨化最理想的解決方案。 純化的氣體包括:氬氣、氦氣、氮氣、氫氣,流動率最高為 150 slpm。

SAES大量氣體純化器

SAES Pure Gas 提供 MegaTorr,完整系列的大量氣體純化器,針對完整設備等級的淨化作業所設計。可純化的氣體包括:氮氣、氬氣、氦氣、氧氣、CDA、氫氣、氨氣。視氣體而定,流動率最高達 20000 Nm3/小時。

SAES微汙染收集服務

SAES Pure Gas 所開發的獨特「in-situ」 CollectTorr 取樣系統與離線分析服務,可為一般使用者提供尖端的平板印刷術與檢查/測量設備,具有專用、簡單且可靠的工具,可淨化光學分子汙染且擁有淨化氣體認證。採用固體活板的 CollectTorr 取樣系統結合了尖端分析設備,成功達到萬億分之 (PPTV) 分子氨基酸水平評估、基礎、耐火材料及有機汙染物的目標…。

請造訪本

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SETRA半導體技術產品系列

SETRA公司簡介

Setra System 為設計及製造各種感測產品的公司,我們的產品包括濕度、電流、真空及壓力感測儀器、低壓力測定器及秤重與計算秤,用於 HVAC/R、半導體、測試與測量、醫療、製藥、氣壓、真空與工業市場的各種應用。Setra 從1967 年開始設計及製造感測儀器,我們專注於精實化製造、標準程序,並持續改善產品。

SENTRA壓力變換器

Setra 的「UHP壓力變換器模組」在半導體產業被廣泛使用,而且也是最適合半導體處理程序中高純度氣體供應系統使用的設備。同時,需要極淨作業、高總體效能及長期穩定性的控制應用,也依賴 Setra 的壓力變換器。

採用 0.11 in3 的低洞量設計以及可實際排除微粒的入口設計,讓「超高純度壓力變換器」能夠輕易淨化。所有潮濕的零件皆採用 316L VIM/VAR 不鏽鋼, 表面粗糙度為 5 Ra(最高 7 Ra)加工處理,可排除表面不平整的問題,且具適當的表面化學抗腐蝕能力,確保提供不受汙染的氣體。有「標準」、「複合式」及「純 PSI」版本可供選擇,壓力範圍為 -1bar 到 200 bar。

「 UHP壓力變換器」具有 5 VDC、10 VDC 或 4 - 20 mA 輸出能力,並提供 6 呎電線或卡拴接頭連接電氣端子。

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SETRA半導體技術產品系列

SETRA數位壓力測量計

Setra 數位壓力測量計可透過數位輸出組態提供極高的準確度與穩定性。全球許多環境監控與測試及測量系統皆仰賴 Setra 在氣壓測量儀器上的技術,以及高準確度的較高壓力測量技術。這兩個機型皆採用 Setra 獨家的 SETRACERAMTM 感測器,其中結合了以微處理器為基礎的先進電路與精密的韌體,提供較 ±0.02% 全階更高的系統準確度。

LD 330 是小型「本地端顯示器」,其設計可讓使用者輕易以同軸方式將它安裝在 Setra 壓力變換器、使用者資料取得系統及電源供應之間。LD330擁有低功耗的 3-1/2 數位類比轉數位轉換器,且配備液晶顯示器 (LCD),精巧的外殼可讓您透過各種電氣端子連接變換器與電源。

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SERTO半導體技術產品系列

SERTO 連接系統:獨一無二!

SERTO 安裝接頭可快速連接至管子,讓連接變得很容易,也可以節省時間,且不會傷害連接管。它是一個防漏、平接式,金屬對金屬的連接配件,而且不需要 O 形環或墊圈。

除了容易組裝,也提供極可靠的連接穩定度,因為某些連接應用的內部壓力可能達到 250 BAR。

SERTO公司簡介

從 1952 年開始,Teesing 即已成為Serto 產品在荷蘭的獨家供應商。Serto 是一個前所未有的瑞士品牌,採用高效能、具有專利權的技術提供各種管接件、閥門、管道及完整組裝件滿足產業需求。

半導體產業在潔淨性與精巧尺寸上具有特殊的要求,Serto 採用無塵室提供最高標準的潔淨性。

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SERTO半導體技術產品系列

SERTO接頭

Serto 代表獨一無二的模組化系統,徑向安裝的配件可快速組合或拆卸,因此不需要移動甚至彎曲管子。將螺帽向下鎖緊時,夾鉗環會變形並輕微束緊管子周圍,但不會產生凹槽。在束緊區域和「夾鉗環/基本零件」連接位置,變形力量會產生高特定表面區域壓力接觸點,能夠穩固地連接管子,並提供緊密的金屬密封能力。

Serto 透過內部支撐套管讓 HP 管子能夠與塑膠管或軟管連接,即使是彈性軟管也可連接並具有防漏能力。

Serto 獨特的不鏽鋼、PVDF、PA材質夾鉗接頭已經在全球的半導體市場被廣泛採用。

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RECTUS半導體技術產品系列

RECTUS公司簡介

Rectus 是快速接頭領域中、德國領導品牌之一。除了各種標準尺寸之外,Rectus 也提供量身規劃的解決方案。

RECTUS快速接頭

Rectus 擁有全球最廣泛的快速接頭,而且已針對高純淨度需求開發特殊版本。Teesing 與 Rectus 已針對半導體工業開發出無塵室環境專用的快速接頭。

其中一個範例就是平面式 KL 系列,可在不會產生滴漏的情況下快速連接或斷開,而且符合人體工學的套管也可以輕易和無塵室手套搭配使用。

這些接頭不需要使用鎖定套管,因此可在區塊/平板配件中使用多個接頭,可以一次快速連接多個接頭,避免發生交換錯誤。

在無塵環境中使用時,必須盡可能減少釋放的微粒數目,Teesing 與 Rectus 特別針對此需求共同開發了全新且具有完整可追蹤能力的潔淨套管設計。透過特殊的雷射標記程序,每項產品都可在釋出最少微粒的情況下標示批號。

獲得全球最大微影技術設備製造商採用RECTUS接頭

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CELERITY半導體技術產品系列

CELERITY公司簡介

Celerity 多樣化的壓力變換器、壓力測量錶及相關儀器可提供最佳等級的監控能力,可監控超高潔淨大量氣體、特殊氣體及液化處理氣體。

CELERITY壓力錶

Celerity 的不鏽鋼壓力錶是針對要求高潔淨應用的半導體產業所設計及開發。在無氧室焊接可滿足嚴苛的純淨度與安全標準,測量錶含有壓力開關與傳輸器,且提供各種壓力範圍與加工接頭。

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ROTAREX半導體技術產品系列

Rotarex 是全球知名的「高潔淨(HP)」與「超高潔淨 (UHP)」應用之閥門、管配件與調壓閥製造商。Rotarex 以盧森堡歐洲技術中心為基地,是全球擁有最佳技術工程設計與精確製造技術的公司之一。自 1922 年開始,Rotarex 即已成為氣壓系統高技術品質、安全與可靠性的最佳保證。在這些年期間,Selfa、Gazel 及 Sagana 等許多品牌都已成為 Rotarex Group 的一份子。

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ROTAREX半導體技術產品系列

ROTAREX SELFA

所有 Selfa 產品都是為符合最高標準以及在無塵室中裝配所製造。從設計階段即設法將氣體潮濕區域的降到最低,全力避免產生微粒,,這也讓 Selfa 閥門、管配件與調壓閥成為最適合半導體應用的裝置。金屬隔膜與波紋技術可確保在高腐蝕性與容易產生反應的氣體應用中使用,也能提供完美的緊密性與長使用壽命。Selfa 提供多種標準產品,但也可以提供客製化產品。

Selfa 提供 3 種主要產品類型:

• 閥門: 隔膜與波紋閥門,包含從小型的 4mm 通行口到大型

的 100mm 通行口、手動或氣動式驅動,或 V 區塊結合。Selfa 也為液化氣體提供低溫閥門。

• 調壓閥: 針對產生最少微粒所開發的特殊設計。• 配件: 適用於所有類型氣體與所有連接標準的圓柱式接頭。

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ROTAREX GAZEL半導體技術產品系列

ROTAREX GAZEL表面密封配件

Gazel 配件為 Rotarex Group 的 UHP 配件(VCR 類型)系列。依據最高標準製造的 Gazel 配件是依據 UHP 規格在無塵環境中清潔、安裝及包裝,電鍍拋光可確保完美的表面光潔度。

Gazel 擁有 5 個系列的配件:

• 金屬襯墊正面密封配件• 節省空間配件• 高流動率配件• 微型配件• 焊接配件

Gazel 配件與產業領導品牌的正面密封配件相容。Gazel 擁有各種不同的標準配件,但也可以提供客製化解決方案。

Page 21: Teesing Submicron Technologies (CN)

TEESING 特製產品半導體技術產品系列

TEESING 產品系列介紹

歷年來,Teesing 已累積豐富的技術經驗,成為工程設計及生產產品與配件的專家,能滿足所有客戶的要求。由於 Teesing 的目標是成為半導體市場的總供應商,因此已經設計及生產出各種不同的產品,建立豐富的產品系列。

TEESINGPFA 閥門與附件

Teesing PFA Flare 管接件適合用於任何具腐蝕性或高/純度應用,這些耐用的配件是在符合 Virgin FPA 標準之等級 10000 的無塵室中製造,潔淨與雙層/包裝可確保接件在安裝之前皆具有極高的潔淨性。

Teesing PFA 膜片閥具備低維護成本的外蓋與經濟型設計的轉輪,以及完整的光學位置指示器。所有媒體潮濕零件皆採用 PFA(主體)與 PTFE(隔膜),所有膜片閥都是在等級 100 的無塵室中組裝、測試及包裝。

TEESING特殊管材

Teesing 提供已預先彎曲的 PU 管,用於極潔淨的應用。PU 管具有完美的彎曲特性,且即使長期受到壓力壓迫,也不容易變形。此 PU 管在低溫環境下也可以維持彈性,且具有抗刮傷能力。請參閱我們的特殊管型錄。

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TEESING 特製產品半導體技術產品系列

TEESING隔膜幫浦

Teesing 微型隔膜式液體幫浦是以擺動移動幫浦的原理為基礎,設計極為簡單;微型設計與內部技術所產生的極高效能是這些產品的特性。我們也提供改裝後的雙頭幫浦,擁有特殊的增強型隔膜,可提供較高的流動率、更好的吸入高度以及更長的產品壽命。

TEESING液用真空幫浦

液體環形真空幫浦為單層移位幫浦,結構簡單但健全。這些幫浦沒有汙染性,因為採用幾乎等溫的壓縮、無油式(工作室中沒有潤滑油),而且幾乎可以處理所有氣體與蒸汽,以及少量夾帶的液體。這些幫浦很容易維護,並具有可靠的運作能力、噪音低且幾乎不會震動。

請造訪網站

WWW.TEESING.COM

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產品系列

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TEESING 特製產品半導體技術產品系列

TEESING球閥

Teesing 所提供的高潔淨球閥系列擁有許多不同的產品,包含 DN 15 – DN 300。末端連接方式則可採用焊接、接管及三鉗式夾鉗連接,所有延伸的焊接端都適合用於軌道焊接到位 (CF3M/DIN 1.4409)。球閥可提供直孔或全流向連接方式,具有手動或自動驅動。

TEESING組裝件

Teesing為半導體工具製造商提供高品質零組件與次組件,例如:管線、閥門、管道、集成管線、配件及系統,而且符合半導體產業嚴苛的要求;且產品皆採用雙層包裝,並在無塵室環境中生產。

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TEESING B.V.Verrijn Stuartlaan 40

2288 EL Rijswijk

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Tel +31 70 413 07 00

Fax +31 70 413 07 30

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Suite 418

4Th Floor, Office Tower

2 Chao Yang Men Bei Da Jie

100028 Beijing, China

Tel +86 10 659 590 74

Fax +86 10 650 142 48

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USA OFFICE10 Millpond Drive Unit 7

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Fax +1 973 383 4672

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Chang Ping District

Beijing 102206

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Tel +86 10 807 221 65

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